DD206498A3 - Legierung zur herstellung von mikrodraht - Google Patents
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Abstract
BEKANNTE AU-MIKRODRAEHTE BESTEHEN AUS AU4N. SIE SIND SEHR KORROSIONSBESTAENDIG UND VERFUEGEN UEBER DIE GEFORDERTEN MECHANISCHEN UND ELEKTRISCHEN EIGENSCHAFTEN. DIE HERSTELLUNG DER MIKRODRAEHTE IST JEDOCH SCHWIERIG UND BEI ANWENDUNG DES KONVENTIONELLEN DIREKTZIEHENS NUR MIT ZUSATZEINRICHTUNGEN MOEGLICH, DIE DIE GEBRAUCHSFAEHIGKEIT DES DRAHTES HERABSETZEN. ZIEL DER ERFINDUNG IST DIE ERHOEHUNG DER ZIEHFAEHIGKEIT VOR ALLEM IM BEREICH UNTER 0,1 MM DURCHMESSER DURCH ZUSATZ VON AG + RU. DIESES MATERIAL LAESST SICH IN DER UEBLICHEN WEISE SCHMELZEN UND NACH EINER DEFINIERTEN PROMAERUMFORMUNG DIREKT AN DIE ENDABMESSUNG ZIEHEN. NACH EINER ENTSPRECHENDEN SCHLUSSPRUEFUNG IST DER DRAHT AUF AUTOMATISCHEN THERMOKOMPRESSIONSBONDERN ZUR KONTAKTIERUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN EINSETZBAR.
Description
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Einsatzgebiet der erfindungsgemäß hergestellten Legierung aind laikrodrähte, die in Festkörperschaltkreisen zur Stromleitung zwischen dem aktiven Bauelement und den passiven Anschlußfahnen verwendet werden und durch Thermokompression gebondet werden können.
flach '.7P 126 559 und WP 206 574 wird Au5N mit Y + Fe-Dotierung bzw. Co + Cr-Zusatz als typischer Ivlikrodrahtwerkstoff eingesetzt. Er besitzt neben den guten elektrischen und thermischen Eigenschaften eine dotierungsbedingte erhöhte Festigkeit bei Raum- und mittleren Temperaturen und außerdem eine das Edelmetall Gold kennzeichnende ausgezeichnete Korrosions- und Oxydationsbeständigkeit.
Drähte dieser Qualität lassen sich im Feinstdrahtbereich nur schwer verformen, so daß Zusatzverfahren angewandt werden müssen, um den Draht an die Endabmessung ziehen zu
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können. Dadurch werden die Eigenschaften der Mikrodrähte beeinträchtigt.
Ziel der Erfindung
Ziel der Erfindung ist ein auf automatischen Drahtbpnd-r geräten einsetzbarer Mikrodraht, der ohne Zwischengltihung bzw, Hilfswerkstoffe direkt an den geforderten Enddurch-r Besser verformt werden kann. Gegenüber den bekannten Au-Mikrodrähten ist der Goldgehalt nur so hoch, daß eine Korrosion bzw, Oxydation während der Verarbeitung im Bondprozeß und der Punktion im Bauelement vermieden wird.
Erfindungsgemäß hergestellte Mikrodrähte besitzen durch Rh- und/oder Ru-Zusätze vor allem in der während des Bondens entstehenden Kugel das erforderliche Peinkorngefüge«
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Mikrodrähte für die automatische Drahtbondung und durch Thermokompression verarbeitbar herzustellen, die leicht verformbar sind und direkt an die Endabmessung gezogen werden können, die durch eine feinkörnige Gefügeausbildung eine verbesserte Bondfähigkeit besitzen und deren Au-Gehalt durch den Einsatz von Ag beträchtlich herabgesetzt worden ist.
Typisch für die erfindungsgemäße Lösung ist die Herstellung einer Legierung aus Au5N, die Zusätze von Ag in Gehalten von 10 ... 90 % und Rh und/oder Ru in Konzentrationen von 0,001 ... 1 % enthalten, in Vakuuminduktionsöfen erschmolzen werden und in bekannter Weise zu Mikrodraht mit einem Durchmesser von 15 ... 50 /um verformt
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werden. Zur Einstellung der geforderten Eigenschaften ist am Fertigdraht eine Schlußgltihung vorzunehmen bei Temperaturen zwischen 200 und 700 0C und Zeiten von 0,1 ... 100 s.
Au der Reinheit 5N wird im Vakuuminduktionsofen in einen» Reinstgrafittiegel erschmolzen, mit Reϊή-Ag einer Konzentration von 50 Masse-# legiert und mit Ru und Rh in Gehalten von 0,01 Masse-# dotiert. Der Gußblock wird durch Pressen so verformt, daß eine gleichmäßige Durchknetung des Geftiges erreicht wird. Die Verformung an den Enddurchmesser erfolgt in üblicher Weise durch direktes Ziehen ohne Hilfsmantel, wobei eine Schlußglühung zwischen 200 und 700 °C/0,1 ... 100 s vorgenommen werden muß.
Claims (1)
- 232860 2ErfindungsanspruchLegierung zur Herstellung von Mkrodraht üblicherweise so hergestellt, daß Au 5 N niit; einem Legierungselement im Vakuuminduktionsofen in einem Reinstgrafittiegel erschmolzen und mit Ru und/oder Rh in Gehalten von 0,001 ... 1 % dotiert wird, die Schmelze 5 min gehalten und einer mehrfachen gerichteten Erstarrung mit gezielter Abkühlung unterzogen wird, die Oberfläche des Gußblockes gereinigt und bei Raum- bzw. erhöhten Temperaturen so verformt wird, daß eine homogene Korngrößen- und Elementverteilung eintritt, anschließend gebeizt oder spangebend bearbeitet, bei Raumtemperatur direkt an die .äind abmessung gezogen wird und eine Schlußglühung bei T = 200 ... 700 °C/O,1 ... 100 s vorgenommen wird, dadurch gekennzeichnet ,·.daß als Legierungselement Ag 5 N in Gehalten von 10 ... 90 i.iasse-% verwendet wird, daß der Gesamtverunreinigungsgehalt 0,1 % nicht übersteigt und die üblichen Sdelmetallbeimengungen Pb, Pd sowie Cu, Al, Si in dieser Größenordnung vorhanden sein dürfen und die Verarbeitbarkeit durch Thermokompression gesichert wird«
Priority Applications (1)
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| DD206498A3 true DD206498A3 (de) | 1984-01-25 |
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ID=5533181
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1981
- 1981-08-28 DD DD23286081A patent/DD206498A3/de unknown
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