CH673701A5

CH673701A5 -

Info

Publication number: CH673701A5
Application number: CH2169/87A
Authority: CH
Inventors: Gerhard Hild
Original assignee: Pfeiffer Vakuumtechnik
Priority date: 1986-07-03
Filing date: 1987-06-09
Publication date: 1990-03-30
Also published as: US4818223A; AT394321B; GB8715491D0; GB2194027A; JPS6325488A; IT8720961A0; ATA130587A; FR2601120B1; FR2601120A1; GB2194027B; NL8701487A; IT1205060B; DE3622339A1

Description

BESCHREIBUNG In Fig. 1 ist die Kammer mit 1 bezeichnet, in der eine Char-

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung nach dem Oberbe- ge 2 unter Einwirkung von heissem Gas behandelt wird. Durch griff des 1. Patentanspruches. In einer Kammer wird eine Char- 45 eine Heizvorrichtung 3 wird der Innenraum der Kammer auf ge unter Einwirkung von heissem Gas behandelt. Dabei wird die für die Behandlung charakteristische Temperatur gebracht, das heisse Gas durch eine Einlassvorrichtung der Charge zuge- Über den Anschluss 4 kann die Kammer wahlweise evakuiert führt. Die Kammer kann dabei unter Unterdruck oder Über- oder unter Überdruck gesetzt werden. Innerhalb der Kammer druck stehen. befinden sich die Gaseinlassöffnungen 5. Durch einen Gasvor-

Man kann Chargen einer Wärmebehandlung und/oder che- so wärmer 7 wird das eingelassene Gas erhitzt. Das Dreiwege-Ven-mischen Behandlung unterziehen, indem man sie dem Einfluss til 8 dient zum Verteilen des Gasstromes. Dabei muss dieses von erhitzten Gasen aussetzt. Dies geschieht einmal dadurch, Ventil eine spezielle Ausführungsform besitzen, welche nachfol-dass die Charge sich in einem Wärmebehandlungsofen befindet, gend beschrieben wird, da es innerhalb der Heizvorrichtung 3 in welchem eine statische Gasatmosphäre erhitzt wird. Anderer- betrieben und vom heissen Gasstrom durchflössen wird. Das seits kann man die Charge einem konstanten heissen Gasstrom ss Ventil wird so geschaltet, dass die Charge 2 einmal von der lin-aussetzen, der durch geeignete Einlass- und Austrittsöffnungen ken Seite her und einmal von der rechten Seite her von dem innerhalb einer Kammer erzeugt wird. heissen Gas umspült wird.

Es sind Anlagen bekannt, bei denen ein Wärmebehand-igsofen mit einem System von Gaseinlass- und Gasaustri Öffnungen ausgestattet ist. Das Gas wird zunächst über einen 60

. . _ ^ _ . , , _ x . Entsprechend den Gasemlassoffnungen 5 und dem Dreiwe-

lungsofen mit emem System von Gasemlass- und Gasaustntts- .., D , .. „ . ... .... , .

„„6 , ~ „ . , .. , x ... . ge-Ventil 8 können Gasaustrittsoffnungen und ein weiteres

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Gasvorwärmer erhitzt, dann von einer Seite her eingeleitet und

Dreiwege-Ventil zum Abführen des Gases vorhanden sein. Wei-

, , , _ . _ , ... terhin kann die Steuerung des Gaseintrittes und des Gasaustrit-

so der zu behandelnden Charge zugefuhrt. Auf der gegenüber- . , , , . „ , , ,, ... -,

. „ . , _ .. IT . , „ tes auch durch ein System von mehreren Ventilen erfolgen, hegenden Seite tritt das Gas wieder aus. Um eine bessere Verteilung des Gasstromes zu erreichen, kann das Gaseinlasssystem in Abb. 2 zeigt das Heissgasventil 8. An einem Gehäuse 10 der Mitte des Ofens angebracht sein. 65 sind ein Gaseinlassstutzen 14 und zwei Gasaustrittsstutzen 15,

Der Gasstrom verläuft dann von der Mitte her symmetrisch 16 angebracht. Innerhalb des Gehäuses 10 befindet sich der nach beiden Seiten über die Charge und tritt an gegenüberlie- Ventileinsatz 11, welcher auf der Gaseinlassseite mit zwei Öff-

genden Seiten aus. nungen 17 und auf der Gasaustrittsseite mit einer Öffnung 18

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versehen ist. Über eine Drehachse 13 kann der Ventileinsatz 11 in solche Positionen gebracht werden, in denen der Gaseinlassstutzen 14 entweder mit dem Gasaustrittsstutzen 15 oder mit dem Gasaustrittsstutzen 16 verbunden ist. Das Gehäuse 10 und der Ventileinsatz 11 sind aus einem Metall (vorzugsweise warmfester Stahl oder Molybdän), welches für den Betrieb bei hohen Temperaturen von über 1000°C geeignet ist. Die äussere Oberfläche des Ventileinsatzes 11 ist mit einer Beschichtung 12 aus Keramik versehen.

Als weitere Ausführungsform kann die äussere Oberfläche des Ventileinsatzes 11 mit einer anderen verschleiss-mindernden 5 Schicht, wie z.B. einem Metalloxid oder Metallnitrit, versehen werden, oder der Ventileinsatz 11 kann ganz aus Keramik bestehen.

1 Blatt Zeichnungen

Claims

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PATENTANSPRÜCHE Diese Verfahren haben den Nachteil, dass die Homogenität

1. Einrichtung zum Behandeln von Gegenständen unter der Gasverteilung sehr unzureichend ist. Ausserdem ergeben Einwirkung von heissem Gas, bei der in einer Kammer eine sich dabei gerichtete Gasströmungen, welche für viele Verfah-Heizvorrichtung, innerhalb derer sich die zu behandelnden Ge- ren als Störfaktor anzusehen und somit unerwünscht sind. Ins-genstände befinden, und ein Anschluss zum Evakuieren oder 5 besondere ist bei zahlreichen chemischen Prozessen eine allseiti-unter Überdrucksetzen der Kammer angebracht sind, dadurch ge homogene Umspülung der Chargen mit einem an der Reak-gekennzeichnet, dass in der Kammer innerhalb der Heizvorach- tion beteiligten Gas von grosser Wichtigkeit.

tung (3) mindestens ein als Dreiwege-Ventil ausgebildetes Heiss- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung gasventil (8) zum Zuführen von Gas vorhanden ist. zu konstruieren, mit der es möglich ist, in einen Wärmebehand-
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, 10 lungsofen einen heissen Gasstrom so über eine Charge zu leiten, dass sich in der Kammer zusätzlich noch mindestens ein Heiss- dass die Homogenität der Gasverteilung erhöht wird und im gasventil zum Ableiten von Gas befindet. Mittel kein gerichteter Gasstrom entsteht.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale der dass in der Kammer mehrere als Dreiwege-Ventile ausgebildete Ansprüche 1 und 4 gelöst. Die übrigen Ansprüche stellen Va-Heissgasventile zum Zuführen und Ableiten von Gas vorhanden 15 rianten der Erfindung dar. Durch die erfindungsgemässe Einsind. richtung wird es möglich, dass in der Kammer innerhalb der
4. Dreiwege-Ventil zur Steuerung eines heissen Gasstromes Heizvorrichtung der heisse Gasstrom so umgeschaltet werden für eine Einrichtung nach Anspruch 1, bestehend aus einem Ge- kann, dass er abwechselnd von der einen oder der anderen Seite häuse mit einem Gaseinlassstutzen und zwei Gasaustrittsstut- die Charge durch- bzw. umströmt.

zen, einem Ventileinsatz, welcher innerhalb des Gehäuses dreh- 20 Somit wird im Mittel ein gerichteter Gasstrom vermieden bar angeordnet ist und auf der Gaseinlassseite mit zwei Öffnun- und eine ausreichende Homogenität der Gasverteilung gewähr-gen und auf der Gasaustrittsseite mit einer Öffnung versehen ist leistet.

und mit einer Drehachse, durch welche die Stellung des Ventil- Da die Gasströme vorher erhitzt werden müssen, befinden einsatzes gegenüber dem Gehäuse so verändert werden kann, sich in der Kammer ein Gasvorwärmer und ein oder mehrere dass der Gaseinlassstutzen (14) abwechselnd mit dem einen Gas- 25 geeignete Heissgasventile, welche die Gasströme steuern. Die austrittsstutzen (15) und dem anderen Gasaustrittstutzen (16) Heissgasventile sind als Dreiwege-Ventil ausgebildet und beson-verbindbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (10) ders für den Betrieb bei hohen Temperaturen (1000°C bis und der Ventileinsatz (11) aus Metall bestehen, welches für den 1800°C) geeignet.

Betrieb bei Temperaturen von über 1000°C geeignet ist, und die Bei herkömmlichen Ventilen dieser Art ist ein Betrieb bei äussere Oberfläche des Ventileinsatzes (11) eine Beschichtung 30 diesen Temperaturen nicht möglich, da Ventileinsatz und Ven-(12) aus Keramik trägt. tilteller sich berühren und bei hoher Temperatur miteinander
5. Dreiwege-Ventil nach dem Oberbegriff des Anspruchs 4, verschweissen können. Um dies zu verhindern, wurde erfin-dadurch gekennzeichnet, dass die äussere Oberfläche des Ven- dungsgemäss die äussere Oberfläche des Ventileinsatzes mit tileinsatzes (11) eine Beschichtung aus verschleissminderndem einer Keramikschicht oder einer anderen verschleiss-mindernden Material trägt. 35 Schicht versehen. Das Ventil führt den heissen Gasstrom jeweils
6. Dreiwege-Ventil nach dem Oberbegriff des Anspruchs 4, der einen oder der anderen Gaseinlassöffnung zu.

dadurch gekennzeichnet, dass der Ventileinsatz (11) vollständig Anhand der folgenden Abbildungen soll die Erfindung nä-

aus Keramik besteht. her erläutert werden:

Es zeigen:

40 Fig. 1 schematischer Querschnitt der erfindungsgemässen Einrichtung.

Fig. 2 Querschnitt des Heissgasventils.