DD72659A1 - Verfahren und Einrichtung zur Kühlung bedampfter Substrate in Hochvakuum-Bedampfungsanlagen - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zur Kühlung bedampfter Substrate in Hochvakuum-Bedampfungsanlagen

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DE102008012931A1 (de) * 2008-03-06 2009-09-17 Vtd Vakuumtechnik Dresden Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Kühlen von Substraten
DE102008012931B4 (de) * 2008-03-06 2011-07-21 VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH, 01257 Verfahren und Vorrichtung zum Kühlen von Substraten

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