CS242347B1 - Sposob kontinuálneho čistenia, najma integrovaných obvodov a zariadenie k jeho vykonávaniu - Google Patents

Description

Vynález sa týká spůsobu kontinuálneho čistenia najma integrovaných obvodov a zariádenia k jeho vykonávaniu.

Doteraz sa čistenie v ultrazvukových várnách vykonává tak, že sa čištěné súčiastky ponárajú v zvislom smere do vane. Pri tomto čistění předměty musia vykonávat vertikálny aj horizontálny pohyb. Nevýhodou tohoto sposobu čistenia a zariadenia k jeho vykonávaniu je zložitosť pohybových mechanizmov. Je známy aj kontinuálny sposob čistenia s priamočiarym horizontálnym pohybom čištěných súčiastok, na ktoré sa čistiaca kvapalna strieka z čistiacej vane. Nevýhodou tohoto sposobu je, že nie je možné ho kombinovat s působením ultrazvukovej energie.

Vyššie uvedené nedostatky odstraňuje spůsob kontinuálneho čistenia najma integrovaných obvodov a zariadenie k jeho vykonávaniu podl'a vynálezu, ktorého podstatou je, že na integrované obvody unášané na dopravnom páse sa působí kontinuálnou vlnou čistiacej kvapaliny za spolupňsobenia ultrazvukovej energie. Do podstaty vynálezu patří aj to, že před a za vaňou sú vytvořené přepadové odvádzacie komory. Horný okraj přepadových odvádzacích komůr zasahuje po rovinu dolných hrán vybraní vytvořených v stěnách vane pod dopravným pásom integrovaných obvodov. Přívod čistiacej kvapaliny je umiestnený v střede dna čistiacej vane a vo váni sú pevne umiestnené ultrazvukové žiariče.

Spůsobom kontinuálneho čistenia najma integrovaných obvodov a zariadením k jeba vykonávaniu sa docieli zjednodušenie mecbanizmov premiestňovania čištěných súčiastok, tieto sa dopravujú len v priamočiarom smere. Dosahuje sa skrátenie čistiacej operácíe a zvýši sa výkon zariadenia.

Na pripojenom výkrese je znázorněné příkladné riešenie zariadenia na kontinuálně čistenie integrovaných obvodov, kde na obr. 1 je schematicky nakreslený nárys a na obr. 2 je nakreslený bokorys v pohlede.

Spůsob kontinuálneho čistenia integrovaných obvodov sa vykonává následovně: Integrované obvody 6 sú upnuté na dopravnom páse 3, ktorý ich unáša v priamočiarom smere nad čistiacou vaňou 1. Kontinuálna vlna čistiacej kvapaliny působí na integrované obvody 6 svojimi čistiacimi účinkami a zároveň sa spolupůsobí na integrované obvody 6 ultrazvukovou energiou cez čistlacu kvapalinu.

Zariadenie k vykonávaniu spůsobu kontinuálneho čistenia integrovaných obvodov pozostáva z čistiacej vane 1, v ktorej v střede dna 7 je vytvořený přívod 8 čistiacej kvapaliny. Na dne čistiacej vane 1 sú pevne uložené ultrazvukové žiariče 5. Před a za čistiacou vaňou 1 sú vytvořené přepadové odvádzacie komory 2. Nad čistiacou vaňou 1 je umiestnený dopravný pás 3, na ktorom sú pevne upnuté integrované obvody 6. V dráhe integrovaných obvodov 6 sú v stěnách čistiacej vane 1 vytvořené vybrania 9, ktorých dolné hrany sú v jednej rovině s koncovými stěnami přepadových odvádzacích komůr 2. Na dne 7 přepadových odvádzacích komor 2 sú vytvořené výtokové otvory 4. Čistiaca vaňa 1 je naplněná časiacou kvapalinou.

Funkcia zariadenia na kontinuálně čistenie integrovaných obvodov je nasledovná: Prívodom 8 sa vháňa prostredníctvom čerpadle (na obr. nezakreslenéj čistiaca kvapalina do čistiacej vane 1, kde sa zvýši hladina o výšku h a začne pretekať cez vybrania 9 do přepadových odvádzacích komor 2. Takto sa vytvořila v hornej časti čistiacej vane 1 kontinuálna vlna 10 čistiacej kvapaliny. Na dopravnom páse 3 sú unášané integrované obvody 6, ktoré prechádzajú cez kontinuálnu vlnu 10 čistiacej kvapaliny za spolupůsobenia ultrazvukovej energie z ultrazvukových žiaričov 5, čím sa integrované obvody 6 vyčistia.

Claims (2)

1. PREDMET

   1. Spůsob kontinuálneho čistenia najma integrovaných obvodov vyznačujúci sa tým, že na integrované obvody unášané na dopravnom páse nad vaňou sa působí kontinuálnou vlnou čistiacej kvapaliny za spolupůsobenia ultrazvukovej energie.
2. 2. Zariadenie k vykonávaniu spůsobu kontinuálneho čistenia podlá bodu 1, vyznačené tým, že před a za čistiacou vaňou (lj sú vytvořené přepadové odvádzacie komo- ry (2), pričom horný okraj přepadových odvádzacích komůr (2) zasahuje po rovinu dolných hrán vybraní (9) vytvořených v stěnách čistiacej vane (1) pod dopravným pásom (3j integrovaných obvodov, kým přívod čistiacej kvapaliny je umiestnený v střede dna (7J čistiacej vane (1) a vo váni (lj sú pevne umiestnené ultrazvukové žiariče (5). 1 list výkresov 242347

   / n Γ / / v \ / / / / / / / / / / / / / / / / / z-"' 10 Obr, 1

   Obr. 2