DD144899B1 - Vorrichtung zum automatischen vereinzeln und magazinieren scheibenfoermiger bauteile - Google Patents

Description

Vorrichtung zum automat is с hen Vereinzeln und Lagazinieren scheioeniormiger Bauteile

Anwendungsgebiet der üiri'indung

LIe ib'inrichtung dient zum automatischen Vereinzein und zur automatischen üiin- und Ausgabe von magazinierten Siliziumscneiben in Verbindung mit einer Bearbeiuungseinrichtung, insbesondere einer DurchiauXbeschichtungs anlage.

der bekannten technischen Lösungen

3s ist eine Einrichtung zum aujcna-cischen Vereinzein von Siiiziumscheioen und zur automatischen .bin- und ausgabe in diverse Bearbeitungseinrichtungen bekannt, bei der von einem karussellähnlichen Drehteller wechselseitig ein voiles Magazin in eine Vereinzelungssua-cion eingesetzt und ein leeres Magazin entnommen wird. In der Vereinzexungsstaüion viird das volle Llagazin nach unten durchsetaktet und die Scheiben an den Taktstellen mechanisch oaer mittels Luxus trecke entnommen, liach Entnahme der letzten Scheibe wird das Magazin wieder in die Ausgangsstellung zurückgefahren und über einen Drehteiler gewechselt. Nachteilig hierbei ist, daß diese i&Lnrichüung

nur einspurig betrieben werden kann beziehungsweise zwischen, zwei Spuren große Abstanasteilungen vorhanden sind. Außerdem erfolgt aie Bestückung des Drehtellers mit vollen Magazinen sowie die Entnahme der leeren Magazine manuell.

Es ist weiterhin ein Kammstreifentransportsystem an Bondern bekannt, wobei ein Magazin mit Kammstreifen auf eine JtSLnrichtung unten manuell aufgesetzt, nach oben durchgetaktet und aabei an den Taktstellen die Streifen mechanisch entnommen werden. Anschließend wird die Ausgangsposition wiederum manuell angerahren und das Magazin manuell entnommen.

Die Arbeitsweisen dieser beiden bekannten .Einrichtungen lassen keine kontinuierliche Bestückung der Bearbeitungseinrichtung zu und gewährleisten somit nicht eine optimale Auslastung der Bearbeitungseinrichtung.

Ziel der iirfindung

Ziel der isrfindung ist die Erhöhung der Wirtschaftlichkeit der Fertigung von Halbleiterbauelementen, insbesondere bei Durchlaufeinrichtungen zum Beschichten von Siliziumscheiben mit SiOo-Schichten, unter Gewährleistung der Qualität der hergestellten Siliziumoxidschicnten auf Siliziumscheiben.

«Vesen der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine für den Automatikbetrieb geeignete Vorrichtung zum Vereinzeln von magazinierten Siliziumscheiben, deren ü4,ngabe in die üearbeitungseinrichtung und erneute Magazinierung zu schauen, die bei einem geringstmoglichen Spurenabstand eine optimale Auslastung der zwischen Vereinzelung und erneuter Magazinierung angeordneten Bearbeitungseinrichtung und eine minimale Belastung des Beüienpersonais erlaubt.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß an einem Gestell jeweils eine in horizontaler Lage auf verschiedenen Ebenen angeordnete Magazineingabe und Magazinausgabe, die mehrere Magazinpositionen enthalten, über eine senkrecht dazu liegende Magazinhöhenverstellung verbunden sind, wobei die Anordnung mehrerer Spuren auf kleinsten Raum nebeneinander möglich ist. Die Magazineingabe und -ausgabe enthalten Mechanismen zum linearen 'Transport der Magazine innerhalb der blagazineingabe beziehungsweise -ausgabe und zwischen diesen und der Magazinhöhenverstellung. Der lineare Magazintransport ist über einen Kurbelmechanismus oder einen Hubzylinder realisierbar. Die Magazinhöhenverstellung erfolgt gemäß einem an sich bekannten Prinzip durch das Zusammenwirken einer Spindel, Kupplung und Motor oder einer Spindel und Schrittmotor oder durch einen Hubzylinder, äs ist eine schrittweise Höhenverstellung um den Abstand der Scheibenauf nähmet eilung des Sagazins und die'iconüinuierirche bewegung zwischen den Ebenen der Magazineingabe und iiagazinausgabe möglich, wobei die Steuerung der Bewegung über üignaüsations elemente erfolgt. Beim Zusammenwirken mit einer Bearbeitungseinrichtung sind zwei gleichartige, errindungsgemäße Vorrichtungen spiegelbildlich angeordnet und mittels Koppelelement zur Schritti'orderung miteinander verbunden, wobei die erste Vorrichtung als Scheibeneingabestation und die zweite als Scheibenausgabestation dient. Die Vereinzelung beziehungsweise Magazinierang ist mittels des gleichzeitig zur Schrittförderung dienenden Hubbaliens realisierbar. Labei erfolgt die erneute Eingabe der scheibenförmigen Bauteile nach ihrer Bearbeitung am gleichen Platz in das Magazin, wo sie entnommen wurden.

Ausführungsbeispiel

Im folgenden Ausführungsbeispiel soll die Erfindung näher erläutert werden. Dabei zeigen

Fig. 1 den prinzipiellen Aufbau der Vorrichtung in Seitenansicht

5⁴Ig. 2 die Draufsicht gemäß Fig. 1

Fig. 3 den prinzipiellen Aurbau in Seitenansicht bei spiegelbildlicher Anordnung von zwei Vorrichtunben in Verbindung mit einer Bearbeitungseinrichtung

Entsprechend -fc'ig. 1 wirα in die Magazineingabe 3 an der 2ingabeposition 4.1 ein Llagazin 1 uiit unbearbeiteten Siliziumscheiben 34 eingesetzt. i/urcn dea iuotor b wird über die Kurbelscheibe 7, die an dieser ^onzencrisch angebrachten Koppelstange 6 und den Hebel 9 eier Wagen 1ü von aer .varteposition 4.2 uncer das üiagazin 1 in Jingabepcsiöicn 4.1 gefahren, wobei die Klinken 11.1; 11.2 unter Spannen der jj'ecern unjer dem in der Spur der ilagazinein- ^ace j beiindiichen Magazinen 1 aindurchgieiten und schließlich die üiim£en 11.1 hinter dem Magazin 1 in üin- ^jabeposition 4.1 einrasuen. Bei weiterer Umdrehung des Ho tors ό wird der ./ag en lu in seine Ausgangsstellung bev/egt; und das ilagazin 1 daait innerhalb der führung 5 an die ,/arteposition 4.2. transportiert. Gieicnzeitig wird ein in Jarteposicion. 4.2. befindliches Magazin 1 durch Kontakt mit den vorderen Kanten der Klinken 11.2 in die ATbeitsposition 22a isoradht. Die MägabepOsition 4.1 ist frei xur cie üiingaoe eines neuen Magazins 1. Ist ein Magazin 1 in die Arbeitsposition 22a auf dem Konsol 23 übernommen, wird über den Motor 30» Kupplung 27, Zahnradgetriebe 2b und spindel mit Mutter 23 das Magazin 1 entsprechend seiner Scheibenaufnähmeteilung senkrecht in Richtung der Liagazinausgabe 12 getaktet, rlach jedem Takt, der über die Geberfahne 23 und den Schlitzinitiator 29 gesteuert wird, kann eine ailiziunscheibe 34 aus dem Magazin 1 entnommen oder in das Magazin 1 eingegeben werden. 3ach Entnahme oeziehungsweise Eingabe der letzten Scheibe jH- eriolgt eine kontinuierliche Bewegung des Konsols 23 bis zur übene der Magazinausgabe 2ü. Dabei greift der Winkel 20 des »Vagens 19, welcher unter einem

Magazin 1 in Ausgabeposition I3.I steht, hinter den Bol zen Ζ am Magazin 1 in Arbeitsposition 22 b. Auf ein Sig nal wird der ffagen 19» angetrieben vom Motor ЛЬ über die Kurbelscheibe 16, die konzentrisch an dieser angebrachten Koppelstange T/ und den Hebel 18, unter ein Magazin in Entnahmeposition 13*2 bewegt und aer in Wirkungseingriff mit dem Magazin 1 in Arbeitsposition 22b stehende Kinkel befördert dieses innerhalb der Führung 14 in die Ausgabeposition 13·1· Gleichzeitig wird durch das transportierte Magazin 1 das bisher in Ausgabeposition I3.I befindliche Magazin 1 in die Entnahmeposition 13·2 verdrängt. Anschließend wird der Wagen 19 sofort wieder in seine Ausgangsstellung bewegt und ist bereit zum Transport eines neuen Magazins 1. 1st die Spur der Magazinausgabe 12 gefüllt, wird der Bntnahmeposition 13*2 das Magazin 1 entnommen.

Das Kons öl 23 führ-c nach Entnahme des Magazins 1 durch Drehrichtungsumkehr des Motors 30 kontinuierlich in die Arbeitsposition 22 a zurück, um ein neues üüagazin 1 aufzunehmen.

'.Vie Fig. 2 zeigt, ist eine mehrfach parallele Anordnung von Spuren der Magazineingabe 3 beziehungsweise Magaziniusgabe 12 bei geringstem Abstand möglicii.

Fig. 3 zeigt das Zusammenwirken von zwei eriingungsgemäßen Vorrichtungen mit einer Bearbeitungseinrichtung 31, speziell einer Beschickungseinrichtung zur Herstellung von Siliziumozidscliiciiten auf Siliziumscneiben. Dabei dient eine Vorrichtung als Scheibeneingabestation 40 und eine zweite, spiegelbildliche zur ersten angeordnete, als Scheibenausgabestation 41. Die Verbindung beider Vorrichtungen wird über den Hub balken. 3^? mit Sauger j>b und Druckstück 37 hergestellt, der einen zyklischen Bewegungsablauf 35 a, b, c, d aufweist. Entsprechend den Тал-ten des Magazinantriebes 24 greift der Sauger ЗЬ über die Bewegung 3t? a und b unter die im Magazin 1, das sich in der Arbeitsposition 'г'г aer Scheibeneingabestation 40 be-

findet, zur Kntnähme bereite Scheibe 34 und zieht sie mit dem Bewegungsschritt 3> с aus aem Magazin 1. Mit der Bewegung 35 d wird die Scheibe 34 vom Sauger 37 getrennt und auf die Gabel 38 abgelegt. iTachdem der Magazinantrieb 24 zur nächsten Scheibe 34- getaktet hat, kann der Bewegungsablauf 35 a» b, c, d vonmuem beginnen.

Nach Durchlauf der Beschichtungseinrichtung 31 liegen die Scheiben 34 auf der Gabel 39 bereit zur uoergaöe in aas Magazin Я in der Arbeitsposition 22a der Scheibenausgabestation 33· Dazu v/ird über den blagazinantrieb 24 das Hagazin 1 mit seinem Scheibenaufnahmeschlitz.so zur Gabel 39 positioniert, daß die Scheibe 34 mittels des Druckstückes 37 am i,nde des Hubbalkens 35 bei der Huboaikenbewegung 35 с in das Magazin 1 geschoben wird, wobei jede Scheibe 34· den gleichen Platz im Magazin Ί einnimmt, von dem sie vor ihrer Bearbeitung entnommen ?/urde. Aus Fig. 3 ist ersichtlich, daii aurch die schar rung der jetrennten Llagazineingabe 3 u.nd laagazinausgabe Td eis verkettung la eiaer ^esan^en rerui^ungslinie möglieb, ist.

Claims (3)

1. Erfindungsansprueh

   · Vorrichtung zum automatischen Vereinzeln und Magazinieren scheibenförmiger Bauteile, insbesondere Siliziumscheiben, mit einer Magazineingabe und einer Magazinausgabe, Magazinhöhenverstellung und Wirkungseingriff mit einer zweiten gleichartigen, spiegelbildlich angeordneten Vorrichtung mittels Koppelelementen zur Schrittförderang, gekennzeichnet dadurch, daß die Magazineingabe (3) und die Magazinausgabe (12) horizontal auf verschiedenen Ebenen angeordnet und auf kleinsten Baum mit mehreren nebeneinanderliegenden Spuren versehen sind, wobei senkrecht zwischen beiden die mit schrittweise oder kontinuierlich bewegbare Eonsole (23) versehene Magazinhöhenverstellung (21) angeordnet ist und daß geeignete Antriebsmittel zum linearen Transport der Magazine (1) innerhalb der Magazineingabe (3) bzw. -ausgabe (12)" angeordnet sind, wobei ein an sich bekannter Hubbalken (35) für die Entnahme der scheibenförmigen Bauteile (34) deren Transport durch die Bearbeitungsstation (31) und zur erneuten Magazinierung auf den gleichen Platz im Magazin (1) in die spiegelbildlich, angeordnete Vorrichtung vorgesehen ist.
2. 2. Vorrichtung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Magazineingabe (3) eine Eingabeposition (4.I) und eine Warteposition (4.2) enthält, daß die Magazinausgabe (12) eine Ausgabeposition (13.I) und eine Entnahmeposition (13.2) enthält und daß geeignete Mechanismen zum linearen Transport der Magazine (1) zwischen den verschiedenen Magazinpositionen (4·1; 4.2j 13.1; 13.2) und der Magazinhöhenverstellung (21) vorgesehen sind.
3. 3· Vorrichtung nach Punkt 1 und 2, gekennzeichnet dadurch, daß zum linearen Transport der Magazine (1) innerhalb der Magazineingabe (3) eine Führung (5) vorgesehen ist,

   in der ein mit federbelasteten Sunken (11.1» 11.2) ausgerüsteter Wagen (10) angeordnet ist, der über einen Hebel (9)» konzentrisch angebrachter Koppelstange (8), Kurbelscheibe (7) mit einem Motor (6) in Wirkungsverbindung steht.

   Vorrichtung nach Punkt 1 bis 3, gekennzeichnet dadurch, daß zum linearen Transport der Magazine (1) innerhalb der Magazinausgabe (12) analoge Antriebsmittel wie bei der Magazineingabe (3) vorgesehen sind, wobei der Wagen (19) mit einem Winkel (20) ausgerüstet ist, welcher zum Zwecke des transportes mit einem Bolzen (2) des Magazins (1) in Wirkungsverbindung gelangt.

   Vorrichtung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Magazinhöhenverstellung (21) aus einem Kotor (30), einem Zahnradgetriebe (26) und einer Spindel mit Mutter (25) besteht, wobei an letzterer das Konsol (23) für die schrittweise und kontinuierliche Höhenverstellung des Magazins (1) angeordnet ist.

   Hierzu 3 Seiten Zeichnungen