DD210130A5 - Lichtelektronisches festspaltmikroskop - Google Patents

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DD210130A5
DD210130A5 DD83253413A DD25341383A DD210130A5 DD 210130 A5 DD210130 A5 DD 210130A5 DD 83253413 A DD83253413 A DD 83253413A DD 25341383 A DD25341383 A DD 25341383A DD 210130 A5 DD210130 A5 DD 210130A5
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light
polarized light
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optical
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Application number
DD83253413A
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Inventor
Toshiaki Shinozaki
Ichiro Mori
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co
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    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/04Measuring microscopes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/02Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light
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DD83253413A 1982-08-25 1983-07-26 Lichtelektronisches festspaltmikroskop DD210130A5 (de)

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