DE1275845B

DE1275845B - Device for covering the viewing window of vacuum vapor deposition systems or similar closed containers

Info

Publication number: DE1275845B
Application number: DE1962S0081673
Authority: DE
Inventors: Dipl-Ing Roland Haft
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 1962-09-26
Filing date: 1962-09-26
Publication date: 1968-08-22

Description

Vorrichtung zum Abdecken der Einblickfenster von Vakuumbedampfungsanlagen oder ähnlichen abgeschlossenen Behältern Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abdecken der Einblickfenster von Vakuumbedampfungsanlagen oder ähnlichen abgeschlossenen Behältern.Device for covering the viewing window of vacuum evaporation systems or similar sealed containers. The present invention relates to one Device for covering the viewing window of vacuum vapor deposition systems or similar locked containers.

In der Behälterwand von Vakuumanlagen wie auch von anderen abgeschlossenen Behältern werden meist Einblickfenster angeordnet, um dein Bedienungspersonal die Beobachtung des in der Vakuumanlage ablaufenden Prozesses zu ermöglichen. Bei der Metallverdampfung in einer solchen Vakuumanlage werden jedoch die Einblickfenster nach kurzer Zeit undurchsichtig, da sich der Metalldampf darauf niederschlägt.In the container wall of vacuum systems as well as other closed ones Containers are usually arranged to allow your operating staff to view windows To enable observation of the process taking place in the vacuum system. In the Metal evaporation in such a vacuum system, however, becomes the viewing window after a short time opaque, as the metal vapor is deposited on it.

Man hat daher bereits vorgeschlagen, das Entstehen eines hinderlichen Belags auf dem Fenster durch Abdeckorgane, wie etwa Klappen, zu verzögern, die nur kurzzeitig geöffnet werden. Dieser Anordnung haftet jedoch der Nachteil einer für Messungen zu geringen öffnungszeit, d. h. einer zeitlich zu geringen Freigabe der Sicht in das Innere der Verdampferanordnung an.It has therefore already been proposed to delay the formation of an obstructive coating on the window by covering elements, such as flaps, which are only opened for a short time. However, this arrangement has the disadvantage of an opening time that is too short for measurements, i. H. a temporally insufficient release of the view into the interior of the evaporator arrangement.

Ausgehend von dieser Annahme und der hieraus resultierenden Forderung nach einer möglichst langen und zweckmäßigerweise unbegrenzten Beobachtungs- und damit öffnungsdauer des Fensters ist bereits eine Vorrichtung vorgeschlagen worden, die mindestens zwei, synchron quer zur Blickrichtung gelegte, intermittierend den Durchblick freigebende und in einem derartigen Abstand hintereinander angeordnete Blenden aufweist, daß die in den Zwischenraum zwischen den Blenden eintretenden Dampfpartikeln nach Durcheilen desselben jeweils auf einen den Austritt hindernden Teil der zum Fenster zugekehrten Blendenfläche auftreffen.Based on this assumption and the resulting demand after as long as possible and expediently unlimited observation and a device has already been proposed to keep the window open the at least two, placed synchronously across the viewing direction, intermittently Clear view and arranged one behind the other at such a distance Has diaphragms that the entering into the space between the diaphragms Steam particles after rushing through the same in each case on one preventing the exit Part of the faceplate facing the window impinge.

Zur Schaffung einer praktisch zeitlich unbegrenzten Sichtmöglichkeit nimmt diese Forderung den Nachteil einer erheblichen konstruktiven Aufwendigkeit in Kauf, die zudem durch das Erfordernis eines Elektromotors samt Getriebe bzw. Umlenkorgane noch erheblich verteuert wird. Diese Vorrichtung nimmt weiterhin die Nachteile eines erheblichen Raumbedarfs und eines stark beschränkten Sichtfeldes in Kauf.To create a view that is practically unlimited in time this requirement takes the disadvantage of considerable constructional complexity in purchase, which is also due to the requirement of an electric motor including gearbox or Umlenkorgane is still considerably more expensive. This device continues to take the Disadvantages of a considerable space requirement and a very limited field of vision in purchase.

Eine ebenfalls im Sinn der vorstehenden Vorrichtung bekannte und damit konstruktiv sehr aufwendige Vorrichtung sieht zwei vor der Bedampferinnenseite des Fensters unter Abstand voneinander befindliche, mit gleicher Drehzahl angetriebene Scheiben mit Durchtrittsöffnungen vor, von denen solche der einen Scheibe zur Bildung von fluchtrechten Sichtkanälen solchen der anderen Scheibe zugeordnet sind und wobei die Abstände der Scheiben, die Löcher in den Scheiben und die Drehzahl der Scheiben in bezug auf die Geschwindigkeit der Partikelchen, z. B. des metallischen Dampfes, so gewählt sind, daß ein Partikelchen, welches durch ein Loch der der Bedampfungskammer näheren Scheibe geflogen ist, wegen der inzwischen erfolgten Weiterdrehung der anderen Scheibe auf die zwischen den Löchern befindlichen vollwandigen Teile dieser als Blende wirkenden Scheibe trifft.A also known in the sense of the above device and thus structurally very complex device provides two in front of the inside of the steam generator Windows located at a distance from each other, driven at the same speed Disks with passage openings in front, of which those of the one disk for formation of aligned viewing channels are assigned to those of the other pane and where the spacing of the discs, the holes in the discs and the speed of the discs with respect to the velocity of the particles, e.g. B. of metallic vapor, are chosen so that a particle which passes through a hole in the vapor deposition chamber has flown closer disk because of the further rotation of the other Disc on the full-walled parts of this located between the holes as Aperture acting disk hits.

Wiederum ein anderer bereits bekannter Vorschlag geht in seinem Bestreben, eine praktisch zeitlich unbegrenzte Sichtmöglichkeit zu schaffen, sogar so weit, vakuumseitig an oder vor dem Beobachtungsfenster ein elektrisch leitendes, mit einer Hochspannungsquelle verbundenes Raster anzuordnen, das bei Anlegen von Hochspannung die Verdampfung und Ab- lösung der auf dem Fenster niedergeschlagenen Feststoffe bewirkt.Yet another already known proposal, in its endeavor to create a practically unlimited view, goes so far as to arrange an electrically conductive grid connected to a high voltage source on the vacuum side at or in front of the observation window, which, when high voltage is applied, the evaporation and dissipation. causes the solids deposited on the window to dissolve.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung anzugeben, die einerseits die gesamte Rohr- oder Wandöffnung oder zumindest den größten Teil davon als Blickfeld freigibt und zu deren Betätigung nur wenig Platz benötigt wird.It is the object of the present invention to provide a device on the one hand the entire pipe or wall opening or at least most of it of which releases as a field of vision and only requires little space to operate.

Die Erfindung beruht hierbei auf der Erkenntnis, daß es zum einwandfreien Ablauf eines Bedampfungsvorganges einer Vakuumanlage keiner langen und schon gar nicht zeitlich unbegrenzten Beobachtungsmöglichkeiten bedarf, sondern bereits sehr kurze öffnungszeiten der Sichtfenster völlig ausreichen. Es ist nämlich nur in den seltensten Fällen eine ständiae Beobachtung des einen oder anderen Details in der Vakuumbedampfungsanlage erforderlich. Selbst eine Beobachtung des Verdampferschiffchens beschränkt sich normalerweise auf die Feststellung, ob beispielsweise das dem Verdampferschiffchen in Form eines Drahtes zueeführte Verdami)ferizut kontinuierlich in das Schiffeheninnere befördert wird. Zur Beobachtung dieses Vorganges genügt aber ein sehr kurzer Zeitraum, innerhalb dem eine nur geringfügige Niederschlagsbildung auf den Fenstern auftreten kann, welche die Verwendung einer konstruktiv aufwendigen Vorrichtung nicht rechtfertigt.The invention is based on the knowledge that it is flawless The process of a vapor deposition process in a vacuum system is not long and certainly not long does not require unlimited observation possibilities, but very much short opening times of the viewing windows are completely sufficient. Because it's only in the In the rarest cases constant observation of one or the other detail in the Vacuum evaporation system required. Even an observation of the evaporation boat is usually limited to determining whether, for example, the evaporation boat Verdami) fed continuously in the form of a wire the Ship's interior is carried. However, one is sufficient to observe this process very short period of time within which only a slight formation of precipitation occurs the windows can occur, which the use of a structurally complex Device not justified.

Bei der Vorrichtung zum Abdecken der zur kurzzeitigen Beobachtung dienenden Einblickfenster von Vakuumbedampfungsanlagen oder ähnlichen abgeschlossenen Behältern mittels Abdeckblechen schlägt dieErfindung dieAnordnung von zwei oder mehreren Abdeckblechen vor, von denen jedes einen entsprechenden Teil des Einblickfensters abdeckt und um eine Achse, die parallel zur Fensterebene liegt, schwenkbar ist.With the device for covering the short-term observation serving window of vacuum vapor deposition or similar closed Containers by means of cover plates, the invention proposes the arrangement of two or several cover plates, each of which has a corresponding part of the viewing window covers and is pivotable about an axis that is parallel to the window plane.

Durch die Aufteilung der Abdeckanordnung in mehrere, wahlweise und unabhängig voneinander zu öffnende Bereiche kann die ansonsten bei einer einteiligen Klappe nötige Zeitdauer bis zum vollständigen Beschlag des Fensters um den der Anzahl der Bereiche bzw. selbsttätig schwenkbaren Plattenteile entsprechenden Faktor vergrößert werden. -- - , Zur Abdeckung kreisförmiger Einblickfenster, z. B. einer Rohröff-nung, können dann zwei halbkreisförmige Abdeckbleche, deren Achsen durch den Kreismittelpunkt gehen, verwendet werden.By dividing the cover assembly into several areas that can be opened optionally and independently of one another, the time otherwise required for a one-piece flap until the window is completely fogged up can be increased by the factor corresponding to the number of areas or automatically pivoting panel parts. - -, To cover circular viewing windows, e.g. B. a pipe opening, then two semicircular cover plates, whose axes go through the center of the circle, can be used.

Zur weiteren Erläuterung der Erfindung können die Figuren dienen.The figures can be used to further explain the invention.

Die in F 1 1 dargestellte Abdeckvorrichtung ist in einem Zwischenflansch 1 untergebracht, der auf jeden beliebigen Flansch auch nachträglich aufgesetzt werden kann. Zur Abdeckung dienen zwei halbkreisförmige Bleche 2 und 3, die um eine Durchmesserachse schwenkbar sind. Die Abdeckbleche 2 und 3 sind auf Halbachsen 4 und 5 angeordnet und können durch je eine Drehdurchführung 6 und 7 be- tätigt werden. Es ist jedoch auch möglich, die Abdeckbleche nur mit Hilfe einer einzigen Drehdurchführung zu betätigen, wenn man z. t. die halbkreisförmigen Abdeckbleche 2 und 3 scharnierartig auf den Achsen 4 und 5 befestigt und durch eine geringe Längsverschiebung einer Stellachse einen auf der Stellachse sitzenden Stift wahlweise mit dem einen oder anderen Abdeckblech zum Einrasten bringt.The cover device shown in F 1 1 is housed in an intermediate flange 1 , which can also be subsequently placed on any flange. Two semicircular sheets 2 and 3, which can be pivoted about a diameter axis, are used for covering. The cover sheets 2 and 3 are arranged on half-shafts 4 and 5 and can be operated by loading a respective rotary passage 6 and 7. FIG. However, it is also possible to operate the cover plates only with the help of a single rotary feedthrough, if the semicircular cover plates 2 and 3 are fastened in a hinge-like manner on the axes 4 and 5 and a pin sitting on the control axis is optionally connected to the brings one or the other cover plate into place.

Eine andere Möglichkeit zur Betätigung beider Abdeckbleche mit Hilfe nur einer Drehdurchführung ist in F i g. 2 dargestellt. In diesem Fall sitzt das untere halbkreisförmige Abdockblech 3 fest auf einer Halbachse 5, die durch eine Drehdurchführung 7 nach außen geführt ist, Die obere Halbkreisfläche 2 dagegen sitzt scharnierartig mit lockerem Sitz auf einer feststehenden Halbachse 6. Die obere Halbkreisfläche 2 kann dann mit Hilfe der Drehdurchführung 7 und der unteren Halbkreisfläche 3 in die Horizontale oder in ihre obere Lage gehoben oder mit Hilfe einer kleinen überstehenden Lippe 9 an der unteren Fläche 3 zum überkippen und Herunterfallen gebracht werden.Another possibility for actuating both cover plates with the aid of only one rotary leadthrough is shown in FIG . 2 shown. In this case, the lower semicircular undocking plate 3 sits firmly on a semicircle 5, which is passed through a rotary leadthrough 7 to the outside, the upper semicircular surface 2, however, sits like a hinge with a loose fit on a fixed semicircular axis 6. The upper semicircular surface 2 can then be with the help of be rotary passage 7 and the lower semi-circle surface 3 lifted in the horizontal or in its upper layer or placed using a small projecting lip 9 on the lower face 3 to the tip over and fall down.

In F i g. 3 ist ein Schnitt A-B durch die Abdeckvorrichtung in F i g. 2 dargestellt.In Fig. 3 is a section AB through the covering device in FIG . 2 shown.

In den F i g. 4, 5, 6 und 7 sind die mit den in den F i g. 1 bis 3 dargestellten Vorrichtungen einstellbaren Stellungen der Abdeckbleche dargestellt. F i g. 4 zeigt die Stellung, bei der das Einblickfenster vollkommen durch die Abdeckbleche 2 und 3 verdeckt wird. In F i g. 5 sind die beiden Abdeckbleche 2 und 3 in horizontaler Lage oder je nach Einblickrichtung geneigt und geben die ganze Durchsicht frei. In F i g. 6 sind die beiden Abdockbleche 2 und 3 beide nach unten geklappt und geben die obere Hälfte des Einblickfensters frei. Umgekehrt sind in F i g. 7 beide Abdeckbleche nach oben geklappt und geben die untere Hälfte des Einblickfensters frei.In the F i g. 4, 5, 6 and 7 are those with the ones shown in FIGS. 1 to 3 illustrated devices shown adjustable positions of the cover plates. F i g. 4 shows the position in which the viewing window is completely covered by the cover plates 2 and 3 . In Fig. 5 , the two cover plates 2 and 3 are in a horizontal position or, depending on the viewing direction, inclined and reveal the whole view. In Fig. 6 , the two undocking plates 2 and 3 are both folded down and reveal the upper half of the viewing window. Conversely, in FIG. 7 both cover plates folded up and reveal the lower half of the viewing window.

Die Abdeckvorrichtung benötigt nach innen einen Raum von der Tiefe eines Radius. Bei Einbau in einen köhrstutzen ist so viel Raum meist vorhanden. Die notwendige Bautiefe kann jedoch ohne wesentliche Einbuße am Blickfeld noch verringert werden, wenn man, wie in F i g. 8 dargestellt, von den Halbkreisflächen noch je ein Segmentstück 10 und 11 abschneidet, d. h;5 die Teile 10 und 11 des Einblickfensters werden durch feststehende Abdeckvorrichtungen ständig abgedeckt. Zum Abdecken sehr großer Einblickfenster oder bei Fehlen jeglichen Raums können an Stelle von nur zwei Abdeckblechen auch mehrere Abdeckbleche verwendet werden, von denen jedes um eine parallel zur Fensterebene liegende Achse drehbar ist.The covering device requires inside a space of the depth of a radius. When installing in a pipe socket, there is usually so much space available. The necessary installation depth can, however, be reduced without significant losses in the field of vision if, as shown in FIG. 8 , a segment piece 10 and 11 each cuts off from the semicircular surfaces, d. h; 5 parts 10 and 11 of the viewing window are permanently covered by fixed cover devices. To cover very large viewing windows or in the absence of any space, instead of just two cover sheets, several cover sheets can be used, each of which can be rotated about an axis lying parallel to the window plane.

In F i g. 9 ist die vollständige Konstruktion einer Abdeckvorrichtung dargestellt. In dem Zwischen# flansch 1 sind die Halbachsen 5 und 6 angeordnet, wobei die Halbachse 5 durch die Drehdurchführung 7 gedreht werden kann, während die Halbachse 6 starr ist. Mit der Halbachse 5 ist das obere Abdeckblech 3 starr verbunden, während das untere Abdeckblech 2 scharnierartig auf der Halbachse 6 sitzt. Unmittelbar vor dem Zwischenflansch 1 ist der Flansch 13 für das Einblickfenster 12 angeordnet. Zwischen dem Zwischenflansch 1 und dem Flansch 13 für das Einblickfenster 12 ist eine Dichtung 15 vorgesehen. Zur Ab- dichtung der Drehdurchführung 7 sind Simmetringe 14 eingebaut. Wird diese Abdichtung der Drehdurchführung in dem Zwischenflansch 1 angeordnet, so be- stimmen die Außenabmessungen der Simmerringe die Stärke des Zwischenflansches. Die Stärke des Zwischenflansches 1 kann noch verringert werden, wenn die Simmerringe in einem überstehenden Ansatz untergebracht werden. Zur Abdichtung der Drehdurchführung kann aber auch ein Diffusionsspaft dienen, oder der Betätigungsknopf kann mit der drehbaren Halbachse durch eine magnetische Kupplung verbunden sein.In Fig. 9 shows the complete construction of a covering device. In the intermediate flange # 1, the semi-axes are arranged 5 and 6, wherein the half-shaft 5 can be rotated by the rotary passage 7, while the half-axle is rigid. 6 The upper cover plate 3 is rigidly connected to the semiaxis 5 , while the lower cover sheet 2 sits on the semiaxis 6 in a hinge-like manner. Immediately before the flange 1, the flange 13 is arranged for the viewing window 12th A seal 15 is provided between the intermediate flange 1 and the flange 13 for the viewing window 12. For voting the rotary union seal 7 are built Simmetringe 14th If this sealing of the rotary lead-through arranged in the intermediate flange 1, so designate the external dimensions of the oil seals tune the strength of the intermediate flange. The strength of the intermediate flange 1 can be further reduced if the Simmerrings are housed in a protruding approach. A diffusion shaft can also be used to seal the rotary feedthrough, or the actuating button can be connected to the rotatable semi-axis by a magnetic coupling.

Die Abdeckbleche 2 und 3 können sowohl aus Metall wie auch gegebenenfalls aus durchsichtigem Material, z. B. einem Kunststoff, bestehen. Es können auch Rahmen mit auswechselbaren Glas- oder Kunststoffteilen sowie Filtern verwendet werden. Die Befestigung der auswechselbaren Teile kann z. B. mit Einschiebe- oder Einlegerahmen, Federn, Verschraubungen u. dgl. erfolgen. Bei Verwendung als Wärmeschutz werden die Abdeckbleche vorzugsweise aus massiverem, gut wärmeleitendem Material, Z. 18. Kupfer, gegebenenfalls mit verspiegelter Innenfläche ausgeführt werden. Durch Verspiegelung der Außenfläche der Abdeckbleche kann man diese auch zur Beobachtung der Innenfläche der Wand benutzen, in welcher das Fenster sitzt.The cover plates 2 and 3 can be made of both metal and optionally made of transparent material, for. B. a plastic. Frames with interchangeable glass or plastic parts and filters can also be used. The attachment of the replaceable parts can, for. B. with slide-in or insert frame, springs, screw connections and the like. When used as thermal protection, the cover plates are preferably made of a more solid, highly thermally conductive material, line 18. Copper, optionally with a mirrored inner surface. By mirroring the outer surface of the cover plates, they can also be used to observe the inner surface of the wall in which the window is located.

Claims

Claims: 1. Device for covering the viewing window of vacuum vapor deposition systems or similar closed containers used for brief observation by means of cover plates, characterized by the arrangement of two or more cover plates, each of which covers a corresponding part of the viewing window and around an axis that is parallel to the window plane is pivotable.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the axis of rotation of a cover plate lies in the straight extension of the axis of the adjacent cover plate. 3. Apparatus according to claim 1 or 2 for covering circular viewing windows, characterized by two semicircular cover plates whose axes go through the center of the circle. 4. Device according to one or more of claims 1 to 3, characterized in that the cover plates are pivotable through a rotary feedthrough each with the aid of an adjusting device arranged outside the vessel. 5. Device according to one or more of claims 1 to 4, characterized in that the cover plates can be operated with the aid of only one rotary feedthrough. 6. Apparatus according to claim 5, characterized in that the cover plates are hinged on their axes and a pin seated on one of the axes or a third axis can be brought into engagement with one or the other cover plate by a slight longitudinal displacement. 7. The device according to claim 5, characterized by a first, on a provided with a rotating shaft rotatable axle cover and a second, hinge-like with a loose fit on a fixed axle seated cover plate and a small protruding lip on the first cover plate, with the help of pivoting of the first cover plate, the second cover plate can be brought to fold. 8. The device according to one or more of claims 1 to 7, characterized in that in the case of circular viewing windows, two outer segments are always covered by non-pivotable cover plates, while the inner part of the window is covered with pivotable cover plates. 9. The device according to one or more of claims 1 to 8, characterized in that the rotary feedthroughs are sealed with the aid of Simmerrings. 10. The device according to one or more of claims 1 to 9, characterized in that the cover windows are pivotably arranged with the aid of magnetic transmission elements. 11. The device according to one or more of claims 1 to 10, characterized in that, instead of cover plates, cover elements consisting of frames with replaceable glass or plastic parts are arranged. 12. The device according to one or more of claims 1 to 11, characterized in that the cover plates are mirrored inside and / or outside. Documents considered: German Patent No. 972 408; German Auslegeschrift No. 1037 227; Austrian patent specification No. 177 529.