DE2010444A1 - Vorrichtung zum Aufheizen einer Metall probe - Google Patents

Vorrichtung zum Aufheizen einer Metall probe

Info

Publication number
DE2010444A1
DE2010444A1 DE19702010444 DE2010444A DE2010444A1 DE 2010444 A1 DE2010444 A1 DE 2010444A1 DE 19702010444 DE19702010444 DE 19702010444 DE 2010444 A DE2010444 A DE 2010444A DE 2010444 A1 DE2010444 A1 DE 2010444A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sample
electrode
pot
hole
collector electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19702010444
Other languages
English (en)
Other versions
DE2010444B2 (de
Inventor
Hubert Barzola Angera Van Wijk Roelant Ispra Varese Schins, (Italien) M
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
European Atomic Energy Community Euratom
Original Assignee
European Atomic Energy Community Euratom
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to DENDAT20108D priority Critical patent/DE20108C/de
Application filed by European Atomic Energy Community Euratom filed Critical European Atomic Energy Community Euratom
Priority to DE19702010444 priority patent/DE2010444B2/de
Priority to NL7101759A priority patent/NL7101759A/xx
Priority to BE762925A priority patent/BE762925A/xx
Priority to FR7106354A priority patent/FR2079037A5/fr
Priority to LU62672D priority patent/LU62672A1/xx
Publication of DE2010444A1 publication Critical patent/DE2010444A1/de
Publication of DE2010444B2 publication Critical patent/DE2010444B2/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0431—Apparatus for thermal treatment
    • H10P72/0436—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61D—BODY DETAILS OR KINDS OF RAILWAY VEHICLES
    • B61D15/00—Other railway vehicles, e.g. scaffold cars; Adaptations of vehicles for use on railways
    • B61D15/06—Buffer cars; Arrangements or construction of railway vehicles for protecting them in case of collisions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/023—Means for mechanically adjusting components not otherwise provided for
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/06—Electron sources; Electron guns
    • H01J37/063—Geometrical arrangement of electrodes for beam-forming
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T30/00—Transportation of goods or passengers via railways, e.g. energy recovery or reducing air resistance

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Printing Methods (AREA)

Description

525/70 d/XIII/]A58
DipL-lng. Hons-HcinridhWey BtrKn-DoMem, PwJNeUkiaM·· 68
22 268 Berlin, den 27. Februar 1970
EUROPAEISCHE ATOMGEMEINSCHAFT (EURATOM)
Patentanmeldung
Vorrichtung zum Aufheizen einer Metallprobe
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aufheizen einer hoch teraperaturfesten kleinen Metallprobe auf Temperaturen oberhalb 2000° C unter Vakuum.
In Materialprüflaboratorien besteht oft die. Aufgabe, kleine Metallproben bei extrem hohen Temperaturen zu untersuchen* Beispielsweise kann man so mit Hilfe der Emissions-Mikroskopie genauere Kenntnisse über die Struktur von Oberflächen gewinnen. Ee kann die Verteilung der thermischen Austrittearbeit auf polykristallinen Oberflächen nach der Anlaufatromraethode gemessen werden (siehe hierzu Physical Review 107 (L957) 1553).
BAD 10 98 3 7/0916 —2 -
2010U4
Wichtig ist dabei, daß die Probe stabil gehaltert ist, damit nicht auf Grund thermischer Belastungen die Probe verschoben oder losgelöst wird, daß die Probe thermisch gut isolierend gelagert ist, damit die Wärmezufuhr in Grenzen bleiben kann und damit der Temperaturgradient in der Probe gering ist, daß keine schnellen Elektronen von der Wärmequelle in den Meßbereich der Eraissions-Mikroskopie gelangen, daß die ganze Vorrichtung wenig Platz beansprucht, um in Objektgehäusen von Mikroskopen untergebracht werden zu können, und daß die Probe elektrisch an wählbare Potentiale gelegt werden kann.
Diese Anforderungen erfüllt die erfindungsgemäße Vorrichtung. Sie ist dadurch gekennzeichnet, daß die Probe mittels Drähten am Rand einer topfartigen Vertiefung in einer Kollektor-Elektrode befestigt ist, wobei im Topfboden ein Loch für den Durchtritt eines Elektronenstrahls gelassen ist, der von einer Glühkathode emittiert und von einer diese bis auf ein Strahlaustrittsloch vollständig ungebenden zylindertopfförmigen Wehneltelektrode geformt wird. Vorzugsweise sind drei hitzebeständige Drähte zur Halterung der Probe vorhanden, die je einerseits in einem Paßloch in der Probe befestigt und andererseits auf den Rand der Kollektorelektrode punktgeschweißt sind. Diese Drähte dienen zugleich dem elektrischen Anschluß, so daß Kollektorelektrode und Probe auf ein gemeinsames Potential, vorzugsweise Erdpotential, gelegt werden können.
In einer bevorzugten Ausführungeform der Erfindung besteht die Glühkathode aus einem Wolframdraht, der im Bereich des Strahlaustrittslochs der Wehneltelektrode omegaförmig gebogen ist.
Nachfolgend wird die Erfindung mit Hilfe einer Figur näher erläutert, die einen Querschnitt durch eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zeigt. Eint tablettenförmige
BAD ORIGINAL 5?5/7O d/xiiT/]A58
109837/0916
Probe 1 von E.B. 6 mm Durchmesser und 2 mm Höhe ist mit Hilfe dreier Tantaldrähte 2 (von denen in der Figur einer sichtbar ist) in einer topfförmigen Vertiefung einer Kollektorelektrode βο gehalten, daß sie die Elektrode selbst nirgends berührt. Die Tantaldrähte sind in radiale Paßlöcher am Rand der Probe eingeführt und enden in Schweißpunkten am Topfrand der Elektrode 3· Dadurch ist die Probe mechanisch gehaltert, elektrisch an die Elektrode 3 angeschlossen und thermisch weitgehend von dieser isoliert.
Im Boden der topfförmigen Vertiefung ist ein zentrales Loch k vorhanden, durch das ein Elektronenstrahl auf die Probe gerichtet wird. Dieser Elektronenstrahl,geht von einer Wolframdraht-Kathode 5 aus, welche in einem als Wehneltelektrode wirkenden nahezu geschlossenen Metallgehäuse 6 angeordnet ist. Dieses Gehäuse besitzt nur ein Loch für den Durchtritt des Elektronenstrahls. Es ist über einen Anschluß 7 an ein Gleichspannungspotential gelegt, das je nach dem gewünschten Strahlstrom und des gewünschten Bündelungseffekts gewählt ist. Der Draht der Wolfram-Kathode 5 ist im Bereich des Lochs in der Wehneltelektrode omegaförmig gebogen und wird über zwei Anschlüsse 8 und 9 mit der Heizleistung und dem Kathodenpotential versorgt.
Evakuiert man die so beschriebene Vorrichtung z.B. auf 10"^ Torr, und legt man zudem ein geeignetes Kollektorpotential an einen Anschluß 10 der Kollektorelektrode, dann werden Elektronen aus der Glühkathode 5 emittiert und bilden einen Strahl, der auf die Rückseite der Probe 1 trifft und diese somit aufheizt.
Die gewählte Form der Wehneltelektrode zeichnet sich gegenüber einem üblichen Wehneltzylinder durch geringeren Baumbedarf und durch eine bessere Stabilität der Elektrodengeometrie gegenüber der unvermeidlichen Erwärmung aus.
525/70 d/XIII/l458 - if -
109837/0916
Die Betriebspotentiale für die Vorrichtung werden vorzugsweise so gslegt, daß die Probe auf Erdpotential liegt, damit Untersuchungen an der heißen Probe, wie z.B. emissionsmikroskopischer Art, nicht gestört werden. Das bedeutet, daß das Wehneltpotential und das Kathodenpotential entsprechend negativ zu wählen sind.
Me Erfindung ist nicht auf das dargestellte, praktisch erprobte Ausführungsbeispiel beschränkt, was die erwähnten Details der Materialwahl oder der Anwendung betrifft. Die Probtntempcratur kann nach Wunsch durch Variation des Strahlstroms eingestellt werden. Sie kann bis zum Schmelzpunkt von Kefraktärmetallproben gesteigert werden. Charakteristischer Betriebswert ist 2500° K.
BAD ORIGSNAL
525/70 d/XIII/lt»58 _ 5 _
109837/091 6

Claims (2)

Patentansprüche
1. Vorrichtung zum Aufheizen einer hochtemperaturfesten kleinen Metallprobe auf Temperaturen oberhalb 2000° C unter Vakuum, dadurch gekennzeichnet, daß die Probe mittels Drähten am Rand einer topfartigen Vertiefung einer Kollektor-Elektrode befestigt ist, wobei im Topfboden ein Loch für den Durchtritt eines Elektronenstrahls gelassen ist, der von einer Glühkathode emittiert und von einer diese bis auf ein Strahlaustrittsloch vollständig umgtbenden zylindertopf fb'rmigen Wehneltelektrode geformt wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß drei hitzebeständige Drähte zur Halterung der Probe vorhanden sind, die je einerseits in einem Paßloch in der Probe befestigt und andererseits auf dem Rand der Kollektorelektrode punktgeschweißt sind.
3* Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kollektorelektrode auf Erdpotential liegt, während die Kathode und die Wehneltelektrode entsprechend negativ vorgespannt sind.
k. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Glühkathode aus einem Wolframdraht besteht, der im Bereich des ,Strahlaustrittslochs der Wehneltelektrode omegaförmig gebogen ist.
BAD
ri/xrrr/ 1Λ58
] U 9 8 3 7 / 0 Π 1 6
Leerseite
DE19702010444 1970-02-27 1970-02-27 Vorrichtung zum aufheizen einer metallprobe Pending DE2010444B2 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DENDAT20108D DE20108C (de) 1970-02-27 Vorrichtung zum Schutze der Eisenbahnzüge bei Zusammenstöfsen
DE19702010444 DE2010444B2 (de) 1970-02-27 1970-02-27 Vorrichtung zum aufheizen einer metallprobe
NL7101759A NL7101759A (de) 1970-02-27 1971-02-10
BE762925A BE762925A (fr) 1970-02-27 1971-02-15 Appareil destine au chauffage d'un echantillon de metal
FR7106354A FR2079037A5 (de) 1970-02-27 1971-02-24
LU62672D LU62672A1 (de) 1970-02-27 1971-02-26

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19702010444 DE2010444B2 (de) 1970-02-27 1970-02-27 Vorrichtung zum aufheizen einer metallprobe

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2010444A1 true DE2010444A1 (de) 1971-09-09
DE2010444B2 DE2010444B2 (de) 1976-12-23

Family

ID=5764214

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DENDAT20108D Active DE20108C (de) 1970-02-27 Vorrichtung zum Schutze der Eisenbahnzüge bei Zusammenstöfsen
DE19702010444 Pending DE2010444B2 (de) 1970-02-27 1970-02-27 Vorrichtung zum aufheizen einer metallprobe

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DENDAT20108D Active DE20108C (de) 1970-02-27 Vorrichtung zum Schutze der Eisenbahnzüge bei Zusammenstöfsen

Country Status (5)

Country Link
BE (1) BE762925A (de)
DE (2) DE2010444B2 (de)
FR (1) FR2079037A5 (de)
LU (1) LU62672A1 (de)
NL (1) NL7101759A (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6733541B2 (en) 2001-03-15 2004-05-11 Kao Corporation Composition for the dyeing of human hair

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6733541B2 (en) 2001-03-15 2004-05-11 Kao Corporation Composition for the dyeing of human hair

Also Published As

Publication number Publication date
FR2079037A5 (de) 1971-11-05
BE762925A (fr) 1971-07-16
LU62672A1 (de) 1971-08-17
DE20108C (de)
NL7101759A (de) 1971-08-31
DE2010444B2 (de) 1976-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3752113T2 (de) Target zur Erzeugung von Röntgenstrahlen
DE3750524T2 (de) Glimmentladungs-Massenspektrometer.
DE2011615C3 (de) Glühkathode
DE3855897T2 (de) Verfahren zur Ionenimplantation
DE1589389B2 (de) Glimmentladungsroehre
Colby et al. Electrohydrodynamic ionization mass spectrometry
DE2010444A1 (de) Vorrichtung zum Aufheizen einer Metall probe
DE2612285A1 (de) Elektronengeraet
DE1929429A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Anregung eines spektrochemisch zu untersuchenden Materials
DE1598914C3 (de) Flammenionisationsdetektor
DE2334416A1 (de) Vorrichtung und verfahren fuer atomspektroskopie
DE1963689B2 (de) Hohlkathode für Spektrallampen
DE2554997A1 (de) Verfahren zum herstellen einer bindung zwischen metallen und festen elektrolytischen stoffen
Germer Arcing at electrical contacts on closure. Part IV. Activation of contacts by organic vapor
DD143178B1 (de) Hohlkatodenlampe fuer die emissionsspektralanalyse
DE2851743C2 (de) ElektronenstoBspektrometer
SU729692A1 (ru) Устройство дл наблюдени процессов на поверхности образцов
DE1863272U (de) Elektronenquelle mit indirekt geheizter kathode fuer an der pumpe arbeitende korpuskularstrahlgeraete.
DE974827C (de) Einrichtung zum Erzeugen von Ionen mittels einer Gluehanode im Vakuum
DE2201906C2 (de) Gerät zum Verdampfen flüssiger oder fester Proben in einem Photoelektronen-Spektrometer
DE1283401B (de) Indirekt geheizte Kathode fuer elektrische Entladungsgefaesse
US3958848A (en) Method of fabricating field desorption ion source
DE1539486A1 (de) Elektrische Gasentladungsroehre
DE1589389C (de) Glimmentladungsröhre
DE1589974C3 (de) Glühkathodenanordnung zur Erzeugung eines Elektronenstrahls hoher Intensität für Elektronenstrahl-Bearbeitungsgeräte