CH675483A5 - - Google Patents

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Publication number
CH675483A5
CH675483A5 CH4768/88A CH476888A CH675483A5 CH 675483 A5 CH675483 A5 CH 675483A5 CH 4768/88 A CH4768/88 A CH 4768/88A CH 476888 A CH476888 A CH 476888A CH 675483 A5 CH675483 A5 CH 675483A5
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CH
Switzerland
Prior art keywords
steam
chamber
identification medium
making air
steam generating
Prior art date
Application number
CH4768/88A
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English (en)
Inventor
Fujio Matsumura
Naoki Sugita
Yutaka Hatta
Original Assignee
Midori Anzen Kogyo
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Filing date
Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M9/00Aerodynamic testing; Arrangements in or on wind tunnels
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P13/00Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
    • G01P13/02Indicating direction only, e.g. by weather vane
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C7/00Methods or apparatus for discharging liquefied, solidified, or compressed gases from pressure vessels, not covered by another subclass
    • F17C7/02Discharging liquefied gases
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q

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  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Description

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CH 675 483 A5
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Beschreibung
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Sichtbarmachen von unsichtbaren Luftströmen, und insbesondere eine Vorrichtung die das visuelle Erkennen von Luftströmen in Reinräumen für industrielle Zwecke, sogenannte «clean rooms», mittels zu diesem Zweck hergestelten, besonders reinen Nebels ermöglicht.
Beispielsweise bekannter Vorrichtungen zum visuellen Erkennen unsichtbarer Luftströme sind:
1) Eine Vorrichtung, bei der Mücken abwehrender Duftrauch verwendet wird;
2) eine Vorrichtung, bei der durch Reaktion von Chemikalien, wie z.B. Titantetrachlorid, entstehender Rauch verwendet wird;
3) eine Vorrichtung, die durch Erhitzen von Öl erzeugten Ölnebel verwendet; und
4) eine Vorrichtung, die unter Verwendung von reinem Wasser reinen Wassernebel wie bei einem Ultraschlall-Luftbefeuchter erzeugt.
Die genannten Vorrichtungen, die Mücken abwehrenden Rauch, durch Reaktion von Chemikalien erzeugten Rauch oder Ölnebel verwenden, unterliegen jedoch folgender Problematik: Wird nämlich versucht, einen reinen Luftstrom, der in einen Reinraum für industrielle Zwecke eingebracht wurde, sichtbar zu machen, wird nicht nur die reine Luft verunreinigt, sondern auch der Reinraum und die darin befindlichen Geräte und Ausrüstungsgegenstände. Daraus resultiert eine Verunreinigung des Herstellungsprozesses der Produkte, die Reinheit erfordern. Infolgedessen können die genannten Vorrichtungen nicht benutzt werden. Insbesondere wenn durch Reaktion von Chemikalien hergestellter Rauch benutzt wird, stellt die Giftigkeit der Chemikalien eine Gefahr dar. Bei der Verwendung des reinen Wassernebels ist die erzeugbare Nebelmenge unzureichend. Wird eine ausreichende Nebelmenge erzeugt, so fallen Tröpfchen auf den Boden und auf die Arbeitsflächen. Darüber hinaus löst sich der erzeugte Nebel kurze Zeit nach dem Einbringen in einen Luftstrom auf, was ein Sichtbarmachen des Luftstroms über längere Strecken unmöglich macht. Des weiteren neigt der Nebel dazu, aufgrund der Gravitation abwärts zu fliessen und sich vom Luftstrom zu trennen, wodurch ein exaktes visuelles Erkennen des Luftstromes unmöglich wird.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Vorrichtung aufzuzeigen, die ein Sichtbarmachen von Luftströmen ermöglicht.
Bei der vorliegenden Erfindung wird von einer Dampferzeugungsvorrichtung erzeugter reiner Dampf in eine Isolierkammer eingebracht, in der sich entweder flüssiger Stickstoff, flüssiger Sauerstoff oder verflüssigtes Kohlendioxid oder ähnliches befinden, um durch schnelle Abkühlung ein nebliges Kennmedium zu erzeugen. Das erzeugte neblige Kennmedium wird entweder direkt in einen sichtbar zu machenden Luftstrom eingebracht, oder es wird ausgegeben, nachdem seine Temperatur so eingestellt wurde, dass es vom Luftstrom leicht erfasst werden kann.
Mit der vorliegenden erfindungsgemässen Vorrichtung wird die Sichtbarmachung von Luftströmen über längere Strecken ermöglicht, es kann ein nebliges Kennmedium erzeugt werden, nach dem dieses so eingestellt wurde, dass es leicht von einem Luftstrom erfasst werden kann. Ferner können mit der erfindungsgemässen Vorrichtung grosse Mengen von reinem und ungiftigem nebligem Kennmedium erzeugt werden, und das neblige Kennmedium kann derart hervorgebracht werden, dass das Entstehen von Tröpfchen auf ein Minimum beschränkt und Betriebssicherheit gewährleistet werden kann.
Im folgenden soll die Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1 ein Ausführungbeispiel einer Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen;
Fig. 2 ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel der vorgenannten Vorrichtung;
Fig. 3 die schematische Darstellung eines weiteren Beispieles der Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen;
Fig. 4 ein Beispiel mit einer teilweisen Veränderung der vorgenannten Vorrichtung;
Fig. 5 eine schematische Darstellung einer Steuervorrichtung der vorgenannten Vorrichtung und
Fig. 6 die schematische Darstellung eines weiteren Beispiels der Steuervorrichtung der vorgenannten Vorrichtung.
Die folgende Beschreibung einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht sich auf die Fig. 1 und 2. Bezugszeichen 1 stellt eine Dampferzeugungsvorrichtung dar mit einer Wasserzuführungsleitung 4 zur Versorgung eines Tankes 2 mit Wasser 3, einer Heizung 5 zur Erwärmung des Wassers 3, einer Wasserstandsanzeige 6 zur Messung des Wasserstandes und einer Dampfauslassleitung 7. Bezugszeichen 8 bezeichnet eine Isolierkammer, in der zum Beispiel flüssiger Stickstoff 9 als Kühlmittel enthalten ist. Die Isolierkammer 8 hat ein Zuleitungsrohr 11, das in einem vorgegebenen Abstand D von der Oberfläche 10 des flüssigen Stickstoffes 9 gehaltert wird und ein Auslassrohr 12 zum Ausbringen des in der Isolierkammer 8 gekühlten Dampfes. Bezugszeichen 13 bezeichnet ein Rohr, durch das Dampf von der Dampferzeugungsvorrichtung 1 in die Isolierkammer 8 geleitet wird. Ein Ende des Rohres 13 ist mit der Dampfauslassleitung 7 verbunden, das andere Ende mit dem Zuleitungsrohr 11. Bezugszeichen 14 kennzeichnet eine Heizung, die am Rohr 13 angebracht ist, und Bezugszeichen 15 bezeichnet eine Flüssigkeitsstandsanzeige zur Bestimmung der Flüsigkeitsoberfläche 10. Bezugszeichen 16 kennzeichnet eine Steuervorrichtung, die den Abstand D zwischen der Flüssigkeitsoberfläche 10 und dem Zuleitungsrohr 11 konstant hält. Die Steuervorrichtung 16 wird mittels eines von der Flüssigkeitsstandanzeige 15 ermittelten Wertes geregelt. Bezugszeichen 17 bezeichnet einen an der Dampferzeugungsvorrichtung 1 angebrachten Druckschalter, der Veränderungen des Dampfdruckes im Tank 2 misst und entsprechend über einen Schalter die Stromversorgung der Heizung 5 steuert. Bezugszeichen 18 kennzeichnet ei-
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ne Temperaturkontrollvorrichtung, die am Auslassrohr 12 vorgesehen ist und Bezugszeichen 19 bezeichnet ein Ausstossrohr, welches mit dem Auslassrohr 12 verbunden ist und durch das einneblige Kennmedium in einen Luftstrom ausgebracht wird.
Beim Betrieb der Vorrichtung wird dem Tank 2 durch die Wasserzuführungsleitung 4 Wasser 3 zugeführt, das sodann von der Heizung 5 erwärmt wird, um Dampf zu erzeugen. Der erzeugte Dampf wird durch die Dampfauslassleitung 7, das Rohr 13 und das Zuleitungsrohr 11 in die Isolierkammer 8 eingebracht. Dort wird der Dampf vom flüssigen Stickstoff 9 schnell abgekühlt und als nebliges Kennmedium 20, dessen Temperatur geringfügig höher ist als die des Luftstromes, durch das Auslassrohr 12 und das Ausstossrohr 19 in den Luftstrom ausgebracht. Das ausgestossene Kennmedium 20 bleibt lange sichtbar und kann leicht vom Luftstrom erfasst werden.
Während des beschriebenen Ausstosses des Kennmediums 20 in den Luftstrom geht der flüssige Stickstoff 9 allmählich in gasförmigen Zustand über, wodurch sich der Flüssigkeitsspiegel absenkt. Dieses Absinken wird von der Flüssigkeitsstandanzeige 15 gemessen und die Steuervorrichtung 16 wird, entsprechend der gemessenen Grösse, so betätigt, dass der Abstand D zwischen der Flüssigkeitsoberfläche 10 und dem Zuleitungsrohr 11 konstant gehalten wird. Das Übersteigen eines vorgegebenen Dampfdruckes im Tank 2 wird vom Druckschalter 17 festgestellt, welcher daraufhin die Stromversorgung der Heizung 5 unterbricht. Dadurch kann die Erzeugung einer vorgegebenen Dampfmenge gesteuert werden. Das Rohr 13 wird von der Heizung 14 erwärmt, um so der Kondensation des Dampfes zu Wasser durch ein Absinken der Temperatur vorzubeugen.
Der Tank 2 ist mit einem Ablassventil 21, einem Überdruckventil 22 zum Abiassen überschüssigen Dampfes und einem Schwimmerschalter 23, der die Stromversorgung der Heizung 5 unterbricht, um ein Überhitzen des Tankes 2 bei unzureichender Füllung mit Wasser 3 zu verhindern, versehen. An der Wasserzuführungsleitung 4 ist ein Wasserzufuhrventil 24 angebracht. Die Dampfauslassleitung 7 ist mit einem Steuerventil 25 versehen, welches die Durchflussmenge des Dampfes steuert oder die Dampfversorgung unterbricht. Am Auslassrohr 12 können wärmeisoiierendes Material oder eine Heizung angebracht werden, um die Temperatur des ausgestossenen Dampfes 20 im Verhältnis zu der des Luftstromes zu steuern. Die Temperaturkontrollvorrichtung 18 kann dazu benutzt werden, den Fluss des Kennmediums 20 in Übereinstimmung mit der Temperaturveränderung des gekühlten Dampfes, der durch das Auslassrohr 12 austritt, zu überwachen, oder zur Unterbrechung der Stromversorgung der Heizung 5, oder zum Schliessen des Steu-erventiles 25, falls die Temperatur innerhalb der Isolierkammer 8 ansteigt, weil der flüssige Stickstoff 9 in der Isolierkammer 8 verbraucht ist. Der Aufbau der Steuervorrichtung 16 kann dem in Fig. 1 gezeigten entsprechen. Mit dem Absinken der Flüssigkeitsoberfläche 10 wird die Isolierkammer 8 von einem Motor 26 angehoben. Die Steuervorrichtung
16 kann aber auch wie in Fig. 2 gezeigt aufgebaut sein. Mit dem Absinken der Flüssigkeitsoberfläche 10 wird das Zuleitungsrohr 11 von einem Motor 26 abgesenkt. Das Zuleitungsrohr 11 kann auch ohne Verwendung der Steuervorrichtung 16 von Hand betätigt werden. Um freie Beweglichkeit zu ermöglichen, können die Dampferzeugungsvorrichtung 1 und die Isolierkammer 8 auf einem mit Rollen versehenen Wagen 33 befestigt sein; sie können jedoch auch an einem vorgegebenen Platz fest installiert sein.
Im folgenden wird eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezug auf die Fig. 3 bis 6 beschrieben.
Bezugszeichen 1 kennzeichnet eine Dampferzeugungsvorrichtung mit einer Wasserzuführungsleitung 4 zur Zufuhr von Wasser 3 zu einem Tank 2, einer Heizung 5 zur Erwärmung des Wassers 3 und einer Leitung 7 als Auslass für den Dampf 66. Bezugszeichen 8 bezeichnet eine Isolierkammer, in der z.B. flüssiger Stickstoff 9 als Kühlmittel enthalten ist, und die mit einem Zuleitungsrohr 11 und einem Auslassrohr 113 zur Ausbringung eines nebligen Kennmediums 112, welches entsteht, nachdem Dampf 66 in der Isolierkammer 8 abgekührt wurde, versehen ist. Bezugszeichen 114 bezeichnet ein Rohr zur Überleitung des Dampfes 66 von der Dampferzeugungsvorrichtung 1 in die Isolierkammer 8. Ein Ende des Rohres 114 ist mit der Leitung 7 verbunden, das andere Ende ist mit dem Zuleitungsrohr 11 verbunden. Bezugszeichen 15 bezeichnet eine Flüssigkeitsstandanzeige, die an der Isolierkammer 8 angebracht ist und die den Stand der Flüssigkeitsoberfläche 10 misst und so die Menge des flüssigen Stickstoffes 9 anzeigt. Bezugszeichen 116 bezeichnet ein Umgehungsrohr, dessen eines Ende von der Leitung 7 abzweigt, während das andere Ende mit dem Auslassrohr 113 verbunden ist. Bezugszeichnen 117 kennzeichnet ein Steuerventil, welches in der Mitte des Umgehungsrohres 116 angeordnet ist und welches beispielsweise als elektromagnetisches Ventil ausgeführt sein kann. Bezugszeichen 18 bezeichnet eine Temperaturkontrollvorrichtung, die an dem Auslassrohr 113 angebracht ist und das Kontroilventil 117 so regelt, dass es sich öffnet, wenn die Temperatur des durch das Auslassrohr 113 austretenden Kennmediums 112 unter einen vorgegebenen Wert absinkt. Bezugszeichen 119 kennzeichnet einen Druckschalter, der an der Dampferzeugungsvorrichtung 1 angebracht ist und Veränderungen des Dampfdruckes im Tank 2 misst und entsprechend über einen Schalter die Stromversorgung der Heizung 5 ein- oder ausschaltet. Bezugszeichen 120 bezeichnet ein Ausstossrohr für das Kennmedium, welches mit dem Auslassrohr 113 verbunden ist und durch weiches das Kennmedium 112 in einen sichtbar zu machenden Luftstrom 30 ausgebracht wird.
Beim Betrieb der Vorrichtung wird Wasser 3 durch die Wasserzuführungsleitung 4 dem Tank 2 zugeführt. Das Wasser 3 wird dann von der Heizung 5 erwärmt, um so Dampf 66 zu erzeugen. Der so erzeugte Dampf 66 wird durch die Leitung 7 und das Rohr 114 in die Isolierkammer 8 eingeleitet. Hier wird der Dampf 66 durch den flüssigen Stickstoff 9
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schnell abgekühlt, wodurch das neblige Kennmedium 112 erzeugt wird. Das Kennmedium 112 tritt durch das Auslassrohr 113 und wird durch das Ausstossrohr 120 ausgebracht. Das Steuerventil 117 wird von einem von der Temperaturkontrollvorrichtung 18 ausgehenden Steuersignal geöffnet, wenn die Temperatur des Kennmediums 112 unter einen vorgegebenen, an der Temperaturkontrollvorrichtung 18 eingestellten Wert absinkt, und der durch die Leitung 7 strömende Dampf 66 wird somit teilweise durch das Umgehungsrohr 116 dem Auslassrohr 113 zugeführt. Dadurch erhöht sich die Temperatur des Kennmediums 112 auf den genannten vorgegebenen Wert. Erreicht die Temperatur des Kennmediums 112 den vorgegebenen Wert, so wird das Steuerventil 117 durch ein Steuersignal der Temperaturkontrollvorrichtung 18 geschlossen. Damit wird dem Auslassrohr 113 kein Dampf 66 mehr zugeführt und ein Ansteigen der Temperatur des Kennmediums 112 verhindert. Aufgrund dieses von der Temperaturkontrollvorrichtung 18 durchgeführten Regelvorganges wird das Kennmedium 112 mit einer vorgegebenen Temperatur durch das Ausstossrohr 120 ausgebracht. Die an der Temperaturkontrollvorrichtung 18 einzustellende Temperatur wird unter Berücksichtigung der Lufttemperatur, Luftfeuchtigkeit und anderer Faktoren, die in dem Reinraum, durch den der Luftstrom 30 fliesst, herrschen, bestimmt. Die Temperatur wird so eingestellt, dass das Kennmedium 112 leicht vom Luftstrom 30 erfasst wird, z.B. bei einer Temperatur von 23° bis 25°C im Reinraum liegt die vorgegebene Temperatur des Kennmediums 12 im Bereich von etwa 50°C.
Das ausströmende Kennmedium 112 vermischt sich mit der Umgebungsluft, nachdem es aus dem Ausstossrohr 120 ausgestossen wurde. Da die relative Feuchtigkeit des Kennmediums 112 100% beträgt, während die der Raumluft gewöhnlich 50 bis 80% beträgt, sinkt die relative Feuchtigkeit des Kennmediums 112 unmittelbar nachdem es sich mit der Raumluft vermischt hat, wenn das Kennmedium 112 die gleiche Temperatur wie die Umgebungsluft hat. Dadurch beginnen kleine Wassertröpfchen im Kennmedium 112 zu verdampfen, wodurch sich ihr Durchmesser verringert. In der Folge verdunsten sie und werden unsichtbar.
Ist jedoch die Temperatur des Kennmediums 112 höher als die Raumptemperatur, so fällt die Temperatur des Kennmediums ebenso wie der maximale Dampfdruck, sobald sich das Kennmedium 112 mit der Umgebungsluft vermischt. Dadurch verdampfen die kleinen Wassertröpfchen nicht und bleiben über eine gewisse Strecke von dem Punkt an, an dem das Kennmedium 112 ausströmt, im Luftstrom erhalten. Die Tröpfchen kondensieren vielmehr, und das Kennmedium 112 fliesst weiter, bis es mit der Raumluft ausreichend vermischt ist; erst dann verdunsten die kleinen Wassertröpfchen. Wie bereits beschrieben, kann die Strecke, in der das Kennmedium 112 nicht verdampft, vergrössert werden, so dass das Kennmedium 112 über eine längere Strecke sichtbar bleibt.
Bei der in den Fig. 1 und 2 gezeigten Ausführungsform wird die Temperatur des Kennmediums 20 auf einen höheren Wert als die Raumtemperatur gebracht, indem der Abstand zwischen der Flüssigkeitsoberfläche 10 und dem Zuleitungsrohr 11 gesteuert wird. Bei der in den Fig. 3 bis 6 gezeigten Ausführungsform wird durch Steuerung der Dampfmenge, die über das Umgehungsrohr 116 dem Auslassrohr 113 zugeführt wird, die Temperatur des Kennmediums 112 über den Wert der Raumtemperatur erhöht.
Wenn in der Betriebsphase, in der die Dampfceu-gungsvorrichtung 1 Dampf 6 erzeugt, der Druck im Tank 2 einen vorgegebenen Wert überschreitet, wird dadurch der Druckschalter 119 betätigt, wor-durch die Stromversorgung der Heizung 5 unterbrochen und die Erzeugung des Dampfes 66 auf einem vorgegebenen Niveau gehalten wird.
Der Tank 2 hat ein Ablassventil 21, ein Überdruckventil 22 zum Ablassen überschüssigen Dampfes, eine Auffangwanne 31, einen Schwimmerschalter 23, der die Stromversorgung der Heizung 5 unterbricht, wenn die vorhandene Wassermenge nicht mehr ausreicht, und eine Messvorrichtung 32 zur Messung des Wasserstandes. Zur Füllung wird reines Wasser 3 verwendet. An der Wasserzufüh-rungsieitung 4 ist ein Wasserzufuhrventil 24 angebracht. Ein Steuerventil 25 zur Steuerung des Dampfflusses und zur Unterbrechung der Dampfversorgung ist an der Leitung 7 angebracht. Das Umgehungsrohr 116 kann auch wie in Fig. 4 gezeigt, so ausgeführt sein, dass es nicht von der Leitung 7 abzweigt, sondern mit dem Tank 2 über ein Kontrollventil 25' verbunden ist. Die Rohre 114 und 116 können mit wärmeisolierendem Material oder einer Heizung versehen sein, um ein Absinken der Temperatur des Dampfes 66 und damit die Rückwandlung in Wasser während des Durchflusses durch die Rohre 114 und 116 zu verhindern. Die Temperaturkontrollvorrichtung 18 kann so eingesetzt werden, dass sie die Stromversorgung der Heizung 5 unterbricht oder das Steuerventil 25 oder die Steuerventile 25 und 25' schiiesst, wenn der flüssige Stickstoff 9 in der Isolierkammer verbraucht ist und deshalb die Temperatur im Inneren der Isolierkammer 8 ansteigt. Während des Ausstosses des Kennmediums 12 in den Luftstrom 30 senkt sich die Flüssigkeitsoberfläche 10 des flüssigen Stickstoffes 9 aufgrund des Überganges des flüssigen Stickstoffes 9 in gasförmigen Zustand. Dabei muss der Abstand D zwischen der Flüssigkeitsoberfläche 10 und dem Zuleitungsrohr 11 konstant gehalten werden. Ein Beispiel für eine entsprechende Steuervorrichtung ist Vorrichtung 27 in Fig. 5. Dabei wird bei Absinken der Flüssigkeitsoberfläche 10 das Zuleitungsrohr 11 mittels eines Motors 26 entsprechend einem Steuersignal der Flüssigkeitsstandanzeige 15 abgesenkt. Ein weiteres Beispiel ist die in Fig. 6 dargestellte Vorrichtung 29. Dabei wird mit sinkender Flüssigkeitsoberfläche 10 die Isolierkammer 8 von einem Motor 28, der von einem entsprechenden Steuersignal der Flüsigkeitsstandanzeige 15 gesteuert wird, angehoben. Alternativ zu den vorgenannten Vorrichtungen kann auch eine Handbetätigung des Zu-leitungsrohres 11 vorgesehen werden.
Die Dampferzeugungsvorrichtung 1 und die Isolierkammer 8 können auf einem mit Rollen 2 versehenen Wagen installiert sein, um die freie Beweglich5
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Aufgrund ihres Aufbaues hat die erfindungsge-mässe Vorrichtung folgende Vorteile: Die sichbare Menge des nebligen Kennmediums kann auf bis zu 100% des erzeugten Dampfes erhöht werden, da der erzeugte Dampf auf ein Kühlmittel aufgeblasen wird und so schnell abgekühlt wird. Im Gegensatz dazu verwertet eine Vorrichtung, bei der der Dampf nicht durch ein Kühlmittel abgekühlt wird, nur einen Teil des erzeugten Dampfes als sichtbares nebliges Kennmedium.
Durch die genaue Temperatursteuerung des ausgebrachten Kennmediums, die eine Anpassung an die Temperatur des sichtbar zu machenden Luftstromes erlaubt, kann die Verbleibdauer des nebligen Kennmediums im Luftstrom erhöht werden. Das neblige Kennmedium kann vom Luftstrom über eine weite Strecke getragen werden, ohne dass eine Trennung vom Luftstrom auftritt, d.h. das Kennmedium wird vom Luftstrom gut erfasst. Die Länge der Strecke ist dabei nur von den Auswirkungen der Vermischung des Kennmediums mit dem Luftstrom abhängig. Dies ermöglicht ein genaues visuelles Erkennen des Verlaufes des Luftstromes mittels der Linien und Muster, die das Kennmedium bildet.
Eine grosse Menge eines reinen, ungiftigen und sicheren nebligen Kennmediums kann leicht erzeugt werden. Darüber hinaus ist die Erzeugung von Tröpfchen im Vergleich zu herkömmlichen Vorrichtungen, die reinen Wassernebel erzeugen, erheblich vermindert.
Beim Sichtbarmachen eines reinen Luftstromes in einem Reinruam für industrielle Zwecke können der Reinraum selbst und die Maschinen und Vorrichtungen, die in dem Reinraum installiert sind oder installiert werden sollen, und das Herstellungsverfahren, bei dem die genannten Maschinen und Vorrichtungen benutzt werden, ohne jeden nachteiligen Einfluss, wie Verschmutzung oder ähnliches, reingehalten werden.
Das Sichtbarmachen des Luftstromes kann sogar während des Betriebes der Maschinen und Vorrichtungen, auch mit im Raum befindlichem Bedienungspersonal, erfolgen.
Die erfindungsgemässe Vorrichtung kann zum Sichtbarmachen von reinen Luftströmen in hochreinen Räumen eingesetzt werden. Die Vorrichtung kann auch zum Festlegen der Aufstellung und der Anordnung von Maschinen und Vorrichtungen in Reinräumen für industrielle Zwecke oder anderen Räumen mit Luftströmen verwendet werden.
Die Sicherheit während des Betriebes der Vorrichtung ist gewährleistet.

Claims (11)

Patentansprüche
1. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen, dadurch gekennzeichnet, dass eine Dampferzeugungsvorrichtung (1), eine Isolierkammer (8), in der ein Kühlmittel (9), z.B. flüssiger Stickstoff, enthalten ist, ein Rohr (13, 114), welches die Dampferzeugungsvorrichtung (1) und die Isolierkammer (8)
verbindet und durch welches Dampf (66) aus der Dampferzeugungsvorrichtung (1) in die Isolierkammer (8) geleitet wird, vorgesehen sind, wobei die Isolierkammer (8) mit einem Auslassrohr (12, 113) zum Ausbringen eines nebligen Kennmediums (20, 112), welches durch Abkühlen des Dampfes (66) durch das Kühlmittel erzeugt wurde, versehen ist.
2. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Dampferzeugungsvorrichtung (1) und das Auslassrohr (113) durch ein mit einem Steuerventil (117) versehenes Umgehungsrohr (116) verbunden sind, wobei das Auslassrohr (113) mit einer Temperaturkontrollvorrichtung (18) versehen ist, die die Öffnung des Steuerventils (117) steuert, wenn die Temperatur des Kennmediums (112), welches durch das Auslassrohr (113) fliesst, unter einen vorgegebenen Wert sinkt.
3. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäss Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Umgehungsrohr (116) von dem Rohr (114) abzweigt, durch das Dampf (66) aus der Dampferzeugungsvorrichtung (1) in die Isolierkammer (8) geleitet wird.
4. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäss den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Isolierkammer (8) mit einem Zuleitungsrohr (11 ) versehen ist, welches in einem vorgegebenen Abstand (D) von der Flüssig-keitsoberfläche (10) des Kühlmittels, welches sich in der Isolierkammer (8) befindet, gehaltert wird und mit dem Rohr (13, 114) zur Zuführung des Dampfes verbunden ist.
5. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäss Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Zuleitungsrohr (11) mit einer Steuervorrichtung (16) versehen ist, durch die das Zuleitungsrohr (11) so bewegt wird, dass ein vorgegebener Abstand (D) von der Flüssigkeitsoberfläche (10) in Übereinstimmung mit der Veränderung des Fiüssigkeitsstandes, die von einer Flüssigkeitsstandanzeige (15) zur Messung des Flüssigkeitsstandes des Kühlmittels, welches in der Isolierkammer (8) enthalten ist, gemessen wird, eingehalten wird.
6. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäss Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Isolierkammer (8) mit einer Steuervorrichtung (16) versehen ist, die die Isolierkammer (8) bewegt, wenn sich der Stand der Flüssigkeitsoberfläche (10) verändert, um den Abstand (D) zwischen dem Zuleitungsrohr (11) und der Flüssigkeitsoberfläche (10) konstant zu halten, wobei dies von einer Flüssigkeitsstandanzeige (15) zur Messung des Standes des Kühlmittels, welches in der Isolierkammer (8) enthalten ist, gesteuert wird.
7. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäss einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Rohr (13, 114) zur Überleitung des Dampfes zur Isolierkammer (8) mit einer Heizvorrichtung (14) versehen ist.
8. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäss einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Dampferzeugungsvorrichtung (1) mit einem Druckschalter (17) verse-
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9. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäss einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein Tank (2), der Bestandteil der Dampferzeugungsvorrichtung (1) ist, mit einer Wasserstandsanzeige (6, 32) zur Messung des Wasserstandes im Tank (2) versehen ist.
10. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäss einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine Temperaturkontrollvorrichtung (18) zur Messung der Temperatur des zubringenden Kennmediums (2,112) an dem Auslassrohr (12, 113) der Isolierkammer (8) vorgesehen ist.
11. Verfahren zum Betrieb einer Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen, mit einer Dampferzeugungsvorrichtung (1), einer Isolierkammer (8), in der ein Kühlmittel (9) enthalten ist, mit einem Rohr (13, 114), weiches die Dampferzeugungsvorrichtung und die Isolierkammer verbindet und durch welches Dampf (66) aus der Dampferzeugungsvorrichtung in die Isolierkammer geleitet wird, wobei die Isolierkammer mit einem Auslassrohr (12,113) zum Ausbringen eines nebligen Kennmediums (20,112), welches durch Abkühlen des Dampfes durch das Kühlmittel erzeugt wurde, versehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur des ausgebrachten Kennmediums höher gemacht wird als die des sichtbar zu machenden Luftstromes.
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Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62094311A JPH0648228B2 (ja) 1987-04-18 1987-04-18 気流可視化装置
JP18474887A JPH0650274B2 (ja) 1987-07-24 1987-07-24 気流可視化装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH675483A5 true CH675483A5 (de) 1990-09-28

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