CH684481A5

CH684481A5 - Lösung, insbesondere für einen Oberflächenschutzfilm für Farbfilter.

Info

Publication number: CH684481A5
Application number: CH3356/91A
Authority: CH
Inventors: Hiroshi Adachi; Shigeyuki Yamamoto
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1990-11-19
Filing date: 1991-11-18
Publication date: 1994-09-30
Also published as: JPH04184302A; KR920010344A; KR940008666B1; JP2752786B2; DE4138180A1; US5415968A

Description

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

CH 684 481 A5

Beschreibung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Lösung, insbesondere für einen Oberflächenschutzfilm für einen Farbfilter für lichtempfangende Elemente und Bildanzeigeelemente.

Als Oberflächenschutzfilme für Farbbilder für lichtempfangende Elemente und Bildanzeigeelemente sind Oberflächenschutzfilme aus z.B. Acrylpolymer (Electronic Material, Seiten 53-60, Dezember 1988), Polyimid (japanische Offenlegungsschrift Nr. Sho 61 654 905) und organischen Silikon-Leiterpolymeren mit einem Ende vom Käfig- oder Hydroxylgruppen-Typus (japanische Offenlegungsschrift Nr. Sho 61-3120 und Sho 61-3124) bekannt.

Bei der Herstellung eines Farbfilters für ein Bildanzeigeelement wird, nachdem ein Oberflächenschutzfilm des Farbfilters gebildet ist, eine durchsichtige Elektrode auf dem Oberflächenschutzfilm bei einer Temperatur von nicht weniger als 250°C gebildet, wodurch ein Bildanzeigeelement erzeugt wird. Andererseits wird bei der Herstellung eines Farbfilters für ein lichtempfangendes Element das lichtempfangende Element durch ein Harz bei 250°C in der Endstufe der Herstellung versiegelt. Wenn diese Elemente auf einem Substrat angeordnet werden, werden sie bei einer Temperatur von nicht unter 250°C verschweisst.

Um die Farbfilter zu schützen ist es daher notwendig, dass der aus dem Farbfilter gebildete Oberflächenschutzfilm nicht nur eine hohe Lichtdurchlässigkeit sondern auch eine genügend hohe Hitzebeständigkeit aufweist, um der oben beschriebenen Hitzebehandlung zu widerstehen.

Unter den oben beschriebenen Materialien für Oberflächenschutzfilme weisen Acrylpolymere eine hohe Lichtdurchlässigkeit, aber eine schwache Hitzebeständigkeit auf, so dass die Lichtdurchlässigkeit oft durch die oben beschriebene Hitzebehandlung zerstört wird.

Polyimide haben eine ausgezeichnete Hitzebeständigkeit, aber da der anorganische Bestandteil, welcher während der Wärmehärtung erzeugt wird, an der glatten Oberfläche (wafer surface) haftet und die anschliessenden Stufen stört, ist eine Sauerstoffplasmabehandlung notwendig, um dieses Phänomen zu verhindern. Das Verfahren zur Herstellung eines Schutzfilmes wird somit kompliziert, und der gebildete Film ist bezüglich Lichtdurchlässigkeit weniger gut. Ausserdem weist er, weil der verwendete Lack ein polares Lösungsmittel ist, eine schlechte Feuchtigkeitsbeständigkeit auf, und es ist daher notwendig, den Lack an einem kühlen und dunklen Ort aufzubewahren.

Unter den organischen Silikon-Leiterpolymeren, welche in den japanischen Offenlegungschriften No. Sho 61-2120 und Sho 61-3124 offenbart sind, sind die organischen Silikon-Leiterpolymere, welche ein käfigartiges Ende aufweisen bezüglich ihrer Haftfestigkeit an einem Substrat schlechter, so dass sie sich oft vom Farbfilter trennen. Ausserdem, da sie nicht durch Erhitzen gehärtet werden, lösen sie sich oftmals im Lösungsmittel auf, welches zur Entfernung des Abdecklackes nach Bildung des Musters verwendet wird. Das heisst, sie weisen eine schlechte Lösungsmittelbeständigkeit auf. Organische Silikon-Leiterpolymere, welche eine endständige Hydroxylgruppe aufweisen, werden gehärtet, wenn sie auf 150 bis 350°C erhitzt werden, wenn DBU (1,8-Diazabicyclo-[5,4,0]-7-undecen) als Härtungskatalysator verwendet wird, aber der Härtungskatalysator zerstört die Lichtdurchlässigkeit des Oberflächenschutzfilms und übt eine schädliche Wirkung auf die Kennzeichen des Farbfilters aus. Ausserdem, da die organischen Silikon-Leiterpolymere mit einer endständigen Hydroxylgruppe ein niedrigeres Molekulargewicht (5 x 104) aufweisen, besitzen sie schlechtere filmbildende Eigenschaften, so dass, wenn der Film verschiedenen Behandlungen nach der Fiimbildung ausgesetzt wird, ein Sprung im Schutzfilm entstehen kann, und es ist unmöglich, einen dicken Film zu bilden.

Demgemäss ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, die oben beschriebenen Schwierigkeiten zu beheben und einen Oberflächenschutzfilm für einen Farbfilter zu beschaffen, welcher ausgezeichnet ist in bezug auf Hitzebeständigkeit, Lichtdurchlässigkeit und Haftfestigkeit an das Substrat.

Als ein Resultat von Studien, welche durch die Erfinder getätigt wurden, wurde gefunden, dass eine organische Silikon-Leiterharzzusammensetzung, welche bei einer Temperatur von nicht über 270°C (im folgenden «niedere Temperatur» genannt), die ausgezeichneten Kennzeichen beibehält, welche durch Polyphenylsylsesquioxan gezeigt werden, wie Lichtdurchlässigkeit und Hitzebeständigkeit, erhalten wird durch Zusatz einer kleinen Menge einer Alkenylgruppe, wie einer Vinylgruppe und einer Allylgruppe, an ein organisches Silikon-Leiterpolymer, und Zusatz einer Spur einer aromatischen Diazidoverbindung als Katalysator und anschliessende Bildung eines Musters aus der derart erhaltenen Harzzusammensetzung durch ein organisches Lösungsmittel, während ein Abdecklack als Maske verwendet wird.

Die vorliegende Erfindung wurde auf Grund dieser Feststellung aufgebaut.

Die vorliegende Erfindung ist in den Patentansprüchen 1, 7 und 8 definiert.

Das Verhältnis der Alkenylgruppen zu R1 und R2 der allgemeinen Formel I, welche das organische Silikon-Leiterpolymer darstellt, beträgt 2,5 bis 10%, vorzugsweise 3 bis 8%. Wenn es weniger als 2,5% beträgt, wird die Haftbarkeit derart schlecht, dass es notwendig wird, das Polymer bei nicht weniger als 300°C zu härten. Andererseits, wenn das Verhältnis 10% übersteigt, auch wenn die Härtungstemperatur auf 150°C gesenkt wird, wird die Hitzebeständigkeit des organischen Silikon-Leiterpolymerfilms nach der Hitzehärtung herabgesetzt. Als eine Alkenylgruppe wird eine Vinylgruppe bevorzugt, weil ein organisches Silikon-Leiterpolymer mit einer kurzen Seitenkette eine bessere Hitzebeständigkeit nach Hitzebehandlung aufweist.

Das Symbol n in der allgemeinen Formel I ist eine ganze Zahl, unter der Bedingung, dass das

2

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

CH 684 481 A5

durchschnittliche Molekulargewicht 75 000 bis 250 000 beträgt, vorzugsweise 100 000 bis 200 000. Das durchschnittliche Molekulargewicht (weight-average molecular) ist in dem oben beschriebenen Bereich festgelegt, weil ein durchschnittliches Molekulargewicht von nicht weniger als 75 000 bevorzugt wird, um einen Film von 1 bis 10 (im Dicke zu bilden, und ein zu hohes Molekulargewicht (insbesondere ein Molekulargewicht von mehr als 250 000) eine lange Ätzzeit erfordert, um das gewünschte Muster zu bilden, und die Genauigkeit des Musters beeinträchtigt.

In der vorliegenden Erfindung wird ein organisches Silikon-Leiterpolymer mit einer endständigen Hydroxylgruppe verwendet, um die Haftfestigkeit an das Substrat zu erhöhen.

Beispiele eines solchen organischen Silikon-Leiterpolymers sind Polyphenylvinylsylsesquioxan, Polyal-lylphenylsyl-sesquioxan, Polymethylvinylsylsesquioxan, Polyallylmethylsylsesquioxan, Polyäthylvinylsyl-sesquioxan und Polyallyläthylsylsesquioxan.

Das organische Silikon-Leiterpolymer wird erhalten durch Auflösen einer Trichlorsilanverbindung in einem organischen Lösungsmittel und Hydrolysieren der Lösung, um ein Vorpolymer zu bilden, Zusatz eines Polymerisationskatalysators zu der organischen Schicht, welche das Vorpolymer enthält, und Erhitzen der organischen Schicht.

Als Härtungskatalysator, welcher mit der organischen Silikonleiterharzzusammensetzung zu vermischen ist, wird eine aromatische Diazidoverbindung verwendet, weil die Ultraviolett-Absorption des Härtungskatalysators nicht im Kennzeichenbereich des Farbfilters liegen soll. Unter den aromatischen Dia-zoverbindungen sind 3,3'-Diazidodiphenylsu!fon, 4,4'-Diazidodiphenylsulfon, usw. bevorzugt. Andere aromatische Diazidoverbindungen, wie 2,6-Di-(4'-azidobenzal)cyclohexanon sind weniger geeignet, obwohl sie als Härtungskatalysator auf dieselbe Weise wirken, weil ihre Ultraviolett-Absorption im kennzeichnenden Bereich des Farbfilters liegt und die Ultraviolett-Absorptionen des zersetzten Rückstandes des Polymers nach Hitzebehandlung auf die Seite der langen Wellen verschoben wird, wodurch die optischen Kennzeichen des Farbfilters beeinträchtigt werden.

Das Mischungsverhältnis der aromatischen Diazidoverbindung beträgt 0,25 bis 2,5 Gewichtsprozent, vorzugsweise 0,3 bis 2 Gewichtsprozent, bezogen auf das organische Silikon-Leiterpolymer. Wenn es weniger als 0,25% beträgt, ist die Wirkung der aromatischen Diazidoverbindung als Katalysator so gering, dass das Polymer auf eine Temperatur von über 270°C erhitzt werden muss. Andererseits, wenn das Mischungsverhältnis 2,5 Gewichtsprozent übersteigt, neigt das Polymer dazu, schädliche Wirkungen auf die spektralen Kennzeichen des Farbfilters auszuüben.

Als Lösungsmittel für die Harzzusammensetzung können aromatische Kohlenwasserstoffe, wie Anisol, Xylol und Benzol; Ketonlösungsmittel, wie Methylisobutylketon und Aceton; Ätherlösungsmittel, wie Te-trahydrofuran und Isopropyläther; Äthylcellosolve; N-Methyl-2-pyrrolidon und N,N'-Dimethylacetamid verwendet werden.

Der Oberflächenschutzfilm der vorliegenden Erfindung ist ein durchsichtiger Harzfilm, erhalten durch Überziehen des Farbfilters mit der Harzzusammensetzung, Auftragen einer positiven Maske auf den Überzug, Bildung eines Musters auf dem Überzug durch Lithographie und Wärmehärtung des Überzuges bei einer Temperatur von nicht höher als 270°C.

Als eine der Methoden zur Bildung des Harzzusammensetzungsfilmes wird die Harzzusammensetzung auf das Farbfilter durch Walzenauftrag oder dergleichen aufgebracht, und die Harzzusammensetzung wird während 30 Minuten bei einer Temperatur, welche nahe am Siedepunkt des Lösungsmittels liegt, getrocknet, bis das Lösungsmittel verdampft ist. Die Dicke des erhaltenen Filmes beträgt vorzugsweise 1 bis 10 um.

Die positive Maske wird auf den Harzzusammensetzungsfilm aufgetragen, während dieser nicht gehärtet ist. Die Dicke des Maskenfilms beträgt üblicherweise etwa 2 bis 4,5 um. Wenn der Oberflächenschutzfilm dick ist, wird die Dicke des Maskenfilms erhöht, um zu verhindern, dass der Maskenfilm beschädigt wird während der Nassätzung des Oberflächenschutzfilms, und um mit grosser Genauigkeit ein Muster auf den Oberflächenschutzfilm zu bilden.

In der Lithographiestufe wird ein gewünschtes Maskenmuster gebildet durch Belichtung nach Maskierung des Films, und der Oberflächenschutzfilm wird dann geätzt, um das gewünschte Muster zu bilden, unter Verwendung eines gemischten organischen Lösungsmittels aus Methoxybenzol, Xylol, usw., während die Abdeckung ihrerseits als Maske verwendet wird.

Der Oberflächenschutzfilm wird sodann bei einer Temperatur von nicht über 270°C wärmegehärtet. Wenn die Erhitzungstemperatur 270°C übersteigt, werden die Kennzeichen des Farbfilters verloren. Die Härtungszeit beträgt vorzugsweise nicht über 45 Minuten.

Auf diese Weise ist es möglich, einen durchsichtigen Oberflächenschutzfilm von etwa 1 bis 10 pm zu bilden ohne die Kennzeichen des Farbfilters zu verlieren. Die Durchsichtigkeit in der vorliegenden Erfindung bedeutet eine Lichtdurchlässigkeit von nicht weniger als 90% bei einer Wellenlänge von 300 nm.

Der auf diese Weise erhaltene erfindungsgemässe Oberflächenschutzfilm ist ausgezeichnet in bezug auf seine Haftfestigkeit auf einer Unterlage, seine Hitzebeständigkeit, seine Lichtdurchlässigkeit und seine Lösungsmittelbeständigkeit.

Die oben genannten wie auch andere Ziele, Kennzeichen und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen ersichtlich.

Die vorliegende Erfindung wird ausführlicher unter Bezugnahme auf die folgenden Beispiele erklärt, doch ist zu verstehen, dass sie nicht auf diese Beispiele eingeschränkt ist.

3

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

CH 684 481 A5

Beispiel 1

Polyphenylsylsesquioxan, welches eine endständige Hydroxylgruppe aufweist, in welchem 3% der Seitenketten aus Vinyigruppen bestehen und welches ein durchschnittliches Molekulargewicht von 150 000 besitzt, wurde hergestellt. Zu dem Polymer wurden 1,8 Gewichtsprozent 3,3'-Diazidophenylsul-fon, bezogen auf das Polymer, zugesetzt und Methoxybenzol wurde zugegeben, um eine Lösung einer Harzzusammensetzung zu ergeben (Poiymerkonzentration : 15 Gewichtsprozent). Die Lösung der Harzzusammensetzung wurde auf einen Farbfilter bis zu einer Dicke von 4 (im aufgetragen, während 30 Minuten bei 80°C getrocknet und anschliessend während 30 Minuten bei 150°C. Anschliessend wurde ein positiver Abdecklack (positive resist) auf den Farbfilm aufgetragen, um einen Lackfilm von 3 um Dicke zu bilden, und ein vorbestimmtes Muster wurde durch Belichtung gebildet. Die durchsichtige Harzschicht wurde mit einer gemischten Lösung von Methoxybenzol/Xylol (1/3 Volumverhältnis) unter Verwendung des Abdecklackes als Maske geätzt. Nachdem der Abdecklack mit einem üblichen Lackentferner entfernt worden war, wurde der Farbfilter gehärtet, indem er während 30 Minuten auf 260°C erhitzt wurde.

Der erhaltene Oberflächenschutzfilm hatte eine Dicke von 4 um und wies ausgezeichnete Hitzebeständigkeit, Lichtdurchlässigkeit und Haftfestigkeit auf dem Substrat auf. Auf dem Farbfilter entstanden keinerlei Risse.

Wenn eine durchsichtige Elektrode auf dem Oberflächenschutzfilm gebildet wurde, und nach einem vorbestimmten Verfahren zur Bildung eines Musters unter Verwendung einer Säure als Ätzmittel, war die durchsichtige Elektrode nicht abgetrennt und keinerlei Risse waren auf dem Oberflächenschutzfilm entstanden. Selbst nachdem die Lösung der Harzzusammensetzung während 1000 Stunden auf 40°C gehalten worden war, wurde keine Änderung der Viskosität beobachtet, und ein ausgezeichneter Oberflächenschutzfilm wurde auf dem Farbfilter gebildet, wie zu Beginn.

Beispiele 2 bis 7

Lösungen einer Harzzusammensetzung wurden zubereitet, Muster wurden gebildet, die Farbfilter wurden wärmegehärtet und durchsichtige Elektroden wurden auf dem Oberflächenschutzfilm gebildet wie in Beispiel 1, mit Ausnahme, dass die entsprechenden Polyphenylsylsesquioxane und die Härterkatalysatoren gemäss Tabelle I verwendet werden. In allen Beispielen entstanden keinerlei Schwierigkeiten, wie aus Tabelle I ersichtlich ist. Selbst nachdem jede Lösung der Harzzusammensetzung während 1000 Stunden bei 40°C gehalten worden war, entstand keine Veränderung der Viskosität und ein ausgezeichneter Oberflächenschutzfilm wurde auf dem Farbfilter gebildet, wie zu Beginn.

Vergleichsbeispiel 1

Ein Polyphenylsylsesquioxan mit einer endständigen Gruppe vom Käfig-Typus und mit einem durchschnittlichen Molekulargewicht von 100 000 wurde in Benzol gelöst. Die Benzollösung wurde auf einen Farbfilter aufgetragen, um einen Schutzfilm zu bilden, und ein Abdecklackfilm wurde darauf angebracht. Nachdem ein gewünschtes Muster auf dem Abdecklack und dem Schutzfilm gebildet worden war, wurde der Farbfilter in einem Entferner eingetaucht, um den Abdecklack zu entfernen. Da das Polyphenylsylsesquioxan ein Ende vom Käfig-Typus aufwies, war die Haftfestigkeit mit dem Farbfilter schlecht, und ein Teil des Schutzfilmes wurde abgetrennt.

Vergleichsbeispiele 2 bis 5

Lösungen einer Harzzusammensetzung wurden zubereitet, Muster werden gebildet, die Farbfilter wurden wärmegehärtet und durchsichtige Elektroden wurden auf dem Oberflächeschutzfilm gebildet wie in Beispiel 1, mit Ausnahme, dass die entsprechenden Polyphenylsylsesquioxane und die Härtekatalysatoren gemäss Tabelle I verwendet wurden.

Im Vergleichsbeispiel 2 war es notwendig, da kaum Katalysator enthalten war, den Schutzfilm auf 350°C zu erhitzen zur Härtung. Nach diesem Verfahren war der Farbfilter entfärbt und zerstört.

Im Vergleichsbeispiel 3 war, obwohl der Schutzfilm bei 200°C gehärtet wurde, da der Gehalt an Vinyigruppen gross war, die Hitzebeständigkeit herabgesetzt, und der Oberflächenschutzfilm war nach der Bildung der durchsichtigen Elektrode zerstört.

Im Vergleichsbeispiel 4 wurde, da der Allylgruppengehalt 10% betrug und der Katalysatorgehalt nur 2 Gewichtsprozent betrug, die Wirkung des Katalysators nicht erhalten, und es war notwendig, den Schutzfilm zur Härtung auf 300°C zu erhitzen. Nach diesem Verfahren war der Farbfilter entfärbt.

In Vergleichsbeispiel 5 war es, da der Allylgruppengehalt nur 2% betrug, notwendig, den Schutzfilm zur Härtung auf 280°C zu erhitzen, obwohl der Katalysatorgehalt 3 Gewichtsprozent betrug. Nach diesem Verfahren war der Farbfilter entfärbt und zerstört.

4

OJ

o

■b.

o co o ro

Ol ro o

Tabelle 1

Silikon-Leiterpolymer

Katalysator Gew.-% *1)

Oberflächenschutzfilm nach Bildung des Musters

Härtungsbedingungen (°C) Zeit (Min.)

Farbfilter nach Bildung des Oberflächenschutzfilms

Oberflächenschutzfilm nach Bildung der durchsichtigen Elektrode

Beispiel 1

A (MG: 150 000 Vinylgruppengehalt: 3%)

D (1,8)

F

200

30

H

F, H

2

A (MG: 180 000 Vinylgruppengehalt: 8%)

E (0,3)

F

260

30

H

F, H

3

A (MG: 150 000 Vinylgruppengehalt: 5%)

D (1,0)

F

220

30

H

F, H

4

A (MG: 150 000 Allylgruppengehalt: 4%)

E (2,0)

F

210

30

H

F, H

5

A (MG: 150 000 Allylgruppengehalt: 9%)

D (0,25)

F

240

30

H

F, H

6

B (MG: 150 000 Allylgruppengehalt: 5%)

E (0,8)

F

220

30

H

F, H

7

B (MG: 150 000 Vinylgruppengehalt: 9%)

D (1,5)

F

190

30

H

F, H

1

C (MG: 100 000

kein

G

-

2

A (MG: 100 000 Allylgruppengehalt: 8%)

kein

F

350

60

I

-

3

A (MG: 150 000 Vinylgruppengehalt: 15%)

D (0,5)

F

200

30

H

J

4

B (MG: 150 000 Allylgruppengehalt: 10%)

D (2,0)

F

300

30

I

-

5

B (MG: 150 000 Allylgruppengehalt: 2%)

E (3,0)

F

280

30

I

-

*1: Verhältnis von Katalysator zu Silikon-Leiterpolymer

A: Phenyl-Leiterpolymer mit endständiger OH-Gruppe

B: Methyl-Leiterpolymer mit endständiger OH-Gruppe

C: Phenyl-Leiterpolymer mit Ende vom Käfig-Typus

D: 3,3'-Diazidophenylsulfon

E: 4,4'-Diazidophenylsulfon

F: keine Trennung

G: Trennung

H: keine Sprünge

I: Zerstörung, Entfärbung

J: gefärbt

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

CH 684 481 A5

Wie oben beschrieben, wird ein Oberflächenschutzfilm gemäss der vorliegenden Erfindung erhalten durch Bildung eines Musters auf dem Farbfilter eines lichtempfangenden Elementes oder eines Bildanzeigeelementes unter Verwendung eines Abdeckblattes als Maske und Wärmehärtung des Farbfilters bei einer Temperatur von nur 270°C. Da der Oberflächenschutzfilm gebildet wird ohne die kennzeichnenden Farbfilter als Substrat zu beeinträchtigen und er eine ausgezeichnete Lichtdurchlässigkeit aufweist, ist es möglich, ein Element mit ausgezeichneten farbempfangenden Kennzeichen und farbanzeigenden Kennzeichen (color display characteristics) zu erzeugen. Ein solcher Oberflächenschutzfiim besteht aus einem organischen Lösungsmittel und einer Harzzusammensetzung, welche ein Polyalkylsyl-sesquioxan mit einer endständigen Hydroxygruppe und welche eine kleine Menge Alkenylgruppen als Seitenkette und eine Spur einer aromatischen Diazidoverbindung enthält.

Während oben beschrieben wurde, was gegenwärtig als bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung betrachtet wird, ist zu verstehen, dass verschiedene Modifikationen vorgenommen werden können und dass die anschliessenden Ansprüche alle solche Modifikationen soweit sie in den Geltungsbereich der Erfindung fallen, umfassen.

Claims

Patentansprüche 1. Lösung, insbesondere als Material eines Oberflächenschutzfilms für einen Farbfilter für ein lichtempfangendes Element oder ein Bildwiedergabeelement, enthaltend eine bei einer Temperatur von nicht über 270°C härtende organische Silikonleiterharzzusammensetzung, welche die folgenden Bestandteile (A) und (B) enthält: (A) ein bei nicht über 270°C härtendes organisches Silikonleiterpolymer mit endständiger Hydroxylgruppe, welches der folgenden allgemeinen Formel entspricht: HO HO.

1

Si— 0

Î

Si

I,

— 0

H

n

(I)

in welcher R1 und R2 jedes eine Phenylgruppe, Methylgruppe oder Alkenylgruppe bedeutet, vorausgesetzt, dass 2,5 bis 10% von n R1 und R2 Alkenylgruppen sind, wobei n eine ganze Zahl bedeutet, unter der Bedingung, dass das durchschnittliche Molekulargewicht des organischen Silikonleiters 75 000 bis 250 000 beträgt, und

(B) 0,25 bis 2,5 Gewichtsprozent, bezogen auf das Silikonleiterpolymer (A), einer aromatischen Diazidoverbindung.

2. Lösung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Silikonleiterpolymer (A) Polyphenyl-vinylsylsesquioxan, Polyallylphenylsylsesquioxan, Polymethylvinylsylsesquioxan, Polyallylmethylsylses-quioxan, Polyäthylvinylsylsesquioxan oder Polyallyläthylsylsesquioxan und die aromatische Diazidoverbindung (B) 3,3-Diazidodiphenylsulfon, 4,4'-Diazidodiphenylsulfon oder 2,6-Di-(azidobenzal)-cyclohe-xanon ist.

3. Lösung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Lösungsmittel der Lösung ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus aromatischen Kohlenwasserstoffen, wie Anisol, Xylol und Benzol; Ketonlösungsmitteln wie Methylisobutylketon und Aceton; Ätherlösungsmitteln wie Tetrahydrofu-ran und Isopropyläther; Äthylcellosolve; N-Methyl-2-pyrrolidon; N,N'-Dimethylacetamid und einem Gemisch davon.

4. Lösung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, in welcher

(A) ein Polyphenylsylsesquioxan mit einer endständigen Hydroxylgruppe ist, in welchem 3% der Seitenketten aus Vinyigruppen bestehen und welches ein mittleres Molekulargewicht von 150 000 aufweist und

(B) 1,8 Gewichtsprozent, bezogen auf Komponente (A), an 4,4'-Diazidodiphenylsulfon.

6

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

CH 684 481 A5

5. Lösung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, welche die folgenden Bestandteile (A), (B) und (C) enthält:

(A) ein Polyphenylsylsesquioxan mit einer endständigen Hydroxylgruppe, in welchem 3% der Seitenketten aus Vinyigruppen bestehen und welches ein mittleres Molekulargewicht von 150 000 aufweist;

(B) 1,8 Gewichtsprozent, bezogen auf Komponente (A), an 3,3'-Diazidodiphenylsulfon; und

(C) Methoxybenzol, welches dem Polyphenylsylsesquioxan (A) zugesetzt ist, so dass der Poly-phenylsylsesquioxangehalt etwa 15 Gewichtsprozent, bezogen auf das Gesamtgewicht, beträgt.

6. Lösung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die aromatische Diazidoverbindung (B) 4,4-Diazidodiphenylsulfon ist.

7. Verwendung der Lösung nach einem der vorstehenden Ansprüche als Material für einen Oberflächenschutzfilm auf einem Tragfilter für ein lichtempfangendes Element oder ein Bildwiedergabeelement.

8. Verfahren zur Herstellung eines Schutzfilms auf einem Farbfilter für ein lichtempfangendes Element oder ein Bildwiedergabeelement, gekennzeichnet durch folgende Stufen:

(a) eine filmbildende Stufe zum Auftrag der Lösung, welche eine bei nicht über 270°C härtende organische Silikonleiterharzzusammensetzung gemäss einem der Ansprüche 1 bis 5 enthält, auf den Farbfilter;

(b) eine Farbfilterüberzugsstufe zum Auftrag eines positiven Abdecklacks auf den in Stufe (a) gebildeten Film;

(c) eine musterbildende Stufe zur Bildung eines vorgesehenen Abdecklackmusters durch Projektion eines Laserstrahls auf das vorgesehene Muster, um den Abdecklack zu härten;

(d) eine Lithographiestufe zur Ätzung des Films mit einem organischen Lösungsmittelgemisch enthaltend Methoxybenzol, Xylol oder ein Gemisch davon, während das gebildete Abdecklackmuster als Maske verwendet wird, und

(e) eine Wärmebehandlungsstufe zur Wärmehärtung der organischen Silikonleiterharzzusammensetzung bei einer Temperatur von nicht mehr als 270°C während nicht mehr als 45 Minuten nach Entfernung des Abdecklacks mit einem Lackentferner.

9. Verfahren nach Anspruch 8 umfassend:

(a) eine filmbildende Stufe zum Auftrag der Lösung nach Anspruch 5 auf den Farbfilter in einer Dicke von 4 um, Trocknen des Farbfilters bei 80°C während 30 Minuten und dann bei 150°C während 30 Minuten;

(b) eine Farbfilterüberzugsstufe zum Auftrag eines positiven Abdecklacks auf den auf dem Farbfilter gebildeten Film in einer Dicke von 3 um;

(c) eine musterbildende Stufe zur Bildung eines vorgesehenen Abdecklackmusters durch Projektion eines Laserstrahls entlang dem vorgesehenen Muster, um den Abdecklack zu härten;

(d) eine Lithographiestufe zur Ätzung der durchsichtigen Harzschicht mit einer gemischten Lösung von Methoxybenzol und Xylol, welche in einem Volumverhältnis von 1:3 gemischt sind, und

(e) eine Hitzehärtungsstufe zur Wärmehärtung der organischen Silikonleiterharzzusammensetzung bei 260°C während 30 Minuten nach Entfernung des Abdecklacks mit einem Entferner.

7