CN121237752A - 压电式散热装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种压电式散热装置，包括腔体以及位于腔体的相对的两侧的第一压电振子和第二压电振子，腔体包括相对设置的顶板、底板和侧板，沿着腔体的周向方向，侧板上设置有至少一个连通孔；腔体内设置有隔断结构，隔断结构固定连接于侧板上，隔断结构和顶板之间形成第一空间，隔断结构和底板之间形成第二空间，隔断结构内设置连通每一个连通孔和第一空间的第一通道，以及连通每一个连通孔和第二空间的第二通道；隔断结构包括朝向顶板设置的第一表面，顶板未发生形变时，第一表面与顶板之间的距离由中心向边缘逐渐减小；隔断结构包括朝向底板设置的第二表面，底板未发生形变时，第二表面与底板之间的距离由中心向边缘逐渐减小。

Description

压电式散热装置

技术领域

本发明涉及显示产品制作技术领域，尤其涉及一种显示装置。

背景技术

随着电子设备逐步向高度集成化、微型化、功能化方向演变，其内部热量不断集中、热流密度不断升高，易引发电子设备的热失效。为保证电子设备工作的可靠性和稳定性，迫切需要发展新型的高效散热技术。鉴于此，以合成射流压电式气泵越来越受到重视，需要更薄更高效的气泵代替传统风扇来散热。射流器件的腔体内部无隔垫片，圆形压电振子的振动特性为中心位移最大，越往边缘位移逐渐减小。此特性导致压电振子压缩时无法将边缘区域的气体排出，压缩比不高，导致合成射流效率低。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种压电式散热装置，解决由于压缩比低，而导致的合成射流效率低的问题。

为了达到上述目的，本发明实施例采用的技术方案是：一种压电式散热装置，包括腔体以及位于所述腔体的相对的两侧的第一压电振子和第二压电振子：

所述腔体包括相对设置的顶板和底板，以及位于所述顶板和所述底板之间的侧板，沿着所述腔体的周向方向，所述侧板上设置有与所述腔体的内部连通的至少一个连通孔；

所述第一压电振子位于所述顶板远离所述底板的一侧，所述第二压电振子设置于所述底板远离所述顶板的一侧；

所述第一压电振子和所述第二压电振子被配置为被施加电压时，所述第一压电振子和所第二压电振子产生振动，带动所述顶板和所述底板形变，以改变所腔体的内部的容积；

所述腔体内设置有隔断结构，所述隔断结构固定连接于所述侧板上，所述隔断结构和所述顶板之间形成第一空间，所述隔断结构和所述底板之间形成第二空间，所述隔断结构内设置连通于每一个所述连通孔和所述第一空间之间的第一通道，以及连通于每一个所述连通孔和所述第二空间之间的第二通道；

所述隔断结构包括朝向所述顶板设置的第一表面，所述顶板未发生形变时，所述第一表面与所述顶板之间的距离由中心向边缘逐渐减小；

所述隔断结构包括朝向所述底板设置的第二表面，所述底板未发生形变时，所述第二表面与所述底板之间的距离由中心向边缘逐渐减小。

可选的，在所述第一压电振子的振动方向上，所述顶板未发生形变时，所述顶板与所述隔断结构之间的距离大于或等于所述顶板的最大形变距离；

在所述第二压电振子的振动方向上，所述底板未发生形变时，所述底板与所述隔断结构之间的距离大于或等于所述底板的最大形变距离。

可选的，所述第一表面的形状与所述顶板处于最大形变状态时的形状相符；

所述第二表面的形状与所述底板处于最大形变状态时的形状相符。

可选的，所述第一通道包括第一子通道和第二子通道，所述第一表面设置开口，并由该开口向所述底板的方向延伸形成所述第一子通道，所述第一子通道远离所述顶板的一端向所述连通孔的方向延伸形成所述第二子通道，所述第一子通道和所述第二子通道之间的夹角大于或等于90度；

所述第二通道包括第三子通道和第四子通道，所述第二表面设置开口，并由该开口向所述顶板的方向延伸形成所述第三子通道，所述第三子通道远离所述底板的一端向所述连通孔的方向延伸形成所述第四子通道，所述第三子通道和所述第四子通道之间的夹角大于或等于90度。

可选的，所述第一子通道与所述第三子通道平行设置，且所述第一子通道在所述底板上的正投影与所述第三子通道在所述底板上的正投影重合，且所述第二子通道复用为所述第四子通道。

可选的，所述第一子通道的沿第一方向延伸的第一中心线与所述容纳腔的沿第一方向延伸的中心线重合，所述第一方向与从所述顶板到所述底板的方向相平行。

可选的，在所述顶板未发生形变时，所述第二子通道平行于所述顶板设置。

可选的，所述第一通道为从所述第一表面向所述连通孔延伸的曲向通道，或者所述第一通道为从所述第一表面向所述连通孔延伸的直线形通道。

可选的，在平行于所述顶板的方向上，所述第一表面包括第一中心区域和围设于所述第一中心区域的第一外围区域，所述第一通道贯穿所述第一表面的开口位于所述第一外围区域；

在平行于所述顶板的方向上，所述第二表面包括第二中心区域和围设于所述第二中心区域的第二外围区域，所述第二通道贯穿所述第二表面的开口位于所述第二外围区域。

可选的，所述第一表面和所述第二表面绕所述连通孔的轴向中心线对称设置，连接于同一连通孔的所述第一通道和所述第二通道绕该连通孔的轴向轴心线对称设置。

可选的，所述腔体为圆柱形结构，所述腔体的直径为19～21mm，所述连通孔的直径为0.1～0.3mm。

可选的，所述第一压电振子和所述第二压电振子的厚度相同，所述第一压电振子的厚度为0.15～0.35mm，所述第一压电振子和所述第二压电振子之间的距离为0.8-1.2mm。

本发明的有益效果是：通过所述隔断结构的设置，增大了所述腔体的压缩比，提高了盒体射流的效率。

附图说明

图1表示本发明实施例中的压电式散热装置的结构示意图；

图2表示本发明实施例中的压电式散热装置的结构示意图；

图3表示本发明实施例中的压电式散热装置的结构示意图；

图4表示本发明实施例中的隔断结构的示意图；

图5表示本发明实施例中的隔断结构的示意图；

图6表示所述腔体的直径为16mm，所述连通孔处的流体速度的模拟示意图；

图7表示所述腔体的直径为20mm，所述连通孔处的流体速度的模拟示意图；

图8表示所述腔体的直径为24mm，所述连通孔处的流体速度的模拟示意图；

图9表示所述腔体的直径为20mm，所述连通孔的直径为0.2mm时的流体速度模拟示意图；

图10表示所述腔体的直径为20mm，所述连通孔的直径为0.5mm时的流体速度模拟示意图；

图11表示所述腔体的直径为20mm，所述连通孔的直径为0.8mm时的流体速度模拟示意图；

图12表示所述腔体直径为20mm，所述连通孔的直径为0.5mm的无隔断结构的流体速度模拟示意图。

具体实施方式

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

参考图1-图5，本实施例提供一种压电式散热装置，包括腔体1以及位于所述腔体1的相对的两侧的第一压电振子2和第二压电振子3：

所述腔体1包括相对设置的顶板11和底板12，以及位于所述顶板11和所述底板12之间的侧板，沿着所述腔体1的周向方向，所述侧板上设置有与所述腔体1的内部连通的至少一个连通孔5；

所述第一压电振子2位于所述顶板11远离所述底板12的一侧，所述第二压电振子3设置于所述底板12远离所述顶板11的一侧；

所述第一压电振子2和所述第二压电振子3被配置为被施加电压时，所述第一压电振子2和所第二压电振子3产生振动，带动所述顶板11和所述底板12形变，以改变所腔体1的内部的容积；

所述腔体1内设置有隔断结构4，所述隔断结构4固定连接于所述侧板上，所述隔断结构4和所述顶板11之间形成第一空间，所述隔断结构4和所述底板12之间形成第二空间，所述隔断结构4内设置连通于每一个所述连通孔5和所述第一空间之间的第一通道6，以及连通于每一个所述连通孔5和所述第二空间之间的第二通道7；

所述隔断结构4包括朝向所述顶板11设置的第一表面41，所述顶板11未发生形变时，所述第一表面41与所述顶板11之间的距离由中心向边缘逐渐减小；

所述隔断结构4包括朝向所述底板12设置的第二表面42，所述底板12未发生形变时，所述第二表面42与所述底板12之间的距离由中心向边缘逐渐减小。

在众多流动控制技术中,合成射流作为一种主动控制技术,因为控制效率高、结构简单、便于布置等优点,得到了广泛的研究和关注。成射流的原理是通过周期性将流体吹出、吸入激励腔,在孔口或者狭缝外诱导形成一系列的涡环或者涡对.涡环或者涡对在形成以及向下游对流的过程中,通过诱导作用不断卷吸周围流体,进而对流场形成控制。

在本实施例中，对所述第一压电振子2和所述第二压电振子3施加交变电压，由于逆压电效应，所述第一压电振子2和所述第二压电振子3发生振动，且所述第一压电振子2和所述第二压电振子3的振动方向相反(此处是指在同一方向上相向运动或相背运动)，振动频率相同。所述腔体1的所述顶板11和所述底板12随之产生周期性振动，将输入的电能转化为所述顶板11和所述底板12振动的动能，从而在所述连通孔5处有非定常射流产生。当所述第一压电振子2和所述第二压电振子3相背运动时，腔体1气体压强降低，外界气体由所述连通孔5进入所述腔体1；当所述第一压电振子2和所述第二压电振子3相向运动时，所述腔体1内气体受到压缩，又会经由所述连通孔5喷出所述腔体1。在气体交替吸入和射出的过程中，所述连通孔5附近的气流受到强烈的剪切作用，因而在所述连通孔5的边缘处产生流动分离，进而随排出流体向上卷起形成旋涡对。当进入下一个吸气过程时，由前一个吹气过程形成并向下游运动的旋涡对已经远离出口附近，而不受吸气的影响，气体在这种不断的吹/吸交替过程中，从而形成一列向下游迁移的旋涡对。旋涡一经形成，就会以自诱导速度向下游迁移，在迁移过程中，旋涡对的能量不断耗散，其相干结构逐渐消失，旋涡对变得模糊不清，最终演化为散乱的湍流流动直至与环境气体融为一体。周期性的振动不断产生旋涡对并重复旋涡对的发展演化过程，从而形成合成射流。

从所述顶板11到所述底板12的方向，当所述顶板11从初始位置，向靠近所述底板12的方向运动到下方最大位移，再恢复到初始位置，再向远离所述底板12的方向运动到最大位移，最后恢复到初始位置，所述底板12与所述底板12进行同步运动，如此周期性运动，不断作用于射流，形成一系列涡环，冲击到目标位置，增强了射流与目标位置的对流换热。所述顶板11或所述底板12的位移越大，则进入或喷出所述腔体1的流速越大，而所述第一压电振子2或所述第二压电振子3的中心位置位移最大，随着远离中心的距离越大，则位移越小，此特性导致所述第一压电振子2或所述第二压电振子3压缩时无法将边缘区域的气体排出，压缩比不高，导致合成射流效率低。

本实施例中，针对上述问题，在所述腔体1内设置隔断结构4，所述隔断结构4和所述顶板11之间形成第一空间，所述隔断结构4和所述底板12之间形成第二空间，所述隔断结构4内设置连通于每一个所述连通孔5和所述第一空间之间的第一通道6，以及连通于每一个所述连通孔5和所述第二空间之间的第二通道7；且所述隔断结构4包括朝向所述顶板11设置的第一表面41，所述顶板11未发生形变时，所述第一表面41与所述顶板11之间的距离由中心向边缘逐渐减小；所述隔断结构4包括朝向所述底板12设置的第二表面42，所述底板12未发生形变时，所述第二表面42与所述底板12之间的距离由中心向边缘逐渐减小。也就是说，从所述顶板11到所述底板12的方向，所述隔断结构4的厚度由中心到边缘逐渐增大，所述隔断结构4填充了所述腔体1的边缘区域的位置，避免有呆滞气体占据所述腔体1空间而消耗所述第一压电振子2或所述第二压电振子3的动能，且保证所述第一压电振子2或所述第二压电振子3在其中心位置的位移，提高压缩比，从而提升合成射流的效率。

示例性的实施方式中，在所述第一压电振子2的振动方向上，所述顶板11未发生形变时，所述顶板11与所述隔断结构4之间的距离大于或等于所述顶板11的最大形变距离；

在所述第二压电振子3的振动方向上，所述底板12未发生形变时，所述底板12与所述隔断结构4之间的距离大于或等于所述底板12的最大形变距离。

采用上述方案，避免所述隔断结构4的设置影响所述第一压电振子2和所述第二压电振子3的振动。

示例性的实施方式中，所述第一表面41的形状与所述顶板11处于最大形变状态时的形状相符；

所述第二表面42的形状与所述底板12处于最大形变状态时的形状相符。

所述隔断结构4的所述第一表面41的形状由所述顶板11的最大形变量时的形状决定(图1中标号100所示的虚线曲线表示所述顶板处于最大形变时的形状)，所述隔断结构4的所述第二表面42的形状由所述底板12的最大的形变量时的形状决定(图1中标号200所示的虚线曲线表示所述底板处于最大形变时的形状)，即所述隔断结构4形状根据所述顶板11和所述底板12的最大位移压缩量设置的。在一些实施方式中，在所述顶板11处于最大压缩量时，所述顶板11与所述第一表面41接触，但是所述顶板11和所述第一表面41之间无压力，同样的，在所述底板12处于最大压缩量时，所述底板12与所述第二表面42接触，但是所述底板12和所述第二表面42之间无压力，以最大限度的提高压缩比。

示例性的，所述第一表面41可以为曲面，示例性的所述第一表面41可以为斜面；所述第二表面42可以为曲面，示例性的所述第二表面42可以为斜面。

示例性的，所述隔断结构4的形状与所述腔体1的形状相符，例如所述腔体1为圆柱形结构，所述隔断结构4也为圆柱形结构。

示例性的实施方式中，所述连通孔5可以设置为一个，也可以设置为多个，具体根据实际使用环境中所需的流体的流动方向设定。

示例性的，在所述连通孔5设置为多个时，在所述腔体1的周向方向上，多个所述连通孔5均匀设置。

示例性的实施方式中，每个所述连通孔5是同时连通所述第一通道6和所述第二通道7的，在从所述顶板11到所述底板12的方向上，所述连通孔5位于所述腔体1的侧板的中心位置，所述连通孔5的轴向中心线位于所述侧板的中心，便于所述第一通道6和所述第二通道7的设置。

示例性的，在从所述顶板11到所述底板12的方向，所述第一压电振子2和所述第二压电振子3到所述连通孔5的距离是相同的，所述第一通道6和所述第二通道7相对于所述连通孔5的轴向中心线是对称设置的，以避免产生乱流。

示例性的实施方式中，所述第一通道6包括第一子通道61和第二子通道62，所述第一表面41设置开口，并由该开口向所述底板12的方向延伸形成所述第一子通道61，所述第一子通道61远离所述顶板11的一端向所述连通孔5的方向延伸形成所述第二子通道62，所述第一子通道61和所述第二子通道62之间的夹角大于或等于90度；

所述第二通道7包括第三子通道71和第四子通道72，所述第二表面42设置开口，并由该开口向所述顶板11的方向延伸形成所述第三子通道71，所述第三子通道71远离所述底板12的一端向所述连通孔5的方向延伸形成所述第四子通道72，所述第三子通道71和所述第四子通道72之间的夹角大于或等于90度。

示例性的实施方式中，所述第一子通道61与所述第三子通道71平行设置，且所述第一子通道61在所述底板12上的正投影与所述第三子通道71在所述底板12上的正投影重合，且所述第二子通道62复用为所述第四子通道72。

示例性的实施方式中，所述第一子通道61的沿第一方向(参考图1中的X方向)延伸的第一中心线与所述容纳腔的沿第一方向延伸的中心线重合，所述第一方向与从所述顶板11到所述底板12的方向相平行。

示例性的实施方式中，在所述顶板11未发生形变时，所述第二子通道62平行于所述顶板11设置。即所述第二子通道62为直线形通道，利于流体的流畅性。

示例性的实施方式中，所述第一通道6为从所述第一表面41向所述连通孔5延伸的曲向通道，或者所述第一通道6为从所述第一表面41向所述连通孔5延伸的直线形通道。

示例性的实施方式中，在平行于所述顶板11的方向上，所述第一表面41包括第一中心区域和围设于所述第一中心区域的第一外围区域，所述第一通道6贯穿所述第一表面41的开口位于所述第一外围区域；

在平行于所述顶板11的方向上，所述第二表面42包括第二中心区域和围设于所述第二中心区域的第二外围区域，所述第二通道7贯穿所述第二表面42的开口位于所述第二外围区域。

采用上述方案，可以增加所述隔断结构4的中心厚度，进而提高机械强度，提升使用寿命。

示例性的实施方式中，所述第一表面41和所述第二表面42绕所述连通孔5的轴向中心线对称设置，连接于同一连通孔5的所述第一通道6和所述第二通道7绕该连通孔5的轴向轴心线对称设置。

示例性的实施方式中，所述腔体1为圆柱形结构，所述腔体1的直径为19～21mm，所述连通孔5的直径为0.1～0.3mm。

设定所述腔体1为圆柱形，所述第一压电振子2和所述第二压电振子3为圆形，所述第一压电振子2和所述第二压电振子3的结构相同，所述腔体1的直径用表示(所述腔体的顶板、底板和侧板的厚度一般相同，为0.1-0.2mm，在此处可忽略不计)，所述第一压电振子2的厚度和所述第二压电振子3的厚度均为T1，所述腔体1的厚度为T2，所述连通孔5的直径大小为

设定为5mm，模拟所述连通孔5处的流体速度随(所述腔体1的直径)的大小变化；

设定为16mm，20mm，24mm三种尺寸，分别得到所述连通孔5处的流体速度为1mm/s，300mm/s，120mm/s，模拟结果参考图6、图7和图8。

设定所述腔体1的直径为20mm，模拟所述连通孔5的大小对所述连通孔5处的流体速度的影响，分别以所述连通孔5的直径为0.2mm，0.5mm，0.8mm模拟流体流速，模拟结果如图9、图10和图11，在所述连通孔的直径为0.2mm时，所述连通孔处的流体速度为500mm/s，在所述连通孔的直径为0.5mm时，所述连通孔处的流体速度为300mm/s，在所述连通孔的直径为0.8mm时，所述连通孔处的流体速度为220mm/s。

综上，优选的，所述腔体1的直径为19～21mm。所述连通孔5的直径尽可能小，可以控制所述连通孔5的直径在0.1～0.3mm之间。

对于腔体直径为20mm，所述连通孔的直径为0.5mm的无隔断结构4的合成射流器件进行仿真，仿真结果为所述连通孔5处的流体速度为小于80mm/s(参考图12)，远小于本实施例中同等尺寸模拟获得的所述连通孔处的流体速度(本实施例中散热装置设置所述隔断结构4，同等尺寸模拟获得的所述连通孔处的流体速度为300mm/s，参考图10)。

示例性的实施方式中，所述第一压电振子2和所述第二压电振子3的厚度相同，所述第一压电振子2的厚度为0.15～0.35mm，所述第一压电振子2和所述第二压电振子3之间的距离为0.8-1.2mm。

示例性的实施方式中，所述第一压电振子2和所述第二压电振子3的材料相同，所述第一压电振子2的材料可以为括钛酸钡(BaTiO3，BT)、钛酸铅锆(Pb(Zr0.53Ti0.47)O3，PZT)、电气石、罗德盐、钽酸盐、铌酸盐、氮化铝(AlN)、氮化镓(GaN)中的一种或几种。

有以下几点需要说明：

(1)本公开实施例附图只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计。

(2)为了清晰起见，在用于描述本公开的实施例的附图中，层或区域的厚度被放大或缩小，即这些附图并非按照实际的比例绘制。可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”或者可以存在中间元件。

(3)在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种压电式散热装置，其特征在于，包括腔体以及位于所述腔体的相对的两侧的第一压电振子和第二压电振子：

所述腔体包括相对设置的顶板和底板，以及位于所述顶板和所述底板之间的侧板，沿着所述腔体的周向方向，所述侧板上设置有与所述腔体的内部连通的至少一个连通孔；

所述第一压电振子位于所述顶板远离所述底板的一侧，所述第二压电振子设置于所述底板远离所述顶板的一侧；

所述第一压电振子和所述第二压电振子被配置为被施加电压时，所述第一压电振子和所第二压电振子产生振动，带动所述顶板和所述底板形变，以改变所腔体的内部的容积；

所述腔体内设置有隔断结构，所述隔断结构固定连接于所述侧板上，所述隔断结构和所述顶板之间形成第一空间，所述隔断结构和所述底板之间形成第二空间，所述隔断结构内设置连通于每一个所述连通孔和所述第一空间之间的第一通道，以及连通于每一个所述连通孔和所述第二空间之间的第二通道；

所述隔断结构包括朝向所述顶板设置的第一表面，所述顶板未发生形变时，所述第一表面与所述顶板之间的距离由中心向边缘逐渐减小；

所述隔断结构包括朝向所述底板设置的第二表面，所述底板未发生形变时，所述第二表面与所述底板之间的距离由中心向边缘逐渐减小。

2.根据权利要求1所述的压电式散热装置，其特征在于，在所述第一压电振子的振动方向上，所述顶板未发生形变时，所述顶板与所述隔断结构之间的距离大于或等于所述顶板的最大形变距离；

在所述第二压电振子的振动方向上，所述底板未发生形变时，所述底板与所述隔断结构之间的距离大于或等于所述底板的最大形变距离。

3.根据权利要求2所述的压电式散热装置，其特征在于，所述第一表面的形状与所述顶板处于最大形变状态时的形状相符；

所述第二表面的形状与所述底板处于最大形变状态时的形状相符。

4.根据权利要求2所述的压电式散热装置，其特征在于，所述第一通道包括第一子通道和第二子通道，所述第一表面设置开口，并由该开口向所述底板的方向延伸形成所述第一子通道，所述第一子通道远离所述顶板的一端向所述连通孔的方向延伸形成所述第二子通道，所述第一子通道和所述第二子通道之间的夹角大于或等于90度；

所述第二通道包括第三子通道和第四子通道，所述第二表面设置开口，并由该开口向所述顶板的方向延伸形成所述第三子通道，所述第三子通道远离所述底板的一端向所述连通孔的方向延伸形成所述第四子通道，所述第三子通道和所述第四子通道之间的夹角大于或等于90度。

5.根据权利要求4所述的压电式散热装置，其特征在于，所述第一子通道与所述第三子通道平行设置，且所述第一子通道在所述底板上的正投影与所述第三子通道在所述底板上的正投影重合，且所述第二子通道复用为所述第四子通道。

6.根据权利要求5所述的压电式散热装置，其特征在于，所述第一子通道的沿第一方向延伸的第一中心线与所述腔体的沿第一方向延伸的中心线重合，所述第一方向与从所述顶板到所述底板的方向相平行。

7.根据权利要求5所述的压电式散热装置，其特征在于，在所述顶板未发生形变时，所述第二子通道平行于所述顶板设置。

8.根据权利要求2所述的压电式散热装置，其特征在于，所述第一通道为从所述第一表面向所述连通孔延伸的曲向通道，或者所述第一通道为从所述第一表面向所述连通孔延伸的直线形通道。

9.根据权利要求8所述的压电式散热装置，其特征在于，在平行于所述顶板的方向上，所述第一表面包括第一中心区域和围设于所述第一中心区域的第一外围区域，所述第一通道贯穿所述第一表面的开口位于所述第一外围区域；

在平行于所述顶板的方向上，所述第二表面包括第二中心区域和围设于所述第二中心区域的第二外围区域，所述第二通道贯穿所述第二表面的开口位于所述第二外围区域。

10.根据权利要求2所述的压电式散热装置，其特征在于，所述第一表面和所述第二表面绕所述连通孔的轴向中心线对称设置，连接于同一连通孔的所述第一通道和所述第二通道绕该连通孔的轴向轴心线对称设置。

11.根据权利要求1所述的压电式散热装置，其特征在于，所述腔体为圆柱形结构，所述腔体的直径为19～21mm，所述连通孔的直径为0.1～0.3mm。

12.根据权利要求1所述的压电式散热装置，其特征在于，所述第一压电振子和所述第二压电振子的厚度相同，所述第一压电振子的厚度为0.15～0.35mm，所述第一压电振子和所述第二压电振子之间的距离为0.8-1.2mm。