DE100206T1 - Vorrichtung zum behandeln eines gegenstandes in einer vakuumkammer. - Google Patents

Vorrichtung zum behandeln eines gegenstandes in einer vakuumkammer.

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DE100206T1
DE100206T1 DE198383304226T DE83304226T DE100206T1 DE 100206 T1 DE100206 T1 DE 100206T1 DE 198383304226 T DE198383304226 T DE 198383304226T DE 83304226 T DE83304226 T DE 83304226T DE 100206 T1 DE100206 T1 DE 100206T1
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workpiece clamping
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Richard L. Baril
Walter R. Cook
E. James Nashua New Hampshire Egerton
William E. Acton Massachusetts Millikin
Alex Nashua New Hampshire Nef
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Oerlikon Buhrle USA Inc
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    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0431—Apparatus for thermal treatment
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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Claims (10)

S 100 Pa 84/2 EPA-DE - Übersetzung 0100206 - 1 -PATENTANSPRÜCHE
1. Vorrichtung zur Behandlung eines Werkstücks in einer Vakuumkammer, bestehend aus einer Halterung mit einer Werkstückspannfläche sowie aus mechanischen Spannmitteln zum lösbaren Spannen des zu behandelnden Werkstücks auf der Werkstückspannfläche, weiter aus einer Einrichtung zum Umwälzen einer ersten Kühlflüssigkeit zwischen der Werkstückspannfläche und einem darauf gespannten Werkstück, sowie einer Einrichtung zum Umwälzen einer zweiten Kühlflüssigkeit durch Teile der Halterung hindurch, damit die Wärme aus der Halterung abgeführt wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, worin die Halterung die erste Elektrode ist.
3· Vorrichtung nach Anspruch 2, worin die erste Elektrode eine Längsachse hat und die Werkstückspannfläche quer dazu verläuft.
4· Vorrichtung nach Anspruch 3, weiterhin bestehend aus einer im Abstand von der Werkstückspannnfläche angeordneten und auf sie zu weisenden zweiten Elektrode, sowie aus einer Stellvorrichtung zur Änderung der Winkellage der ersten Elektrode gegenüber der zweiten Elektrode.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, bestehend aus einer Vakuumkammer, in welche die Elektroden hinein ragen, wobei diese Vakuumkammer eine Öffnung aufweist und die erste Elektrode eine durch die Öffnung hindurch aus der Vakuumkammer hinaus reichende Einrichtung aufweist, und wobei weiter die Stellvorrichtung zur Änderung der Winkellage der ersten Elektrode aus außerhalb der Vakuumkammer gelegenen Teilen besteht·
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, worin die Einrichtung zur Änderung der Winkellage der ersten Elektrode aus einer an dieser befestigten Richtplatte besteht, an welcher eine Batätigungsvorrichtung angebracht ist und welche zwecks Änderung der Richtplattenstellung relativ zur Vakuumkammer mit dieser Kammer verbunden ist.
S 100 Pa 84/2 EPA-DE - Übersetzung 010 0206 "2^"
7^ Vorrichtung nach Anspruch 2, worin die erste Elektrode aus aneinander angebrachten ersten, zweiten und dritten Platten besteht, wobei die Werkstückspannfläche eine erste Fläche der ersten Platte ist und die Einrichtung zum Umwälzen von Kühlflüssigkeit zwischen der Werkstückspannfläche und einem Werkstück in dieser ersten Fläche eine Nut aufweist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, worin die Einrichtung zum Umwälzen einer zweiten Kühlflüssigkeit einen Strömungskanal aufweist, der zwischen der zweiten und dritten Platte durch diese Platten gebildet ist.
9» Vorrichtung nach Anspruch 8, worin die erste Elektrode aus einem Rohr besteht, welches rechtwinklig zur Werkstückspannfläche verläuft, und wobei zum Umwälzen von Kühlflüssigkeiten durch die Nut und den Strömungskanal hindurch in dem Rohr Leitungen enthalten sind,
10. Werkstück, behandelt in einer Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9·
DE198383304226T 1982-07-22 1983-07-21 Vorrichtung zum behandeln eines gegenstandes in einer vakuumkammer. Pending DE100206T1 (de)

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JPS5976429A (ja) 1984-05-01
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