DD237153A1 - Verfahren zur herstellung von aluminiumnitrid hexagonaler struktur - Google Patents
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- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 title claims abstract description 26
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 13
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 22
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 17
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 claims abstract description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 7
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 4
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminum chloride Substances Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 3
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 claims description 3
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 4
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical group Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen(.) Chemical compound [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- IWBUYGUPYWKAMK-UHFFFAOYSA-N [AlH3].[N] Chemical class [AlH3].[N] IWBUYGUPYWKAMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QLJCFNUYUJEXET-UHFFFAOYSA-K aluminum;trinitrite Chemical class [Al+3].[O-]N=O.[O-]N=O.[O-]N=O QLJCFNUYUJEXET-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- -1 ammonium halide Chemical class 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000006396 nitration reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 1
- 238000011946 reduction process Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
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Abstract
Das Anwendungsgebiet der Erfindung ist die Herstellung von Aluminiumnitrid hexagonaler Struktur aus Aluminium und Ammoniak nach dem direkten Nitrierungsverfahren in der Form eines Aluminiumnitridpulvers, das als solches oder als Komponente einer Mischung zu Formkoerpern verpresst und durch Sintern verfestigt werden kann. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das bekannte Verfahren zur Herstellung von Aluminiumnitrid durch Gluehen von Aluminiumpulver im Ammoniakstrom weiterzuentwickeln. Diese Aufgabe wird erfindungsgemaess dadurch geloest, dass eine Pulvermischung aus 10 Teilen Aluminium und 0,5 bis 5 Teilen Ammoniumchlorid in einer stroemenden Ammoniakatmosphaere innerhalb eines Temperaturbereiches zwischen 250C und 1 500C stufenweise unter Einhaltung von Haltezeiten ueber 0,5 bis 3 Stunden auf jeder Temperaturstufe geglueht und nach Abkuehlung zu Pulver vermahlen wird.
Description
Das Anwendungsgebiet der Erfindung ist die Herstellung von Aluminiumnitrid hexagonaler Struktur aus Aluminium und Ammoniak nach dem direkten Nitrierungsverfahren in der Form eines Aluminiumnitritpulvers, das als solches oder als Komponente eine Mischung zu Formkörpern verpreßt und durch Sintern verfestigt werden kann.
Die besonderen physikalischen Eigenschaften des Aluminiumnitrids (AIN), wie hohe thermische Leitfähigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Temperaturwechselbeständigkeit, haben zur vielseitigen Verwendung dieser Verbindung in Forschung und Industrie geführt. Große Bedeutung hat dieser Werkstoff für die Technologie von Bauelementen der Elektronik und Elektrotechnik, beispielsweise als Substratwerkstoff und als hochtemperaturfester Werkstoff für Metallverdampfer. Zur Herstellung von Aluminiumnitrid sind im wesentlichen zwei Verfahrensgruppen bekannt, von denen bei der älteren als Ausgangsmaterial Aluminiumoxid verwendet wird, das mit Kohlenstoffpulver in Stickstoff oder Ammoniakgas zu Aluminiumnitrid reduziert wird. Diese Aluminiumoxidreduktionsverfahren, beispielsweise nach der DE-OS 3333406, erfordern einen hohen Energieaufwand in der Reduktionsphase und sind schwierig in der Verfahrensführung der sich anschließenden Nitrierungsphase zu beherrschen. Das nach dieser Verfahrensgruppe hergestellte Aluminiumnitridpulver weist eine unzureichende Reinheit auf, vor allem durch einen verhältnismäßig großen Anteil an nicht umgesetztem Aluminiumoxid. Bei der zweiten Gruppe von Verfahren geht man von metallischem Aluminiumpulver aus, das bei hohen Temperaturen in einer Stickstoff- oder Ammoniakgasatmosphäre nitriert wird. Die Schwierigkeit bei dieser Gruppe von Verfahren besteht darin, daß sich die Partikel des Aluminiumpulvers mit einer Aluminiumoxidschicht überziehen, die der Nitrierung einen erheblichen Widerstand entgegensetzen, so daß sich nicht umgesetztes, metallisches Aluminium im Aluminiumnitrid befindet. Ein solches bekanntes Nitrierungsverfahren zur Herstellung von heißpreßfähigem Aluminiumnitrid ist in der DE-PS 1197439 beschrieben und besteht darin, daß pulverförmiges metallisches Aluminium bei Unterdruck von 10"1 bis 10~2mm HG oder weniger in strömendem Stickstoff auf Temperaturen zwischen 6000C und 8500C erwärmt und nach dem Abklingen der Reaktion bei 14000C bis 1 6000C bis zu 2 Stunden geglüht wird. Das Nitrieren von Aluminiumpulver in einem Stickstoffstrom ist nicht ausreichendem alle oxidierten Aluminiumpulverpartikel in Aluminiumnitrid zu überführen. Den gleichen Nachteil hat auch das in der DE-PS 11 88052 beschriebene Verfahren zur Herstellung von Aluminiumnitrid, nach dem man feinverteiltes metallisches Aluminium zusammen mit feinverteiltem Kohlenstoff in Gegenwartvon Stickstoff bei 1 200°Cglüht. Essoll außerdem noch ein Brennprozeß bei etwa 21000C in Argonatmosphäre angeschlossen werden, was an dem minderen Reinheitsgrad des so gewonnenen Aluminiumnitrids nichts wesentliches ändert.
Es ist das Ziel der Erfindung, ein Verfahren zu entwickeln, durch das es möglich ist, Aluminiumnitrid in einfachen Anlagen und mit verhältnismäßig niedrigen Energiekosten herzustellen.
-2- 237 Darlegung des Wesens der Erfindung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das bekannte Verfahren zur Herstellung von Aluminiumnitrid durch Glühen von Aluminiumpulver im Ammoniakstrom weiterzuentwickeln.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine Pulvermischung aus 10 Teilen Aluminium und 0,5 bis 5 Teilen Ammoniumchlorid in einer strömenden Ammoniakatmosphäre innerhalb eines Temperaturbereiches zwischen 2500C und 1 5000C stufenweise unter Einhaltung von Haltezeiten über 0,5 bis 3 Stunden auf jeder Temperaturstufe geglüht und nach Abkühlung zu Pulver vermählen wird.
Zur Intensivierung des Nitriervorganges ist es zweckmäßig, daß die Pulvermischung von Aluminium und Ammoniumchlorid vor der Glühbehandlung in der Ammoniaksphäre zu Preßlingen geformt wird.
Bei diesem Verfahren kann das metallische Aluminium als feines Pulver oder Schuppen eingesetzt werden.
Es ist auch möglich, daß in der Pulvermischung Ammoniumchlorid bis zu 50% durch Harnstoff ersetzt ist.
Als vorteilhaft hat es sich erwiesen, das Temperaturregime so festzulegen, daß bei der stufenweisen Glühbehandlung 2 bis 3 Temperaturstufen unter dem Schmelzpunkt von Aluminium und 2 bis 4 Temperaturstufen oberhalb des Schmelzpunktes von Aluminium liegen.
Günstige Reaktionsbedingungen können dadurch geschaffen werden, daß das Strömungsvolumen der Ammoniakatmosphäre pro cm2 Ofenquerschnitt zwischen 2 und 7 l/h liegt.
Erfindungsgemäß wird Ammoniumchlorid deshalb benutzt, weil das infolge thermischer Spaltung frei werdende Chlorwasserstoff bzw. Chlor das Aluminium aktiviert, welches sich bei gleichzeitiger Anwesenheit von Ammoniak oder Stickstoff sofort zu Aluminiumstickstoffverbindungen umsetzt. Das freiwerdende Chlor oder der Chlorwasserstoff können sofort für die Wiederholung der Reaktion beitragen. Damit kann die notwendige Menge des Ammoniumhalogenids relativ niedrig gehalten werden.
So können 10 Teile Aluminium mit 0,5 bis 5 vorzugsweise 2 Teilen Ammoniumchlorid im langsam fließenden Ammoniakstrom 50 bis250l/h oder mehr, je nach Ofenquerschnitt und unterschiedlichen Haltepunkten, bei Temperaturen zwischen 2000C und 1 5000C zum Aluminiumnitrid umgesetzt werden. Die Ausgangsstoffe Aluminium und Ammoniumchlorid werden gemischt und zu Preßlingen beliebiger Größe, z.B. 40 χ 60 χ 10mm3, 20 x 20 χ 10mm3 oder auch zu Granulaten, weiterverarbeitet. Für die Herstellung von Preßlingen ist ein Preßhilfsmittel nicht unbedingt erforderlich. Granulate können jedoch nach bekannten Verfahren hergestellt werden.
Die Umsetzung kann sowohl nach dem Chargen- als auch Durchschubprinzip erfolgen. Das zweitgenannte Prinzip ist grundsätzlich dann anwendbar, wenn im Ofen unterschiedliche Temperaturzonen einstellbar sind.
Das Ammoniumchlorid kann auch teilweise durch Harnstoff ergänzt werden. In jedem Fall wird ein Produkt erhalten, welches relativ locker ist und sich innerhalb von ca. 30min in einer Mahltrommel zu einem Pulver mittlerer Korngröße um 1-2μ,ηη vermählen läßt.
Der Stickstoffgehalt beträgt 29 bis 33%.
Für die Reinheit des Aluminiumnitrids ist die Qualität der eingesetzten Ausgangsstoffe von ausschlaggebender Bedeutung.
Insofern ist es möglich, Aluminiumnitrid unterschiedlicher Qualität, je nach Verwendungszweck, herzustellen. Insbesondere kann über den Feuchtigkeitsgehalt des Ammoniaks auch der Al2O3-Gehalt des Endproduktes gesteuert werden.
190g Al in Schuppenform — Korngröße 200/63μΐπ—werden mit 40g NH4CI 20 min lang in einer Mahltrommel gemischt und von den Kugeln getrennt. In einer Preßform wird das Pulver unter einem Druck von 30 bis 40 MPa zu etwa 1 cm hohen-Preßlingen geformt. Diese Preßlinge werden in einen Ofen mit einer Ammoniakatmosphäre eingefahren, dessen Temperatur ca. 3200C beträgt. Bis zum Abschluß der Reaktion ist folgendes Reaktionsregime einzuhalten:
| Temperatur | Ammoniakmenge | Haltezeit |
| [0C] | [1/hcm2] | [Std.] |
| 320 | 2 | 0,50 |
| 560 | 3 | 0,50 |
| 630 | 4 | 0,75 |
| 750 | 4 | 0,75 |
| 880 | 5 | 0,75 |
| 920 | 5 | 2,00 |
Nach Beendigung der Reaktion iot der Ofen auszuschalten. Ist dieTemperatur des Ofens um ca. 100—1500C gefallen, so kann der Ammoniakstrom um ca. 50% gedrosselt oder auch durch Stickstoff ersetzt werden.
Das Reaktionsgut kann dann bei beliebiger Temperatur aus dem Ofen entnommen werden. Es ist von graublauer bis schwarzer Farbe, relativ weich und läßt sich innerhalb 30 min in einer Kugelmühle feinmahlen. Die durchschnittliche Korngröße beträgt um 1 fim. Die Analyse zeigt 29 bis 33% Stickstoff. Der Sauerstoffgehalt und andere Verunreingigungen sind abhängig von der Reinheit der Ausgangsprodukte.
Das so erhaltene Aluminiumnitrid kann zwecks weiterer Stabilisierung bzw. Erhöhung der Schüttdichte bis zu 1 5000C oder darüber im trockenen Ammoniakstrom erhitzt werden, wobei gleichzeitig auch der Stickstoffgehalt noch ansteigt.
Claims (6)
1. Verfahren zur Herstellung von Aluminiumnitrid hexagonaler Struktur aus Aluminium und Ammoniak, dadurch gekennzeichnet, daß eine PuIVermischung aus 10 Teilen Aluminium und 0,5 bis 5 Teilen Ammoniumchlorid in einer strömenden Ammoniakatmosphäre innerhalb eines Temperaturbereiches zwischen 2500C und 1 500°C stufenweise unter Einhaltung von Haltezeiten über 0,5 bis 3 Stunden auf jeder Temperaturstufe geglüht und nach Abkühlung zu Pulver vermählen wird.
2. Verfahren zur Hersteilung von Aluminiumnitrid nach Punkt 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Pulvermischung von Aluminium und Ammoniumchlorid vorder Glühbehandlung in der Ammoniakatmosphäre zu Preßlingen geformt wird.
3. Verfahren zur Herstellung von Aluminiumnitrid nach den Punkten 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß Aluminium als feines Pulver oder Schuppen eingesetzt wird.
4. Verfahren zur Herstellung von Aluminiumnitrid nach den Punkten 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß in der Pulvermischung Ammoniumchlorid bis zu 50% durch Harnstoff ersetzt ist.
5. Verfahren zur Herstellung von Aluminiumnitrid nach den Punkten 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß bei der stufenweisen 'Glühbehandlung 2 bis 3 Temperaturstufen unter dem Schmelzpunkt von Aluminium und 2 bis 4 Temperaturstufen oberhalb des Schmelzpunktes von Aluminium liegen.
6. Verfahren zur Herstellung von Aluminiumnitrid nach den Punkten 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Strömungsvolumen der Ammoniakatmosphäre pro cm2 Ofenquerschnitt zwischen 2 und 7 l/h liegt.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD27610285A DD237153A1 (de) | 1985-05-09 | 1985-05-09 | Verfahren zur herstellung von aluminiumnitrid hexagonaler struktur |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD27610285A DD237153A1 (de) | 1985-05-09 | 1985-05-09 | Verfahren zur herstellung von aluminiumnitrid hexagonaler struktur |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DD237153A1 true DD237153A1 (de) | 1986-07-02 |
Family
ID=5567622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DD27610285A DD237153A1 (de) | 1985-05-09 | 1985-05-09 | Verfahren zur herstellung von aluminiumnitrid hexagonaler struktur |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DD (1) | DD237153A1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0347566A3 (de) * | 1988-06-23 | 1991-02-27 | Hoechst Aktiengesellschaft | Aluminiumnitridpulver und Verfahren zu seiner Herstellung |
-
1985
- 1985-05-09 DD DD27610285A patent/DD237153A1/de not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0347566A3 (de) * | 1988-06-23 | 1991-02-27 | Hoechst Aktiengesellschaft | Aluminiumnitridpulver und Verfahren zu seiner Herstellung |
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