DD64635A1 - Verfahren und Einrichtung zum langzeitigen Bedampfen grosser Flächen mit sublimierbarem Material durch Elektronenstrahlen - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zum langzeitigen Bedampfen grosser Flächen mit sublimierbarem Material durch Elektronenstrahlen

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Dieter Effenberger
Harry Foerster
Siegfried Schneider
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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