DD75927A1 - Einrichtung zur Aufnahme der Substrate und der zugehörigen Masken in Vakuum-Bedampfungsanlagen - Google Patents

Einrichtung zur Aufnahme der Substrate und der zugehörigen Masken in Vakuum-Bedampfungsanlagen

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Horst Liebergeld
Werner Gallo
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Horst Liebergeld
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004057234B4 (de) * 2004-11-26 2007-08-02 Infineon Technologies Ag Substrathalter sowie Substrathalteeinrichtung

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DE102004057234B4 (de) * 2004-11-26 2007-08-02 Infineon Technologies Ag Substrathalter sowie Substrathalteeinrichtung

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