CH694002A5 - Halbleiterbauelement mit Passivierungsschicht. - Google Patents

Halbleiterbauelement mit Passivierungsschicht. Download PDF

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CH694002A5
CH694002A5 CH01849/95A CH184995A CH694002A5 CH 694002 A5 CH694002 A5 CH 694002A5 CH 01849/95 A CH01849/95 A CH 01849/95A CH 184995 A CH184995 A CH 184995A CH 694002 A5 CH694002 A5 CH 694002A5
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passivation layer
semiconductor component
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hydrocarbons
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CH01849/95A
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Albert Dr Hammerschmidt
Reiner Barthelmess
Gerhard Dr Schmidt
Original Assignee
Eupec Gmbh & Co Kg
Siemens Ag
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings
    • H10W74/40Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their materials
    • H10W74/43Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their materials comprising oxides, nitrides or carbides, e.g. ceramics or glasses

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