DE10232768A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Vorschubregelung an einer Drahtsäge - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Vorschubregelung an einer Drahtsäge Download PDFInfo
- Publication number
- DE10232768A1 DE10232768A1 DE2002132768 DE10232768A DE10232768A1 DE 10232768 A1 DE10232768 A1 DE 10232768A1 DE 2002132768 DE2002132768 DE 2002132768 DE 10232768 A DE10232768 A DE 10232768A DE 10232768 A1 DE10232768 A1 DE 10232768A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- wire
- deflection
- detecting
- wire field
- saw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 title abstract 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 title description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 4
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0064—Devices for the automatic drive or the program control of the machines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
Verfahren zum Sägen von Hartstoffen mit dem Drahtsägeverfahren,dadurch gekennzeichnet dass die Durchbiegung des Drahtfeldes erfasst und der Sägevorschub in Abhängigkeit von der wählbaren Drahtfelddurchbiegung so gesteuert wird dass die gewählte Durchbiegung während des gesamten Sägevorgangs eingehalten wird.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Sägen von Harten Werkstoffen.
- Bei der Herstellung sogenannter Wafer aus Silizium in der Elektronik oder Solar Industrie werden sogenannte Drahtsägen eingesetzt. Dabei werden 160–200 μm dicke Metalldrähte mit einer Schleifmittelsuspension beaufschlagt und mit Geschwindigkeiten von 3–20 m/min über das Werkstück geführt.
- Der Sägevorschub wird dabei ausschließlich geschwindigkeits- gesteuert. Beim Sägen von zylindrischen Werkstücken wie z.B. Einkristalle aus Silizium wird die Vorschubgeschwindigkeit dem variablen Durchmesser des Werkstücks angepasst.
- Das Werkstück wird dabei nach dem Trenn-läpp-verfahren getrennt.
- Dabei werden üblicherweise Schleifmittelsuspensionen aus Polyethylenglykol oder Öl als Trägerflüssigkeit und Siliziumkarbid als Schleifkorn eingesetzt. Die Korngröße des Schleifmittels liegt im Bereich von 5–30 μm der Siliziumabrieb hat Korngrößen im Bereich von 0,1–6 μm.
- Beim Sägen mit vorgegebener Geschwindigkeit verändert sich die Durchbiegung der Sägedrähte bei veränderlicher Eingriffslänge der Sägedrähte, oder bei sich ändernder Härte des zu sägenden Werkstücks.
- Während die veränderliche Eingriffslänge in der Regel auf einfache Weise durch veränderlich programmierte Vorschubgeschwindigkeit berücksichtigt werden kann, ist die veränderliche Härte nicht vorhersehbar.
- Es zeigt sich in der Praxis dass die Sägeschnittqualität mit zunehmender Durchbiegung schlechter wird.
- Beim Vorhandensein von harten Einschlüssen, z.B. aus SiC kommt es häufig zum Drahtbruch.
- Erfindungsgemäß wird deshalb ein Verfahren vorgeschlagen das es ermöglicht die Durchbiegung der Sägedrähte während des Sägeprozesses zu messen und mit Hilfe eines geschlossenen Regelkreises konstant zu halten.
- Gelöst wird die Aufgabe dadurch dass die Durchbiegung des Drahtfeldes nach dem Austritt aus dem Werkstück gemessen wird. Die gemessene Durchbiegung wird elektronisch mit einem vorgegebenen Sollwert verglichen. Mit der aus dem Vergleich errechneten Stellgröße wird die Vorschubgeschwindigkeit so eingestellt dass die Durchbiegung unabhängig von Härte oder Querschnittsänderungen konstant gehalten werden kann.
- Zum Messen der Durchbiegung kommen verschiedene Verfahren in Frage. Eine Möglichkeit ist der Einsatz einer Videokamera mit Bildauswertung. Besonders vorteilhaft ist der Einsatz einer Thermokamera. Da die Sägedrähte beim Austritt aus dem Werkstück eine vom Werkstück verschiedene Temperatur annehmen.
-
- 1
- Messwert Erfassung (Videokamera)
- 2
- Auswertelektronik
- 3
- Regler
- 4
- Sägevorschubantrieb
- 5
- Werkstück
- 6
- Sägetisch
- 7
- Referenzdrähte nicht im Sägeeingriff
- 8
- Sägedrähte im Sägeeingriff
- 9
- Drahtführungsrollen
- 10
- Draht auf bzw. Abwickelspulen
- 11
- Gemessene Drahtfelddurchbiegung
Claims (6)
- Verfahren zum Sägen von Hartstoffen mit dem Drahtsägeverfahren, dadurch gekennzeichnet dass die Durchbiegung des Drahtfeldes erfasst und der Sägevorschub in Abhängigkeit von der wählbaren Drahtfelddurchbiegung so gesteuert wird dass die gewählte Durchbiegung während des gesamten Sägevorgangs eingehalten wird.
- Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Messung der Drahtfelddurchbiegung ein nicht im Sägeeingriff befindlicher Bereich des Drahtfeldes mit einem im Eingriff befindlichen Bereich verglichen wird.
- Vorrichtung zum Erfassen und Regeln der Drahtfelddurchbiegung dadurch gekennzeichnet dass zur Erfassung der Drahtfelddurchbiegung eine berührungslose Messwerterfassung eingesetzt wird.
- Vorrichtung zum Erfassen und Regeln der Drahtfelddurchbiegung dadurch gekennzeichnet dass zur Erfassung der Drahtfelddurchbiegung eine Videokamern mit Bildauswertung eingesetzt wird.
- Vorrichtung zum Erfassen und Regeln der Drahtfelddurchbiegung dadurch gekennzeichnet dass zur Erfassung der Drahtfelddurchbiegung eine Thermokamera mit Bildauswertung eingesetzt wird.
- Vorrichtung zum Erfassen und Regeln der Drahtfelddurchbiegung dadurch gekennzeichnet dass zur Erfassung der Drahtfelddurchbiegung ein induktives oder kapazitives arbeitendes Meßsystem eingesetzt wird.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2002132768 DE10232768A1 (de) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | Verfahren und Vorrichtung zur Vorschubregelung an einer Drahtsäge |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2002132768 DE10232768A1 (de) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | Verfahren und Vorrichtung zur Vorschubregelung an einer Drahtsäge |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE10232768A1 true DE10232768A1 (de) | 2004-02-05 |
Family
ID=30010199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2002132768 Withdrawn DE10232768A1 (de) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | Verfahren und Vorrichtung zur Vorschubregelung an einer Drahtsäge |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE10232768A1 (de) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102794827A (zh) * | 2012-07-09 | 2012-11-28 | 浙江上城科技有限公司 | 一种蓝宝石弧片单线切割方法及设备 |
| WO2013185952A1 (de) * | 2012-06-14 | 2013-12-19 | Crystal-N Gmbh | Verfahren zum schneiden eines einkristalls |
| WO2014167392A1 (en) | 2013-04-09 | 2014-10-16 | Meyer Burger Ag | Monitoring device and method for wire web monitoring and wire saw |
| FR3026035A1 (fr) * | 2014-09-23 | 2016-03-25 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de decoupe par fil comportant un systeme de detection et de mesure d'une fleche du fil |
| EP3015238A1 (de) * | 2014-10-29 | 2016-05-04 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Drahtüberwachungssystem |
| EP3015237A1 (de) * | 2014-10-29 | 2016-05-04 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Drahtüberwachungssystem |
| CN106696103A (zh) * | 2016-12-16 | 2017-05-24 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 粘棒方法及切割铸造多晶硅棒的方法 |
| EP2389280A4 (de) * | 2009-01-26 | 2017-08-30 | Illinois Tool Works Inc. | Drahtsäge |
| DE102016220523A1 (de) * | 2016-10-19 | 2018-04-19 | Solarworld Industries Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Analyse optisch erfassbarer Inhomogenitäten auf der Oberfläche von Wafern |
| US20250025985A1 (en) * | 2022-08-31 | 2025-01-23 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Wire net monitoring device and monitoring system provided with monitoring device |
| US20250033246A1 (en) * | 2022-08-31 | 2025-01-30 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Intelligent monitoring system and method for wire net wafering |
-
2002
- 2002-07-18 DE DE2002132768 patent/DE10232768A1/de not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2389280A4 (de) * | 2009-01-26 | 2017-08-30 | Illinois Tool Works Inc. | Drahtsäge |
| WO2013185952A1 (de) * | 2012-06-14 | 2013-12-19 | Crystal-N Gmbh | Verfahren zum schneiden eines einkristalls |
| CN102794827A (zh) * | 2012-07-09 | 2012-11-28 | 浙江上城科技有限公司 | 一种蓝宝石弧片单线切割方法及设备 |
| WO2014167392A1 (en) | 2013-04-09 | 2014-10-16 | Meyer Burger Ag | Monitoring device and method for wire web monitoring and wire saw |
| FR3026035A1 (fr) * | 2014-09-23 | 2016-03-25 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de decoupe par fil comportant un systeme de detection et de mesure d'une fleche du fil |
| WO2016046107A1 (fr) * | 2014-09-23 | 2016-03-31 | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives | Dispositif de decoupe par fil comportant un systeme de detection et de mesure d'une fleche du fil et procédé de mise en oeuvre d'un tel dispositif |
| EP3015237A1 (de) * | 2014-10-29 | 2016-05-04 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Drahtüberwachungssystem |
| EP3015238A1 (de) * | 2014-10-29 | 2016-05-04 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Drahtüberwachungssystem |
| DE102016220523A1 (de) * | 2016-10-19 | 2018-04-19 | Solarworld Industries Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Analyse optisch erfassbarer Inhomogenitäten auf der Oberfläche von Wafern |
| DE102016220523B4 (de) | 2016-10-19 | 2019-02-14 | Solarworld Industries Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Analyse optisch erfassbarer Inhomogenitäten auf der Oberfläche von Wafern |
| CN106696103A (zh) * | 2016-12-16 | 2017-05-24 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 粘棒方法及切割铸造多晶硅棒的方法 |
| US20250025985A1 (en) * | 2022-08-31 | 2025-01-23 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Wire net monitoring device and monitoring system provided with monitoring device |
| US20250033246A1 (en) * | 2022-08-31 | 2025-01-30 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Intelligent monitoring system and method for wire net wafering |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE10122628B4 (de) | Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück | |
| US7827980B2 (en) | Method for slicing a multiplicity of wafers from a workpiece | |
| DE3428426C2 (de) | ||
| DE112009001446B4 (de) | Verfahren zum Zerschneiden eines Werkstücks | |
| DE3300911C2 (de) | Verfahren zur Steuerung der Förderleistung in einem Materialzuführungssystem sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| DE3640645A1 (de) | Verfahren zum zersaegen von kristallstaeben oder -bloecken vermittels innenlochsaege in duenne scheiben | |
| US20160243725A1 (en) | Method and device for wire cutting of a material | |
| EP0615961A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Nachweis unregelmässiger Bereiche einer optischen Faser | |
| US2929434A (en) | Device for twisting metal strip | |
| EP0131979A2 (de) | Verfahren zur Regelung der Badspiegelhöhe einer Metallschmelze | |
| DE3013378A1 (de) | Einrichtung zur adaptiven regelung von bearbeitungsprozessen insbesondere an rundschleifmaschinen | |
| DE19746495A1 (de) | Ablegeverfahren für Drahtwindungen auf ein Transportband und hiermit korrespondierende Ablegevorrichtung | |
| DE4222073C1 (de) | Vorrichtung zum Strahlbearbeiten von Werkstückoberflächen, insbesondere zum Verfestigen oder Umformen | |
| DE2755585A1 (de) | Vorrichtung zum auftragen oberflaechenhaertender schichten auf die wendeln von foerderschnecken | |
| US4588020A (en) | Surveillance system for curved continuous casting plants | |
| DE2610781A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum wiederholbaren transport einer bestimmten menge einer vielzahl von werkstuecken aus mindestens teilweise magnetisierbarem werkstoff | |
| US2429870A (en) | Apparatus for coating wire and the like | |
| DD150158A5 (de) | Verfahren und vorrichtung zum trennen von metallschwammpartikeln | |
| US4409265A (en) | Method and apparatus for the one-sided coating of continuous metal strip | |
| EP4140628B1 (de) | Verarbeitungsmodul für eine bauplatte und ein verfahren zum verarbeiten einer bauplatte | |
| EP0080843A2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Schmieren von Garn | |
| EP0334803A1 (de) | Verfahren zum Abkühlen von Hohlkörpern | |
| SU1759608A1 (ru) | Способ ленточного шлифовани | |
| DE2914719A1 (de) | Mess- und steuereinrichtung zur kompensation der schleifwerkzeugabnutzung an schleifscheiben | |
| JP2004074228A (ja) | 棒材，線材等の圧延装置の制御方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |