DD234038A1 - Verfahren zur strukturierung leitfaehiger metalloxidschichten - Google Patents
Verfahren zur strukturierung leitfaehiger metalloxidschichten Download PDFInfo
- Publication number
- DD234038A1 DD234038A1 DD27269885A DD27269885A DD234038A1 DD 234038 A1 DD234038 A1 DD 234038A1 DD 27269885 A DD27269885 A DD 27269885A DD 27269885 A DD27269885 A DD 27269885A DD 234038 A1 DD234038 A1 DD 234038A1
- Authority
- DD
- German Democratic Republic
- Prior art keywords
- metal oxide
- item
- conductive metal
- oxide layer
- layer
- Prior art date
Links
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 title claims abstract description 23
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 6
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 claims description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N cadmium oxide Inorganic materials [Cd]=O CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 2
- CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Cd+2] CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 2
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000000866 electrolytic etching Methods 0.000 claims description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 239000001488 sodium phosphate Substances 0.000 claims description 2
- 229910000162 sodium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 claims description 2
- RYFMWSXOAZQYPI-UHFFFAOYSA-K trisodium phosphate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[O-]P([O-])([O-])=O RYFMWSXOAZQYPI-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 2
- 229920001131 Pulp (paper) Polymers 0.000 claims 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 abstract description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 abstract 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 3
- 239000010405 anode material Substances 0.000 description 3
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229940071182 stannate Drugs 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000001311 chemical methods and process Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007688 edging Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical compound I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000043 hydrogen iodide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Strukturierung leitfaehiger Metalloxidschichten, insbesondere transparente leitfaehige Metalloxidstrukturen auf silikatischen oder halbleitenden Substraten, das bei der Herstellung von Fluessigkristall-, Elektrolumineszenz- und Elektrochromiedisplays, Fotodektoren und Bildwandlern und anderen Varianten der Informationsdarstellung, -detektion und -wandlung Anwendung findet. Ziel der Erfindung ist es, ein Verfahren zu entwickeln, um die Aufwendungen an Materialien, die Anzahl technologischer Schritte und die damit verbundene Umweltbelastung zu reduzieren. Erfindungsgemaess wird die Aufgabe dadurch geloest, dass die Metalloxidschicht als Katode geschaltet und nach der Kontaktierung mit einer unloeslichen, poroesen elektrolytgetraenkten Masse mit der Form des Negativbildes der zu schaffenden Struktur verbunden und nach dem Einschalten eines Stromes mit anschliessender Spuelung mit einer sauren Loesung und Wasser aufgeloest wird.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Strukturierung leitfähiger Metalloxidschichten, insbesondere transparente leitfähige Metalloxidstrukturen auf silikatischen oder halbleitenden Substraten, das bei der Herstellung von Flüssig-Kristall-, Elektrolumineszenz- und Elektrochromiedisplays, Fotodektoren und Bildwandlern und anderen Varianten der Informationsdarstellung, -detektion und -Wandlung Anwendung findet.
Bekannt ist, die Strukturierung von Metalloxidschichten auf isolierenden Substanzen derart durchzuführen, daß die Metalloxidschichten mit Photolacken, Photoresisten, Metallen oder anderen Materialien so beschichtet werden, daß auf der Oberfläche das Negativbild der zu erzeugenden Struktur unbedeckt bleibt.
Anschließend wird mit einer geeigneten Ätzflüssigkeit, gegen die die Abdeckschicht inert ist, der unbedeckte Anteil der Metailoxidschicht entfernt und danach die Abdeckstruktur wieder beseitigt. Auf diese Weise bleibt dann die gewünschte Struktur des Metalloxids auf der Oberfläche. Als geeignete Ätzmittel für die Metalloxidschichten werden Salzsäure- und Jodwasserstoff-Lösungen vorgeschlagen (US PS 4 336 295, DT-OS 24 25 702) und auch andere Säuren verwendet (DE-OS 30 47
Zusätze von FeCI3 zur Salzsäurelösung haben sich unter dem Aspekt der Mehrfachverwendung des Ätzmittels als besonders zweckmäßig erwiesen (DE-OS 26 35 245).
Dabei treten für einige Anwendungen unerwünschte Probleme auf, wenn die zu strukturierende Metalloxidschicht aus SnO2 besteht oder SnO2 enthält, und zumindest letzteres ist bei den gegenwärtig industriell erzeugten Schichten fast immer der Fall.
Diese Probleme resultieren aus der sehr geringen Lösungsgeschwindigkeit und Löslichkeit von SnO2 in Säuren und führen zu einer Ausscheidung von schwerlöslichen SnO2 in unmittelbarer Nähe der Ätzbereiche.
Auf diese Weise können beispielsweise scharfe Ätzkanten an den Rändern entstehen. Diese führen bei solchen Anwendungen der transparenten Elektroden, die hohe Feldstärken erfordern, beispielsweise beim Elektrolumineszenzdünnfilmdisplay zu Durchbrucheffekten und letztlich zur Zerstörung des Bauelements.
Zur Verbesserung der Löslichkeit von Zinndioxid in Säuren wurde vorgeschlagen, bestimmte Metallpulver, beispielsweise Zn, Cd oder Al auf die zu entfernende Oxidschicht zu reiben, wobei dann durch eine nachfolgende Säureeinwirkung an der Oxidoberfläche Wasserstoff entwickelt wird, der zu einer reduktiven Auflösung des Zinndioxids führt (DE-OS 22 59 033).
Dieses Verfahren ist manuell aufwendig, begünstigt das Verbleiben von Metalloxidinseln auf der Oberfläche und führt zu Unterätzungseffekten und Aufwürfen an den Rändern.
Unabhängig von den auf die Schwerlöslichkeit des Zinndioxide zurückführbaren Effekten sind die genannten Strukturierungstechnologien über den Weg der Schaffung von Ätzmustern nach Photolack-, Photoresist- und Siebdrucktechnologien auch material- und zeitaufwendig und auch umweltbelastend.
Auch die bekannte Methode des elektrolytischen Ätzens (DE-OS 23 19 012) führt nicht zu einer Verringerung des technologischen Aufwands, da die genannten Abdecktechnologien gleichfalls angewendet werden müssen.
Ziel der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Strukturierung leitfähiger Iviatalloxidschichten zu entwickeln, um die Aufwendungen an Materialien, die Anzahl technologischer Schritte und die damit verbundene Umweltbelastung zu reduzieren sowie die Regulierbarkeit der Strukturierungstechnologie und die anwendungsspezfischen Anforderungen an die Qualität der Metalloxidstrukturen zu verbessern.
Die Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Strukturierung leitfähiger Metalloxidschichten auf Fremdsubstraten zu schaffen, daß die intermediäre Abdeckung der zu schaffenden Struktur nach bekannten Photlack-, Photoresist- oder Siebdrucktechnologien beseitigt und die Steuerung und Regelung des Strukturierungsvorganges ermöglicht. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß die Metalloxidschicht als Katode geschaltet, mit einer auf der Anode befindlichen, unlöslichen, porösen elektrolytgetränkten Masse in Form des Negativbildes der zu schaffenden Struktur kontaktiert und dadurch unter Stromeinwirkung der dem Negativbild der Struktur entsprechende Teil der Metalloxidschicht elektrolytisch aufgelöst wird. Die Metalloxidschicht mit Schichtdicken < 1 μηη besteht aus Zinndioxid, Indiumoxid, Cadmiumoxid, Zinkoxid mit verschiedenen Dotierungen und aus Mischungen dieser
Es ist zweckmäßig, die poröse, elektrolytgetränkte Masse, die sich auf der Anode befindet, aus Glas- oder Keramikfrittenmaterial,
aus silikonierten Cellulosematerialien oder Perfluorkohlenwasserstoffen herzustellen. Auch andere poröse silikatische Massen oder organische Polymere werden eingesetzt. Es sind bevorzugt schwach saure Elektrolyte, beispielsweise 1—5%ige Schwefelsäure, Salzsäure oder Phosphorsäure mit 10% Natriumsulfat, Natriumchlorid oder Natriumphosphat bei konstanten Stromdichten im Bereich zwischen 0,2 und 2 KA/m2 bei Zimmertemperatur, wobei je nach dem eingesetzten Elektrolyt und Art sowie Dicke des porösen Materials Zellspannungen zwischen 4 und 20 V aufzuwenden sind, zu verwenden. Als Metallanoden werden dimensiosstabile Anodenmaterialien, beispielsweise Rutheniumdioxid auf Titanunterlage eingesetzt, für verschiedene Anwendungen ist es aber auch zweckmäßig, anodisch auflösbare Anodenmaterialien, beispielsweise Kupfer oder Zinn einzusetzen und das dabei in Lösung gegangene Material auf bekannte Weise elektrolytisch zurückzugewinnen.
Erfindungsgemäß ist es bei der Verwendung dimensionsstabiler Anodenmaterialien, bei denen die Anodenreaktion mit einer Gasentwicklung verbunden ist, zweckmäßig, die poröse Schicht nicht auf die gleichmäßig glatte Anodenoberfläche aufzubringen, sondern die Anode siebförmig, streifenförmig oder nach einer anderen geeigneten Struktur mit Vertiefungen zu gestalten, so daß ein ungestörtes Entweichen des entwickelten Gases, überwiegend Sauerstoff, möglich wird.
Die Schärfe der seitlichen Begrenzung der zu schaffenden Struktur und deren Kantenschärfe wird über die Stromdichte und Säurekonzentration des Elektrolyten beeinflußt und nimmt mit abnehmender Stromdichte ab.
Die katodisch induzierte Auflösung der Metalloxide vollzieht sich durch Überlagerung verschiedener elektrochemischer und chemischer Vorgänge, die im Detail von den metallischen Komponenten der Oxide abhängen.
. Ausführungsbeispiel
Die Erfindung wird nachstehend an Ausführungsbeispielen näher erläutert:
Ausführungsbeispiel 1:
Eine Indium-Zinn-Mischoxid-Schicht auf einer Glasunterlage wurde als Katode geschaltet in eine Elektrolysezelle mit einem Elektrolyten, bestehend aus 5%iger Salzsäure und 5%iger Natriumchloridlösung gebracht. Der Zinndioxidgehalt lag bei 12%, die Schichtdicke der Oxidschicht bei 0,2 μπη.
Als Anode wurde eine dimensionsstabile Elektrode, bestehend aus Titanunterlage und einer Struktur entsprechend der Anode aus einem Gemisch von Rutheniumdioxid und Titaniumdioxid (30% RuO2, 70% TiO2), verwendet.
Auf dieser Anode war eine glasfaserverstärkte Spezialpapierschicht angebracht, dessen Porösität im Bereich der zu erzeugenden Struktur durch Tränken mit einem Lack beseitigt war.
Die Anode mit der porösen Schicht wurde auf die katodisch geschaltete Indium-Zinn-Mischoxid-Schicht gedrückt und bei einer Stromdichte von 5 A dm ~2 für 15 s elektrolysiert (Anfangszellspannung bei 5 V).
Nach dem Abschalten des Elektrolysestromes wurde die so strukturierte Oxidschicht noch für etwa 20 s in der Elektrolytlösung bewegt um verbliebene Oxidreste zu beseitigen und dann mit destilliertem Wasser gespült.
Ausführungsbeispiel 2:
Eine transparente, leitfähige Cadmiumstannatschicht (Verhältnis von CdO:SnO2 = 1:1) auf Glasunterlage wurde mit einer dimensionsstabilen Anode des im Ausführungsbeispiel 1 beschriebenen Typs strukturiert.
Auf der Anode befand sich wiederum eine glasfaserverstärkte Schicht eines Spezialpapier, das mit einem Elektrolyten bestehend aus 5%iger HCI und 8%igem NaCI getränkt war.
Die Dicke der Cadmiumstannatschicht lag bei 0,1 μηη. Auf die Verwendung einer Elektrolysezelle wurde verzichtet. Die Anode wurde direkt auf die als Katode geschaltete Cadmiumstannatschicht gedrückt und über die Zeit von etwa 2 s ein Stromstoß mit einer Stromdichte von 10 A dm~2 durch die Anordnung geleitet.
Nach dem Abschalten des Stromes wurde noch etwa 10 s in 5%iger Salzsäure und danach in destilliertem Wasser gespült und getrocknet.
Die so erhaltenen Strukturen sind sowohl für Displays auf Flüssigkristallbasis als auch auf Basis der Dünnfilmelektrolumineszenz einsetzbar.
Claims (6)
- Erfindungsanspruch:1. Verfahren zur Strukturierung leitfähiger Metalloxidschichten auf Fremdsubstraten durch elektrolytisches Ätzen, gekennzeichnet dadurch, daß die Metalloxidschicht als Katode geschaltet, mit einer auf der Anode befindlichen, unlöslichen, porösen elektrolytgetränkten Masse in Form des Negativbildes der zu schaffenden Struktur kontaktiert und dadurch unter Stromeinwirkung der dem Negativbild der Schicht entsprechenden Teil der Metalloxidschicht elektrolytisch aufgelöst wird.
- 2. Verfahren nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Metalloxidschicht mit Schichtdicken < 1 μιη aus Zinndioxid, Indiumoxid, Cadmiumoxid, Zinkoxid mit verschiedenen Dotierungen und aus Mischungen dieser besteht.
- 3. Verfahren nach Punkt 1 und 2, gekennzeichnet dadurch, daß die elektrolytgetränkte Masse aus glasfaserverstärkten Spezialpapiermassen oder aus porösen organischen Polymermassen, bevorzugt Perfluorkohlenwasserstoffe oder Schaumstoffe besteht.
- 4. Verfahren nach Punkt 1 bis 3, gekennzeichnet dadurch, daß die Elektrolyse mit sauren Elektrolyten, beispielsweise 1-5°/oige Schwefelsäure, Salzsäure oder Phosphorsäure mit 10% Natriumsulfat, Natriumchlorid oder Natriumphosphat bei konstanten Stromdichten im Bereich zwischen 0,2 und 2 KA/m2 bei Zimmertemperatur durchgeführt wird.
- 5. Verfahren nach Punkt 1 bis 4, gekennzeichnet dadurch, daß dimensionsstabile Materialien, beispielsweise Rutheniumdioxid auf einer Titanunterlage oder anodisch auflösbare Materialien, beispielsweise Kupfer oder Zinn eingesetzt werden.
- 6. Verfahren nach Punkt 1 bis 5, gekennzeichnet dadurch, daß bei dimensionsstabilen Anoden, bei denen die Anodenreaktion mit einer Gasentwicklung verbunden wird, die poröse Masse auf eine mit einer geeigneten partiell vertiefenden Unterstruktur versehene Oberfläche, vorzugsweise streifen- und netzförmig, aufgebracht wird.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD27269885A DD234038A1 (de) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | Verfahren zur strukturierung leitfaehiger metalloxidschichten |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD27269885A DD234038A1 (de) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | Verfahren zur strukturierung leitfaehiger metalloxidschichten |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DD234038A1 true DD234038A1 (de) | 1986-03-19 |
Family
ID=5564930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DD27269885A DD234038A1 (de) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | Verfahren zur strukturierung leitfaehiger metalloxidschichten |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DD (1) | DD234038A1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19914093A1 (de) * | 1999-03-27 | 2000-10-19 | Dornier Gmbh | Elektrochromes Element |
-
1985
- 1985-01-22 DD DD27269885A patent/DD234038A1/de unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19914093A1 (de) * | 1999-03-27 | 2000-10-19 | Dornier Gmbh | Elektrochromes Element |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69218075T2 (de) | Elektrode für Elektrolyse | |
| DE3219003C2 (de) | ||
| DE2640225C2 (de) | Kathode für die Elektrolyse von Wasser oder Alkalichloridlösungen und Verfahren zu deren Herstellung | |
| DE2403573C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Anoden | |
| DE2807054C2 (de) | ||
| DE60306772T2 (de) | Elektrode für gasentwicklung und deren herstellungsverfahren | |
| DE2657979A1 (de) | Elektrode fuer elektrochemische verfahren und verfahren zu deren herstellung | |
| DE1796220B2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Elektrode zur Verwendung bei elektrolytischen Verfahren | |
| DE2113795B2 (de) | ||
| DE2620589C3 (de) | Aktivierte Kathode zur Verwendung bei der Elektrolyse wäßriger Lösungen | |
| DE2532553A1 (de) | Anode fuer elektrolytische verfahren | |
| DE2650762A1 (de) | Verfahren zur elektrolytischen koernung von aluminiumsubstraten fuer die lithographie | |
| DE2220247B2 (de) | Sauerstoff-Anode | |
| DE2213083A1 (de) | Elektroden für elektrochemische Verfahren | |
| DE2245709C3 (de) | Elektroden für elektrochemische Prozesse | |
| EP0215422B1 (de) | Verfahren zur elektrochemischen Aufrauhung von Aluminium für Druckplattenträger | |
| DE4438275B4 (de) | Elektrolysezelle und Verfahren zur Elektrolyse einer wässrigen Kochsalzlösung | |
| CA1190186A (en) | Electrode with mixed oxide interface on valve metal base and stable outer coating | |
| DE2657951A1 (de) | Elektrode fuer elektrochemische verfahren und verfahren zu deren herstellung | |
| DE69210962T2 (de) | Elektrolytische Elektrode | |
| DE3247665C2 (de) | ||
| DE2338549B2 (de) | ||
| KR940013301A (ko) | 전해에 의한 금속 포일 제조 방법 | |
| DD215589A1 (de) | Verfahren zur elektrolytischen metallabscheidung bei erzwungener konvektion | |
| DE2844558A1 (de) | Elektrode fuer die verwendung in einem elektrolytischen verfahren |