DE1952878A1 - Fotopolymerisierbarer Lack mit erhoehter Lichtempfindlichkeit - Google Patents

Fotopolymerisierbarer Lack mit erhoehter Lichtempfindlichkeit

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DE1952878A1
DE1952878A1 DE19691952878 DE1952878A DE1952878A1 DE 1952878 A1 DE1952878 A1 DE 1952878A1 DE 19691952878 DE19691952878 DE 19691952878 DE 1952878 A DE1952878 A DE 1952878A DE 1952878 A1 DE1952878 A1 DE 1952878A1
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Pietsch Dipl-Chem Dr Herward
Kuhnert Dipl-Chem Lothar
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
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Description

folien, den 19. 2. 1970 PN 475/Pr/Ra
Fotopolymerisierbarer Lack mit erhöhter Lichtempfindliche©it
Die Erfindung betrifft einen fotopolymerisierbar^ Lack nach der Patentanmeldung P 15 22 535·1 zur Herstellung von fotochemischen Materialien, Druckplatten u.a. mit gegenüber der im Kauptpatent beschriebenen Kombination wesentlich erhöhter Lichtempfindlichkeit·
Fotopolymerisierbare Lacke auf der Basis von Estern des Polyvinylalkohole, die in den Acylgruppen äthylenisch ungesättigte C-C-Doppelbindungen enthalten, sind bereits seit langem bekannt. Sie sind, u.a. in Form dee Kodak-Phot o-^Resist-Lackes, im Handel und lassen sich durch Zusatz von insbesondere aromatischen Nitroverbindungen, durch Nitrierung der die äthylenisch ungesättigte Doppelbindung enthaltenden Acylgruppe, durch zahlreiche Farbstoffe aus den Klassen der Cyanine, Triphenylmethan- und Antracenderivate sowie durch Chinone, wie i-Methylanthrachinon, und Liaminodiphenylketone, wie Michler's Keton, sensibilisieren. In letzter Zeit ist auch bekannt geworden, da8 sich r-ochpolymere, welche an aromatische Gruppierungen g "bundene Nitrogruppen enthalten, auch dann vernetzen lassen, v/enn sie keine äthylenisch ungesättigten C-C-Doppelbindungen er thai ten. Auch diese Substanzen können duroh die vorstehend ^er.annten Sensibilisatoren in mehr oder weniger starkem Maße sensibilisiert werden.
Wie schon aus der Patentanmeldung P 15 22 535-1 hervorgeht, verhalten sich jedoch fotopolymerisierbar Lacke auf der Basis von gemischten Estern des Polyvinylalkohole oder eines Yinyl-Copolymeren mit Zimtsäure und einer nitrierten aromatiuchen Säure, wie sie in der Patenta meldung P 15 22 535·
- 2 -009843/1656 BAD ORIGINAL
beschrieben sind, unerwarteterweise andere als Systeme, die entweder nur ähtylenisch ungesättigte Doppelbindungen oder nur an aromatische Gruppierungen gebundene Nitrogruppen enthalten. Insbesondere benötigen sie nicht den Zusatz eines Stabilisators und zeichnen sich durch besonders gute Lagerfähigkeit bei hohem Auflösungsvermögen und guter Ätfcbeständigkeit aus· Während außerdem einige der oben genannten Sensibilisatoren sich als völlig wirkungslos erweisen, führen andere, wie das in der Praxis besonders häufig verwandte Michler's Keton, sogar zu einer wesentlichen Verlängerung der Belichtungszeit bei gleichzeitiger Erhöhung der Kantenschärfe und des Auflösungsvermögens. Daraus folgt, daß in den Lacken gemäß der Patentanmeldung P 15 22 535·1 ein Mechanismus vorliegt, der sich sowohl von dem Mechanismus bei Polyvinylalkohol-Zimtsäure- bzw. -Nitrozimtsäure-Lacken als auch von dem bei nitrogruppenhaltigen Polymeren gemäfl Patent DDBP 64··656 unterscheidet. Die gleichzeitige Anwesenheit von Zimtsäure- and Nitroacylresten im Molekül stellt also offensichtlich' keine Kombination zweier Honomerer in der Art eines Copolymerisates, sondern ein prinzipiell andersartiges fotopolymerisierendes System dar·
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, Sensibilisatoren aufzufinden, die auch in diesem aus Mischestern des Polyvinylalkohole mit Zimtsäure und nitrierten aromatischen Säuren gebildeten fotopolymerisierbaren System ohne Beeinträchtigung der für dieses System charakteristischen positiven Eigenschaften, insbesondere der Lagerfähigkeit und des Auflösungsvermögens, eine wesentliche Verkürzung der Belichtungszeit und eine Verschiebung der Absorption in das längerwellige Oebiet ermöglichen·
Zweck der Erfindung ist ea, durch die Verkürzung der Belichtungszeit eine Erhöhung der Produktivität und eine Senkung der Produktionskosten bei der Anwendung der in der Patentanmeldung P 15 22 535·1 beschriebenen Lacke zu erreichen.
OQStO/1656
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst, indem den Lacken Thia- oder Selenamonomethincyanine, insbesondere solche der allgemeinen Formel
in der Y und Y1 S oder Se, X"" ein vorzugsweise anorganischen Anion, z.B. ein Halogenid-Anion, R und B-1, vorzugsweise nicht substituierte Alkylreste mit 1-5C-A.tonen und Ar bzw. Ar1 mono- oder oligocyclische aromatische Systeme bedeuten oder vorzugsweise mehrkernige Nitröaromaten oder Nitroheterocyclen, z.B· 2-Nitrofluoren oder 5-Nitroacenaphthen, zugesetzt werden· Dabei bewirkt ein Zoaats von Nitroaromaten für sich allein nur eine relativ geringfügige Steigerung der Lichtempfindlichkeit, bei Zusatz von Nitroaromaten zu einem Lack gemäß Patentanmeldung P 15 22 535·11 der bereits Thia- oder Selena-monomethincymnine enthält, tritt jedoch eine zusätzliche Erhöhung der Lichtempfindlichkeit ein. Alle Sensibilisatoren verschieben außerdem das Atsorptionsmaximum der Lacklösungen stark zum längerwelligen Gebiet, so daß bei der Anwendung von Kohlebogenlar.pen eine erhebliche Verringerung der notwendigen Belichtungszeit eintritt·
Die Erfindung soll nachstehend an einigen Beispielen näher erläutert werden, ohne daß dadurch jedoch eine Beschränkung auf die ausdrücklich Genannten Verbindungen oder Kombinationen erfolgen soll.
Beispiele
Bei allen nachfolgenden Untersuchungen wurde ein Lackgrundstoff ger.iäß Patentanmeldung P 15 22 535*1 in Form einer Lösung
- 4 009843/1f,5C BADÖR1GINAL
von 8 Gewichts-^ Feststoffgehalt in einem Gemisch aus 2 Volumenteilen Chlorbenzol und einem Volumenteil n-Butanol als Lösungsmittel verwendet. Die Lacklösungen wurden in bekannter Weise auf Ou-kaschierte Kunststoffplättchen aufgebracht, hinter einer Metallmaske mit einer Quecksilber-?Jöchstdrueklampe HBO 50, deren Licht durch eine Glaslinse parallelisiert war, belichtet und mit dem oben genannten Gemisch aus Chlorbenzol und n-Butanol entwickelt· Durch Vergleich der Belichtungszeiten bis zum Entstehen des ersten kantenscharfen Reliefs mit dem unsensibilisierten Lack als Bezugssubstanz wurden die nachstehend wiedergegebenen relativen Smpfindlichkeitsangaberi erhalten. Alle untersuchten Sensibilisatoren wurden in Mengen von je Gewichts-1^, bezogen auf den Feststoffgehalt der Lacklösung, zugesetzt. Las Verhalten des unsensibilisierten Lackes s ο '.vie die Einwirkung zweier besonders häufig in der Praxis verwendeter Sensibilisatoren wird in Tabelle 1 beschrieben.
Tabelle 1
Verb. - Relative
Nr. Sensibilisator Em pf indl i chk e i t
1 Michler's Keton 0,8
2 Benzol 0,9
Tabelle 2 beschreibt das Verhalten einiger der untersuchten aromatischen Kitroverbindungen·
Tabelle 2
Verb. Relative
Nr* Sensibilisator Empfindlichkeit
3 2-Nitrofluoren 3,5
4 5-Nitroacenaphthen 3,8
5 1-Nitronaphthalin 2,8
6 2-Kitronaphthalin 2,8
7 6-Nitro-2-hydroxyacetophenon 1,2
8 6-Nitrochinolin 1,2
9 2.4»7-Trinitrofluorenon 3,3
10 N-Acetyl-i-benzoyl-3'7-dinitropherioH-
azin 5,1 ©AD ORIGINAt
0098A3/1656
- 5 - ■
In Tabelle 3 wird die 7/irkurig einiger Thia- bzw. Selenraonoiiethincyanine wiedergegeben*
T-belle 3
Verb.
Ur.
Sensibilisator
Relative Empfindlichkeit
11 Bis-C3-äthyl-benztbia2olyl-(2)]~monometbin- 3,0 cyanin-jodid
12 3*3l-Diäthyl-benzthiazolyl-(2)-benzoselen- 2,8 azolyl-(2*)-wonomethincyanin-jodid
13 Eis-f3-äth.yl-bencüSälenazolyl-(2)J-mono- 2,0 rnethincyanin-jodid
14 Bis-[3-äthyl-benzthiazblyl-(2)]-monomethin- 3»1 cyanin-brüinid
15 Eis-[3-i-thyl-5--metr1ylbenzthiazolyl-(2)] -mo- 2,4· noitethincyanin-ätho sulfat
1o Bis-(3-s-thyl-5-rnethoxy~benzthiazolyl~(23 - 2,0
inonomethincyanin-äthosulfat
17 Bis~["3-äthyl-5.6-dimethylbenzthiazolylr(2Jj- 1,9 raonorne thincyanin-ä tho sulfat
18 B±s-[3-äthyl-6.7-benzo-benzthiazolyl-(23- 1t5 monomethincyanin-äthosulfat
19 Bis-[3.-äthyl-benzthiazolyl-(2)j -monometliin- 3*4 cyanin-äthoaulfafc
TateiJe 4 zeigt die Uberproportionale Steigerung der Sensibilisiärung biii Verwendung von Kombinationen aus ei η ism Thia- oder Selena-monomethincyanin and einer aromatischen Mt ro verbindung.
Tabelle 4
Kombination (•Nr.d.y'erb.)
Relative Empfindlichkeit
1fi und 3 17- und 3 Π und 4
und 3
12 und 3 1 9 und 4 12 und 4
D (J 9 8 4 3/1656
6,0 5,0
17,5 18,0 11,6 10,0
BAD ORIGINAL
- 6
"lira die (energiereichere) Strahlung der Queoksilberhbchatdrucklampe bei dem Maximum von 365 nm durch Vorschalten eines Filters NG 5 des VEB Glaswerke Schott Jena weitgehend unterdrückt, so werden, wie aus Tabelle 5 hervorgeht, die relativen Empfindlichkeitssteigerungen gegenüber dem unsensibilisierten Lack noch weiter erhöht. Dies zeigt die Verschiebung des Absorptionsmaximuina zum längerwelligen Gebiet, die durch den Zusatz der Sensibilisatorkombination bewirkt ■ wird.
Tabelle 5
Kombination Relative
(IJr.d.Verb.) Empfindlichkeit
12 und 3 24
19 und 4 18
11 und 4 30
Bei Verwendung einer Kohlebogenlampe werden relative Empfindlichkeiten in der Größenordnung von mehreren hundert bie 1000 Einheiten erhalten-
009843/1656

Claims (2)

  1. Paten tan Sprüche
    Fotopolymerioieru-uder Lack nach Patent DL1RP 59»237 mit erhöhter Lichtempfindlichkeit,, dadurch g ekennz ei chnet f daß der Lacklösung i:indestens ein Thia- oder Selena-monomethincyanin, insbesondere ein solches der allgemeinen Formel
    Ar j
    CH-
    in der Y und Ϊ1 S oder Se, R und R1 vorzugsweise nicht substituierte Alkylreste mit 1-5 Kohlenstoffatomen, Ar und Ar1 annellierte mono- oder oligocyclische, evtl. substituierte aromatische Systeme und Σ~ ein vorzugsweise anorganisches Anion, insbesondere ein Halogenid-Anion, bedeuten und/oder mindestens eine vorzugsweise mehrkern ige aromatische oder heterocyclische iVitroverbindimg in Wenden von je 0,1 bis 10 Gewicht3-3, bezogen auf den FeststofCgehalt der Laclrlösun , zugesetzt //erden·
  2. 2. Fotopolymerisjerender Lack gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als vorzugsweise mehrkeri'ige aromatische oder heterocyclische nitroverbindungen, insbesondere i;itroderivate des Anthracene, λ c ent; ph therm, Chinoline, i'ltorens, Anthrons, Carba:3ols, Naphthalins, IJhrysens, Diphenyls, Benziniidazols und Pcnzselenazols verwendet werden»
    0098A3/1656
DE19691952878 1969-04-10 1969-10-21 Fotopolymerisierbarer Lack mit erhoehter Lichtempfindlichkeit Pending DE1952878A1 (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998009712A1 (en) * 1996-09-09 1998-03-12 Destiny Oil Anstalt Method of selective chemisorption of reactive-active gases

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO1998009712A1 (en) * 1996-09-09 1998-03-12 Destiny Oil Anstalt Method of selective chemisorption of reactive-active gases

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CH521607A (de) 1972-04-15
AT303514B (de) 1972-10-15
BE745070R (nl) 1970-07-01
FR2038356A6 (en) 1971-01-08
BG23010A3 (bg) 1977-05-20

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