CN103409727A - 一种在线提高柔性基材膜层质量装置 - Google Patents
一种在线提高柔性基材膜层质量装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103409727A CN103409727A CN2013103512242A CN201310351224A CN103409727A CN 103409727 A CN103409727 A CN 103409727A CN 2013103512242 A CN2013103512242 A CN 2013103512242A CN 201310351224 A CN201310351224 A CN 201310351224A CN 103409727 A CN103409727 A CN 103409727A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- module
- receiver module
- transmission
- probe
- receiver
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 41
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 47
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 7
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 6
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 5
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010923 batch production Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 abstract description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
本发明涉及一种在线提高柔性基材膜层质量装置，属于卷绕镀膜机在线监测装置。其结构它包括透射模块及反射模块，透射模块与反射模块包含各自光谱转换装置，光谱探测器放置于卷绕镀膜设备镀膜鼓与收卷室之间。本发明在线掌控镀膜质量，及时调整工艺参数，达到连续生产，极大地避免产品不良，以实现长期稳定的批量性生产。
Description
技术领域
本发明涉及一种在线提高柔性基材膜层质量装置，属于卷绕镀膜机在线监测装置。
背景技术
柔性透明导电膜是通过真空溅射方法，在透明聚脂膜片上沉积含银等金属的高导膜层，它具有极高透明度（70～85%），克服常规屏蔽玻璃透明度低（40%）的缺点，同时膜片很薄（0.125mm、0.175mm和0.188mm），可以直接贴覆在常规玻璃或有机玻璃表面，实现EMI电磁干扰屏蔽，由于膜片本身带有保护层，可以在恶劣的工作环境中工作。
近年来柔性透明导电薄膜应用随着触摸屏的发展越来越广泛，如手机，家电，汽车，家具等等，柔性透明导电薄膜采用卷绕镀膜设备镀制，随着技术水平提高，触摸屏导电膜层电阻越来越低，对品质要求越来越高。
目前，对柔性基材镀膜品质检测一般为镀膜后在机器外测试，如反射，透射，方阻；或者在基材表面放置单个光纤探头，实现在线监测膜层反射率及透射率。
发明内容
为了克服上述缺陷，本发明目的在于提供一种提高柔性基材膜层镀膜质量，提高膜层均匀性，在线及时调整工艺参数以保证提高产品良品数的在线提高柔性基材膜层质量装置。
为了达到上述目的，本发明采用如下技术方案：
一种在线提高柔性基材膜层质量装置，其结构它包括透射模块及反射模块，透射模块与反射模块包含各自光谱转换装置，光谱探测器放置于卷绕镀膜设备镀膜鼓与收卷室之间。
透射模块包含一个第一发射模块及四个接收模块:第一接收模块、第二接收模块、第三接收模块、第四接收模块。
发射模块内发射光源为卤钨灯，发射光分为四路，一路作为参考信号，不经过基材直接回到第四接收模块；其余三路经由发射器入射至基材表面，接收器：第一透射探头、第二透射探头、第三透射探头将光谱信号分别送入第一接收模块、第二接收模块、第三接收模块。
发射器与接收器：第一透射探头、第二透射探头、第三透射探头均垂直与基材表面，透射模块置于真空系统外侧，发射光及透射光经光纤传送。
反射模块包含一个第二发射模块及四个接收模块：第五接收模块、第六接收模块、第七接收模块、第八接收模块。
第二发射模块内发射光源为卤钨灯，发射光分为四路，一路作为参考信号，不经过基材直接回到第八接收模块；其余三路经由发射器入射至基材表面，接收器：第一反射探头、第二反射探头、第三反射探头将光谱信号分别送入第五接收模块、第六接收模块、第七接收模块。
每个发射器与接收器：第一反射探头、第二反射探头、第三反射探头位于同一位置，均垂直于基材表面，反射模块置于真空系统外侧，发射光及反射光信号经光纤传送。
透射模块及反射模块的接收模块内放置光电二极管阵列光谱仪。
基材三个位置放置光谱探头，三个位置透射光谱与反射光谱均可探测。
本发明与现有技术相比有如下技术优点：
本发明在线掌控镀膜质量，及时调整工艺参数，达到连续生产，极大地避免产品不良，以实现长期稳定的批量性生产。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
1 透射模块，2 反射模块，3 数据处理装置，4 显示装置，5 第一接收模块，6 第二接收模块，7 第三接收模块，8 第四接收模块，9 第一发射模块，10基材，11 光纤，12 第一透射探头，13 第二透射探头，14 第三透射探头，15第二发射模块，16 第五接收模块，17 第六接收模块，18 第七接收模块，19 第八接收模块，20 第一反射探头，21 第二反射探头，22 第三反射探头。
图2 为本发明安装位置结构示意图。
23放卷室，24 透射探头，25 反射探头，26收卷室，27 镀膜腔室，28 镀膜鼓。
图3为本发明具体实施结构图。
具体实施方式
为了详细叙述本发明专利的上述特点，优势和工作原理，下面结合说明书附图1、2、3和具体实施方式对本发明做进一步的说明，但本发明所保护的范围并不局限于此。
一种在线提高柔性基材膜层质量装置，其结构它包括透射模块1及反射模块2，透射模块1与反射模块2包含各自光谱转换装置，光谱探测器放置于卷绕镀膜设备镀膜鼓28与收卷室26之间。
透射模块1包含一个第一发射模块9及四个接收模块:第一接收模块5、第二接收模块6、第三接收模块7、第四接收模块8。
发射模块9内发射光源为卤钨灯，发射光分为四路，一路作为参考信号，不经过基材直接回到第四接收模块8；其余三路经由发射器入射至基材表面，接收器：第一透射探头12、第二透射探头13、第三透射探头14将光谱信号分别送入第一接收模块5、第二接收模块6、第三接收模块7。
发射器与接收器：第一透射探头12、第二透射探头13、第三透射探头14均垂直与基材10表面，透射模块置于真空系统外侧，发射光及透射光经光纤11传送。
反射模块2包含一个第二发射模块15及四个接收模块：第五接收模块16、第六接收模块17、第七接收模块18、第八接收模块19。
第二发射模块15内发射光源为卤钨灯，发射光分为四路，一路作为参考信号，不经过基材直接回到第八接收模块19；其余三路经由发射器入射至基材表面，接收器：第一反射探头20、第二反射探头21、第三反射探头22将光谱信号分别送入第五接收模块16、第六接收模块17、第七接收模块18。
每个发射器与接收器：第一反射探头20、第二反射探头21、第三反射探头22位于同一位置，均垂直于基材10表面，反射模块置于真空系统外侧，发射光及反射光信号经光纤11传送。
透射模块1及反射模块2的接收模块内放置光电二极管阵列光谱仪。
基材三个位置放置光谱探头，三个位置透射光谱与反射光谱均可探测。
如图2所示，基材经由放卷室23放入卷绕系统，分别经过不同镀膜腔室27镀制不同膜层，透射光谱探测器及反射光谱探测器均匀放置于基材表面上方，分别探测不同位置处光谱曲线，通过数据处理装置3由显示装置4显示出来，如果基材膜层厚度等发生变化，反射曲线及透射曲线相应发生变化，及时通过调整在线工艺参数以保证产品良品数。
以上所述实施例仅表达了本专利的一种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (8)
1.一种在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：其结构它包括透射模块（1）及反射模块（2），透射模块（1）与反射模块（2）包含各自光谱转换装置，光谱探测器放置于卷绕镀膜设备镀膜鼓（28）与收卷室（26）之间。
2.如权利要求1所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：透射模块（1）包含一个第一发射模块（9）及四个接收模块:第一接收模块（5）、第二接收模块（6）、第三接收模块（7）、第四接收模块（8）。
3.如权利要求2所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：发射模块（9）内发射光源为卤钨灯，发射光分为四路，一路作为参考信号，不经过基材直接回到第四接收模块（8）；其余三路经由发射器入射至基材表面，接收器：第一透射探头（12）、第二透射探头（13）、第三透射探头（14）将光谱信号分别送入第一接收模块（5）、第二接收模块（6）、第三接收模块（7）。
4.如权利要求3所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：发射器与接收器：第一透射探头（12）、第二透射探头（13）、第三透射探头（14）均垂直与基材（10）表面，透射模块置于真空系统外侧，发射光及透射光经光纤（11）传送。
5.如权利要求1所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：反射模块（2）包含一个第二发射模块（15）及四个接收模块：第五接收模块（16）、第六接收模块（17）、第七接收模块（18）、第八接收模块（19）。
6.如权利要求5所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：第二发射模块（15）内发射光源为卤钨灯，发射光分为四路，一路作为参考信号，不经过基材直接回到第八接收模块（19）；其余三路经由发射器入射至基材表面，接收器：第一反射探头（20）、第二反射探头（21）、第三反射探头（22）将光谱信号分别送入第五接收模块（16）、第六接收模块（17）、第七接收模块（18）。
7.如权利要求6所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：每个发射器与接收器：第一反射探头（20）、第二反射探头（21）、第三反射探头（22）位于同一位置，均垂直于基材（10）表面，反射模块置于真空系统外侧，发射光及反射光信号经光纤（11）传送。
8.如权利要求1所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：透射模块（1）及反射模块（2）的接收模块内放置光电二极管阵列光谱仪。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2013103512242A CN103409727A (zh) | 2013-08-13 | 2013-08-13 | 一种在线提高柔性基材膜层质量装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2013103512242A CN103409727A (zh) | 2013-08-13 | 2013-08-13 | 一种在线提高柔性基材膜层质量装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103409727A true CN103409727A (zh) | 2013-11-27 |
Family
ID=49602765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2013103512242A Pending CN103409727A (zh) | 2013-08-13 | 2013-08-13 | 一种在线提高柔性基材膜层质量装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103409727A (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107367516A (zh) * | 2017-07-19 | 2017-11-21 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种涂布检测修复装置及其方法 |
| CN109913846A (zh) * | 2017-12-13 | 2019-06-21 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 多用途金属膜层真空镀膜生产线 |
| CN110629191A (zh) * | 2019-11-01 | 2019-12-31 | 北京大学 | 一种石墨烯薄膜卷对卷生产装置及方法 |
| CN116732489A (zh) * | 2023-04-20 | 2023-09-12 | 上海传芯半导体有限公司 | 监控系统、薄膜沉积系统和薄膜产品的制造方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20030143318A1 (en) * | 2002-01-31 | 2003-07-31 | Karsten Schutte | Apparatus and method for thermal spraying |
| CN202196010U (zh) * | 2011-09-06 | 2012-04-18 | 南昌欧菲光科技有限公司 | 一种带有参考信号的在线监测薄膜光学特征仪器设备 |
| CN202403671U (zh) * | 2011-12-06 | 2012-08-29 | 成都中科唯实仪器有限责任公司 | 全自动光学测厚仪 |
| CN103162832A (zh) * | 2011-12-19 | 2013-06-19 | 中国科学院微电子研究所 | 包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统 |
| CN203451611U (zh) * | 2013-08-13 | 2014-02-26 | 南昌欧菲光科技有限公司 | 一种在线提高柔性基材膜层质量装置 |
-
2013
- 2013-08-13 CN CN2013103512242A patent/CN103409727A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20030143318A1 (en) * | 2002-01-31 | 2003-07-31 | Karsten Schutte | Apparatus and method for thermal spraying |
| CN202196010U (zh) * | 2011-09-06 | 2012-04-18 | 南昌欧菲光科技有限公司 | 一种带有参考信号的在线监测薄膜光学特征仪器设备 |
| CN202403671U (zh) * | 2011-12-06 | 2012-08-29 | 成都中科唯实仪器有限责任公司 | 全自动光学测厚仪 |
| CN103162832A (zh) * | 2011-12-19 | 2013-06-19 | 中国科学院微电子研究所 | 包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统 |
| CN203451611U (zh) * | 2013-08-13 | 2014-02-26 | 南昌欧菲光科技有限公司 | 一种在线提高柔性基材膜层质量装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107367516A (zh) * | 2017-07-19 | 2017-11-21 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种涂布检测修复装置及其方法 |
| CN107367516B (zh) * | 2017-07-19 | 2020-08-04 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种涂布检测修复装置及其方法 |
| CN109913846A (zh) * | 2017-12-13 | 2019-06-21 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 多用途金属膜层真空镀膜生产线 |
| CN110629191A (zh) * | 2019-11-01 | 2019-12-31 | 北京大学 | 一种石墨烯薄膜卷对卷生产装置及方法 |
| CN116732489A (zh) * | 2023-04-20 | 2023-09-12 | 上海传芯半导体有限公司 | 监控系统、薄膜沉积系统和薄膜产品的制造方法 |
| CN116732489B (zh) * | 2023-04-20 | 2024-05-03 | 上海传芯半导体有限公司 | 监控系统、薄膜沉积系统和薄膜产品的制造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103409727A (zh) | 一种在线提高柔性基材膜层质量装置 | |
| CN203451611U (zh) | 一种在线提高柔性基材膜层质量装置 | |
| CN103673905B (zh) | 一种磁控溅射镀光学膜膜厚监控方法 | |
| JP2010203813A (ja) | 薄膜の検査装置及び検査方法 | |
| US20170088941A1 (en) | Apparatus for processing of a material on a substrate and method for measuring optical properties of a material processed on a substrate | |
| CN105521889B (zh) | 涂层厚度及平整度自动控制喷涂装置 | |
| CN104880252A (zh) | 一种基于多路复用技术的多通道光谱测量装置与方法 | |
| CN202267757U (zh) | 太赫兹带光学元件用线栅偏振片以及电磁波处理装置 | |
| CN203396488U (zh) | 应用于mocvd的双波长比色测温及校温装置 | |
| WO2024261773A1 (en) | Two-dimensional (2d) material based fluorescent optical fiber sensor for partial discharge detection in transformers and methods thereof | |
| CN202975377U (zh) | 平行四边形棱镜 | |
| CN109116124A (zh) | 一种移动式多输出电磁屏蔽效能测试装置 | |
| CN107192715B (zh) | 一种新型卷烟机水松纸接头检测装置 | |
| CN104390976A (zh) | 薄膜涂布在线监控系统 | |
| Han et al. | Spectroelectrochemical properties of ultra-thin indium tin oxide films under electric potential modulation | |
| CN2783265Y (zh) | 宽光谱光学镀膜在线监控系统 | |
| US20210247322A1 (en) | Measuring apparatus and film forming apparatus | |
| CN204612668U (zh) | 直控超宽光谱在线膜厚监测系统 | |
| CN204142194U (zh) | 多光束光学厚膜监测仪 | |
| CN203629606U (zh) | 光纤光栅温湿传感器及温湿度检测系统 | |
| CN102937774B (zh) | 一种镜头模组检测装置 | |
| CN210682691U (zh) | 一种智能手机后盖用uv阻隔光学复合膜检测装置 | |
| CN116907363A (zh) | 一种多监控点光学膜厚直接监控系统 | |
| JP2007225418A (ja) | 透明導電膜評価装置及び透明導電膜の評価方法 | |
| CN204203107U (zh) | 薄膜涂布在线监控系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20131127 |
|
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |