CH623502A5

CH623502A5 -

Info

Publication number: CH623502A5
Application number: CH743878A
Authority: CH
Inventors: Helenio Llop; Claude Alain Letort
Original assignee: Sopelem
Priority date: 1977-07-08
Filing date: 1978-07-07
Publication date: 1981-06-15
Also published as: IT7868620A0; GB2000867A; FR2396954B1; JPS5440660A; DE2829222B2; DE2829222C3; IT1108669B; BE868838A; US4195412A; NL7807230A; GB2000867B; FR2396954A1; DE2829222A1

Description

L'invention a pour objet une installation de contrôle de la position d'un organe mobile.

On a souvent besoin de contrôler la position d'un organe mobile, qu'il s'agisse par exemple d'un outil de machine-outil ou d'un palpeur pour le contrôle des cotes d'un objet. Ces organes mobiles sont déplaçables le long de deux glissières orthogonales, l'une ménagée sur un châssis, l'autre sur un chariot déplaçable lui-même le long de la glissière du châssis. Jusqu'à présent, dans les machines-outils ou dans des dispositifs de contrôle d'objets de grandes dimensions, on devait utiliser un châssis très rigide et très stable avec le temps, portant des glissières parfaitement recti-lignes, ce qui était très onéreux.

On connaît d'autre part des dispositifs de mesure des erreurs de rectitude d'une glissière comportant un moyen d'émission d'un faisceau laser fin parallèle à la glissière définissant un axe optique de référence et un moyen de mesure des écarts transversaux constitué en général d'un détecteur photo-électrique frappé par le faisceau laser et fournissant des signaux représentatifs de l'écart

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de la position du point d'impact du faisceau sur le détecteur par rapport à une position de référence.

Le but visé par l'invention est d'obtenir des dispositifs de contrôle de la position d'un organe mobile aussi précis ou même plus précis que ceux comportant, comme jusqu'à présent, un 5 châssis très rigide et très stable avec le temps portant des glissières parfaitement rectilignes, mais avec des moyens beaucoup plus économiques. L'invention utilise en particulier pour réaliser ce but des dispositifs de mesure de rectitude, comme ceux que l'on vient de décrire plus haut. io

L'installation de contrôle selon l'invention comporte, de façon connue, un châssis sur lequel est ménagée une glissière parallèle à une première direction xx'. Le long de cette glissière se déplace un chariot sur lequel est ménagée une glissière yy' perpendiculaire à xx', et l'organe mobile dont on veut contrôler la position se ' 15 déplace selon la direction yy'.

Conformément à l'invention, l'installation comprend un dispositif de mesure des erreurs de rectitude de la glissière xx' du châssis se composant d'un moyen d'émission d'un faisceau laser fin définissant un axe de référence parallèle à la glissière xx' et 20 d'un détecteur photo-électrique de mesure de l'écart transversal A y du chariot par rapport à l'axe de référence et un dispositif de mesure des erreurs d'orthogonalité de la glissière yy' du chariot se composant d'une équerre optique montée sur le chariot et formant, par déviation du faisceau laser d'axe xx', un second 25 faisceau laser rigoureusement perpendiculaire au premier et définissant l'axe yy', et d'un détecteur photo-électrique de mesure de l'écart transversal A x de l'organe mobile par rapport à l'axe de référence yy'.

L'invention va maintenant être décrite, en se référant à plu- 30 sieurs modes de réalisation, donnés à titre d'exemples et représentés sur les dessins annexés.

Les fig. 1 et 2 représentent, respectivement en élévation et en plan, une installation de contrôle de la position d'un organe mobile tel qu'un palpeur permettant de contrôler les cotes d'un 35 objet.

La fig. 3 est un schéma de fonctionnement de l'installation de contrôle de la fig. 2.

La fig. 4 est un schéma fonctionnel du dispositif de calcul et de visualisation des cotes. 40

La fig. 5 est un schéma d'une variante de l'installation de contrôle.

Comme on le voit sur les fig. 1 et 2, l'objet A à contrôler, qui peut être de forme cylindrique et de grandes dimensions, est placé sur un plateau tournant 25 à proximité d'une tour verticale 26 sur 45 laquelle est ménagée une glissière 10. Le long de la glissière 10 coulisse un chariot 80 sur lequel est ménagée une glissière 81 perpendiculaire à la glissière 10 et le long de laquelle peut coulisser un bras 170 portant à son extrémité un palpeur 27. Des moyens classiques non représentés permettent de déplacer le 50 bras 170 par rapport au chariot 80 et le chariot 80 le long de la glissière 10.

Deux échelles de mesure sont disposées l'une 120 le long de la glissière 1 et l'autre 230 le long du bras 170. Sur le chariot 80 sont placés des lecteurs optiques 110 et 220 respectivement en face des 55 échelles 120 et 230.

Une telle installation permet donc de repérer chaque point de l'objet A par rapport à un système d'axes xx', yy' matérialisés par les deux glissières 10 et 81, les cotes x et y étant mesurées respectivement par les lecteurs 110 et 220 sur les échelles 120 et 230. Un 60 codeur optique circulaire permet d'autre part de mesurer l'angle de rotation du plateau 25 par rapport à une orientation de référence de façon à repérer parfaitement chaque méridien. Le corps étant, le plus souvent, cylindrique, il est également possible, ayant fixé le bras 170 à une hauteur donnée x, de faire tourner le corps 65 sur le plateau, la mesure étant effectuée en continu par le palpeur 27.

Cependant, une telle machine, de type bien connu, ne peut donner de résultats précis que si les glissières sont parfaitement rectilignes et l'installation absolument rigide. Ce résultat ne peut être obtenu que très difficilement et à des conditions très onéreuses dans le cas d'objets de très grandes dimensions.

L'invention permet de réaliser le contrôle de l'objet A avec une grande précision, même si la rigidité et la rectitude de l'installation ne sont pas parfaites.

Sur la fig. 3, qui est un schéma de fonctionnement de l'installation, on a représenté seulement par des traits interrompus la glissière 10, le chariot 80 et le bras 170. Sur le socle 28, au pied de la tour 26, est fixé un émetteur laser monomode 50 émettant un faisceau d'axe xx' parallèle à la glissière 10.

Ce faisceau laser d'axe xx' rencontre une cellule photo-élec-trique 90 montée sur le chariot 80, et qui permet de mesurer l'erreur transversale A y due aux défauts de rectitude de la glissière 10 ou à la flexion de la tour 26, et de corriger la cote y lue par le lecteur 220.

D'autre part, une équerre optique 180 montée sur le chariot 80 permet de former un second faisceau d'axe yy' perpendiculaire au premier, d'axe xx'.

Ce second faisceau, dévié suivant la direction yy', rencontre une cellule photo-électrique 210 qui peut être placée à l'extrémité du bras 170, aussi près que possible du palpeur, pour mesurer l'erreur transversale A x sur la position du palpeur 27 due à un défaut de rectitude de la glissière 81 ou à la flexion du bras 170 dans le plan xoy.

Connaissant l'erreur A x, on pourra corriger la cote x lue par le lecteur 110.

D'autre part, la cellule 210 permet également de mesurer, par rapport à un axe zz' perpendiculaire au plan formé par xx' et yy', l'erreur A z du palpeur 27 due à la flexion du bras 170 dans le plan yoz. Connaissant cette erreur, on pourra corriger la position du bras dans le plan yoz et redresser ainsi le palpeur 27 pour le replacer sur son méridien.

Cependant, on placera de préférence la cellule 210 sur le chariot 80, le faisceau laser étant dévié à 180° par un dispositif optique 29 placé près du palpeur 27 et renvoyant en retour le faisceau parallèlement à lui-même.

Dans ce cas,'la cellule 210 mesurera le double de l'erreur transversale A x ou A z.

Sur la fig. 3, ce dispositif optique 29 est un trièdre.

Si l'on voulait se limiter à la mesure de l'écart A x seul ou A z seul, un dièdre bien entendu serait suffisant.

Le plus souvent, l'installation sera associée à un calculateur fournissant les cotes x, y et z en fonction des signaux codés reçus des lecteurs 110 et 220. Il sera donc facile de transformer les informations fournies par les cellules 210 et 90 en signaux représentatifs des erreurs de mesure et compatibles avec les signaux émis par les lecteurs 110 et 220 de telle sorte que le calculateur fasse les sommes algébriques des cotes mesurées et des erreurs pour obtenir les cotes réelles par rapport aux axes de référence.

Dans le cas de la fig. 3, les erreurs A x et A z seront évidemment d'abord divisées par 2 pour tenir compte du doublement du déplacement dû au dispositif optique 29.

En ce qui concerne les cotes x et y, il est également possible de corriger automatiquement l'erreur en agissant directement sur les lecteurs 110 et 220. Dans ce cas, chaque lecteur est monté sur un coulisseau déplaçable parallèlement à l'échelle correspondante 120 ou 230 au moyen d'un organe moteur, respectivement 111 et 221. Le signal d'erreur émis par la cellule correspondante, par exemple 90, permet, par un moyen d'asservissement classique, d'agir sur l'organe moteur 221 pour déplacer le lecteur 220 dans le sens opposé à l'erreur mesurée. Dans ce cas, la cote est mesurée exactement par le lecteur 52 par rapport à l'axe de référence x'x en évitant, par conséquent, l'addition algébrique des écarts mesurés.

La cellule pourrait aussi être solidaire du lecteur 220 et se recentrer automatiquement sur le faisceau laser pour annuler l'erreur.

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De même, le signal d'erreur émis par la cellule 210 permet d'agir sur l'organe moteur 111 de façon à déplacer le lecteur 110 de la quantité voulue en grandeur et en signe pour annuler l'erreur, c'est-à-dire, dans le cas de la fig. 3, de la moitié de celle-ci. La cote est ainsi mesurée par rapport à l'axe yy'.

L'installation de mesure selon l'invention présente d'autre part certaines particularités :

Tout d'abord, et comme on l'a représenté sur la fig. 3, si l'on veut éviter de ménager sur l'équerre optique 180 une face semi-réfléchissante permettant de laisser passer une partie du faisceau laser vers la cellule 90, donc en perdant de la lumière, il est avantageux de monter l'équerre optique 180 sur un disque 31 monté rotatif autour d'un axe vertical sur le chariot 80 et entraîné en rotation par un moteur synchrone 32. Un cache associé au disque 31 permet de faire alternativement les mesures de x et y, le faisceau étant envoyé alternativement vers la cellule 90 et vers la cellule 210.

Cela a, de plus, l'avantage de moduler le faisceau laser et donc d'améliorer le rapport signal sur bruit sur les cellules.

D'autre part, les mesures sont prises en compte par un système original dont le schéma synoptique est donné sur la fig. 4. Les informations émises par les lecteurs 110 et 220 sont envoyées à des compteurs tenant compte des erreurs A x, A y et A z mesurées par les cellules 210 et 90. Toutefois, pour simplifier le schéma, on n'a représenté que les compteurs 33 et 34, se rapportant à x et y. Ces compteurs 33 et 34 déterminent les cotes exactes, x' et y' qui sont enregistrées dans les mémoires 35 et 36. D'autre part, la position angulaire du plateau 25 est mesurée par un codeur circulaire non représenté qui, par l'intermédiaire d'un système de décodage 37, fournit une mesure enregistrée par une mémoire 38.

Les cotes et l'angle mesuré enregistrés par les mémoires peuvent être visualisés, de même éventuellement, que la température t fournie par un capteur thermique sur des cadrans 39, 40,41, 42.

Selon une disposition originale, un système de blocage des mémoires permet de n'enregistrer les cotes affichées par les compteurs qu'au moment voulu. Ce système de blocage est commandé par le passage à zéro du palpeur 27. Celui-ci porte en effet, d'une façon classique, une tige 270 qui est sortie au moyen d'un ressort. Lorsque la tige est sortie, il donne une tension, par exemple —v. Lorsque le palpeur s'enfonce, la tension diminue, passe par zéro et devient positive. Le passage à zéro correspond à une position précise d'enfoncement du palpeur. C'est à ce moment que le palpeur génère une impulsion de blocage des mémoires qui est envoyée sur des entrées 43, 44,45, de façon à n'enregistrer dans les mémoires que les informations lues à cet instant par les instruments de mesure. De la sorte, les cotes enregistrées correspondent toujours à la même position du palpeur, ce qui facilite la manipulation du bras par l'opérateur et permet éventuellement d'automatiser le fonctionnement. La mesure du diamètre peut donc s'effectuer de la manière suivante:

Le chariot est amené à la cote x du diamètre considéré. Le bras 170 s'avance jusqu'à ce que la touche du palpeur 27 entre en contact avec l'objet A et s'enfonce. La cote y mesurée évolue donc à mesure que le bras avance. Le palpeur émet une impulsion lorsqu'il s'est enfoncé d'une quantité constante, de 5 mm par exemple : l'impulsion correspond donc à un enfoncement connu à quelques microns près du palpeur.

Quand le palpeur émet son impulsion, la cote corrigée y' est transférée en mémoire à cet instant, en même temps que la cote corrigée x' et l'angle 0. Le bras poursuit son mouvement et s'arrête progressivement, avant l'enfoncement total du palpeur évidemment. Cet arrêt est provoqué soit automatiquement par l'impulsion fournie par le palpeur, soit par l'opérateur prévenu par un voyant que l'impulsion a été émise et la cote relevée.

Ainsi, la mesure est effectuée sans arrêt brutal du bras, ce qui évite tout choc et vibration. La calculateur 9 reçoit alors les informations contenues dans les mémoires 35, 36, 38, de même,

éventuellement, que dans une mémoire 46 où a été enregistrée par exemple la température, et il effectue les corrections voulues sur les mesures. En effet, les écarts et variations de température, qui ont pour effet de dilater et de déformer toute la structure servant s à la mesure peuvent être pris en compte ainsi, d'ailleurs, que d'autres causes d'erreur telles que la turbulence d'air agissant sur les faisceaux optiques et les vibrations de la tour. Le calculateur peut être programmé de façon à apporter les corrections voulues en fonction de ces divers paramètres. C'est ainsi qu'il peut avoir io en mémoire les courbes d'étalonnage des échelles de mesure pour effectuer les corrections en fonction de la position du chariot et des dilatations.

Dans le cas où les erreurs transversales mesurées ne se traduisent par par un déplacement des lecteurs correspondants pour 15 la correction automatique de l'erreur, mais par des signaux analogiques fournis directement par les cellules, le calculateur peut avoir en mémoire la courbe d'étalonnage de chaque cellule de façon à calculer la correction d'erreur transversale à apporter à la mesure de la cote, la cellule donnant une information proportion-20 nelle au déplacement du faisceau.

Les autres moyens de mesure sont évidemment applicables. La cellule peut par exemple être remplacée par une règle graduée ou codée donnant une information digitale qui est transformée par le calculateur en un écart mesuré à la même échelle que la cote x ou 25 y, et ajouté algébriquement à celle-ci.

L'installation selon l'invention peut d'autre part être munie d'un certain nombre de perfectionnements utiles.

Le premier perfectionnement, représenté sur la fig. 5, permet de contrôler la perpendicularité de l'axe xx' de référence avec le 3o plateau tournant 25. Le plateau tournant 25 et la tour 26 sont montés sur un socle fixe 28. Sur ce socle sont fixés, d'une part, l'émetteur laser 5 et, d'autre part, une lunette autocollimatrice 43 qui permet de viser simultanément, le long d'un axe 44, un miroir 45 fixé sur le laser 5 parallèlement à l'axe x'x et une équerre 35 optique 450 constituant un invariant à deux faces perpendiculaires, une face étant placée sur la table 25 et l'autre face étant visée par la lunette autocollimatrice 43. Il est ainsi possible de vérifier que le miroir 45 et, par conséquent, l'axe xx' sont perpendiculaires au plateau 25. L'axe xx' ayant été ainsi réglé, il est .40 possible également de mesurer les erreurs de perpendicularité du plateau 25 pendant le mouvement de celui-ci.

Par une méthode analogue, on pourrait mesurer les erreurs dues au montage de l'objet à vérifier (A) sur le plateau 25.

Grâce à de telles dispositions, on peut donc séparer dans les 45 écarts mesurés les erreurs de construction que l'on cherche à vérifier des erreurs dues au montage de l'objet sur le plateau et aux mouvements du plateau.

Un autre perfectionnement, représenté schématiquement sur la fig. 5, permet de mesurer l'erreur supplémentaire due à un effet 50 éventuel de torsion de la tour 26 et dont il faut d'autant plus tenir compte qu'elle est multipliée par la longueur du bras.

Dans ce mode de réalisation perfectionné, l'installation comporte les éléments essentiels qui viennent d'être décrits.

L'émetteur laser 5 a cependant été fixé sur le socle 28 parallèle-55 ment au plateau 25, l'axe de référence xx' étant obtenu par déviation du faisceau laser au moyen d'une équerre optique 47 à face inclinée semi-transparente. Une cellule 211 permet de contrôler l'horizontalité du faisceau émis par le laser 5.

A titre d'exemple, et pour se différencier de la fig. 3, on a 60 représenté le mode de mesure direct des erreurs transversales A x et A z au moyen d'un détecteur photo-électrique 210 placé à l'extrémité du .bras 170 de façon à couper l'axe de référence yy'.

Dans cette disposition, l'émetteur laser 5 produit non seulement le premier faisceau laser d'axe xx', mais également un 65 second faisceau laser vertical aa' parallèle au faisceau xx' au moyen d'équerres optiques 47 et 48 montées sur le socle 28, les deux faisceaux étant écartés l'un de l'autre d'une distance égale à la largeur du chariot 80, soit de l'ordre de 1 m.

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Le faisceau d'axe aa' est intercepté par une cellule 91 et les deux cellules 90 et 91 donnent chacune deux signaux électriques en fonction respectivement du déplacement du centre de la tache lumineuse interceptée suivant la direction yy' et suivant la direction zz' perpendiculaire au plan de mesure xx', yy'. Comme indiqué précédemment, le calculateur calcule, compte tenu de la courbe d'étalonnage de la cellule 90, la connection A y à apporter à la mesure de la cote y, mais il peut également calculer l'écart de position du palpeur 27 dans la direction zz' en fonction de la longueur du bras 170 et de la torsion de la tour 71.

L'angle de cette torsion est égale à la différence entre les écarts Azi et Az2, mesurés par les cellules 90 et 91, divisée par la distance séparant ces cellules.

Bien entendu, l'invention ne se limite pas aux détails des modes de réalisation qui viennent d'être décrits, mais elle pourrait faire l'objet de nombreuses variantes en utilisant des moyens équivalents ou en appliquant les dispositifs décrits précédemment à d'autres utilisations.

5 C'est ainsi que l'organe mobile, qui est un palpeur de contrôle de cotes dans le cas que l'on vient de décrire, pourrait aussi être par exemple un outil d'usinage ou de coupe. En effet, on pourrait appliquer à de nombreux types de machines de grandes dimensions le principe de l'invention consistant à utiliser un ou plu-io sieurs faisceaux laser comme axes de référence sur des bancs ou châssis d'une longueur de l'ordre d'une dizaine de mètres alors que, jusqu'à présent, les mesures à partir de faisceaux laser n'avaient été utilisées que pour des distances bien plus grandes, et pour des prévisions moindres, par exemple pour le guidage d'en-15 gins ou dans les mesures topographiques.

4 feuilles dessins

Claims

623 502 REVENDICATIONS

1. Installation de contrôle de la position d'un organe mobile (27) suivant au moins deux directions xx', yy', ledit organe mobile (27) étant déplaçable le long d'une glissière (81) parallèle à la direction yy' ménagée sur un chariot (80) déplaçable lui-même le long d'une glissière (10) parallèle à la direction xx' ménagée sur un châssis (26) et comportant des moyens de repérage de la position y de l'organe mobile (27) le long de la glissière yy' du chariot (80) et de la position x du chariot (80) le long de la glissière xx' du châssis (26), caractérisée par le fait qu'elle comprend un dispositif de mesure des erreurs de rectitude de la glissière xx' du châssis (26) se composant d'un moyen d'émission d'un faisceau laser (5) fin parallèle à la glissière xx' définissant un axe de référence et d'un détecteur photo-électrique (90), frappé par le faisceau laser (5) et fournissant des signaux représentatifs de l'écart transversal A y du chariot par rapport à l'axe de référence et un dispositif de mesure des erreurs d'orthogonalité de la glissière yy' du chariot (80) se composant d'une équerre optique (180) montée sur le chariot et formant, par déviation du faisceau laser d'axe xx', un second faisceau laser perpendiculaire au premier et définissant l'axe yy' et d'un détecteur photo-électrique (210) de mesure de l'écart transversal A x de l'organe mobile (27) par rapport à l'axe de référence yy'.

2. Installation de contrôle selon la revendication 1, caractérisée par le fait que le détecteur photo-électrique (210) mesure en outre l'écart transversal A z de l'organe mobile (27) par rapport à un axe de référence zz' formant un trièdre trirectangle avec xx' et yy' et que des moyens sont prévus pour corriger cet écart.

3. Installation de contrôle selon la revendication 1, caractérisée par le fait que le détecteur photo-électrique (210) est placé sur le chariot (80), le faisceau laser étant dévié à 180° par un dispositif optique (29) placé près du palpeur (27) et renvoyant en retour le faisceau parallèlement à lui-même.

4. Installation de contrôle selon la revendication 3, caractérisée par le fait que le dispositif optique (29) est un dièdre.

5. Installation de contrôle selon la revendication 3, caractérisée par le fait que le dispositif optique (29) est un trièdre et que le détecteur photo-électrique (210) peut ainsi mesurer en outre l'écart transversal A z de l'organe mobile (27) par rapport à un axe zz' formant un trièdre trirectangle avec xx' et yy' et que des moyens sont prévus pour corriger cet écart.

6. Installation de contrôle selon l'une des revendications précédentes, caractérisée par le fait qu'elle comprend au moins un moyen de correction automatique d'au moins l'une des positions repérées (x, y) en fonction de l'écart mesuré correspondant (A x, A y).

7. Installation de contrôle selon la revendication 6, caractérisée par le fait que, les moyens de repérage des positions x et y comprenant chacun une échelle de mesure (120 ou 230) disposée le long de la glissière (10 ou 81) correspondante, et un lecteur de position (110 ou 220), placé devant l'échelle correspondante (120 ou 230), le moyen de correction automatique d'au moins une position repérée en fonction de l'écart mesuré comprend un coulisseau monté mobile sur le chariot (80) parallèlement à l'échelle correspondante et sur lequel est fixé le lecteur de position (110 ou 220), un moyen de déplacement du coulisseau et un moyen de commande d'un déplacement du coulisseau d'une distance opposée en grandeur et en signe à l'écart mesuré, ledit moyen de commande étant asservi à la mesure de l'écart.

8. Installation de contrôle selon la revendication 6, caractérisée par le fait que, les moyens de repérage des positions x, y comprenant deux échelles de mesure (120 ou 230) linéaires disposées respectivement le long du châssis (26) et le long du bras (170) et deux lecteurs (110 ou 220) placés sur le chariot (80) chacun devant une échelle et fournissant des informations numériques représentatives, respectivement, des cotes x et y le long des deux échelles (120 ou 230), les moyens de correction automatique des positions repérées en fonction des écarts mesurés comprennent, pour chaque direction, un dispositif de transformation du signal émis par le détecteur (210 ou 90) photo-électrique de l'écart, respectivement A x, A y, en une information numérique compatible avec la cote correspondante, respectivement x, y et un dispositif de sommation algébrique de la cote avec l'écart correspondant.

9. Installation de contrôle selon la revendication 1, caractérisée par le fait que l'équerre optique est montée sur un plateau entraîné en rotation autour d'un axe parallèle à la direction xx', la mesure de l'écart transversal par rapport à l'axe yy' étant faite périodiquement à chaque passage de l'équerre optique dans le faisceau d'axe xx', les écarts mesurés étant enregistrés dans des mémoires.

10. Installation de contrôle selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisée par le fait que l'organe mobile est monté à l'extrémité d'un bras (170) coulissant le long de la glissière yy' et est constitué par un palpeur de mesure (27) des cotes d'un objet cylindrique A d'axe parallèle à la glissière xx' et monté rotatif autour de son axe sur un plateau tournant (25).

11. Installation de contrôle selon la revendication 10, caractérisée par le fait que le palpeur (27) est constitué d'un piston monté coulissant de part et d'autre d'une position zéro dans un support fixé sur le bras et sollicité vers l'extérieur par un ressort et que, les cotes mesurées étant enregistrées, pour chaque direction, chacune dans une mémoire, le passage à zéro du piston du palpeur détermine l'émission d'un signal de commande de l'interrogation simultanée des mémoires pour la mesure des cotes à cet instant.

12. Installation de contrôle selon l'une des revendications 1 à 11, caractérisée par le fait qu'elle comprend un moyen d'émission d'un troisième faisceau laser aa' rigoureusement parallèle au premier faisceau xx' et à la première glissière (10) et des moyens photo-électriques (90, 91) de mesure des écarts transversaux du premier faisceau et du troisième faisceau, non seulement selon la direction yy', mais également selon la direction zz' formant un trièdre trirectangle avec xx' et yy'.

13. Installation de contrôle selon la revendication 12, caractérisée par le fait qu'elle comporte en outre des moyens de calcul de la correction à apporter à la position du palpeur (27), d'une part, dans la direction yy' et, d'autre part, dans la direction zz', cette dernière étant calculée en fonction de la longueur du bras (170) et de la torsion de la tour (71), l'angle de cette torsion étant égal à la différence entre les écarts transversaux du premier et du troisième faisceau mesurés par lesdits moyens photo-électriques, divisée par la distance séparant lesdits moyens.