CZ2009133A3 - Zarízení, zpusob merení vnejších rozmeru testovaného výrobku a použití tohoto zarízení - Google Patents

Zarízení, zpusob merení vnejších rozmeru testovaného výrobku a použití tohoto zarízení Download PDF

Info

Publication number
CZ2009133A3
CZ2009133A3 CZ20090133A CZ2009133A CZ2009133A3 CZ 2009133 A3 CZ2009133 A3 CZ 2009133A3 CZ 20090133 A CZ20090133 A CZ 20090133A CZ 2009133 A CZ2009133 A CZ 2009133A CZ 2009133 A3 CZ2009133 A3 CZ 2009133A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
measuring
camera
test
white light
test article
Prior art date
Application number
CZ20090133A
Other languages
English (en)
Inventor
Franz Wieser@Roman
Original Assignee
Witrins S.R.O.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Witrins S.R.O. filed Critical Witrins S.R.O.
Priority to CZ20090133A priority Critical patent/CZ2009133A3/cs
Publication of CZ2009133A3 publication Critical patent/CZ2009133A3/cs
Priority to EP09466016A priority patent/EP2196765A1/en
Priority to BRPI1009508A priority patent/BRPI1009508A2/pt
Priority to CN201080002245.8A priority patent/CN102282440B/zh
Priority to PCT/IB2010/000944 priority patent/WO2010100571A1/en
Priority to PT10721199T priority patent/PT2307852E/pt
Priority to MX2011009114A priority patent/MX2011009114A/es
Priority to US13/201,808 priority patent/US20120033066A1/en
Priority to ES10721199T priority patent/ES2390487T3/es
Priority to AT10721199T priority patent/ATE557260T1/de
Priority to RU2011139987/28A priority patent/RU2500984C2/ru
Priority to EP10721199A priority patent/EP2307852B1/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0608—Height gauges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2509—Color coding
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/081—Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
    • H05K13/0817—Monitoring of soldering processes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
    • G01B2210/50—Using chromatic effects to achieve wavelength-dependent depth resolution

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Zarízení k merení testovaného výrobku sestává ze zdroje (1) bílého svetla, optického hranolu (2), kamery (3) pro snímání obrazu a optického clenu (4) pro usmernení bílého svetla. Zpusob se týká merení testovaného výrobku, kde svetlo emitované ze zdroje (1) je usmerneno optickým clenem (4) do rovnobežného úzkého svazku procházejícího dále optickým hranolem (2), kterým je rozloženo na barevné spektrum, jehož odraz na testovaném predmetu (5) nebo jeho soucástkách je snímán kamerou (3), kdy obrázek, který kamera (3) sestaví z jednotlivých snímku, zobrazí všechny cásti na povrchu, pricemž rozmery v ose x a y odpovídají reálným rozmerum snímaného predmetu a soucasne barevné podání predmetu tedy zjištené hodnoty barevné složky [R, G, B] jednotlivých pixelu odpovídá jeho reálné výšce nad povrchem.

Description

Zařízení, způsob měření vnějších rozměrů testovaného výrobku a použití tohoto zařízení
Oblast techniky
Vynález se týká obecně jakéhokoliv měřeni nebo kontroly, kde vzniká potřeba měřit opticky vzdálenost mezi senzorem a testovanou součástí. Konkrétně je možné užití v oblasti elektrotechniky k měření a testování pozice součástek na deskách plošných spojů nebo kontroly pozice nožiček součástek, dále při výrobě desek nebo jiných předmětů, kde vzniká potřeba měřeni rovinnosti pro určení jejich kvality. Dále je tento vynález možné užít pro testování tvarů různých předmětů při jednom sejmutí obrazu bez nutnosti skenování z více pozic, což je výhodné zejména pro vysokoprodukční výrobní procesy, dále v oblasti kde je potřeba testovat hrubost povrchů a jejich vady, atp.
Dosavadní stav techniky
V současné době je toto měření nejčastěji realizováno použitím čárového laseru a vysokorychlostní kamery. Čárový laser je namířen shora na měřený povrch a kamera, která je namířena pod určeným úhlem, zaznamenává profil měřené součásti v jedné souřadnici (v jednom místě) tak, jak ji osvětluje laser. Jednotlivé obrazy se snímají s četností odpovídající šířce laserového paprsku a všechny obrazy se následně složí. Tímto postupem je možné sestavit 3D model.
Další metodou je použití několika kamer, které jsou namířeny na testovanou oblast z různých úhlů a ze známé trigonometrie kamer uvnitř testeru je možné sestavit 3D model.
Další způsob je využívání efektu Moaré, se kterým je možné za určitých okolností zviditelnit reliéf testované součásti. Obrazy se pořizují dva, přes čárovou mřížku vždy s inverzním jasem. Po složeni obou obrazů, při využití efektu interference, ·♦ · ·
-2 se projeví reliéf povrchu.
« « * « · · · · * · · · · · · · « · · * ·
Popis vynálezu
Zařízení k měření testovaného výrobku vytvořením optického trojrozměrného modelu sestává z těchto součásti:
• Zdroj bílého světla, s výhodou se spojitým spektrem. Světlo je usměrněno optickými členy do rovnoběžného, úzkého svazku, který dále prochází optickým hranolem • Optický hranol, který zprostředkuje rozložení světla na spektrum. Světlo, které vchází do hranolu, obsahuje všechny barevné složky. Po průchodu optickým hranolem se bíle světlo rozloží na jednotlivé barvy podle zákona o lomu světla. Jednotlivé složky jsou monochromatické a zobrazí se jako spektrum. Šířka tohoto spektra přímo ovlivňuje rozlišení v z-ové ose.
Kamera, s výhodou line-scanová (jednořádková). Kamera snímá postupně testovací povrch za pohybu řádek po řádku.
Geometrická pozice kamery světla zůstává
Po celou dobu snímání stejná.
Kamera světlo se seřídí na nulovou výšku (ground) tak, aby kamera zobrazovala začátek spektra, tedy červenou barvu. Všechny nenulové výšky se pak zobrazí v j iné barvě tak, jak jdou v barevném spektru.
Způsob měření testovaného výrobku sestává z následujících kroků:
• Prvním krokem je kalibrování barevné škály na [mm] výšky.
Toto se provede oskenováním náklonu roviny, kde je předem znám uhel náklonu s vysokou přesností. Obrázek této nakloněné roviny bude obsahovat postupně celé spektrum a zároveň bude známa z geometrie nakloněné roviny výška v konkrétní oblasti. Z toho se odvodí funkce závislosti barva [R,G,B] = fce(výška) [mm] • Dalším krokem je vlastni testováni sestávající z nasnímání povrchu. Obrázek, který kamera sestaví z jednotlivých snímků, zobrazí všechny části na povrchu. Rozměry v ose x a y odpovídají reálným rozměrům snímaného předmětu. Barevné podání předmětu odpovídá jeho výšce nad povrchem.
• Software dále přepočítá (podle funkce získané při kalibraci) zjištěné hodnoty barevné složky [R,G,B] jednotlivých pixelů na reálnou výšku (z-ovou osu).
V konkrétní testované oblasti tedy software přímo vrací hodnoty výšky (např. horní plocha kondenzátoru).
Výhody, případně nevýhody předmětu vynálezu
Hlavni výhody vynálezu spočívají v jednoduchosti, odolnosti a integrovatelnosti řešení. Nasnímání obrazu spolu se skenováním předmětu pro geometrický test probíhá v jednom kroku. Pokud tedy není nutné provádět test oblasti na barvu, je možné 3D test zaimplementovat přímo do normálního snímáni obrazu a tím se nijak neprodlužuje testovací čas. 3D model není potřeba nijak přepočítávat ani jinak modelovat (jako u jiných systémů), výška předmětu je barevně zaznamenána v obraze a je možné ji přímo odečítat. Po zaimplementováni do stávajících systémů tedy nejsou třeba žádné další úkony vyžadující čas, vynález má jen minimální nároky na SW, a lze jej doplnit jako přídavný modul do již existujících zařízení.
Značná variabilita a použitelnost plyne s lehce nastavitelného rozsahu měřeni a tím může být docíleno požadované přesnosti měření. Rozsah měření se nastavuje vzdáleností či případně natočením optického hranolu, kdy se mění šířka (a tím i výška) spektra barev, kterým je nasvícen testovaný povrch. Lze tedy dosáhnout přesnost měřeni pro malé předměty nebo jejich součásti (měřící rozsah je v řádech desítek mm - např. elektrotechnické součástky) v řádech mikrometrů.
Φ · · 9 • 4 • 4
Základem tohoto zařízení jsou optické prvky, a proto zde nedochází k žádným opotřebením či stárnutím. Jediným prvkem, který má omezenou životnost, je zdroj světla, avšak ta se pohybuje v řádech stovek až tisíců hodin provozu.
Přiklad provedení technického řešení vynálezu
PŘÍKLAD 1
Zařízení k měřeni testovaného výrobku vytvořením optického trojrozměrného modelu sestává ze zdroje ji bílého světla se spojitým spektrem, optického hranolu 2, line-scanové kamery j3 a optického členu pro usměrnění bílého světla do svazku. Světlo je usměrněno optickým členem 4 do rovnoběžného, úzkého svazku, který dále prochází optickým hranolem 2, který zprostředkuje rozložení světla na spektrum (Obr. 5) . Světlo, které vchází do hranolu 2, obsahuje všechny barevné složky. Po průchodu optickým hranolem 2 se bíle světlo rozloží na jednotlivé barvy podle zákona o lomu světla. Jednotlivé složky jsou monochromatické a zobrazí se jako spektrum. Šířka _6 tohoto spektra přímo ovlivňuje rozlišení v z-ové ose. Line-scanová kamera 2 (jednořádková) snímá postupně testovaný povrch za pohybu řádek po řádku. Geometrická pozice kamery (3 a světla zůstává po celou dobu snímání stejná. Kamera 3 a světlo se seřídí na nulovou výšku (ground) tak, aby kamera 3 zobrazovala začátek !_ spektra, tedy červenou barvu. Všechny nenulové výšky se pak zobrazí v jiné barvě tak, jak. jdou v barevném spektru.
Způsob měření testovaného výrobku sestává z několika kroků. Prvním je kalibrování barevného spektra na [mm] výšky. Toto se provede oskenováním náklonu roviny, kde je předem znám uhel náklonu s vysokou přesností. Obrázek této nakloněné roviny bude obsahovat postupně celé spektrum a zároveň bude známa z geometrie nakloněné roviny výška v konkrétní oblasti. Z toho se odvodí funkce závislosti barva [R,G,B] = fce(výška) [mm].
• · ·
Dalším krokem je vlastní testováni sestávající z nasnimání povrchu. Obrázek, který kamera sestaví z jednotlivých snímků, zobrazí všechny části na povrchu. Rozměry v ose x a y odpovídají reálným rozměrům snímaného předmětu. Barevné podání předmětu odpovídá jeho výšce nad povrchem. Software dále přepočítá (podle funkce získané při kalibraci) zjištěné hodnoty barevné složky [R,G,B] jednotlivých pixelů na reálnou výšku (zovou osu). V konkrétní testované oblasti tedy software přímo vrací hodnoty výsky (např. horní plocha kondenzátoru).
PŘÍKLAD 2
Testováni elektronických desek obsahujících elektronické součástky:
• Tester se zkalibruje tak, že nulová výška je definována na povrchu osazované (matiční) desky, tudíž deska (ground) bude po nasnimání zobrazena v tmavě červené barvě (začátek 7 spektra). Měřící rozsah je volen podle nejvyšší měřené součástky 12 (fialová).
• V testovacím plánu se definuje pozice, výška a tolerance měřeného předmětu _5 (desky) .
• Po průjezdu desky line-scanovou kamerou 2 se jθji jednotlivé součástky zobrazí barevně v závislosti na jejich výšce.
• Software pomocí kalibrační funkce převede barevné odstíny na hodnoty výšky udávané v milimetrech.
• V testovaných oblastech se vyhodnotí skutečná výška součástky a s přihlédnutím k předepsané toleranci je výstupem informace o tom, zdali testovaný předmět 5 tj . deska jako celek (nebo její jednotlivá součástka) je či není vadný.
PŘÍKLAD 3
Testování povrchu desek:
• Tester se zkalibruje tak, že povrch v normálním «* ♦· ···· ·» v* • · * · · * 9* φ · * 9 · 9 ♦ · 9 * *9
6« * · · · * · * 4φ ΦΦΦ ·φφ«Φ*«·Φφ9 • V 9* ·· ·· ·*«9 (vyhovujícím) stavu bude po nasnímáni zobrazen v barvě, která se nachází přibližně uprostřed spektra (např. zelená).
• Zvolí se měřící rozsah, tedy maximální (nejvyšší) a minimální (nejnižší) odchylky, které mohou nastat na testované desce (průhyb desky, povrchové vady, škrábance, oděrky, nánosy, atp.). Nejnižší odchylka bude tedy zobrazena červenou barvou a nejvyšší bude mít barvu fialovou.
• Jako testovaná oblast je definován celý povrch desky a je zvolena tolerance odchylky.
• Deska se nasnímá pomocí line-scanové kamery 3.
• Software pomoci kalibrační funkce převede barevné odstíny na hodnoty výšky udávané v milimetrech.
• Vyhodnotí se, zdali některá oblast nemá větší odchylky, než jaké připouští nastavená tolerance. Výstupem je informace o tom, zdali testovaný předmět 5 (deska) je či není vadný.
Průmyslová využitelnost
Technické řešení vynálezu je využitelné zejména pro orientační nebo cílenou kontrolu geometrie a měřeni vzdálenosti jednotlivých výrobků či jejich součásti, zejména tam, kde vzniká potřeba měřit opticky vzdálenost mezi senzorem a testovanou součástí, tedy ve směru, ve kterém se změna jinak na obraze normálně neprojeví.
Seznam vztahových značek:
- zdroj bílého světla
- optický hranol
- kamera ·* *·**
- optický člen pro usměrněni bílého světla do svazku
- měřený předmět (například deska)
- šířka barevného spektra
- začátek barevného spektra
- konec barevného spektra
- varianta směru pohybu snímaného předmětu v ose x
- součástka o výšce odpovídající červené barvě spektra
- součástka o výšce odpovídající zelené barvě spektra
- součástka o výšce odpovídající fialové barvě spektra
Přehled obrázků na výkresech:
Obr. 1 - zařízení pro měření testovaného výrobku seřízené na nulovou výšku (ground)
Obr. 2 - zařízení pro měření testovaného výrobku se součástkou o výšce odpovídající červené barvě spektra
Obr. 3 - zařízení pro měření testovaného výrobku se součástkou o výšce odpovídající zelené barvě spektra
Obr. 4 - zařízeni pro měření testovaného výrobku se součástkou o výšce odpovídající fialové barvě spektra
Obr, 5 - příklad barevného spektra se stupnicí o měřícím rozsahu 0 - lOmm

Claims (12)

  1. Patentové nároky
    1. Zařízení k měřeni testovaného výrobku vyznačující se tím, že sestává ze zdroje 2 bílého světla, optického hranolu 2, kamery 2 Pro snímáni obrazu a optického členu 4_ pro usměrnění bílého světla.
  2. 2. Zařízení k měření testovaného výrobku podle nároku 1 vyznačující se tím, že zdroj 1 bílého světla má spojité spektrum.
  3. 3. Zařízení k měření testovaného výrobku podle nároku 1 vyznačující se tím, že kamera 3 je line-scanová.
  4. 4. Způsob k měření testovaného výrobku vyznačující se tím, že světlo emitované ze zdroje 1 je usměrněno optickým členem £ do rovnoběžného úzkého svazku procházejícího dále optickým hranolem 2, kterým je rozloženo na barevné spektrum, jehož odraz na testovaném předmětu _5 nebo jeho součástkách je snímán kamerou 3 kdy obrázek, který kamera sestaví z jednotlivých snímků, zobrazí všechny části na povrchu, přičemž rozměry v ose x a y odpovídají reálným rozměrům snímaného předmětu a současně barevné podáni předmětu tedy zjištěné hodnoty barevné složky [R,G,B] jednotlivých pixelů odpovídá jeho reálné výšce nad povrchem,
  5. 5. Způsob k měření testovaného výrobku podle nároku 4 vyznačující se tím, že barevné spektrum je kalibrováno postupným nasnímáním náklonu roviny, kde je předem znám úhel náklonu s vysokou přesností.
    • 9 • ·
    9 9 · «» *· • · 9 • 9 · • *·
  6. 6. Způsob k měřeni testovaného výrobku podle nároku 4 vyznačující se tím, že geometrická pozice kamery 3 a světla zůstává po celou dobu snímáni statická.
  7. 7. Způsob k měření testovaného výrobku podle nároku4 vyznačující se tím, že kamera 3 snímá postupně řádekpo řádku testovaný povrch předmětu 5 za pohybu.
  8. 8. Způsob k měření testovaného výrobku podle nároku4 vyznačující se tím, že kamera 2 a světlo se seřídí na nulovou výšku tak, že kamera 2 zobrazuje začátek barevného spektra.
  9. 9. Způsob k měření testovaného výrobku podle nároku 4 vyznačující se tím, že hodnoty barevných odstínů nasnimaných kamerou 2 jsou pomocí kalibrační funkce softwarem převedeny na reálnou výšku předmětu 5 nebo jeho součástek.
  10. 10. Způsob k měření testovaného výrobku podle nároku 4 vyznačující se tím, že z hodnot měřených na osách x, y, z je vytvořen trojrozměrný model předmětu 5.
  11. 11. Použití zařízení, které sestává ze zdroje 2 bílého světla, optického hranolu 2, kamery 2 Pr° snímání obrazu a optického členu 4_ pro usměrnění bílého světla, jako prostředku k měření rozměrů testovaného výrobku.
  12. 12. Použití způsobu podle nároků 4 až 10 k měření testovaného výrobku.
CZ20090133A 2008-12-09 2009-03-03 Zarízení, zpusob merení vnejších rozmeru testovaného výrobku a použití tohoto zarízení CZ2009133A3 (cs)

Priority Applications (12)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ20090133A CZ2009133A3 (cs) 2009-03-03 2009-03-03 Zarízení, zpusob merení vnejších rozmeru testovaného výrobku a použití tohoto zarízení
EP09466016A EP2196765A1 (en) 2008-12-09 2009-08-27 Measuring the outer dimensions of an object
EP10721199A EP2307852B1 (en) 2009-03-03 2010-03-02 Method and device for optically measuring the surface of a product
PCT/IB2010/000944 WO2010100571A1 (en) 2009-03-03 2010-03-02 Method and device for optically measuring the surface of a product
CN201080002245.8A CN102282440B (zh) 2009-03-03 2010-03-02 用于光学地测量产品表面的方法和设备
BRPI1009508A BRPI1009508A2 (pt) 2009-03-03 2010-03-02 método e dispositivo para medição óptica da superfície de um produto
PT10721199T PT2307852E (pt) 2009-03-03 2010-03-02 Método e dispositivo para medição óptica da superfície de um produto
MX2011009114A MX2011009114A (es) 2009-03-03 2010-03-02 Procedimiento y dispositivo para medir opticamente la superficie de un producto.
US13/201,808 US20120033066A1 (en) 2009-03-03 2010-03-02 Method and device for optically measuring the surface of a product
ES10721199T ES2390487T3 (es) 2009-03-03 2010-03-02 Procedimiento y dispositivo para medir ópticamente la superficie de un producto
AT10721199T ATE557260T1 (de) 2009-03-03 2010-03-02 Verfahren und vorrichtung zur optischen messung der oberfläche eines produkts
RU2011139987/28A RU2500984C2 (ru) 2009-03-03 2010-03-02 Способ и устройство для оптического измерения поверхности изделия

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ20090133A CZ2009133A3 (cs) 2009-03-03 2009-03-03 Zarízení, zpusob merení vnejších rozmeru testovaného výrobku a použití tohoto zarízení

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CZ2009133A3 true CZ2009133A3 (cs) 2009-07-08

Family

ID=40823629

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ20090133A CZ2009133A3 (cs) 2008-12-09 2009-03-03 Zarízení, zpusob merení vnejších rozmeru testovaného výrobku a použití tohoto zarízení

Country Status (11)

Country Link
US (1) US20120033066A1 (cs)
EP (1) EP2307852B1 (cs)
CN (1) CN102282440B (cs)
AT (1) ATE557260T1 (cs)
BR (1) BRPI1009508A2 (cs)
CZ (1) CZ2009133A3 (cs)
ES (1) ES2390487T3 (cs)
MX (1) MX2011009114A (cs)
PT (1) PT2307852E (cs)
RU (1) RU2500984C2 (cs)
WO (1) WO2010100571A1 (cs)

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101714050B1 (ko) * 2010-11-01 2017-03-08 삼성전자주식회사 휴대단말기의 데이터 표시장치 및 방법
JP5765651B2 (ja) * 2011-02-01 2015-08-19 Ｊｕｋｉオートメーションシステムズ株式会社 ３次元測定装置
EP2573508B1 (en) * 2011-03-14 2014-01-29 Panasonic Corporation Solder height detection method and solder height detection device
FR2975940A1 (fr) * 2011-05-31 2012-12-07 Forest Line Capdenac Procede de controle du jeu entre bandes deposees par une tete de drapage et sous-ensemble de tete de drapage a dispositif de controle embarque.
JP5754752B2 (ja) * 2011-07-21 2015-07-29 株式会社ニレコ 帯状体の端部位置検出装置及び帯状体の端部位置検出方法
JP5701837B2 (ja) * 2012-10-12 2015-04-15 横河電機株式会社 変位センサ、変位測定方法
US8939074B2 (en) 2013-03-12 2015-01-27 Illinois Tool Works Inc. Color-based linear three dimensional acquisition system and method
DE102013104679A1 (de) 2013-05-07 2014-11-13 Witrins S.R.O. Verfahren und Vorrichtung zur optischen Analyse eines PCBs
RU2559168C1 (ru) * 2014-03-17 2015-08-10 Государственное автономное образовательное учреждение Астраханской области высшего профессионального образования "Астраханский инженерно-строительный институт" (ГАОУ АО ВПО "АИСИ") Способ бесконтактного определения кривизны поверхности строительной конструкции
US9335157B2 (en) * 2014-10-14 2016-05-10 Electronics For Imaging, Inc. Differential lighting
DE102014115650B4 (de) * 2014-10-28 2016-08-04 Witrins S.R.O. Inspektionssystem und Verfahren zur Fehleranalyse
US9826226B2 (en) 2015-02-04 2017-11-21 Dolby Laboratories Licensing Corporation Expedited display characterization using diffraction gratings
DE102015109431A1 (de) 2015-06-12 2016-12-15 Witrins S.R.O. Inspektionssystem und Verfahren zur Fehleranalyse von Drahtverbindungen
US9838612B2 (en) * 2015-07-13 2017-12-05 Test Research, Inc. Inspecting device and method for inspecting inspection target
EP3203264B1 (en) * 2016-02-04 2024-08-28 Mettler-Toledo GmbH Method of imaging an object for tracking and documentation during transportation and storage
CN106441120A (zh) * 2016-08-26 2017-02-22 江苏楚汉新能源科技有限公司 一种测量锂电池极片波浪边波峰的方法
US10473454B1 (en) * 2017-01-06 2019-11-12 Kla-Tencor Corporation Imaging-based height measurement based on known geometric information
CN107345789B (zh) * 2017-07-06 2023-06-30 深圳市强华科技发展有限公司 一种pcb板孔位检测装置及方法
TWI638132B (zh) * 2017-08-25 2018-10-11 三星科技股份有限公司 物件多面取像裝置
KR102236269B1 (ko) * 2018-05-09 2021-04-05 한화정밀기계 주식회사 부품 실장 장치
CN108801155B (zh) * 2018-07-18 2020-03-06 清华大学深圳研究生院 一种光谱编码距离传感器系统
US10866092B2 (en) * 2018-07-24 2020-12-15 Kla-Tencor Corporation Chromatic confocal area sensor
KR20230066134A (ko) * 2018-09-19 2023-05-12 아르텍 유럽, 에스.에이.알.엘. 데이터 수집 피드백이 있는 3 차원(3d) 스캐너
CN110596136B (zh) * 2019-09-26 2024-06-07 江苏兴达钢帘线股份有限公司 一种检测钢丝表面镀层颜色变化装置
CN110940299B (zh) * 2019-11-04 2020-11-13 浙江大学 一种混凝土表面三维粗糙度的测量方法
CN112539697B (zh) * 2020-07-14 2022-12-09 深圳中科飞测科技股份有限公司 一种发光装置及其光斑调整方法、检测设备
CN111964595B (zh) * 2020-07-28 2022-05-27 天地科技股份有限公司 综采工作面液压支架支撑高度和顶梁倾角测量装置
CN111880575B (zh) * 2020-08-10 2023-03-24 重庆依塔大数据研究院有限公司 基于颜色追踪的控制方法、装置、存储介质及机器人
RU207462U1 (ru) * 2021-04-29 2021-10-28 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Устройство для лазерной модификации образца
CN113324498B (zh) * 2021-05-06 2024-09-20 西安理工大学 超薄玻璃基板平整度多参数高精度测量系统及方法
CN113364980B (zh) * 2021-05-31 2022-12-06 浙江大华技术股份有限公司 设备的控制方法、装置、存储介质以及电子装置
DE102021124505A1 (de) * 2021-09-22 2023-03-23 WICKON HIGHTECH GmbH Inspektionssystem und Verfahren zur Fehleranalyse
DE102021124507B4 (de) 2021-09-22 2024-10-02 WICKON HIGHTECH GmbH Inspektionssystem und Verfahren zur Fehleranalyse
DE102021124504A1 (de) 2021-09-22 2023-03-23 WICKON HIGHTECH GmbH Inspektionssystem und Verfahren zur Fehleranalyse
EP4312020A1 (en) * 2022-07-27 2024-01-31 WiTrins s.r.o. Inspection system and method for analyzing defects
DE102022132162A1 (de) * 2022-12-05 2024-06-06 Witrins S.R.O. Verfahren zur Fehleranalyse und Inspektionssystem
EP4400805A1 (de) 2023-01-11 2024-07-17 WiTrins s.r.o. Inspektionssystem und verfahren zur fehleranalyse
CN116577638A (zh) * 2023-05-25 2023-08-11 赣州市超跃科技有限公司 一种电路板智能测试系统、方法、装置及介质
CN117564862B (zh) * 2024-01-02 2026-01-30 福建福晶科技股份有限公司 一种利用柱面棒镜的可调谐的角度校准方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6175210A (ja) * 1984-09-20 1986-04-17 Nec Corp レンジフアインダ
JPH07117399B2 (ja) * 1987-01-20 1995-12-18 株式会社竹中工務店 建築仕上げ下地の平面精度検査方法ならびに装置
RU2051399C1 (ru) * 1990-10-02 1995-12-27 Важенин Борис Павлович Способ получения цветостереомодели
KR100406843B1 (ko) * 2001-04-06 2003-11-21 (주) 인텍플러스 색정보를 이용한 실시간 3차원 표면형상 측정방법 및 장치
KR100848988B1 (ko) * 2002-03-28 2008-07-30 타카이 토후 앤 소이 밀크 이큅먼트 컴퍼니 리미티드 식품의 겔 상태 또는 졸-겔 상태 변화의 평가 방법
TW200428097A (en) * 2002-10-01 2004-12-16 Koninkl Philips Electronics Nv Multi-layered collimator
JPWO2005003820A1 (ja) * 2003-07-08 2006-08-17 松下電器産業株式会社 ビーム整形光学装置、光ヘッド及び光情報媒体駆動装置
EP2016580A2 (en) * 2006-05-04 2009-01-21 Philips Intellectual Property & Standards GmbH Lighting device with an array of controlled emitters with shared control and feedback
US7471381B2 (en) * 2006-05-23 2008-12-30 Agency For Science, Technology And Research Method and apparatus for bump inspection
CN100592214C (zh) * 2007-11-30 2010-02-24 北京理工大学 一种基于微透镜阵列调焦调平的装置与方法
US8348492B2 (en) * 2008-05-06 2013-01-08 Koninklijke Philips Electronics N.V. Movable LED track luminaire

Also Published As

Publication number Publication date
RU2011139987A (ru) 2013-04-10
CN102282440A (zh) 2011-12-14
US20120033066A1 (en) 2012-02-09
EP2307852A1 (en) 2011-04-13
BRPI1009508A2 (pt) 2019-04-02
PT2307852E (pt) 2012-08-10
WO2010100571A1 (en) 2010-09-10
CN102282440B (zh) 2014-08-20
ES2390487T3 (es) 2012-11-13
WO2010100571A4 (en) 2010-12-16
EP2307852B1 (en) 2012-05-09
MX2011009114A (es) 2011-12-16
RU2500984C2 (ru) 2013-12-10
ATE557260T1 (de) 2012-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2307852B1 (en) Method and device for optically measuring the surface of a product
CN109115126B (zh) 校准三角测量传感器的方法、控制和处理单元及存储介质
US20130194569A1 (en) Substrate inspection method
TWI396824B (zh) 用於光學測量產品表面之方法及器件
US9250071B2 (en) Measurement apparatus and correction method of the same
CN114144635B (zh) 用于测量物体的高度轮廓的装置和方法
US11092432B2 (en) Reference plate and method for calibrating and/or checking a deflectometry sensor system
CN113281343A (zh) 一种对多层透明材料进行缺陷检测的系统及方法
US7206717B2 (en) Sensor alignment method for 3D measurement systems
JP2018004442A (ja) 透明板の形状測定方法および形状測定装置
CN111398295B (zh) 一种缺陷检测装置及其方法
Sioma et al. The use of 3D imaging in surface flatness control operations
TW202136759A (zh) 在電子電路之製備中用於檢查圖案化物件之多個特徵之系統及方法
EP2196765A1 (en) Measuring the outer dimensions of an object
JP2006317408A (ja) 反り検査装置
KR100193494B1 (ko) Ccd카메라와 레이저 거리계를 이용한 타이어 형상 변화 측정 방법
Hemming et al. Calibration of dial indicators using machine vision
CN110296666B (zh) 三维量测器件
CN113176076A (zh) 光学检测系统及光学检测方法
CN118463826B (zh) 半导体载片台的精度测量系统、方法以及存储介质
El-Hakim Application and performance evaluation of a vision-based automated measurement system
Zhang et al. Large-scale space angle measurement
Hattuniemi et al. A calibration method of triangulation sensors for thickness measurement
KR102726365B1 (ko) 다파장 조명광을 이용한 미니 엘이디 3차원 측정 시스템
CN113624162B (zh) 一种半导体器件的找正和检测方法及应用