DD297922A5 - Verfahren zum veraendern der position mehrerer ausgerichteter elemente und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens - Google Patents
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- DD297922A5 DD297922A5 DD90339702A DD33970290A DD297922A5 DD 297922 A5 DD297922 A5 DD 297922A5 DD 90339702 A DD90339702 A DD 90339702A DD 33970290 A DD33970290 A DD 33970290A DD 297922 A5 DD297922 A5 DD 297922A5
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Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract 2
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 claims description 30
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 7
- 239000012876 carrier material Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 239000012254 powdered material Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000037007 arousal Effects 0.000 description 1
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000008521 reorganization Effects 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/72—Auxiliary arrangements; Interconnections between auxiliary tables and movable machine elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/60—Arrangements for mounting, supporting or holding spraying apparatus
- B05B15/68—Arrangements for adjusting the position of spray heads
Landscapes
- Mechanical Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Spray Control Apparatus (AREA)
- Radiation-Therapy Devices (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Peptides Or Proteins (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Preparation Of Compounds By Using Micro-Organisms (AREA)
- Cephalosporin Compounds (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Immobilizing And Processing Of Enzymes And Microorganisms (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
- Threshing Machine Elements (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Veraenderung der Positionen einer Vielzahl von entsprechend einer ersten Anordnung ausgerichteten Organen zueinander, dergestalt, dasz sie nach einer zweiten Konstellation angeordnet werden koennen. Das Verfahren besteht darin, (a) ein Schiffchen * das parallel zur Ausrichtung der Organe bewegt werden kann, mit mindestens einem Organ (1) selektiv zu koppeln, (b) das Schiffchen in eine vorgegebene Position zu verschieben, c) das Schiffchen von dem Organ nach dessen Plazierung in die vorgegebene Stellung abzukoppeln und d) die Etappen * (b) und (c) zu wiederholen, um alle Organe zu verlagern. Anwendung bei der Regulierung des Abstands von Injektoren von pulverfoermigen Stoffen zwecks Bildung einer Schicht mit besonderen Eigenschaften auf einem durchlaufenden Substrat. Fig. 1{pulverfoermiger Stoff; durchlaufendes Substrat (Glasband); aufgetragene Schicht; Injektoren; Positionieren/Ausrichten}
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Veränderung der Positioner· einer Vielzahl von Organen zueinander, die entsprechend einer ersten Anordnung ausgerichtet sind, so daß sie entsprechend einer zweiten Anordnung in Reihe angeordnet werden.
Die Erfindung betrifft ebenfalls eine Vorrichtung zur Anwendung dieses Verfahrens.
Die Erfindung betrifft insbesondere ein Verfahren und eine Vorrichtung zur automatischen Veränderung der Positionen von Injektoren zueinander (die auch Zuleitungsrohre genannt werden) von in einem Gas suspendierten pulverförmigen Stoffen in einer Verteilungsdüse mit dem Ziel, sie auf einem darunterliegenden, durchlaufenden Trägermaterial aufzuspritzen, um auf diesem Trägermaterial einen Film mit besonderen Eigenschaften zu erhalten.
Vor allem durch FR PS 2427141 und EP-PS 125153 ist es bekannt, auf einem durchlaufenden Substrat, wie zum Beispiel einem Glasband, in einem Gas in Suspension befindliche pulverförmige Stoffe durch einen Verteilungsschliu, der oberhalb des Substrates und quer zur Bewegungsrichtung des letzteren angeordnet ist, kontinuierlich zu verteilen. Dieser Schlitz wird von dem unteren Ende einer Verteilungsvoriichtung gebildet, die auch Düse ganannt wird, welche einon Hohlraum umfaßt, der sich über die ges*i. -ta Länge der Düse erstreckt. Dieser Hohlraum wird durch eine Reihe von Injektoren, die parallel zum Schlitz ausgerichtet sind, mit suspendierten pulverförmigen Stoffen versorgt.
Die in diesen Patenten beschriebenen Verfahren und Vorrichtungen dienen dazu, auf einem Substrat, zum Beispiel auf einem Glasband, eine dünne Schicht zu bilden, die besondere, vor allem optische und/oder elektrische Eigenschaften besitzt. Um angemessene, gleichbleibende Eigenschaften auf der gesamten Oberfläche des Substrates zu erzielen, ist es erforderlich, daß die Schicht auch nicht die geringsten Dickenunterschiede aufweist.
Trotz des Durchmischens, der Turbulenzen im Trägdrgas des pulverförmigen Stoffes, trotz der Einführung eines zusätzlichen Gases in die Düse, um die Verteilung des pulverförmigen Stoffes zeitlich und räumlich zu regulieren, wurde festgestellt, daß der Vertikalen eines jeden Injektors von pulverförmigen Stoffen auf dem.Substrat eine mit „Spur" bezeichnende Schicht von einer bestimmten Breite entspricht, deren Dicke über diese gesamte Breite hinweg nicht konstant sein kann, da sich das Dickenmaximum annähernd in der Achse des Injektors befindet. Alle diese Spuren bilden durch ihre zumindest teilweise Überlanpung die auf dem Substrat aufgetragene Schicht. Weiin alle Injektoren, denen ein pulverförmiger Stoff zugeführt wird, im geeigneten Abstand voneinander angeordnet sind, führt die Überlappung der Spuren eines jeden Injektors zu einer homogenen Schicht. Wann die Schicht infolge einer zu großen oder zu kleinen Dicke in einem Bereich nicht homogen ist, wird der zwischen den Injektoren bestehende Abstand verändert, was die Änderung der Überlappung der Spuren zur Folge hat. Wenn also die Beschichtung in einem Bereich zu dick ist, werden die Injektoren voneinander entfernt und wenn die Dicke nicht ausreichend ist, wird die Entfernung zwischen den Injektoren so verändert, daß auf dem gesamten Substrat eine gleichmäßige Dicke erhalten wird.
Die Gleichmäßigkeit der Beschichtung und infolgedessen die ihrer Dicke werden überprüft, indem dieÄnderungen der Reflexion des Lichtes durch die Beschichtung gemessen werden, wobei ein Gerät verwendet wird, das Spotmeter genannt wird. Diese Messung der Reflexion ermöglicht es, die Dickenabweichungen der Schicht in bezug auf einen vorher festgelegten, anfänglich durch Regelung des Pulverdurchsatzesr Ingestellten Dickenwert zu bestimmen. Wenn die Messung angibt, daß die Dicke nicht vorschriftsmäßig ist, wird die Zufuhr des pulverförmigen Stoffes unterbrochen, um die Abstände zwischen den Injektoren je nach festgestelltem Fehler zu vorändern, das heißt, wie bereits angeführt wurde, indem die Injektoren voneinander entfernt oder einander angenähert werden, je nach dem, ob die Dicke zu groß oder zu klein ist.
Dieser Prozeß weist verschiedene Nachteile auf; insbesondere erfolgen die Messungen durch Reflexion außerhalb der Fertigungslinie auf einem querverlaufenden Glasband von 100 rrm Breite. Diese Messungen könner. folglich erst eine bestimmte Zeit nach Auftreten der Fehler in der Beschichtung ausgeführt werden. Des weiteren erfordert die Auswertung dieser Messungen zusätzliche Zeit, so daß ungefähr 30mn nach der Herstellung des gerade geprüften Glases vergangen sind. Wenn die Tatsache berücksichtigt wird, daß bis zu 30 mn benötigt werden, um die Abstände zwischen den Injektoren einzustellen, und wenn man bedenkt, daß die Durchlaufgeschwindigkeit des Glasbandes zwischen 6 und 25m/mn schwanken kann, ist der Produktionsausfall vorstellbar, der sich daraus ergeben kann und der nicht ni t der vor der optischen Messung behandelten Glasmenge, sondern auch dei Glasoberfläche entspricht, die in der Zeit der Einstellung der Abstände zwischen Injektoren weiter hergestellt wird. So wird die Produktionskapazität eingeschränkt.
Folglich besteht eine große Notwendigkeit, ein System zu finden, welches eine schnelle Einstellung der Abstände zwischen den Injektoren ermöglicht, sobald die Fehler durch optische Messung ermittelt wurden.
Ziel der Erfindung ist folglich ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Anwendung dieses Verfahrens, die es möglich machen, die Positionen der Injektoren von pulverförmigen Stoffen zueinander, die dazu dienen, eine Verteilungsdüse zum Zweck des Auftragens dieser Stoffe auf einnm darunterlier -nden, durchlaufenden Substrat zu versorgen, und auch, allgemeiner betrachtet,
die Position von jeglichem System, das eine Vielzahl von Organen umfaßt, die entsprechend einer ersten Anordnungausgerichtet sind, schnell, vorzugsweise automatisch so zu verändern, daß sie gemäß einer zweiten Konfiguration in Reiheangeordnet werden.
ausgerichteten Organen in der A-1, daß sie entsprechend einer zweiten Konstellation in Reihe angegordnet werden, besteht
a) mindestens eines der Organe selektiv mit einem parallel zur Ausrichtung der Organe beweglichen Schiffchen zu koppeln,
b) das Schiffchen und das oder die Organe, die an es gekoppelt sind, aus einer Anfangsposition in eine vorher bestimmte Position zu bewegen,
c) von dem oder den Organen nach dessen oder deren Plazierung in die vorher bestimmte Position abzukoppeln,
d) die Etappen (a), (b) und (c) bei allen zu verschiebenden Organen zu wiederholen.
Das Ankoppeln der Organe an das Schiffchen und die Bewegung des letzteren werden vorzugsweise durch Computer gesteuert. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Anwendung des Verfahrens zur Veränderung der Positionen von ausgerichteten Organen zueinander ist dadurch gekennzeichnet, daß die genannten Organe beweglich an einer gemeinsamen Bank angebracht sind, und dadurch, daß sie mindestens ein parallel zur Ausrichtung der Organe bewegliches Schiffchen, Mittel zur selektiven Kopplung des Schiffchens mit mindestens einem der genannten Organe sowie Mittel zur Verlagerung des Schiffchens und des oder der Organe, die dadurch gekoppelt sind, aus einer Ausgangsposition in eine vorher bestimmte Position umfaßt. Nach einer Ausführungsart ist jedes der Organe mit einem Schlitten verbunden, der beweglich auf der Bank angebracht ist, die allen Schlitten gemeinsam ist.
Fig. 1: eine Perspektivansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, Fig. 2: eine Darstellung dieser Vorrichtung im Querschnitt.
relativen Abstand mindestens eines Teiles der ausgerichteten Injektoren unterscheiden.
übergehen zu können. Es ist klar, daß die Vorrichtung in Wirklichkeit mehrere Injektoren umfaßt, wobei wegen der
angebracht, der sich auf einer Schiene 4 bewegen kann, welche auf einer geradlinigen Bank 3 befestigt ist. Die Bank 3 ist für uine
die auf der Bank 3 befestigt ist, und seine Bewegungen werden durch ein Antriebsorgan 7, wie zum Beispiel einen Zylindergewährleistet. Das Schiffchen 5 besitzt eine Platte 8, die sich in paralleler Ebene zur Bahn des Schlittens befindet. Die Platte 8 des
ist. Der Kern 11 - Fig. 2 kann zwischen einer zurückgezogenen Position, die einer Nichtkopplung mit dem Schiffchen entspricht,und einer hervorstehenden Position bewegt werden, die es dem Ende des Kern möglich macht, in eine der Lagerungen 9 der
sein, der von einem Schrittmotor gesteuert wird.
enthalten, um letzteren in einer feststehenden Position in bezug auf dia Bank 3 zu halten, nachdem er durch das Schiffchen 5 ineine vorher bestimmte Position gebracht wurde. Diese Mittel zur Reibungskupplung umfassen zum Beispiel einen zweiten
einem aufgerauhten Bereich 14 - Fig. 1 und 2 der Bank 3 aufliegt, um die Reibungskupplung zu gewährleisten, bewegt werden
werden die Mittel zur Kopplung der Schlitten an das Schiffchen, die Mittel zur Reibungskopplung der Schlitten mit der Bank undder Zylinder 7 zur Verschiebung des Schiffchens durch einen entsprechend programmierten Computer gesteuert.
ein relativ schmaler Querstreifen aus diesem Glasband herausgeschnitten wird, und es wird das Reflexionsvermögen dieses
einen IBM-PC, der mit einer Software zur Auswertung dieser Messungen ausgestattet ist, um daraus eventuelle Korrekturen des
die durch das Spotmeter nachgewiesenen GleichmäßigKeitsmängel zu beseitigen.
gebracht wird, der zur Kopplung des Schlittens 2 an das Schiffchen dient. Der Computer steuert die Erregung dieses
eindringt, wodurch der Schlitten 2 und das Schiffchen 5 formschlüssig miteinander verbunden werden. Der zweite
gesteuert, daß sein Kern 13 zurückgezogen wird und der Schlitten 2 von der Bank 3 abgekoppelt wird. Der Schlitten 2 ist dannlediglich an das Schiffchen 5 gekoppelt. Der Computer steuert die Verschiebung des letztgenannten unter Einwirkung des
0,25mm, verschoben. Wenn der Schlitten seine gewünschte Position einnimmt, steuert der Computer den zweiten
abkoppelt.
verändern und um sie entsprechend der neuen gewünschten Anordnung zu plazieren.
in der Platte 8 vorgesehenen Lagerungen 9 zusammenwirkt, damit sie gleichzeitig verschoben werden.
dieser Stoffe auf ein darunterliegendes, durchlaufendes Substrat, wie zum Beispiel Glasband, dient, um dort eine Schicht mitbesonderen Eigenschaften zu bilden. Der Erfindung ermöglicht in der Tat eine schnelle Einstellung der Abstände zwischen den
nach der Einstellung der Abständse der Injektoren wiederaufgenommen werden kann, wird zum Beispiel auf 30min verringert.
ausgerichtete Organe umfaßt, deren Positionen zueinander verändert werden müssen.
Claims (13)
1. Verfahren zum Verändern der Positionen einer Vielzahl von Organen zueinander, die gemäß einer ersten Anordnung vor allem von Injektoren für pulverförmige Stoffe ausgerichtet sind, die in einer Verteilungsdüse zum Zweck der Bildung einer Schicht auf einem darunterliegenden, durchlaufenden Trägermaterial ausgerichtet, so daß sie entsprechend einer zweiten Konfiguration in Reihe angeordnet werden, dadurch gekennzeichnet, daß
a) mindestens eines der genannten Organe an ein parallel zu der Ausrichtung der Organe bewegliches Schiffchen selektiv gekoppelt wird,
b) das Schiffchen und das oder die Organe, die daran angekoppelt sind, aus einer Anfangsposition in eine vorbestimmte Position verschoben werden, und
c) das Schiffchen von dem oder den Organen nach seiner oder ihrer Plazierung in die vorbestimmte Position abgekoppelt wird,
d) die Etappen a), b) und c) bei allen zu verlagernden Organen wiederholt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kopplung von mindestens einem Organ an das Schiffchen sowie die Verlagerung des letzteren durch Computer gesteuert wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Schiffchen um Elementarschritte verschoben wird.
4. Vorrichtung zur Veränderung der Positionen einer Vielzahl von Organen (1) zueinander, die nach einer ersten Anordnung ausgerichtet sind, dergestalt, daß sie entsprechend einer zweiten Konstellation in Reihe angeordnet werden, dadurch gekennzeichnet, daß die genannten Organe
(1) auf einer gemeinsamen Bank (3) beweglich angebracht sind und dadurch, daß sie mindestens ein Schiffchen (5), das parallel zu der Ausrichtung der Organe beweglich ist Mittel, um das ScI liffchen und mindestens eines der genannten Organe selektiv zu koppeln und Mittel (7) umfaßt, um das Schiffchen und das oder die Organe, die daran angekoppelt sind, bis zu einer vorher festgelegten Position zu verlagern.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der Organe mit einem Schlitten
(2) verbunden ist, der beweglich auf der für alle Schlitten (2) gemeinsamen Bank (3) angebracht ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur selektiven Kopplung des Schiffchens mit mindestens einem der genannten Schlitten einen Elektromagneten (10) umfassen, der auf dem Schlitten (2) angebracht ist, wobei der Kern (11) des Elektromagnets zwischen einer zurückgezogenen Position, die einer Nichtkoppiung mit dem Schiffchen entspricht, und einer überstehenden Position, die der Kopplung mit dem Schiffchen entspricht, beweglich ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Schiffchen ,. ) eine Platte (8) umfaßt, die parallel zur Bahn der Schlitten in Höhe des Elektromagneten (10) zur Kopplung des Schlittens mit dem Schieber angeordnet ist und die mit einer Vielzahl von Lagerungen (9) versehen ist, die eine parallele Reihe zur Bahn des Schlittens bilden und die selektiv mit dem Ende des Kernes (11) des Elektromagneten (10) eines Schlittens zusammenwirken, um das Schiffchen und den Schlitten in Parallelverschiebung zu koppeln.
8. Vorrichtung nach Anspruch 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel (7) zur Verlagerung des Schiffchens in eine vorher festgelegte Position einen elektrischen Zylinder umfassen, der an einem Schrittmotor angeschlossen ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß sie weiterhin Mittel zur Reibungskopplung zwischen der Bank und dem Schlitten umfaßt, um letzteren nach seiner Plazierung durch das Schiffchen in eine vorgegebene Position in einer in bezug auf die Bank unbeweglichen Stellung zu halten.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Reibungskopplung einen zweiten Elektromagneten (12) enthalten, der auf dem Schlitten angebracht ist, wobei der Kern (13) des Elektromagneten zwischen einer zurückgezogenen Position, die die Verlagerung des Schlittens durch das Schiffchen ermöglicht, und einer überstehenden Position, in der er auf einem aufgerauhten Bereich der Bank auf liegt, um die Kopplung durch Reibung zu gewährleisten, bewegt werden kann.
11. Vorrichtung nach Anspruch 4 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Koppeln und die Mittel für d«e Verschiebung des Schiffchens von einem Computer gesteuert werden.
12. Vorrichtung nach Anspruch 4 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die ausgerichteten Organe Injektoren für einen in Gas suspendierten pulverförmiger! Stoff sind, die eine Verteilungsdüse versorgen, die quer zur Bewegungsrichtung eines darunterliegenden, durchlaufenden Substrates zum Auftragen dieses Stoffes auf dieses Substrat zwecks Schichtbildung anpeordnet ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat «in Glasband ist.
Hierzu 2 Seiten Zeichnungen
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8904791A FR2645773B1 (fr) | 1989-04-12 | 1989-04-12 | Procede pour modifier les positions relatives d'une pluralite d'organes alignes et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DD297922A5 true DD297922A5 (de) | 1992-01-30 |
Family
ID=9380616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DD90339702A DD297922A5 (de) | 1989-04-12 | 1990-04-12 | Verfahren zum veraendern der position mehrerer ausgerichteter elemente und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
Country Status (15)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5105759A (de) |
| EP (1) | EP0392902B1 (de) |
| JP (1) | JPH02298376A (de) |
| KR (1) | KR0127673B1 (de) |
| AT (1) | ATE90605T1 (de) |
| AU (1) | AU626037B2 (de) |
| BR (1) | BR9001731A (de) |
| CA (1) | CA2014389A1 (de) |
| CZ (1) | CZ284070B6 (de) |
| DD (1) | DD297922A5 (de) |
| DE (1) | DE69001945T2 (de) |
| ES (1) | ES2043302T3 (de) |
| FR (1) | FR2645773B1 (de) |
| HU (1) | HU208264B (de) |
| MX (1) | MX172971B (de) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2724853B1 (fr) | 1994-09-27 | 1996-12-20 | Saint Gobain Vitrage | Dispositif de distribution de solides pulverulents a la surface d'un substrat en vue d'y deposer un revetement |
| KR100555532B1 (ko) | 2003-11-27 | 2006-03-03 | 삼성전자주식회사 | 메모리 테스트 회로 및 테스트 시스템 |
| ITMI20041250A1 (it) * | 2004-06-22 | 2004-09-22 | Bavelloni Z Spa | Procedimento di caricamento e taglio di lastre di vetro su tavoli di taglio |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3785474A (en) * | 1972-01-11 | 1974-01-15 | T Nakamoto | Apparatus for sorting and distributing clothing |
| DE2535973A1 (de) * | 1975-08-12 | 1977-02-17 | Siemens Ag | Mehrspindelbohrautomat, insbesondere zum bohren von leiterplatten |
| FR2429635A1 (fr) * | 1978-06-30 | 1980-01-25 | Ramo Sa | Dispositif de serrage pour l'usinage simultane des deux extremites d'une piece |
| FR2575679B1 (fr) * | 1985-01-07 | 1988-05-27 | Saint Gobain Vitrage | Perfectionnement au procede de revetement d'un substrat tel un ruban de verre, par un produit pulverulent, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede |
| JPS6211570A (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-20 | Honda Motor Co Ltd | 自動塗布装置 |
| DE3620231C1 (de) * | 1986-06-16 | 1987-11-26 | Emag Maschfab Gmbh | Mittenantriebsmaschine |
| FR2626872B1 (fr) * | 1988-02-09 | 1992-10-30 | Saint Gobain Vitrage | Procede et dispositif ameliores pour le revetement d'un substrat, tel un ruban de verre par un produit pulverulent |
| US5007351A (en) * | 1989-02-03 | 1991-04-16 | Spacesaver Corporation | Mobile carriage with center drive |
-
1989
- 1989-04-12 FR FR8904791A patent/FR2645773B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-04-03 MX MX020157A patent/MX172971B/es unknown
- 1990-04-04 AU AU52579/90A patent/AU626037B2/en not_active Ceased
- 1990-04-06 EP EP90400943A patent/EP0392902B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-04-06 ES ES90400943T patent/ES2043302T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1990-04-06 AT AT90400943T patent/ATE90605T1/de not_active IP Right Cessation
- 1990-04-06 DE DE90400943T patent/DE69001945T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-04-06 US US07/506,283 patent/US5105759A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-04-10 HU HU902141A patent/HU208264B/hu not_active IP Right Cessation
- 1990-04-11 BR BR909001731A patent/BR9001731A/pt not_active IP Right Cessation
- 1990-04-11 KR KR1019900004998A patent/KR0127673B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1990-04-11 CA CA002014389A patent/CA2014389A1/fr not_active Abandoned
- 1990-04-11 CZ CS901816A patent/CZ284070B6/cs not_active IP Right Cessation
- 1990-04-12 JP JP2097097A patent/JPH02298376A/ja active Pending
- 1990-04-12 DD DD90339702A patent/DD297922A5/de not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| MX172971B (es) | 1994-01-26 |
| JPH02298376A (ja) | 1990-12-10 |
| HU208264B (en) | 1993-09-28 |
| FR2645773A1 (fr) | 1990-10-19 |
| HU902141D0 (en) | 1990-07-28 |
| ES2043302T3 (es) | 1993-12-16 |
| KR900015820A (ko) | 1990-11-10 |
| DE69001945D1 (de) | 1993-07-22 |
| EP0392902B1 (de) | 1993-06-16 |
| BR9001731A (pt) | 1991-06-04 |
| KR0127673B1 (ko) | 1997-12-30 |
| US5105759A (en) | 1992-04-21 |
| CA2014389A1 (fr) | 1990-10-12 |
| HUT55263A (en) | 1991-05-28 |
| CS9001816A2 (en) | 1991-09-15 |
| EP0392902A1 (de) | 1990-10-17 |
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| FR2645773B1 (fr) | 1991-08-30 |
| DE69001945T2 (de) | 1993-12-16 |
| CZ284070B6 (cs) | 1998-08-12 |
| AU626037B2 (en) | 1992-07-23 |
| ATE90605T1 (de) | 1993-07-15 |
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