DE19952127A1 - Hochtemperaturbeständiger, mechanisch stabiler Temperaturfühler - Google Patents
Hochtemperaturbeständiger, mechanisch stabiler TemperaturfühlerInfo
- Publication number
- DE19952127A1 DE19952127A1 DE19952127A DE19952127A DE19952127A1 DE 19952127 A1 DE19952127 A1 DE 19952127A1 DE 19952127 A DE19952127 A DE 19952127A DE 19952127 A DE19952127 A DE 19952127A DE 19952127 A1 DE19952127 A1 DE 19952127A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- temperature sensor
- temperature
- sensor according
- filler
- mass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 230000002687 intercalation Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000009830 intercalation Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 21
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 229920001558 organosilicon polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 claims description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 2
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 claims 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 11
- 229910016006 MoSi Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 8
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 7
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910020968 MoSi2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000012876 carrier material Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000000462 isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 235000019422 polyvinyl alcohol Nutrition 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000754 repressing effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
- G01K7/22—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a non-linear resistance, e.g. thermistor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
- H01C7/04—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having negative temperature coefficient
- H01C7/042—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having negative temperature coefficient mainly consisting of inorganic non-metallic substances
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/58085—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicides
- C04B35/58092—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicides based on refractory metal silicides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
- C04B35/589—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained from Si-containing polymer precursors or organosilicon monomers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
- C04B35/593—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
- C04B35/593—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering
- C04B35/5935—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering obtained by gas pressure sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
- C04B35/632—Organic additives
- C04B35/634—Polymers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
- C04B2235/3225—Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
- C04B2235/3817—Carbides
- C04B2235/3826—Silicon carbides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
- C04B2235/3852—Nitrides, e.g. oxynitrides, carbonitrides, oxycarbonitrides, lithium nitride, magnesium nitride
- C04B2235/3873—Silicon nitrides, e.g. silicon carbonitride, silicon oxynitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
- C04B2235/3891—Silicides, e.g. molybdenum disilicide, iron silicide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5436—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5445—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/60—Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
- C04B2235/604—Pressing at temperatures other than sintering temperatures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/74—Physical characteristics
- C04B2235/77—Density
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/80—Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
Es wird ein keramischer Temperaturfühler vorgeschlagen, der ein bis mindestens 1400 DEG C beständiges Kompositmaterial aus einer hochtemperaturbeständigen Matrix und eine oder mehrere Einlagerungsverbindungen mit ausgeprägter PTC-Charakteristik umfaßt.
Description
Die Erfindung betrifft einen hochtemperaturbeständigen,
mechanisch stabilen keramischen Temperaturfühler.
Zur Temperaturerfassung sind eine Reihe unterschiedlicher
Temperaturfühler bekannt. Ihre Funktion ist darauf
begründet, daß verschiedene metallische oder keramische
Materialien verwendet werden, deren elektrischer Wider
stand sich in Abhängigkeit von der Temperatur ändert. Die
Widerstandsänderung kann als Nutzsignal von einer darauf
abgestimmten elektronischen Schaltung ausgewertet werden,
wenn sie in einem zu erfassenden Temperaturintervall eine
regelmäßige, beispielsweise lineare, Kennlinie aufweist.
Werkstoffabhängig kann der elektrische Widerstand dabei
mit steigender Temperatur größer oder kleiner werden. Im
ersten Fall spricht man von einem positiven Temperatur
koeffizienten des elektrischen Widerstandes (PTC), im
letzten Fall von einem negativen Temperaturkoeffizienten
des elektrischen Widerstandes (NTC).
Metallische Temperaturfühler weisen zumeist eine PTC-
Charakteristik auf. Sie sind jedoch mechanisch instabil
und in der Regel nicht als selbsttragende Temperatur
fühler einsetzbar. Drahtförmige Temperaturfühler werden
üblicherweise in keramischen, d. h. elektrisch isolieren
den und/oder metallischen Schutzrohren verbaut. Sie
werden als Mantelthermoelemente bezeichnet. Bekannt sind
auch Temperaturfühler, die in Dickschichttechnik und
einem anschließenden zusammen stattfindenden Brennen auf
die Oberfläche geeigneter Einzelsubstrate aufgebracht
oder zwischen zwei- oder mehrlagigem Substratschicht
aufbau gekapselt werden. Sie werden als Dickschicht
elemente bezeichnet.
PTC-Thermoelemente sind ferner auf Basis von Nicht
edelmetallen nur in einem begrenzten Temperaturbereich
bis max. 800°C einsetzbar. Prinzipiell erfordern diese
bekannten Ausführungen Träger aus einem inerten Material,
das für das eigentliche Temperatursensorelement eine
mechanische Stützfunktion bewirkt. Da auch diese passiven
Bestandteile des Thermoelements miterwärmt werden, ergibt
sich eine gewisse Trägheit der Signaländerung, was sich
nachteilig auf die Schnelligkeit der Temperaturerfassung
auswirkt.
Kaltleiter sind temperaturabhängige Halbleiterwiderstände
auf der Basis von dotiertem Bariumtitanat (BaTiO3). Die
Widerstandscharakteristik zeichnet sich dadurch aus, daß
der Widerstand bis zur Curietemperatur praktisch konstant
bleibt und dann sprunghaft um einige Größenordnungen
zunimmt. Typische Kaltleiter zeigen eine nutzbare Wider
standscharakteristik nur in einem sehr eng begrenzten
Temperaturbereich und sind nur bis max. 500°C einsetzbar.
Heißleiter, NTC-Widerstände, sind vorwiegend aus
Übergangsmetalloxiden aufgebaut, denen, um die Kennlinie
besser reproduzieren zu können, stabilisierend wirkende
Oxide zugemischt sind. Auch sie sind aufgrund ihrer
geringen thermischen Stabilität nur in einem begrenzten
Anwendungsbereich bis max. 1000°C einsetzbar.
Die Aufgabe vorliegender Erfindung bestand daher darin,
einen bis zu sehr hohen Temperaturen von 1400°C thermisch
beständigen und mechanisch stabilen, also selbsttragen
den, Temperaturfühler bereitzustellen. Ferner bestand die
Aufgabe darin, daß der Temperaturfühler eine Temperatur
erfassung im Anwendungsbereich von -40°C bis 1400°C
ermöglichen soll.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen keramischen
Temperaturfühler gelöst, der dadurch gekennzeichnet ist,
daß er ein bis mindestens 1400°C beständiges Komposit
material aus einer hochtemperaturbeständigen Matrix und
einer oder mehreren Einlagerungsverbindungen mit ausge
prägter PTC-Characteristik umfaßt.
Der Temperaturfühler ist extrem hochtemperaturbeständig,
mechanisch hoch belastbar und somit selbsttragend.
Aufgrund dieses selbsttragenden Aufbaus ist es nunmehr
möglich, das thermosensitive Material direkt in die zu
messende Zone einzubringen. Der Wegfall von üblicherweise
verwendeten Trägermaterialien mit ihren passiven Volumina
gewährleistet in besonders vorteilhafter Weise eine
schnelle Widerstandsänderung am Sensor und somit eine
schnelle Temperaturerfassung.
Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Temperatur
fühlers besteht darin, daß dieser sowohl in oxidierender
als auch in reduzierender Atmosphäre stabil ist.
Dadurch daß die Materialien einen nahezu linearen Anstieg
des elektrischen Widerstandes mit der zunehmenden
Temperatur im Bereich von -40°C bis 1400°C aufweisen, ist
eine Temperaturmessung im gesamten Bereich realisierbar.
Bevorzugt ist ein erfindungsgemäßer Temperaturfühler, bei
dem die hochtemperaturbeständige Matrix Trisiliziumtetra
nitrid umfaßt und/oder die Einlagerungsverbindung ein
Metallsilizid ist.
Hierbei werden als Metall bevorzugt Molybdän, Niob,
Wolfram oder Titan eingesetzt.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist der Temperatur
fühler dadurch gekennzeichnet, daß er durch einen kalt
isostatischen Formpreßschritt vor seiner Sinterung her
stellbar ist.
Hinsichtlich der hier einsetzbaren Kompositmaterialien
wird auf die DE 197 22 321 A1 verwiesen.
Bei der Herstellung von Temperaturfühlern aus Si3N4/MSi2-
Kompositen (M = Metall) erfolgt zunächst die Formgebung
durch kombiniertes Kaltaxial-/isostatisches Pressen.
Es wird ein vorkonditioniertes Si3N4-Pulver mit
entsprechenden Sinteradditiven, wie z. B. Al2O3, Y2O3 und
Zumischen von MSi2, wobei M Mo, Nb, W, Ti sein kann, in
unterschiedlichen Masseanteilen von 30-90 Masse-% zur
Herstellung der Ausgangskomponenten und ggf. organischen
Preß- und/oder Bindehilfsmitteln, wie beispielsweise
Polyvinylbutyrale, Polyvinylalkohole, Polyvinylacetate,
Polyethylenglycole, in einer Attritormühle in einem
organischen Lösungsmittel, beispielsweise Ethanol, Pro
panol oder Isopropanol eingesetzt.
Das vorkonditionierte Si3N4-Pulver enthält 0-5 Ma.-%,
vorzugsweise 4,3 Ma.-%, Al2O3 und 5-9 Ma.-%, vorzugsweise
5,7 Ma.-%, Y2O3.
Anschließend werden die attritierten Suspensionen im
Rotationsverdampfer getrocknet.
Nunmehr erfolgt die Zumischung von MSi2 dergestalt, daß
eine nach dem Sinterbrand leitfähige Keramik entsteht.
Der Aufbau des Temperaturfühlers erfolgt so, daß dieser
in der gewünschten Geometrie mit 40 MPa vorgepreßt wird.
Ein kaltisostatisches Nachpressen erfolgt bei 200 MPa.
Der zweite Teil der Herstellung des Temperaturfühlers aus
Si3N4/MSi2-Kompositen erfolgt nach dem Formgebungsprozeß
nach der Entbinderung durch eine Sinterung.
Die Hauptsinterung I erfolgt unter einem definierten N2-
Partialdruck, wobei der N2-Partialdruck im Sintergas
zwischen 1000°C und der Sintertemperatur, die nicht
größer als 1900°C ist, nicht größer als 10 bar ist und
der Gesamtsintergasdruck durch Zumischen eines Inert
gases, wie Argon, auf Werte bis 100 bar erhöht wird.
Alternativ zur Hauptsinterung I kann die Hauptsinterung
II erfolgen, unter einem definierten N2-Partialdruck,
wobei der N2-Partialdruck mit der Temperatur so variiert
werden muß, daß der Partialdruck innerhalb eines
Bereiches liegt, welcher durch folgende Abhängigkeiten
begrenzt wird und der Gesamtsintergasdruck durch
Zumischen eines Inertgases, wie Argon, auf Werte bis 100 bar
erhöht wird:
obere Grenze: log p(N2) = 7,1566 ln(T) - 52,719
untere Grenze: log p(N2) = 9,8279 ln(T) - 73,988.
obere Grenze: log p(N2) = 7,1566 ln(T) - 52,719
untere Grenze: log p(N2) = 9,8279 ln(T) - 73,988.
Die Angabe von T erfolgt in °C, die Angabe von p(N2)
erfolgt in bar. Die Sintertemperatur liegt nicht höher
als 1900°C. Die entstehenden Komposite erreichen Dichten
von mehr als 95% der Werkstoffdichte.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung ist der Temperaturfühler dadurch gekenn
zeichnet, daß er durch Keramisieren mindestens eines
siliziumorganischen Polymers und mindestens eines Füll
stoffs herstellbar ist, wobei dieser mindestens eine
hochschmelzende leitfähige Komponente enthält, der Füll
stoffanteil 20-50 Vol-% bezogen auf die lösungsmittel
freie Polymer-Füllstoff-Mischung beträgt und über den
Füllstoffanteil der spezifische elektrische Widerstand
einstellbar ist.
In diesem Fall wird also eine durch Keramisieren aus
einem gefüllten, organischen Polymer hergestellte Keramik
erzeugt.
Hinsichtlich der hier einsetzbaren Kompositmaterialien
wird auf die DE 195 38 695 A1 verwiesen.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung ist der Temperaturfühler dadurch gekennzeich
net, daß die Matrix Einlagerungen von Hartstoffteilchen
und/oder andere Verstärkungskomponenten enthält, wobei
der Temperaturfühler durch Unterwerfung einer Mischung
aus einem siliziumorganischen Polymer mit einem metalli
schen Füllstoff, der mit den bei der Pyrolyse der
Polymerverbindungen entstehenden Zersetzungsprodukten
reagiert, einem Pyrolyse- und Reaktionsprozeß herstellbar
ist.
Hinsichtlich der hier einsetzbaren Kompositmaterialien
wird auf die EP 0 412 428 A1 verwiesen.
Fig. 1 zeigt eine Temperaturmessanordnung unter Verwen
dung des erfindungsgemäßen Temperaturfühlers.
Fig. 2 zeigt die Temperaturabhängigkeit des spezifischen
elektrischen Widerstandes ρ gemäß den Beispielen 1-4
erfindungsgemäßer Temperaturfühler mit positivem Tempe
raturkoeffizienten.
Fig. 3 zeigt die Temperaturabhängigkeit des spezifischen
elektrischen Widerstandes ρ gemäß dem Beispiel 5 erfin
dungsgemäßer Temperaturfühler mit positivem Temperatur
koeffizienten.
In Fig. 1 wird der aus dem Kompositmaterial bestehende
Temperaturfühler 1 von zwei Anschlußelektroden 2
begrenzt, die mit einem Widerstandsmeßgerät 4 verbunden
sind. Der Temperaturfühler 1 läuft durch die
Temperaturmeßzone 3.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Beispiele
näher erläutert.
Es wird eine Kompositkomponente A eingesetzt, die aus 45 Ma.-%
Si3N4, 2,35 Ma.-% Al2O3, 2,65 Ma.-% Y2O3 und 50 Ma.-%
MoSi2 besteht, wobei die mittlere Korngröße des
eingesetzten Si3N4 0,7 µm, die des MoSi2 1,8 µm beträgt.
Die Kompositkomponente wird nach Zusatz von 0,5 Masse-%
eines Polyvinylbutyral-Preßhilfsmittels mit 30 MPa in
einem Axialpreßwerkzeug vorgepreßt und mit 200 MPa
kaltisostatisch nachverdichtet. Nach der Sinterung
entsprechend dem Hauptsintergang II entsteht ein
Temperaturfühler mit der in Fig. 2 dargestellten
Temperatur-Widerstands-Charakteristik. Der spezifische
Widerstand bei Raumtemperatur beträgt etwa 2 . 10-3 Ωcm. Der
Temperaturkoeffizient im Temperaturbereich 20-1300°C
beträgt etwa 5 . 10-3 K-1.
Es wird eine Kompositkomponente B eingesetzt, die aus
40,5 Ma.-% Si3N4, 2,12 Ma.-% Al2O3, 2,38 Ma.-% Y2O3 und 55 Ma.-%
MoSi2 besteht, wobei die mittlere Korngröße des
eingesetzten Si3N4 0,7 µm, die des MoSi2 1,8 µm beträgt.
Die Kompositkomponente wird nach Zusatz von 0,5 Masse-%
eines Polyvinylbutyral-Preßhilfsmittels mit 30 MPa in
einem Axialpreßwerkzeug vorgepreßt und mit 200 MPa
kaltisostatisch nachverdichtet. Nach der Sinterung
entsprechend dem Hauptsintergang II entsteht ein
Temperaturfühler mit der in Fig. 2 dargestellten
Temperatur-Widerstands-Charakteristik. Der spezifische
Widerstand bei Raumtemperatur beträgt etwa 10-3 Ωcm.
Es wird eine Kompositkomponente C eingesetzt, die aus 36 Ma.-%
Si3N4, 1,89 Ma.-% Al2O3, 2,11 Ma.-% Y2O3 und 60 Ma.-%
MoSi2 besteht, wobei die mittlere Korngröße des
eingesetzten Si3N4 0,7 µm, die des MoSi2 1,8 µm beträgt.
Die Kompositkomponente wird nach Zusatz von 0,5 Masse-%
eines Polyvinylbutyral-Preßhilfsmittels mit 30 MPa in
einem Axialpreßwerkzeug vorgepreßt und mit 200 MPa
kaltisostatisch nachverdichtet. Nach der Sinterung
entsprechend dem Hauptsintergang II entsteht ein
Temperaturfühler mit der in Fig. 2 dargestellten
Temperatur-Widerstands-Charakteristik. Der spezifische
Widerstand bei Raumtemperatur beträgt etwa 2 . 10-4 Ωcm.
Es wird eine Kompositkomponente D eingesetzt, die aus 27 Ma.-%
Si3N4, 1,43 Ma.-% Al2O3, 1,57 Ma.-% Y2O3 und 70 Ma.-%
MoSi2 besteht, wobei die mittlere Korngröße des
eingesetzten Si3N4 0,7 µm, die des MoSi2 1,8 µm beträgt.
Die Kompositkomponente wird nach Zusatz von 0,5 Masse-%
eines Polyvinylbutyral-Preßhilfsmittels mit 30 MPa in
einem Axialpreßwerkzeug vorgepreßt und mit 200 MPa
kaltisostatisch nachverdichtet. Nach der Sinterung
entsprechend dem Hauptsintergang II entsteht ein
Temperaturfühler mit der in Fig. 2 dargestellten
Temperatur-Widerstands-Charakteristik. Der spezifische
Widerstand bei Raumtemperatur beträgt etwa 8 . 10-5 Ωcm.
Es wurden zwei Precursor-Verbundkeramiken nach der EP 0 412 428 A1
bzw. der DE 195 38 695 A1 hergestellt mit
den Füllstoffkombinationen 7 Vol.-% Al2O3, 10 Vol.-% SiC,
20 Vol.-% MoSi2, Rest Precursor-Grundmaterial (Precursor
keramik E) bzw. 20 Vol.-% SiC, 20 Vol.-% MoSi2, Rest
Precursor-Grundmaterial (Precursorkeramik F). Deren
temperaturabhängiger Widerstand ist in Fig. 3 darge
stellt. Die spezifischen elektrischen Widerstände
betragen bei 120°C 8 . 10-3 Ωcm (Precursorkeramik E) bzw.
5,6 . 10-3 Ωcm (Precursorkeramik F) und bei 1300°C
3,0 . 10-2 Ωcm (Precursorkeramik E) bzw. 1,9 . 10-2 Ωcm
(Precursorkeramik F). Die Temperaturkoeffizienten betra
gen im Temperaturbereich von Raumtemperatur bis 1300°C
2,1 . 10-3 K-1 (Precursorkeramik E) bzw. 3,1 . 10-3 K-1
(Precursorkeramik F).
Claims (7)
1. Keramischer Temperaturfühler, dadurch gekennzeich
net, daß er ein bis mindestens 1400°C beständiges
Kompositmaterial aus einer hochtemperaturbeständigen
Matrix und einer oder mehreren Einlagerungsverbindungen
mit ausgeprägter PTC-Charakteristik umfaßt.
2. Temperaturfühler nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die hochtemperaturbeständige Matrix Tri
siliziumtetranitrid umfaßt.
3. Temperaturfühler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Einlagerungsverbindung ein
Metallsilizid ist.
4. Temperaturfühler nach Anspruch 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Metall Molybdän, Niob, Wolfram oder
Titan ist.
5. Temperaturfühler nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß er durch einen
kaltisostatischen Formpreßschritt vor seiner Sinterung
herstellbar ist.
6. Temperaturfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß er durch Keramisieren mindes
tens eines siliziumorganischen Polymers und mindestens
eines Füllstoffs herstellbar ist, wobei dieser mindestens
eine hochschmelzende leitfähige Komponente enthält, der
Füllstoffanteil 20-50 Vol-% bezogen auf die lösungs
mittelfreie Polymer-Füllstoff-Mischung beträgt und über
den Füllstoffanteil der spezifische elektrische Wider
stand einstellbar ist.
7. Temperaturfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß die Matrix Einlagerungen von
Hartstoffteilchen und/oder andere Verstärkungskomponenten
enthält, wobei der Temperaturfühler durch Unterwerfung
einer Mischung aus einem siliziumorganischen Polymer mit
einem metallischen Füllstoff, der mit den bei der
Pyrolyse der Polymerverbindungen entstehenden Zerset
zungsprodukten reagiert, einem Pyrolyse- und Reaktions
prozeß herstellbar ist.
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19952127A DE19952127C2 (de) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | Hochtemperaturbeständiger, mechanisch stabiler Temperaturfühler |
| EP00984869A EP1228350A1 (de) | 1999-10-29 | 2000-10-26 | Hochtemperaturbeständiger, mechanisch stabiler temperaturfühler |
| PL00354526A PL354526A1 (en) | 1999-10-29 | 2000-10-26 | Temperature detector which is resistant to high temperatures and mechanically stable |
| HU0203124A HUP0203124A3 (en) | 1999-10-29 | 2000-10-26 | Temperature detector which is resistant to high temperatures and mechanically stable |
| KR1020027005341A KR20020059420A (ko) | 1999-10-29 | 2000-10-26 | 내고온성이며, 기계적으로 안정된 온도 센서 |
| CZ20021439A CZ20021439A3 (cs) | 1999-10-29 | 2000-10-26 | Keramické teplotní čidlo a použití kompozitního materiálu odolného proti vysokým teplotám |
| JP2001535014A JP2003513459A (ja) | 1999-10-29 | 2000-10-26 | 高温安定性で機械的安定性の温度センサー |
| PCT/DE2000/003802 WO2001033177A1 (de) | 1999-10-29 | 2000-10-26 | Hochtemperaturbeständiger, mechanisch stabiler temperaturfühler |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19952127A DE19952127C2 (de) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | Hochtemperaturbeständiger, mechanisch stabiler Temperaturfühler |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE19952127A1 true DE19952127A1 (de) | 2001-05-17 |
| DE19952127C2 DE19952127C2 (de) | 2001-10-18 |
Family
ID=7927303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19952127A Expired - Fee Related DE19952127C2 (de) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | Hochtemperaturbeständiger, mechanisch stabiler Temperaturfühler |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1228350A1 (de) |
| JP (1) | JP2003513459A (de) |
| KR (1) | KR20020059420A (de) |
| CZ (1) | CZ20021439A3 (de) |
| DE (1) | DE19952127C2 (de) |
| HU (1) | HUP0203124A3 (de) |
| PL (1) | PL354526A1 (de) |
| WO (1) | WO2001033177A1 (de) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008074319A3 (de) * | 2006-12-20 | 2008-11-13 | Fraunhofer Ges Forschung | Keramisches elektrisches heizelement |
| WO2009103261A1 (de) * | 2008-02-19 | 2009-08-27 | Epcos Ag | Verbundwerkstoff zur temperaturmessung, temperatursensor aufweisend den verbundwerkstoff und verfahren zur herstellung des verbundwerkstoffs und des temperatursensors |
| ITUB20150793A1 (it) * | 2015-05-22 | 2016-11-22 | Nuovo Pignone Srl | Materiale composito a base di siliciuro e processo per produrlo |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100475590B1 (ko) * | 2002-11-13 | 2005-03-11 | 김영호 | 칼코게나이드 비정질 반도체를 이용한 박막온도센서 및 그제조방법 |
| DE102008046319B3 (de) * | 2008-08-29 | 2009-12-17 | Technische Universität Dresden | Resistiver Sensor zur Messung der Temperatur oder infraroter Strahlung und Verfahren zu dessen Herstellung |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3512483A1 (de) * | 1984-04-09 | 1985-10-17 | Nippon Soken, Inc., Nishio, Aichi | Keramische heizvorrichtung |
| DE3734274C2 (de) * | 1986-10-09 | 1996-07-11 | Nippon Denso Co | Keramische Glühkerze und Verfahren zu deren Herstellung |
| DE19722321A1 (de) * | 1997-05-28 | 1998-12-03 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus einem keramischen Verbundgefüge |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02107572A (ja) * | 1988-01-28 | 1990-04-19 | Hitachi Metals Ltd | 導電性サイアロン焼結体とヒータ |
| DE3926077A1 (de) * | 1989-08-07 | 1991-02-14 | Peter Prof Dr Greil | Keramische verbundkoerper und verfahren zu ihrer herstellung |
| JP3124864B2 (ja) * | 1993-04-26 | 2001-01-15 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質焼結体及びその製法 |
| DE19538695C2 (de) * | 1994-10-19 | 2003-05-28 | Bosch Gmbh Robert | Keramischer elektrischer Widerstand und dessen Verwendung |
-
1999
- 1999-10-29 DE DE19952127A patent/DE19952127C2/de not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-10-26 HU HU0203124A patent/HUP0203124A3/hu unknown
- 2000-10-26 PL PL00354526A patent/PL354526A1/xx not_active Application Discontinuation
- 2000-10-26 KR KR1020027005341A patent/KR20020059420A/ko not_active Withdrawn
- 2000-10-26 EP EP00984869A patent/EP1228350A1/de not_active Withdrawn
- 2000-10-26 JP JP2001535014A patent/JP2003513459A/ja active Pending
- 2000-10-26 CZ CZ20021439A patent/CZ20021439A3/cs unknown
- 2000-10-26 WO PCT/DE2000/003802 patent/WO2001033177A1/de not_active Ceased
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3512483A1 (de) * | 1984-04-09 | 1985-10-17 | Nippon Soken, Inc., Nishio, Aichi | Keramische heizvorrichtung |
| DE3734274C2 (de) * | 1986-10-09 | 1996-07-11 | Nippon Denso Co | Keramische Glühkerze und Verfahren zu deren Herstellung |
| DE19722321A1 (de) * | 1997-05-28 | 1998-12-03 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus einem keramischen Verbundgefüge |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008074319A3 (de) * | 2006-12-20 | 2008-11-13 | Fraunhofer Ges Forschung | Keramisches elektrisches heizelement |
| WO2009103261A1 (de) * | 2008-02-19 | 2009-08-27 | Epcos Ag | Verbundwerkstoff zur temperaturmessung, temperatursensor aufweisend den verbundwerkstoff und verfahren zur herstellung des verbundwerkstoffs und des temperatursensors |
| US9341521B2 (en) | 2008-02-19 | 2016-05-17 | Epcos Ag | Composite material for temperature measurement, temperature sensor comprising the composite material, and method for producing the composite material and the temperature sensor |
| CN101952701B (zh) * | 2008-02-19 | 2016-12-07 | 埃普科斯股份有限公司 | 用于测量温度的复合材料、具有该复合材料的温度传感器以及用于制造该复合材料和该温度传感器的方法 |
| ITUB20150793A1 (it) * | 2015-05-22 | 2016-11-22 | Nuovo Pignone Srl | Materiale composito a base di siliciuro e processo per produrlo |
| WO2016188855A3 (en) * | 2015-05-22 | 2017-04-27 | Nuovo Pignone Tecnologie Srl | Silicide-based composite material and process for producing the same |
| US11384027B2 (en) | 2015-05-22 | 2022-07-12 | Nuovo Pignone Tecnologie Srl | Silicide-based composite material and process for producing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CZ20021439A3 (cs) | 2002-09-11 |
| JP2003513459A (ja) | 2003-04-08 |
| HUP0203124A3 (en) | 2004-07-28 |
| EP1228350A1 (de) | 2002-08-07 |
| WO2001033177A1 (de) | 2001-05-10 |
| KR20020059420A (ko) | 2002-07-12 |
| HUP0203124A2 (hu) | 2003-01-28 |
| DE19952127C2 (de) | 2001-10-18 |
| PL354526A1 (en) | 2004-01-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2643131C2 (de) | Verfahren zum Herstellen einer elektrisch leitenden Verbundkeramik | |
| DE69523732T2 (de) | Verbundmaterial und verfahren zu seiner herstellung | |
| DE3734274C2 (de) | Keramische Glühkerze und Verfahren zu deren Herstellung | |
| DE4440005C2 (de) | Siliziumnitridkeramikheizer und Verfahren zu seiner Herstellung | |
| DE3812266C1 (de) | ||
| DE2701411C3 (de) | Dielektrische Keramikverbindung | |
| DE69209613T2 (de) | Dielektrisches-keramisches Verbundmaterial | |
| DE69223528T2 (de) | Gesinterter, keramischer Verbundwerkstoff, Verfahren zu seiner Herstellung und denselben nutzender Schieber | |
| DE60021243T2 (de) | Keramischer Heizer, Verfahren zur Herstellung desselben und Glühkerze mit dem keramischem Heizer | |
| DE69625535T2 (de) | Elektrisches Widerstandselement | |
| WO2002089160A2 (de) | Elektrisches vielschichtbauelement und verfahren zu dessen herstellung | |
| DE112015005617B4 (de) | Elektrisch leitfähiger Oxidsinterkörper, Element zur elektrischen Leitung, Gassensor, piezoelektrisches Element und Verfahren zur Herstellung des piezoelektrischen Elements | |
| DE3875331T2 (de) | Leitender, gesinterter keramikkoerper. | |
| WO2001033177A1 (de) | Hochtemperaturbeständiger, mechanisch stabiler temperaturfühler | |
| DE60304036T2 (de) | Dielektrische zusammensetzung auf der basis von bariumtitanat | |
| DE19538695A1 (de) | Keramischer elektrischer Widerstand und dessen Verwendung | |
| WO2008074319A2 (de) | Keramisches elektrisches heizelement | |
| KR102937445B1 (ko) | 가열 요소의 크롬 합금화 몰리브덴 실리사이드 부분의 새로운 제조 방법 | |
| DE3216045C2 (de) | Hochtemperatur-NTC-Thermistor | |
| DE69306414T2 (de) | Kristallisation von kongrenzenphasen in silicumcarbidkeramik | |
| DE112023002813T5 (de) | Temperatursensorelement und Temperatursensor | |
| DE60132237T2 (de) | Verfahren zur verlängerung der nützlichen lebensdauer eines molybdänsilizid-heizelement | |
| DE112010000971B4 (de) | Dielektrische keramische Zusammensetzung, dielektrischer Körper, keramisches Substrat,elektronisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines dielektrischen Körpers | |
| DE102023134260B3 (de) | NTC-Zusammensetzung, Thermistor, Vielschichtthermistor, monolagiger NTC-Dünnfilmthermistor, Vielschichtdünnfilmthermistor und Verfahren zur Herstellung eines Vielschichtthermistors | |
| EP3511687B1 (de) | Keramisches thermoelement sowie verfahren zu seiner herstellung |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| D2 | Grant after examination | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |