DE1275845B - Vorrichtung zum Abdecken der Einblickfenster von Vakuumbedampfungsanlagen oder aehnlichen abgeschlossenen Behaeltern - Google Patents

Vorrichtung zum Abdecken der Einblickfenster von Vakuumbedampfungsanlagen oder aehnlichen abgeschlossenen Behaeltern

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DE1275845B
DE1275845B DE1962S0081673 DES0081673A DE1275845B DE 1275845 B DE1275845 B DE 1275845B DE 1962S0081673 DE1962S0081673 DE 1962S0081673 DE S0081673 A DES0081673 A DE S0081673A DE 1275845 B DE1275845 B DE 1275845B
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Dipl-Ing Roland Haft
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Siemens Corp
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Siemens Corp
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/52Means for observation of the coating process
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D21/00Arrangement of monitoring devices; Arrangement of safety devices
    • F27D21/02Observation or illuminating devices
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
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Description

  • Vorrichtung zum Abdecken der Einblickfenster von Vakuumbedampfungsanlagen oder ähnlichen abgeschlossenen Behältern Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abdecken der Einblickfenster von Vakuumbedampfungsanlagen oder ähnlichen abgeschlossenen Behältern.
  • In der Behälterwand von Vakuumanlagen wie auch von anderen abgeschlossenen Behältern werden meist Einblickfenster angeordnet, um dein Bedienungspersonal die Beobachtung des in der Vakuumanlage ablaufenden Prozesses zu ermöglichen. Bei der Metallverdampfung in einer solchen Vakuumanlage werden jedoch die Einblickfenster nach kurzer Zeit undurchsichtig, da sich der Metalldampf darauf niederschlägt.
  • Man hat daher bereits vorgeschlagen, das Entstehen eines hinderlichen Belags auf dem Fenster durch Abdeckorgane, wie etwa Klappen, zu verzögern, die nur kurzzeitig geöffnet werden. Dieser Anordnung haftet jedoch der Nachteil einer für Messungen zu geringen öffnungszeit, d. h. einer zeitlich zu geringen Freigabe der Sicht in das Innere der Verdampferanordnung an.
  • Ausgehend von dieser Annahme und der hieraus resultierenden Forderung nach einer möglichst langen und zweckmäßigerweise unbegrenzten Beobachtungs- und damit öffnungsdauer des Fensters ist bereits eine Vorrichtung vorgeschlagen worden, die mindestens zwei, synchron quer zur Blickrichtung gelegte, intermittierend den Durchblick freigebende und in einem derartigen Abstand hintereinander angeordnete Blenden aufweist, daß die in den Zwischenraum zwischen den Blenden eintretenden Dampfpartikeln nach Durcheilen desselben jeweils auf einen den Austritt hindernden Teil der zum Fenster zugekehrten Blendenfläche auftreffen.
  • Zur Schaffung einer praktisch zeitlich unbegrenzten Sichtmöglichkeit nimmt diese Forderung den Nachteil einer erheblichen konstruktiven Aufwendigkeit in Kauf, die zudem durch das Erfordernis eines Elektromotors samt Getriebe bzw. Umlenkorgane noch erheblich verteuert wird. Diese Vorrichtung nimmt weiterhin die Nachteile eines erheblichen Raumbedarfs und eines stark beschränkten Sichtfeldes in Kauf.
  • Eine ebenfalls im Sinn der vorstehenden Vorrichtung bekannte und damit konstruktiv sehr aufwendige Vorrichtung sieht zwei vor der Bedampferinnenseite des Fensters unter Abstand voneinander befindliche, mit gleicher Drehzahl angetriebene Scheiben mit Durchtrittsöffnungen vor, von denen solche der einen Scheibe zur Bildung von fluchtrechten Sichtkanälen solchen der anderen Scheibe zugeordnet sind und wobei die Abstände der Scheiben, die Löcher in den Scheiben und die Drehzahl der Scheiben in bezug auf die Geschwindigkeit der Partikelchen, z. B. des metallischen Dampfes, so gewählt sind, daß ein Partikelchen, welches durch ein Loch der der Bedampfungskammer näheren Scheibe geflogen ist, wegen der inzwischen erfolgten Weiterdrehung der anderen Scheibe auf die zwischen den Löchern befindlichen vollwandigen Teile dieser als Blende wirkenden Scheibe trifft.
  • Wiederum ein anderer bereits bekannter Vorschlag geht in seinem Bestreben, eine praktisch zeitlich unbegrenzte Sichtmöglichkeit zu schaffen, sogar so weit, vakuumseitig an oder vor dem Beobachtungsfenster ein elektrisch leitendes, mit einer Hochspannungsquelle verbundenes Raster anzuordnen, das bei Anlegen von Hochspannung die Verdampfung und Ab- lösung der auf dem Fenster niedergeschlagenen Feststoffe bewirkt.
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung anzugeben, die einerseits die gesamte Rohr- oder Wandöffnung oder zumindest den größten Teil davon als Blickfeld freigibt und zu deren Betätigung nur wenig Platz benötigt wird.
  • Die Erfindung beruht hierbei auf der Erkenntnis, daß es zum einwandfreien Ablauf eines Bedampfungsvorganges einer Vakuumanlage keiner langen und schon gar nicht zeitlich unbegrenzten Beobachtungsmöglichkeiten bedarf, sondern bereits sehr kurze öffnungszeiten der Sichtfenster völlig ausreichen. Es ist nämlich nur in den seltensten Fällen eine ständiae Beobachtung des einen oder anderen Details in der Vakuumbedampfungsanlage erforderlich. Selbst eine Beobachtung des Verdampferschiffchens beschränkt sich normalerweise auf die Feststellung, ob beispielsweise das dem Verdampferschiffchen in Form eines Drahtes zueeführte Verdami)ferizut kontinuierlich in das Schiffeheninnere befördert wird. Zur Beobachtung dieses Vorganges genügt aber ein sehr kurzer Zeitraum, innerhalb dem eine nur geringfügige Niederschlagsbildung auf den Fenstern auftreten kann, welche die Verwendung einer konstruktiv aufwendigen Vorrichtung nicht rechtfertigt.
  • Bei der Vorrichtung zum Abdecken der zur kurzzeitigen Beobachtung dienenden Einblickfenster von Vakuumbedampfungsanlagen oder ähnlichen abgeschlossenen Behältern mittels Abdeckblechen schlägt dieErfindung dieAnordnung von zwei oder mehreren Abdeckblechen vor, von denen jedes einen entsprechenden Teil des Einblickfensters abdeckt und um eine Achse, die parallel zur Fensterebene liegt, schwenkbar ist.
  • Durch die Aufteilung der Abdeckanordnung in mehrere, wahlweise und unabhängig voneinander zu öffnende Bereiche kann die ansonsten bei einer einteiligen Klappe nötige Zeitdauer bis zum vollständigen Beschlag des Fensters um den der Anzahl der Bereiche bzw. selbsttätig schwenkbaren Plattenteile entsprechenden Faktor vergrößert werden. -- - , Zur Abdeckung kreisförmiger Einblickfenster, z. B. einer Rohröff-nung, können dann zwei halbkreisförmige Abdeckbleche, deren Achsen durch den Kreismittelpunkt gehen, verwendet werden.
  • Zur weiteren Erläuterung der Erfindung können die Figuren dienen.
  • Die in F 1 1 dargestellte Abdeckvorrichtung ist in einem Zwischenflansch 1 untergebracht, der auf jeden beliebigen Flansch auch nachträglich aufgesetzt werden kann. Zur Abdeckung dienen zwei halbkreisförmige Bleche 2 und 3, die um eine Durchmesserachse schwenkbar sind. Die Abdeckbleche 2 und 3 sind auf Halbachsen 4 und 5 angeordnet und können durch je eine Drehdurchführung 6 und 7 be- tätigt werden. Es ist jedoch auch möglich, die Abdeckbleche nur mit Hilfe einer einzigen Drehdurchführung zu betätigen, wenn man z. t. die halbkreisförmigen Abdeckbleche 2 und 3 scharnierartig auf den Achsen 4 und 5 befestigt und durch eine geringe Längsverschiebung einer Stellachse einen auf der Stellachse sitzenden Stift wahlweise mit dem einen oder anderen Abdeckblech zum Einrasten bringt.
  • Eine andere Möglichkeit zur Betätigung beider Abdeckbleche mit Hilfe nur einer Drehdurchführung ist in F i g. 2 dargestellt. In diesem Fall sitzt das untere halbkreisförmige Abdockblech 3 fest auf einer Halbachse 5, die durch eine Drehdurchführung 7 nach außen geführt ist, Die obere Halbkreisfläche 2 dagegen sitzt scharnierartig mit lockerem Sitz auf einer feststehenden Halbachse 6. Die obere Halbkreisfläche 2 kann dann mit Hilfe der Drehdurchführung 7 und der unteren Halbkreisfläche 3 in die Horizontale oder in ihre obere Lage gehoben oder mit Hilfe einer kleinen überstehenden Lippe 9 an der unteren Fläche 3 zum überkippen und Herunterfallen gebracht werden.
  • In F i g. 3 ist ein Schnitt A-B durch die Abdeckvorrichtung in F i g. 2 dargestellt.
  • In den F i g. 4, 5, 6 und 7 sind die mit den in den F i g. 1 bis 3 dargestellten Vorrichtungen einstellbaren Stellungen der Abdeckbleche dargestellt. F i g. 4 zeigt die Stellung, bei der das Einblickfenster vollkommen durch die Abdeckbleche 2 und 3 verdeckt wird. In F i g. 5 sind die beiden Abdeckbleche 2 und 3 in horizontaler Lage oder je nach Einblickrichtung geneigt und geben die ganze Durchsicht frei. In F i g. 6 sind die beiden Abdockbleche 2 und 3 beide nach unten geklappt und geben die obere Hälfte des Einblickfensters frei. Umgekehrt sind in F i g. 7 beide Abdeckbleche nach oben geklappt und geben die untere Hälfte des Einblickfensters frei.
  • Die Abdeckvorrichtung benötigt nach innen einen Raum von der Tiefe eines Radius. Bei Einbau in einen köhrstutzen ist so viel Raum meist vorhanden. Die notwendige Bautiefe kann jedoch ohne wesentliche Einbuße am Blickfeld noch verringert werden, wenn man, wie in F i g. 8 dargestellt, von den Halbkreisflächen noch je ein Segmentstück 10 und 11 abschneidet, d. h;5 die Teile 10 und 11 des Einblickfensters werden durch feststehende Abdeckvorrichtungen ständig abgedeckt. Zum Abdecken sehr großer Einblickfenster oder bei Fehlen jeglichen Raums können an Stelle von nur zwei Abdeckblechen auch mehrere Abdeckbleche verwendet werden, von denen jedes um eine parallel zur Fensterebene liegende Achse drehbar ist.
  • In F i g. 9 ist die vollständige Konstruktion einer Abdeckvorrichtung dargestellt. In dem Zwischen# flansch 1 sind die Halbachsen 5 und 6 angeordnet, wobei die Halbachse 5 durch die Drehdurchführung 7 gedreht werden kann, während die Halbachse 6 starr ist. Mit der Halbachse 5 ist das obere Abdeckblech 3 starr verbunden, während das untere Abdeckblech 2 scharnierartig auf der Halbachse 6 sitzt. Unmittelbar vor dem Zwischenflansch 1 ist der Flansch 13 für das Einblickfenster 12 angeordnet. Zwischen dem Zwischenflansch 1 und dem Flansch 13 für das Einblickfenster 12 ist eine Dichtung 15 vorgesehen. Zur Ab- dichtung der Drehdurchführung 7 sind Simmetringe 14 eingebaut. Wird diese Abdichtung der Drehdurchführung in dem Zwischenflansch 1 angeordnet, so be- stimmen die Außenabmessungen der Simmerringe die Stärke des Zwischenflansches. Die Stärke des Zwischenflansches 1 kann noch verringert werden, wenn die Simmerringe in einem überstehenden Ansatz untergebracht werden. Zur Abdichtung der Drehdurchführung kann aber auch ein Diffusionsspaft dienen, oder der Betätigungsknopf kann mit der drehbaren Halbachse durch eine magnetische Kupplung verbunden sein.
  • Die Abdeckbleche 2 und 3 können sowohl aus Metall wie auch gegebenenfalls aus durchsichtigem Material, z. B. einem Kunststoff, bestehen. Es können auch Rahmen mit auswechselbaren Glas- oder Kunststoffteilen sowie Filtern verwendet werden. Die Befestigung der auswechselbaren Teile kann z. B. mit Einschiebe- oder Einlegerahmen, Federn, Verschraubungen u. dgl. erfolgen. Bei Verwendung als Wärmeschutz werden die Abdeckbleche vorzugsweise aus massiverem, gut wärmeleitendem Material, Z. 18. Kupfer, gegebenenfalls mit verspiegelter Innenfläche ausgeführt werden. Durch Verspiegelung der Außenfläche der Abdeckbleche kann man diese auch zur Beobachtung der Innenfläche der Wand benutzen, in welcher das Fenster sitzt.

Claims (2)

  1. Patentansprüche: 1. Vorrichtung zum Abdecken der zur kurzzeitigen Beobachtung dienenden Einblickfenster von Vakuumbedampfungsanlagen oder ähnlichen abgeschlossenen Behältern mittels Abdeckblechen, gekennzeichnet durch die Anordnung von zwei oder mehreren Abdeckblechen, von denen jedes einen entsprechenden Teil des Einblickfensters abdeckt und um eine Achse, die parallel zur Fensterebene liegt, schwenkbar ist.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehachse des einen Abdeckbleches in der geradlinigen Verlängerung der Achse des benachbarten Abdeckbleches liegt. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2 zur Abdeckung kreisförmiger Einblickfenster, gekennzeichnet durch zwei halbkreisförmige Abdeckbleche, deren Achsen durch den Kreismittelpunkt gehen. 4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckbleche durch je eine Drehdurchführung mit Hilfe einer außerhalb des Gefäßes angeordneten Stellvorrichtung schwenkbar sind. 5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckbleche mit Hilfe nur einer Drehdurchführung zu betätigen sind. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckbleche scharnierartig auf ihren Achsen befestigt sind und ein auf einer der Achsen oder einer dritten Achse sitzender Stift durch eine geringe Längsverschiebung wahlweise mit dem einen oder anderen Abdeckblech in Eingriff gebracht werden kann. 7. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch ein erstes, auf einer mit einer Drehdurchführung versehenen drehbaren Achse befestigtes Abdeckblech und ein zweites, scharnierartig mit lockerem Sitz auf einer feststehenden Achse sitzendes Abdeckblech sowie eine kleine überstehende Lippe am ersten Abdeckblech, mit deren Hilfe durch Schwenken des ersten Abdeckbleches das zweite Abdeckblech zum Umklappen gebracht werden kann. 8. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß im Falle von kreisförmigen Einblickfenstern zwei äußere Segmente durch nicht schwenkbare Abdeckbleche stets abgedeckt sind, während der innere Teil des Fensters mit schwenkbaren Abdeckblechen abgedeckt ist. 9. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehdurchführungen mit Hilfe von Simmerringen abgedichtet sind. 10. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckfenster mit Hilfe magnetischer Übertragungselemente schwenkbar angeordnet sind. 11. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß an Stelle von Abdeckblechen Abdeckelemente, bestehend aus Rahmen mit auswechselbaren Glas- oder Kunststoffteilen, angeordnet sind. 12. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckbleche innen und/oder außen verspiegelt sind. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 972 408; deutsche Auslegeschrift Nr. 1037 227; österreichische Patentschrift Nr. 177 529.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT177529B (de) * 1952-09-08 1954-02-10 Alois Dr Vogt Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Beobachtungsfenstern, die dem Einblick in Hochvakuumräume dienen
DE1037227B (de) * 1955-05-31 1958-08-21 Vac Anstalt Anlage zum kontinuierlichen Behandeln von bandfoermigem Material im Vakuum
DE972408C (de) * 1955-05-19 1959-07-16 Zeiss Carl Fa Vorrichtung zum Beschlagfreihalten von Beobachtungsfenstern in Vakuumverdampfungsanlagen

Patent Citations (3)

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