CZ393190A3 - Sensor based on self-supporting fiber and process for producing thereof - Google Patents
Sensor based on self-supporting fiber and process for producing thereof Download PDFInfo
- Publication number
- CZ393190A3 CZ393190A3 CS903931A CS393190A CZ393190A3 CZ 393190 A3 CZ393190 A3 CZ 393190A3 CS 903931 A CS903931 A CS 903931A CS 393190 A CS393190 A CS 393190A CZ 393190 A3 CZ393190 A3 CZ 393190A3
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- film
- fiber
- mask
- shape
- substrate
- Prior art date
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 title claims description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 28
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 20
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 10
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 7
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 4
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 claims description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 claims description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 2
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 claims 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000001311 chemical methods and process Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- OTIJDYHLLCTUJA-UHFFFAOYSA-N aluminum oxygen(2-) platinum(2+) Chemical compound [Pt+2].[O-2].[Al+3] OTIJDYHLLCTUJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/14—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/14—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
- G01N27/16—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature caused by burning or catalytic oxidation of surrounding material to be tested, e.g. of gas
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/62—Detectors specially adapted therefor
- G01N30/64—Electrical detectors
- G01N30/66—Thermal conductivity detectors
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03D—DEMODULATION OR TRANSFERENCE OF MODULATION FROM ONE CARRIER TO ANOTHER
- H03D3/00—Demodulation of angle-, frequency- or phase- modulated oscillations
- H03D3/001—Details of arrangements applicable to more than one type of frequency demodulator
- H03D3/002—Modifications of demodulators to reduce interference by undesired signals
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
Čidlo na bázi samonosného vlákna
Oblast__techniky
Vynález se týká čidla na bázi saraonosného vlákna v membráně pro stanovení statických nebo dynamických vlastností plynného prostředí, například vzduchu· Vynález se rovněž týká způsobu výroby tohoto čidla pro použití pro detekci oxidovatelných plynů nebo pro plynnou chromatografii při detekci ionozovatelných plynů nebo při měření průtoku plynů.
Čidla uvedeného typu obsahují odporový prvek, který je upraven tak, že dochází k výměně tepla mezi okolním prostředím na jeho povrchu na základě fyzikálně-chemických pochodů v nejširším slova smyslu, jde o katalýzu spalování, adsorbci, ionizaci nebo jednoduchou výměnu tepla, čímž se ovlivní elektrické vlastnosti
- 2 tohoto povrchu, jako teplota, odpor, napětí,: proud a podobně· Podle vlastností stanovovaného prostředí, například koncentrace, rychlosti průtoku a podobně. Rozhraním, na němž k těmto jevům dochází, může být zevní povrch odporového prvku, katalytický film, zahřívaný vedením nebo oddělená elektroda·
Některá čidla tohoto typu jsou založena na měřění výměny tepla, například při detekci spalitelných plynů, v průtokoměrech a podobně a je možno je považovat za kalometrická čidla. Existují však také další čidla, měřící koncentraci na základě různých jevů jako výměny plynu v případě detekce spalitelných nebo oxidovatelných plynů, například při měření množství iontů na elektrodě při plynové chromatografií a podobně· Jde tedy o čidla velmi různého typu jak s ohledem na měřený fyzikálně-chemický jev tak s ohledem na povahu měřené změny·
Přestože se v průběhu přihlášky popisuje detekce oxidovatelných plynů v plynném prostředí, například vzduchu, jde pouze o vhodné použití čidla.
Při známém způsobu detekce oxidovatelných plynů ve vzduchu se gbvykle užívá vlákna z platiny, zahřívaného průchodem elektrického prou— 3-,du. Oxidovatelný plyn ve vzduchu se při styku s vláknem katalýzou oxiduje a vlákno se ještě více zahřívá.Výsledná změna teploty způsobí změnu odporu vlákna, která se přímo nebo nepřímo měří a z ní se vypočítá koncentrace oxidovatelného plynu. Tyto detektory se obvykle vyrábějí ručně. Jsou proto nereprodukovatelnéa drahá. Vzhledem k nízkému odporu a nízkému povrchu k objemu je nutno pracovat při vysokých teplotách přibližně 1000 °C.
Jiné detektory pro oxidovatelné plyny jsou založeny na použití katalytických kuliček, které jsou tvořeny kovovým detektorem, například platinou s povlakem oxidu hliníku, dopovaného katalyzátorem, jde o detektory ve tvaru malých perliček, které stárnou méně rychle vzhledem k nižší teplotě při jejich použití. Dochází však k posunu citlivosti, snížené stálosti a delší reakčni době.
Třetí typ detektoru pro oxidovatelné plyny je založen na polovodivých oxidech kovů, dopovaných kata lyzátory. Tyto detektory jsou tvořeny kovovým zahřívacím prvkem, který zahřívá izolační materiál, jako oxid hlinitý, na němž je uložen film z polovodivého materiálu, jehož změny odporu se mění. Tyto detektory jsou citlivé na jakýkoliv plyn, který může -být adsorbován na povrch polovodiče. Doba odpovědi je však poměrně dlouhá, další nevýhodou je vysoká spotřeba elektrické energie a nemožnost kompenzovat vliv vlhkosti.
Vynález si klade za úkol odstranit nevýhody známých detektorů, zlepšit reprodukovatelnost, snížit tepelné ztráty a také náklady na výrobu·
Podstatu vynálezu tvoří čidlo na bázi samonosného vlákna v membráně pro stanovení statických nebo dynamických vlastností okolního prostředí, vyznačující se tím, 2e obsahuje odporový prvek s alespoň jedním otvorem a alespoň jedno vlákno, v němž je uložen odporový prvek a které je tvořeno alespoň jedním tenkým filmem se středovou částí v otvoru membrány a alespoň dvěma zakončeními, spojujícími středovou část s nosnou membránou·
Ve výhodném provedení je čidlo upraveno tak, i. Že alespoň středová část vlákna je tvořena alespoň třemi na sobě uloženými tenkými filmy, vybíhajícími do zákon čení vlákna, přičemž katalytický film tvoří rozhraní a mezi ním a třetím vodivým filmem je uložen izolační film z elektricky izolujícího materiálu·
Vynález tedy navrhuje vlákno, vytvořené mikroelektronickou technologií tak, Že je samonosné, to znamená, že jediným spojením mezi ním a membránou jsou tenké filmy. Vlákno tedy visí ’lve vzduchu, což podstatně snižuje ztráty vodivosti·
Vynález je založen na pozorování, že je možno užít tenkých filmů k získání vlákna s dostatečnou mechanickou pevností a odolností proti tepelnému šoku, takže vlákno je samonosné. Bylo pozorováno, že přes tenkost vlákna, které je zapotřebí pro elektrický odpor, je vlákno dostatečně citlivé •v k fyzikále-chemické reakci a dostatečně pevné, takže se předčasně neporuší stykem s okolním prostředím.
Vlákno má s výhodou následující vlastnosti:
- je tvořeno filmem kovového katalyzátoru, jehož zevní povrch tvoří uvedené rozhraní,
- alespoň středová část vlákna je tvořena alespoň třemi na sobě uloženými tenkými filmy, a to filmem z vodivého materiálu, zasahujícího až do zakončení vlákna, katalytickým filmem, tvořícím rozhraní a prostředním filmem z elektricky izolujícího materiálu,
- odporový prvek je film z ušlechtilého kovu, jako platiny, zlata, paladia nebo směsi těchto kovů,
- vlákno má vlnitý tvar,
- středová část je spojena se substrátem více než dvěma koncovými částmi,
- substrát se volí z materálů, jako jsou sklo, křemík, oxid hlinitý nebo křemičitý,křemen a polymery,
- rozhraním je tenký film, uložený na alespoň jednom povrchu substrátu v blízkosti otvoru.
Vynález se rovněž týká způsobu výroby uvedeného čidla, který spočívá v tom,*že se na přední a zadní povrch substrátu membrány např. ze skla, křemíku, oxidu hlinitého nebo křemičitého, křemene nebo polymeru, například uloží přední maska z tenkého filmu, např· ze zlata s předním otvorem, jehož tvar odpovídá tvaru vlákna, které má být získáno a jehož středová část vybíhá do koncových částí a zevní maska s tenkého filmu se zadním otvorem tvaru středové části vlákna bez koncových částí, avšak širší než je středová část, v substrátu se vytvoří vyhloubení naleptáním přední části přes přední masku, na zadní část vyhloubení se Ur. loží alespoň jeden tenký film tvořící vlákno, např. z platiny, přičemž jeden z těchto tenkých filmů je elektricky vodivý a substrát se v celé své tloušíce odstraní leptáním přes masku stejného tvaru jako je tvar zadní masky·
Podle výhodného provedení se postupuje tak, že se na přední a zadní povrch substrátu typu membrány uloží přední maska tenkého filmu a elektrolyticky se uloží maska s otvorem, jehož tvar odpovídá tvaru vlákna, které ma být získáno a jehož středová část vybíhá do koncových částí a zadní maska z tenkého filmu s otvorem, který má tvar střetl dové části vlákna bez koncových částí,avšak je širší než středová část, v substrátu se vytvoří vyhloubení naleptáním přední části přes střední masku, na zadní Části vyhloubení se uloží alespoň jeden tenký film, tvořící vlákna, přičemž jeden z těchto tenkých filmů je elektricky vodivý a substrát se v celé své tloušžce odstraní leptáním přes masku stejného tvaru jako je tvar zadní masky·
Podle dalšího výhodného provedeníse v metalizovaném substrátu s předním otvorem, jehož tvar odpovídá
- 7 tvaru vlákna, které má být získáno a jehož středová část vybíhá do koncových částí a zadní otvor odpovídá středové části předního otvoru bez koncových částí, avšak je širší než tato středová část, vytvoří vyhloubení naleptáním přední části přes přední masku, na zadní stranu vy»·: < hloubení se uloží alespoň jeden tenký film,tvořící vlákna, přičemž jeden z těchto tenkých filmů je elektricky vodivý a substrát se v celé své tloušlce odstraní leptáním přes masku téhož tvaru, jako je tvar zadní masky.
Hlavní výhody čidla podle vynálezu ve srovnání se známými čidly je velmi nízká spotřeba elektrické elergie a velmi rychlá odpovšá.
Čidlo je možno vyrobit automaticky ve velkém počtu exemplářů a čidlo je proto reprodukovatelné a jeho cena je nízká.
Jeho odpor závisí na geometrickém tvaru a umožňuje užít nižší teploty než u běžných čidel, takže čidlo stárne pomaleji.
Vzhledem ke své originální konstrukci je velmi lehké a poměrně necitlivé k nárazu.
Claims (15)
- PATENTOVÉ NÁROKY1· Čidlo na bázi samonosného vlákna v membráně pro stanovení statických nebo dynamických vlastností okolního prostředí, vyznačující se tím, že obsahuje odporový prvek s reaktivním rozhraním,nosnou membránou (1) s alespoň jedním otvorem (2) a alespoň jedno vlákno .(3), v němž je uložen odporový prvek a které je tvořeno alespoň jedním tenkým filmem se středovou částí v otvoru (2) membrány a alespoň dvěma zakončeními (4), spojujícími středovou část (3A) s nosnou membránou (1).
- 2. Čidlo podle nároku 1, vyznačující se t í m , že vlákno (3) je tvořeno katalytickým filmem (9) z kovového katalyzátoru, například platiny nebo osmia, jehož zevní povrch tvoří reaktivní rozhraní·
- 3· čidlo podle nároku 1, vyznačující setím, že alespoň středová část (3A) vlákna (3) je tvořena alespoň třemi na sobě uloženými tenkými filmy, vybíhajícími do zakončení (4) vlákna (3), přičemž katalytický film (9) tvoří rozhraní a mezi ním a třetím vodivým filmem (7) je uložen izolační film (8) z elektricky izolujícího materiálu·*- II
- 4. Čidlo podle nároku 1,vyznačující se t í m , že odporovým prvkem je film z ušlechtilých kovů jako je platina, zlato nebo paladium nebo ze směsi těchto kovů·
- 5. Čidlo podle nároku 1, vyznačující se t í m , že vlákno ()3 ) má tjnitý tvar.
- 6. Čidlo podle nároku 1, vyznačuj ící se tím, že středová část (3A) vlákna (3) je spojena s nosnou membránou (1) alespoň třemi zakončeními (4).
- 7. Čidlo podle nároku 1, vyznačující se t í m , Že nosná membrána (1) je volena ze skupiny materiálů zahrnujících sklo, oxid hlinitý nebo křemičitý, křemen a polymery.
- 8. Způsob výroby čidla typu vlákna, vyznačující se tím, že se na přední a zadní povrch substrátu membrány například ze skla, křemíku, oxidu hlinitého nebo křemičitého, křemene nebo polymeru, například uloží přední maska z tenkého filmu, například ze zlata s předním otvorem, jehož tvar odpovídá tvaru vlákna, které má být získáno a jehož středová část vybíhá do koncových částí a zevní maska z tenkého filmu se zadním otvorem tvaru středové části vlákna bez koncových částí, avšak širší než je středová část, v substrátu se vytvoří vyhloubení naleptáním přední části přes přední masku, na zadní části vyhloubení šeIII uloží alespoň jeden tenký film tvořící vlákno, například z platiny, přičemž jeden z těchto tenkých filmů je elektricky vodivý a substrát se v celé své tloušťce odstraní leptáním přes masku stejného tvaru jako je tvar zadní masky·
- 9. Způsob výroby čidla typu vlákna, vyznačující se tím, že se na přední a zadní povrch substrátu typu membrány uloží přední maska tenkého filmu a elektrolyticky se uloží maska s otvorem, jehož tvar odpovídá tvaru vlákna, které má být získáno a jehož středová část vybíhá do koncových částí a zadní maska z tenkého filmu s otvorem, který má tvar středové části vlákna bez koncových částí, avšak je širší než středová část, v substrátu se vytvoří vyhloubení naleptáním přední části přes střední masku, na zadní části vyhloubení se uloží alespoň jeden tenký film, tvořící vlákna, přičemž jeden z těchto filmů je elektricky vodivý a substrát se v celé své tloušťce odstraní leptáním přes masku stejného tvaru jako je tvar zadní masky·
- 10. Způsob výroby čidla typu vlákna, vyznačující se tím, že se v metalizovaném substrátu s předním otvorem, jehož tvar odpovídá tvaru vlákna, které má být získáno a jehož středová část vybíhá do koncových částí a zadní otvor odpovídá středové části předního otvoru bez^koncových částí, avšakIV je širší než tato středová část, vytvoří vyhloubení naleptáním přední části přes přední masku, na zadní stranu vyhloubení se uloží alespoň jeden tenký film, tvořící vlákna, přičemž jeden z těchto tenkých filmů je elektricky vodivý a substrát se v celé své tloušťce odstraní leptáním přes masku téhož tvaru, jako je tvar zadní masky.
- 11. Způsob podle náro ku 8, vyznačující setím, že se před leptáním substrátu přes zadní masku v celé jeho tloušťce nanese na přední stranu substrátu a do vyhloubení ochranný film, který se odstraní po vyleptání substrátu.
- 12. Způsob podle nároku 11, vyznačující se tím, že se jako ochranný film použije film z polymemího materiálu, odolného proti kyselině fluorovodíkové a rozpustného v běžných rozpouštědlech, například ochranný film z vosku.
- 13. Způsob podle nároku 8, vyznačující se tím, Že přední maska obsahuje dále film, překrytý filmem z pryskyřice citlivé na světlo, přičemž tenké filmy, tvořící vlákno se ukládají po odstra není filmu z pryskyřice nanesením alespoň jednoho tenkého filmu do vyhloubení a kolem něho, načež se odstra ní filmy, uložené vně vyhloubení vyleptáním tohoto dal šího filmu.
- 14· Způsob podle nároku 8, vyznačující se t í m , že se ve vyhloubení uloží alespoň jeden film z kovového katalyzátoru, například platiny.
- 15· Způsob podle nároku 8, vyznačující se t í m , Že se ve vyhloubení uloží alespoň tři tenké filmy, a to vodivý film, izolační film a katalytický film.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8910837A FR2650891B1 (fr) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | Capteur a filament en couche mince autoporte, son procede de fabrication et ses applications dans la detection de gaz et en chromatographie gazeuse |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CZ393190A3 true CZ393190A3 (en) | 1994-11-16 |
Family
ID=9384674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS903931A CZ393190A3 (en) | 1989-08-11 | 1990-08-09 | Sensor based on self-supporting fiber and process for producing thereof |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5549870A (cs) |
| EP (1) | EP0486596B1 (cs) |
| JP (1) | JPH04507461A (cs) |
| CN (1) | CN1019331B (cs) |
| AT (1) | ATE120858T1 (cs) |
| AU (1) | AU647749B2 (cs) |
| CA (1) | CA2060183A1 (cs) |
| CZ (1) | CZ393190A3 (cs) |
| DE (2) | DE486596T1 (cs) |
| FR (1) | FR2650891B1 (cs) |
| PL (1) | PL163992B1 (cs) |
| WO (1) | WO1991002242A1 (cs) |
| ZA (1) | ZA906062B (cs) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0722565B1 (en) * | 1993-10-08 | 1999-05-19 | Microchip (Proprietary) Limited | A catalytic gas sensor |
| NZ276188A (en) * | 1993-10-19 | 1996-11-26 | Jury Gennadievich Usanov | Moisture gauge; details of structure and method of producing it |
| DE19741697C2 (de) * | 1996-12-06 | 2002-02-21 | Roth Hansjoachim | Chip zur Überwachung der Quecksilberkonzentration in der Luft |
| US5834627A (en) * | 1996-12-17 | 1998-11-10 | Sandia Corporation | Calorimetric gas sensor |
| JP4801396B2 (ja) * | 2005-09-01 | 2011-10-26 | 敏嗣 植田 | ガスセンサ及びガスセンサの製造方法 |
| JP5144090B2 (ja) * | 2007-02-26 | 2013-02-13 | シチズンホールディングス株式会社 | 接触燃焼式ガスセンサ及び接触燃焼式ガスセンサの製造方法 |
| JP5136868B2 (ja) * | 2010-08-18 | 2013-02-06 | 横河電機株式会社 | 熱伝導度検出器およびそれを用いたガスクロマトグラフ |
| CN103295777B (zh) * | 2013-05-23 | 2015-12-02 | 东北大学 | 一种磁流体薄膜的制作方法 |
| EP2863214B1 (en) | 2013-10-15 | 2019-12-18 | ams international AG | A thermal conductivity detector having a multi-layer sensing element, a gas sensor, and a method of gas sensing |
| KR102010448B1 (ko) * | 2017-09-20 | 2019-08-13 | (주)에스엔텍 | 가스 유량 센서 및 가스 유량 측정 장치 |
| CN112284481B (zh) * | 2020-10-29 | 2024-06-11 | 重庆运点点物流科技有限公司 | 用于船舶油舱的燃油量监测系统及方法 |
| CN116678526A (zh) * | 2023-05-09 | 2023-09-01 | 北京石墨烯技术研究院有限公司 | 垫片式传感器及其制备方法和应用 |
| DE102023208844A1 (de) | 2023-09-12 | 2025-03-13 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Sensorvorrichtung zur Bestimmung einer Wasserstoffkonzentration im Umfeld der Sensorvorrichtung |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5618750A (en) * | 1979-07-25 | 1981-02-21 | Ricoh Co Ltd | Gas detector |
| US4544441A (en) * | 1980-09-04 | 1985-10-01 | Battelle-Institut E.V. | Method of making a bolometric radiation detector |
| JPS60243549A (ja) * | 1984-05-05 | 1985-12-03 | ゲゼルシヤフト、フユール、ゲレーテバウ、ミツト、ベシユレンクテル、ハフツング | ガスの触媒燃焼用のセンサの製造方法 |
| JPH01109250A (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-26 | Toshiba Corp | ガスセンサ |
| EP0265834B1 (en) * | 1986-10-28 | 1992-07-22 | Figaro Engineering Inc. | Sensor and method of producing same |
| DE3711511C1 (de) * | 1987-04-04 | 1988-06-30 | Hartmann & Braun Ag | Verfahren zur Bestimmung der Gaskonzentrationen in einem Gasgemisch und Sensor zur Messung der Waermeleitfaehigkeit |
| DE3743398A1 (de) * | 1987-12-21 | 1989-07-06 | Siemens Ag | Aufhaengung fuer eine sensoranordnung zum nachweis von gasen durch exotherme katalytische reaktionen |
| FI82774C (fi) * | 1988-06-08 | 1991-04-10 | Vaisala Oy | Integrerad uppvaermbar sensor. |
| DE3844023A1 (de) * | 1988-12-27 | 1990-06-28 | Hartmann & Braun Ag | Sensor zur bestimmung der gaskonzentration in einem gasgemisch durch messung der waermetoenung |
-
1988
- 1988-05-24 CN CN90106919A patent/CN1019331B/zh not_active Expired
-
1989
- 1989-08-11 FR FR8910837A patent/FR2650891B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-08-01 ZA ZA906062A patent/ZA906062B/xx unknown
- 1990-08-09 CZ CS903931A patent/CZ393190A3/cs unknown
- 1990-08-10 AU AU62786/90A patent/AU647749B2/en not_active Ceased
- 1990-08-10 PL PL90286431A patent/PL163992B1/pl unknown
- 1990-08-10 DE DE199090912874T patent/DE486596T1/de active Pending
- 1990-08-10 AT AT90912874T patent/ATE120858T1/de not_active IP Right Cessation
- 1990-08-10 JP JP2512020A patent/JPH04507461A/ja active Pending
- 1990-08-10 CA CA002060183A patent/CA2060183A1/en not_active Abandoned
- 1990-08-10 EP EP90912874A patent/EP0486596B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1990-08-10 DE DE69018471T patent/DE69018471T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-08-10 WO PCT/FR1990/000608 patent/WO1991002242A1/fr not_active Ceased
-
1994
- 1994-11-28 US US08/345,548 patent/US5549870A/en not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-04-10 US US08/631,308 patent/US5753128A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5753128A (en) | 1998-05-19 |
| AU647749B2 (en) | 1994-03-31 |
| DE69018471D1 (de) | 1995-05-11 |
| FR2650891A1 (fr) | 1991-02-15 |
| CA2060183A1 (en) | 1991-02-12 |
| CN1049910A (zh) | 1991-03-13 |
| WO1991002242A1 (fr) | 1991-02-21 |
| US5549870A (en) | 1996-08-27 |
| EP0486596A1 (fr) | 1992-05-27 |
| PL163992B1 (pl) | 1994-06-30 |
| EP0486596B1 (fr) | 1995-04-05 |
| DE486596T1 (de) | 1992-10-15 |
| JPH04507461A (ja) | 1992-12-24 |
| PL286431A1 (en) | 1991-02-25 |
| ZA906062B (en) | 1991-05-29 |
| FR2650891B1 (fr) | 1993-11-19 |
| CN1019331B (zh) | 1992-12-02 |
| ATE120858T1 (de) | 1995-04-15 |
| DE69018471T2 (de) | 1995-10-05 |
| AU6278690A (en) | 1991-03-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Sberveglieri et al. | Silicon hotplates for metal oxide gas sensor elements | |
| US4307373A (en) | Solid state sensor element | |
| EP0376721B1 (en) | Moisture-sensitive device | |
| KR940002635B1 (ko) | 습도 센서 | |
| CZ393190A3 (en) | Sensor based on self-supporting fiber and process for producing thereof | |
| KR20010037655A (ko) | 마이크로머시닝 기술에 의해 제조되는 저전력형 세라믹 가스센서 및 그 제조방법 | |
| CN113514502A (zh) | 多维度多参量气体传感器及其制备方法、气体检测方法 | |
| US4723439A (en) | Humidity detector | |
| US6786076B2 (en) | Thin film gas sensor | |
| CN108614015A (zh) | 一种催化及热导集成气体传感器的制造方法、传感器及工作方法 | |
| JP2004020377A (ja) | 接触燃焼式ガスセンサ | |
| JPH0215820B2 (cs) | ||
| JP4507438B2 (ja) | ガスセンサを用いたガスの検出方法 | |
| JP2860086B2 (ja) | 湿度センサ用マイクロキャップ及び湿度センサ | |
| JPS63172948A (ja) | ガスセンサ | |
| JPH0795054B2 (ja) | 湿度センサ | |
| JPS63289443A (ja) | 感湿素子 | |
| Lee et al. | A micromachined robust humidity sensor for harsh environment applications | |
| JP2000030910A (ja) | セラミックサブストレ―ト上に少なくとも二つの接続接触フィ―ルドを有する電気抵抗体およびその製造方法 | |
| JP2984095B2 (ja) | ガスセンサの製造方法 | |
| JPH06118045A (ja) | 湿度センサ | |
| JPS6015121B2 (ja) | 感湿素子 | |
| JPH11223614A (ja) | 接触燃焼式可燃ガスセンサ | |
| CN118565701A (zh) | 一种基于碳纳米管的mems复合真空计及其实现方法 | |
| JPH053973Y2 (cs) |