JPH01196502A - 無接触で幾何学的輪郭を検査する方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、装置と被験部品の間の接触なしに部品の幾何
学的輪郭を測定又は検査する方法とこの方法を実施する
ための装置に係る。

部品の幾何学的輪郭を測定ないし検査する公知方法の大
部分は、部品へのセンサの接触と、接触方向に対して垂
直な部品の移動の関数としてのこのセンサの移動の測定
とによって行われる。

例えば検査すべき輪郭がゆがんだ部品の輪郭であるか、
検査テンポの保持が要求されるか、あるいはざらに検査
すべき部品が非常に脆性を有していたりする場合には、
このタイプの検査法があまり適当でない場合がかなり多
い。

この仮定は、例えば航空技術において用いられる中空翼
の成型用中子として用いるためのセラミックコアを制御
する場合に見い出される。ターボジェットエンジンの高
熱部（例えばａｒ′ｒタービン羽根）では、羽根の中空
部を横切ってｖｌ環する冷却流体によって冷却される翼
が使用される。これらの翼を鋳造で作るためには、翼の
内部空洞の形状に合わせてセラミックコアを製作する。

これらのコアの幾何学的規定はごく僅かなばらつきで極
端に角現的でなければならない。何故ならコアの形状は
鋳造された翼の内壁の厚さ、それ故翼が規則的かつ適正
に冷却され得る能力が左右されるであろうからである。

それ故、単位毎の検査が不可欠である。

ところがこれらのコアは極端にこわれやり゛い。

何故ならセンサによって１３グラムの圧力が課されるだ
けで、もうこれらのコアを損傷ないし変形するのに充分
であることが統計的に証明されているからである。

それ放水発明は、例えば鋳造用セラミックコア、又はタ
ーボジェットエンジンの翼又はその他の無接触検査を必
要とするすべての部品の幾何学的輪郭を無接触で検査す
るための方法及び装置を備えることを目的とする。

本発明はそのうえ大規模大量生産部品の単位検査のため
高速検査を可能ならしめる完全に自動化された無接触検
査装置を実現することをも［１的とする。

本発明はまた、部品の曲率を考慮するため、−定又は可
変測定ビッヂで断面ごとに部品を検査することを可能に
することを目的とする。このようにして曲率半径の大き
い面を検査するためには４又は５厘のピッチを選択する
ことができ、大きい曲率のあるいは面の不規則性をもつ
表面についてはもっと小さい、１馴さらに２ミクロン（
「ルーべ」効果）のピッチを用いることができよう。こ
のとき場合によっては、表面の不規則性が大きいピッチ
から細かいピッチへの移行を必要とすることが装置によ
って確認されるときには、部品の位置決めを後方へ戻す
こともある。

本発明は又先の指摘の通り、翼又はセラミックコアのよ
うな曲がり部品を内側弧面と外側弧面と同様に前縁と後
縁も測定することによって、さらに部品の幾何学形をト
レーステーブル上に連続曲線の相対回転及びこれらの曲
線の回復によって再構成することによって検査すること
を可能にすることを利点とする。

それ放水発明は、少なくとも部分的に光線を反射する部
品の断面の幾何学的輪郭の無接触測定ないし検査方法を
目的としており、以下を特徴とする。即ち、 ａ）　３つの並進運動自由度Ｘ、Ｙ、Ｚと、その垂直軸
Ｙに関する１つの回転運動自由度θをもつ測定台上に試
験片を置く。

ｂ）軸Ｚに平行な水平集束光線を発生する、少なくとも
１個の光源を用いて一点で部品を照明する。

Ｃ）反射光線に対して垂直な垂直面ＺＹ内に配置された
、少なくとも１個の光電検出装置を用いて部品によって
反射された光線を収集する。前記検出装置は相互に一定
ピッチで距たるホトダイオードから成るバー即ち測定バ
ーによって構成される。

ｄ）部品によって反射された光線の最大強度を受信した
ホトダイオードの指数’ｄｍ並びに軸Ｘによる部品の位
置決め指数ｉｘを」ンビュータを用いて記録する。

ｅ）部品を軸Ｘに従い、１測定ピツチだけ移動し、作ｆ
ｆ１ｃ）及びｄ）を反復する。

ｆ）作業ｃ）、　ｄ）、及びｅ）を、軸Ｘに従う部品の
寸法が測定ピッチの何倍にあたるかによってその倍数だ
け行う。

次に部品の完全輪郭を測定するため、次の作業を行う。

ｇ）部品を９０°だけ回転θさせ、作業Ｃ）〜ｆ）を部
品が完全に１回転し、部品の４面に従って前記測定が記
録されるまで繰り返す。

本発用は、そのうえ先に大すじを示した方法の実Ｍ装冒
をも目的としており、本装首は主として、−少なくとも
１個の、部品を水平に照明することのできる集束光源。

一軸Ｘに従って水平方向にスライドすることができる第
１テーブルを支えるブラケットが垂直方向にその上をス
ライドすることができる少なくとも１本の垂直はつから
成る部品の支持台。前記第１テーブルはＺにおいて水平
方向にスライドする第２テーブルを支え、第２テーブル
は軸Ｙに関して回転的に取付けられた円形テーブルを支
える。

−少なくとも１つの検出装置。前記装置は部品によって
反射された光線に対して直交方向に垂直面内に配置され
た光電検出バーと、電子制御装置を含む。

−Ｘ、Ｙ、Ｚの移動を制御し、支持台の位置情報を記録
する部品支持台と結合しかつ検査装置と結合して前記装
置のそれぞれのホトダイオードの指数’ｄｍを記録づる
ためのコンビエータ。

その外の特徴及び方法並びに装置について添付図面を参
照して以下に詳しく説明する。

本発明方法は、一方ではある種の材料とくに金属合金又
はセラミックの表面が受けた光線を反射するという事実
及び、他方ではレーザから発出されるような円筒光線束
によって作り出される照明がガウス形状断面をもつとい
う事実から出発している。従ってレーザ光しによってダ
イオードバーを照射すれば、光軸上に集中する中央ダイ
オードの周囲にガウス曲線に従う出力信号の強度の減少
分布が認められるであろう（第２図参照）。

このようにして集束されたレーザ光によって段階状にさ
れた円筒形キーを一点で照射すれば（第１図）、表面を
Ｐ。において直角に截る光線は反射され、かつ垂直面に
おいて４５°で測定されることができ、さらに表面Ｓ上
で１〕ｏの空間内位置の特性点Ｐ′ｏにおいて測定され
ることができる。

キーをΔ　だけ垂直方向に移動し、かつ光線が下段の点
Ｐ１を截るならば、反射光は面Ｓを点Ｐ′　において截
り、これがＰｌの位置の特性となるであろう。

面ＳがダイオードバーＤ１によって［）ｎに置き換えら
れると、すべてが同一ピッチ間隔をあけられ、ダイオー
ドＤ　の指数ｉｘを知って部品によって反射される光の
最大量を受け、このようにして部品のＸ、Ｙ、Ｚ、θに
おける位置決め参照値を知って対象点Ｐ。のスペース内
位置決めを正確に決定することができるであろう。これ
らの作業を１ピツチずつ反復することによって（第１図
の装置のθについて）、隣接点Ｐ、の曲線を再構成する
ことができよう。

このようにして同−断面上で少しずつ（Ｙを一定として
）、断面の幾何学的輪郭を再構成することができよう。

部品が第１図の具体例のように円形でない場合には、但
しタービン羽根のように平行ないし擬似平行面を有して
いれば、面から面へ測定を行うことができよう。このよ
うにして部品を位置決めした後、光源に内側弧面を向け
、Ｘにおいてピッチごとにすべての内側弧面を検査した
侵、前縁を検査するため部品を９０”回転し、次に外側
弧面を検査するため新たに９０゛回転し、次に後縁を検
査するためもう一度回転する。

′　部品の各断面に対し、希望する測定精度に等しいピ
ッチで垂直軸Ｙに従い、部品の完全な表現が得られるま
で同じ作業を再開する。

この基礎原理を実施するため、好ましい具体例に従って
第３ａ図〜第５図に表された装置が実現される。

組付は台１上には垂直はり３を含む部品を支えるベツド
２が配置されておる。はり３上には垂直軸Ｙに従ってｔ
−タ４の作用の下で、ブラケット５上をモータ７を用い
て軸Ｘに従ってそれ自体が移動することができる第１テ
ーブルらを支えるブラケット５がスライドづることがで
きる。テーブル６はｔ−夕９を用いて１ミクロンのピッ
チで水平軸Ｚに従って移動することができる第２水平テ
ーブル８を支えている。テーブル８上には、モータ１１
の作用で１／１０度のピッチで垂直軸Ｙに関して、それ
自体回転的に取付けられた円形テーブル１０が固定され
ている。

部品１２（ここでは目盛階段）はテーブル１０上に配置
され、Ｘ、Ｙ、Ｚ、θの４種類の可能な運動をもつ。

光源はここでは、第１水平はり１４を含むベース上に配
置された波長６３０ｎｍのヘリウムーネオンレー１ｆ１
３によって構成され、このはり上には調節ブラケット１
６を用いて軸Ｘに従って位＠調節が可能へ垂直はり１５
が取付けられている。はり１５はレーリ“１３が先端に
配置された第２水平はり１７を支える。

レーザは、スリーブ２０内に配置されたレンズセット１
８〜１９を含んでＪ３す、６０ミクロンの直径にわたっ
て発出される光線をレンズ１９からここまで８００ｍｍ
距たる部品Ｆに焦点を合わせる。

レーザ１３は垂直方向に偏光されるヘリウム−ネオン形
で、ポラロイドフィルタ２１又はその他のブラッグ（Ｂ
ｒａａｇ）のセルのような音響光学減衰器が、モータ２
３によって制御され且つ垂直はり１５に配置された回転
ホルダ２２に取付けられる。このボラ「】イドフィルム
はヘリウム−ネオンレーザがら送出される入射光線の強
度を調節するため減衰器の役割を果す。

垂直はり１５は定規２４を４５９に支える。該定規は垂
直面ＹＺ内に配置され、その傾斜辺がレール２５を含み
、このレール上を検出装置を構成するホトダイオードバ
ー２７を支える定規２６がスライドする。

この検出装置２７の位置はモータ２８を用いて＠Ｘと平
行に、そして調節ローレット２９を用いで垂直面内で反
射される光線の光学軸に対して垂直に調節可能である。

レール２５はそのうえ部品１２と測定バー２７との間に
回転レンズ３０と、少なくとも２５倍拡大率の顕微鏡対
物レンズ３１とを支えておる。この対物レンズは、図示
の例では１０ミクロン間隔の１７２８個のホトダイオー
ドを備えた測定バーに対して装置に求められる測定精度
を与えるため反射光線角度増幅器の役割を果す。

１７２８個のダイオードのバーは軸Ｚに従って’３ｍｍ
の輪郭のばらつきを検出することを可能ならしめ、１ダ
イオードの移動は５ミクロンの輪郭変化に対応する。さ
らにそれ以トの細密度が求められる場合は、より大きな
角度増幅器を配置すれば充分であろう。

ベースはさらに、Ｘ射光線の光学軸に対して垂直に、部
品１２の背後に配置された２５６個のダイオードの第２
バー３３を支える垂直アーク３２を含む。

この第２バーは、いわゆる実習バーであって、測定面の
幅に対応するテーブルらのＸにおける位置決め指数ｉｘ
ｌ及びｉｘｎを前測定投影によって決定づるためのもの
である。

第５図を参照すれば、測定バー２７又は実習バー３３の
それぞれは、コンピュータ３５に屈するクロック３４に
よって同期化される制御電子装置（それぞれ２７′　及
び３３′）と結合している。クロック３４はそのうえ、
それぞれＹ、Ｘ、Ｚ及びθにおける部品の移動を行うモ
ータ４，６，９．１１のステップ制御をも同期化づる。

コンピュータ３５は、測定バー２７の出力信号、即ちダ
イオードの照明振幅の１７２８個のレベルＡｉ及びダイ
オードの１７２８個の位置決め指数ｉ　、を受ｄｍ＋ 信するアナログディジタル変換器３６に接続する。

変換器３６はそのうえ実習バー３３から生じる同様のパ
ラメータをも受信づる。

コンピュータ３５はプリンタ３７及びトレーステーブル
３８に接続しており、テーブル上には被験部品の断面形
状が再構成される。

このように説明した装置は次の方法で実施される。

先ず第１にテーブル上に直径１履の基準ボールを置いて
、ボールによって反射された光束がバーの中央ダイオー
ド上に集中するようにして、レーザ１３と測定バー２７
の位置決め調整を行い、最大振幅を受取るダイオードの
指数１ｄｔコンピユータによって検汀し、ローレット２
９庖用いてバー２７を移動する。

次にテーブル上に被験部品を配置し、部品の２つの縁に
対応するデープル６のＸにむける移動指数ｉｘｌ及びｉ
ｘｎを投影法によって位置決めする。

このため、実習バー３３を使用し、そのときまで反射さ
れていた入射光線が実習バーに達するまで、テーブルら
をＸの方向に移動する。コンピュータはテーブル６の指
数ｉｘｌ及び、光線の最大振幅を受信した実習バーの第
１ダイオードの指数’ｄａｌを記録する。次にＸを部品
の別の方向に移動する。

入射光線は部品のもう１つの縁が向き合うまで部分によ
って再び覆い隠され、これは部品のＸにおける位置決め
指数ｉ　及び実習バーの指数’　ｄａｎｎ に対応する。

コンピュータによって記録されたこれらのデータ’　ｘ
ｌ、’　ｘｎ、’　ｄａｔ　、’　ｄａｎから出発して
、＝１ンビュータは適正プログラムによって、つづい℃
測定バーによって測定が行われるとぎ、指数’　ｘｉ’
　ｘｎに対応する部品の寸法を決定することがぐぎ、こ
れらの寸法のうらバー２７によって行われた測定は部品
の幾何学的輪郭の実際点に相当する。

次に本来の意味での測定に移る。指数ｉｘｌに対応する
部品の位置決めから出発して指数ｉｘｎに対応する位置
まで、テーブル６を１ピツチずつずらし、次に測定バー
２７上で１ピツチ毎に１対の情報、即ち最大照明振幅／
この撮幅ピッヂを受けたダイオードの指数１．□ｊ、を
収集し、これらのデータはコンピュータ内に記憶される
。王手情報（ｉｘｌ。

ｉｄ□ｊ、＠大振幅）から出発して、装置は部品の対象
点に一致させることができる。このようにして１点ずつ
、部品の測定面の幾何学的曲線が再構成される。

装置は、小さい曲率については、Ｘへの前進が例えば１
ｍｍのようなかなり大きなピッチで行われるように、ま
た曲率の大きな変化が検出されたとき、前進が非常に曲
がった部分上でより大きな測定精度をもつことができる
ように、例えば１／１００Ｍのピッチに修正されること
ができる。

第１の面の全体が測定されたどき、即ちコンピュータが
指数’　ｘｎ”達せられたことを確認したとき、部品を
９０°このように回転させながらモータ１１の始動を制
御する。それから実習作業と測定作業が測定位置の面に
ついて反復され、次に２つの最少の面が回転デープルを
新たに９０°回転した後、同様の方法で測定される。

部品の幾何学的体積の測定が望まれる揚台は、ｚ 前記部品を面層と平行な断面に分割し、部品が断面を数
えるのと同じ回数だけ先行作業を連続移動によってＹに
おける測定ピッチで行い、次にコンピュータの図形出力
を用いて輪郭又は各断面の重ね合わされた輪郭を描いて
部品の幾何学形の三次元空間における図を再構成する。

コンピュータが各面を点ごとに再構成するために必要な
すべてのデータを記録すると、あとは９０°の位相ずれ
によって得られた４つの曲線を秩序立てて、トレーステ
ーブル３８上に完全な輪郭を再構成づれば充分である。

この種の曲線の再構成の１例を、その全体形状が第６ｂ
図に再構成されている鋳造用コアについて第６ａ図に示
す。第６ａ図では、第６ｂ図のコアのレベルＡ及びＢで
測定した２つの断面が重ね合わされた。

各断面は先に説明した通り、面Ａ、Ａ２゜Ａ３．Ａ４次
にｓ、、ｓ２．ｓ　　、Ｂ４のそれぞれの連続測定によ
って測定された。

断面１を参照すれば、再構成された各面はコンピュータ
によって再位置決めされる。面の８対の交点において、
各断面の幾何学的輪郭の復元度を優れたものとする重な
り精度をもつ曲線の重なり点がＴｆ１ｇ２ｉされ、この
場合の測定ビッヂは１／　１００倣であった。

また同様に、各断面の空間位置を正確に再生し得ること
も確認される。このことは断面Ａ及びＢの重ね合わせと
第６ｂ図上のそれらの実際の位置とを比較づることによ
って確認される。

このようにして被側定部品１２はテーブルのすべての位
置に位置決めされることができ、これが調整装置や中心
決め装置をすべて避けさけることになる。

同じ測定原理を用いて、先に説明した装置の変形例をつ
くることができる。

このようにして同一物体の２つの対向面を同時に検査し
たいと望むことができる。これは異なる２つの方法で行
うことができる。即ち、第７図を参照すれば、光源しは
先の場合と同様ヘリウム−ネオンレーザであっても、ダ
イオードレーザであってもよい。だが、部品の両側に向
き合う２つの入射光線を導く２本の光ファイバ４１゜４
２を従えた分離器ブロック４０を備えている。従って検
出装置は部品の両側に測定ダイードの２本のバー２７を
含んでおり、コンピュータのソフトウェアは各面に対応
する測定値の同時記録に適合される。

いま第８図をを参照すれば、これは第２変形例であって
、レーザ１３から発する同一光束が半反射鏡４３によっ
て２つの対称光束４４．４４’　に分離され、これらは
２個の凹レンズ４５によって各物体表面上に焦点合わゼ
されるようにして部品の各面上に送られる。先の場合と
同様に、２個の測定バー２７が検出のために利用される
。

以上説明した種類の方法は、図形表示器上での輪郭の目
視検査への応用のみに限定されない。

このようにしてコンビ１−夕のソフトウェアを簡単に適
応するだけで、部品の２つの縁の位置決めをＸ、ｉｘの
同一寸法で相互に関連させ、部品の９さをこの寸法ｉ　
ｘで検査するようにすることができる。このことは部品
の２つの対向面の間に、内接円を計算によって事実１〕
入れることによって行うことができ、従ってコンピュー
タは部品を受入れるか拒絶するか指示を与えるプリンタ
Ｆに含まれる。

同じ内接円の技術は、例えば羽根の前縁又は復縁の曲率
半径を検査するために用いられることができ、このよう
にしてへり角が部品の設計時に予想された角度より鋭く
ならないことを確認することができる。

さらに、以上の具体例は、部品の唯−度の瞬間測定を部
品を４回転するごとに行うことによって、あるいは２度
の同時測定を２回転ごとに行うことによって、１つの輪
郭を確認することを日桁している。

コンピュータのソフトウェアは、より多くの回転数、例
えば６０４で６回転、あるいは４５°で８回転、あるい
はそれ以上を、検査すべき輪郭の複雑度に応じて受入れ
ることができることは、全く明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施上の基礎である三角測量の原理
図、第２図は、円筒光線束による部品の照明のガウス分
布図、第３ａ図は、測定装置の正面図、第３ｂ図は、測
定バーとそのホルダを表す第３ａ図のへへ線に従う断面
図、第３Ｃ図は、検出装置とその角度拡大レンズのＦに
従う断面図、第４図は、第３ａ図のＦｌに従う異なる縮
尺での断面図、第５図は、輪郭の検査とデイスプレーを
行うコンピュータへの電気結線を備えた第３ａ図の装置
のきわめて概略的な説明図、第６ａ図は、本発明方法を
用いて第６ｂ図の輪郭をもつセラミックコアの２つの断
面をトレーステーブルに視覚化した１例を示す説明図、
第７図は、同一部品の向きあう２面を同時に測定するこ
とをｑ能にする装置の第１変化型の説明図、第８図は、
第７図の装置と同じ１］的に応える第２変化型の説明図
である。 １・・・・・・組付は台、１２・・・・・・被験部品、
Ｌ、１３・・・・・・ヘリウム−ネオンレーザ、２７・
・・・・・光電検出装置、３５・・・・・・コンピュー
タ、３８・・・・・・トレーステーブル。 ＦＩＧ：２

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. （１）光線を少なくとも部分的に反射することのできる
   部品の断面の幾何学的輪郭を無接触で測定ないし検査す
   る方法であつて、 ａ）３つの並進運動Ｘ，Ｙ，Ｚの自由度とその垂直軸Ｙ
   に関する１つの回転運動の自由度θをもつ測定台上に部
   品を置き、 ｂ）軸Ｚに平行な水平集束光線を発生する少なくとも１
   個の光源を用いて定点で部品を照明し、ｃ）反射光線に
   対して垂直な垂直面ＺＹ内に配置された少なくとも１個
   の光電検出装置を用いて部品によつて反射された光線を
   受取り、前記検出装置は相互に一定ピッチで距たるホト
   ダイオードから成るバー即ち測定バーによって構成され
   る、ｄ）部品によって反射された光線の最大強度を受信
   したホトダイオードの指数ｉ＿ｄ＿ｍ＿ｊ並びに軸Ｘに
   よる部品の位置決め指数ｉ＿ｘ＿ｉをコンピュータを用
   いて記録し、 ｅ）部品を軸Ｘに従って１測定ピッチだけ移動し、作業
   ｃ）及びｄ）を反復し、 ｆ）作業ｃ），ｄ）及びｅ）を、軸Ｘに従う部品の寸法
   が測定ピッチの何倍にあたるかによってその倍数回だけ
   行うことを特徴とする方法。
2. （２）部品の完全輪郭を測定するため、 ｇ）部品をθ、９０°だけ回転させ、作業ｃ）〜ｆ）を
   部品が完全に１回転し且つ部品の４面に従って前記測定
   が記録されるまで反復することを特徴とする特許請求の
   範囲第１項に記載の方法。
3. （３）ｈ）図形出力を備えたコンピュータを用いて、測
   定された断面の輪郭に対応する測定曲線を復元すること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項に記載の
   方法。
4. （４）部品の幾何学的体積を測定するため、ｉ）前記部
   品を面ＸＺに対して平行な断面に分割し、さらに測定ピ
   ッチをＹにおいて連続的に移動することによって部品の
   断面の数と同数回だけｃ）〜ｈ）の作業を行う。 ｊ）コンピュータの図形出力を用いて、部品の幾何学形
   の３次元空間内に図を再構成するため輪郭又は各断面の
   重なり合う輪郭を作図することを特徴とする特許請求の
   範囲第１項第３項のいずれか一項に記載の方法。
5. （５）測定に先立つて、部品の背後に入射光束に面して
   配置された光電検出装置の集まりいわゆる実習バーを用
   いる投影によって軸Ｘに従う部品の位置決めの指数ｉ＿
   ｘ＿ｌ及びｉ＿ｘ＿ｎを決定し、前記指数ｉ＿ｘ＿ｌ及
   びｉ＿ｘ＿ｎは部品の各縁にそれぞれ対応し、測定バー
   によって実施される測定の間で部品の輪郭の実際値に対
   応する値を決定するためコンピュータに前記指数を伝達
   することを特徴とする、特許請求の範囲第１項から第４
   項のいずれか一項に記載の方法。
6. （６）部品の両側に配置された２個の光源と、部品の向
   き合う２面の輪郭の記録を同時に行うための２個の測定
   バーとを使用することを特徴とする特許請求の範囲第１
   項及び第３項から第５項のいずれか一項に記載の方法。
7. （７）−部品を水平に照明することができる少なくとも
   １個の集束光源と、 −軸Ｘに従って水平方向にスライドすることができる第
   １テーブルを支えるブラケットから垂直方向にその上を
   スライドすることができる少なくとも１本の垂直はりか
   ら成る部品支持台であって、前記第１テーブルがＺにお
   いて水平方向にスライドする第２テーブルを支え、第２
   テーブルが軸Ｙに関して回転的な円形テーブルを支えて
   いる該部品支持台と、 −部品によって反射された光線に対して直交方向に垂直
   面内に配置された光電検出バーを含み、さらに電子制御
   装置を含む少なくとも１個の検出装置と、 −Ｘ，Ｙ，Ｚにおける移動を制御し、さらに部品支持台
   の位置情報を記録するため前記部品支持台と結合し、さ
   らに検出装置の各光電ダイオードの指数ｉ＿ｄ＿ｍ＿ｊ
   を記録するため前記検出装置と結合したコンピュータと
   を含むことを特徴とする特許請求の範囲第１項から第４
   項のいずれか一項に記載の方法実施のための装置。
8. （８）コンピュータが出力側に、各測定断面の輪郭に対
   応する測定曲線を復元することができるトレーステーブ
   ルを含んでいることを特徴とする特許請求の範囲第７項
   に記載の装置。
9. （９）光源が、偏光子を備えるヘリウム・ネオンガスレ
   ーザであることを特徴とする特許請求の範囲第７項又は
   第８項に記載の装置。
10. （１０）光源が、部品の方への光束の伝達のため少くと
    も１本の光ファイバを備えるダイオードレーザであるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第７項又は第８項に記載
    の装置。
11. （１１）ダイオードレーザが、１個の分離ブロックと、
    部品の１面をそれぞれ照明する２本の光束の伝達のため
    の２本の光ファイバとを備えており、部品の２面の同時
    的検査を目指すことを特徴とする特許請求の範囲第１０
    項に記載の装置。
12. （１２）各測定バーが、一定のピッチで間隔をとった１
    ７２８個のダイオードより成ることを特徴とする特許請
    求の範囲第７項から第１１項のいずれか一項に記載の装
    置。
13. （１３）測定バーが、部品によって反射された光線の角
    度差を増幅することのできる×２５以上又はそれに等し
    い倍率の対物レンズを備えていることを特徴とする、特
    許請求の範囲第１２項に記載の装置。
14. （１４）部品の対向する２面の同時測定のため部品の両
    側に配置された２個の測定バーを含んでいことを特徴と
    する、特許請求の範囲第１１項から第１３項のいずれか
    一項に記載の装置。
15. （１５）部品の背後に入射光束に面して配置された第２
    の光電検出装置の集まり、いわゆる実習バーを含んでお
    り、前記実習バーは、入射光束と実習バーとの間の軸Ｘ
    に従う部品の移動による投影によって部品の各縁に対応
    する指数ｉ＿ｘ＿ｌ及びｉ＿ｘ＿ｎを決定するためコン
    ピュータに結合することを特徴とする、特許請求の範囲
    第７項から第１０項のいずれか一項に記載の装置。
16. （１６）−第１はりと平行であってかつ軸Ｘと平行に調
    節可能な第２水平はりを支え、第２はり上に光源が配置
    されている、軸Ｚと平行な第１水平はりと、 −高さ調節可能の扁光子支えを支持し、さらに同じく高
    さ調節可能の４５°に向き付けされたホルダを含んでお
    り、前記ホルダが測定バーを支え、さらに反射された光
    線の光軸上にバーから距たる調節手段を含んでいる垂直
    はりと、 −部品の支持台と、 −実習バーのためのホルダで、光源に対して組付け台の
    反射側の端に配置されている該ホルダとを含む組付け台
    を含んでいることを特徴とする、特許請求の範囲第７項
    から第１５項のいずれか一項に記載の装置。
17. （１７）部品の対象面の基準決め手段を含んでおり、前
    記手段が、テーブルの中央に配置されかつ対象面によっ
    て反射された光線を受光する光軸の調節のため空間的基
    準を提供することができる基準ボールによって構成され
    ることを特徴とする特許請求の範囲第１６項に記載の装
    置。