DE2837251C3

DE2837251C3 - Mikroskopobjektiv vom Gauss-Typ

Info

Publication number: DE2837251C3
Application number: DE19782837251
Authority: DE
Inventors: Toshifumi Hachiouji Tokio/Tokyo Uetake
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1977-08-26
Filing date: 1978-08-25
Publication date: 1986-12-04

Description

/74

/J₅

/76

45 S |v,-v₃1 + |V4-V₅| S 105
45 < Jv₁-V₃I + |v₄— v₆| < 105
0,5 < ln/ΐϊΙ < 1,6

2. Mikroskopobjektiv vom Gauß-Typ, dessen Frontlinsengruppe ein positives Linsenglied und ein bildseitig konkaves Linsenglied und dessen hintere Linsengruppe ein gegenstandsseitig konkaves Kittglied aus einer negativen und einer positiven Linse und eine positive Einzellinse enthält, gekennzeichnet durch die Ausbildung sowohl des positiven als auch des bildseitig konkaven Linsenglieds in der Frontlinsengruppe als Einzellinsen und ein bildseitig in der hinteren Linsengruppe angeordnetes weiteres aus drei Linsen bestehendes Kittglied sowie· durch Werte gemäß einer der Tabellen 2 bis 7, oder durch Werte, die durch Variation ausgehend von einem dieser Datensätze bei Wahl folgender Größen innerhalb der angegebenen Bereiche zu Objektiven mit gleicher Numerischer Apertur N.A., gleichem Arbeitsabstand W.D. und gleicher FA-Zahl führen:

45 < |vi-v₃| + |v₄-v₅|
0,5 < \_r6fn\ < 1,6

105

0,001

V₅-V₄

1,85 >/j, > 1.7

κ (JhZl) _/<3l5
0,5/ < (ΐμ±-) f < 2,5

|r„|

(4)
(5)
(6)

Die Erfindung bezieht sich auf ein Mikroskopobjektiv vom Gauss-Typ, dessen Frontlinsengruppe aus zwei Linsengliedern besteht, wobei das erste Linsenglied eine positive Einzellinse ist und dessen hintere Linsengruppc ein Kittglied und eine positive Einzellinse enthält.

Mikroskopobjektive vom Gauss-Typ sind bekannt z. B. aus den DE-OS 22 13 163 und 22 37 013. Es gibt jedoch kaum Objektive, die ein ebenes Bild bei einem weiten Gesichtsfeld in Verbindung mit einem langen ίο Arbeitsabstand und großer numerischer Apertur liefern. Darüberhinaus stellt die Korrektur von chromatischer Aberration ein schwieriges Problem für solche Objektive dar.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe is zugrunde, ein Mikroskopobjektiv vom Gauss-Typ anzugeben, das als Apochromat eine Ebenheit der Bildfläche über ein Ultraweit-Gesichtsfeld gewährleistet und das einen sehr langen Arbeitsabstand besitzt.

Dies wird erfindungsgemäß erreicht durch die in den 2i) Ansprüchen gekennzeichneten Merkmale.

Die Erfindung wird nun anhand erfindungsgemäßer Objektive mit Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert

In den Zeichnungen zeigt

2^r> F i g. 1 eine schematische Schnittansicht, die den Aufbau des Objektivs 1 veranschaulicht,

F i g. 2 Korrekturkurven des Objektivs 1,

Fig.3 eine schematische Schnittansicht, die den Aufbau des Objektivs 2 veranschaulicht,
ίο F i g. 4 Korrekturkurven des Objektivs 2,

F i g. 5 Korrekturkurven des Objektivs 3, F i g. 6 Korrekturkurven des Objektivs 4, F i g. 7 Korrekturkurven des Objektivs 5,

F i g. 8 Korrekturkurven des Objektivs 6,
j5 F i g. 9 Korrekturkurven des Objektivs 7.

Ein schwieriges Problem bei der Entwicklung eines Objektivs für Mikroskope ist die gute Korrektur chromatischer Aberration, d.h. es ist schwierig, ein Objektiv zu schaffen, bei dem chromatische Aberration zu einem Optimum korrigiert ist innerhalb des praktisch zulässigen Bereiches durch geeignete Wahl der Materialien für die Linsen und zweckmäßige Verteilung der Brechungsindizes auf die einzelnen Linsen.

Um chromatische Aberration zu korrigieren, ist es erforderlich, die Lichtdispersion in den an der Gegenstandsseite liegenden Linsen so niedrig wie möglich zu halten. In einem Objekt vom Gauss-Typ, bei dem die Strahlung unter großen Winkeln zur optischen Achse durchläuft, kann chromatische Aberration korrigiert werden durch Anordnung eines dicken Linsenglieds als Fronlglied des Objektivs.

Das Mikroskopobjekiiv nach der vorliegenden Erfindung ist als Gauss-Typ entwickelt, welcher von den fotografischen Objektiven her gut bekannt ist und ist so adaptiert, daß chromatische Aberration durch Verwendung eines dreilinsigen Kittgliedes als bildseitiges Linsenglied der einander mit konkaven Oberflächen gegenüberliegenden Linsenglieder oder als ein weiter hinten liegendes Linsenglied korrigiert wird.
mi Das Mikroskopobjekiiv nach der vorliegenden Erfindung weist so eine Front- und eine hintere Linsengruppe auf. Die Frontlinsengruppe enthält ein erstes positives Linsenglied und ein zweites meniskusförmiges Kittglied mit einer dem dritten Linsenglied zugewandten konkaven Oberfläche. Die hintere Linsengruppe enthält das dritte meniskusförmige Linsenglied mit konkaver Oberfläche zum genannten zweiten Linsenglied und ein viertes positives Linsenglied. Dabei

enthält die hintere Linsengruppe zumindestens ein dreilinsiges Kittglied, welches das dritte Linsenglied oder ein weiters Linsenglied sein kann.

Für die Erzielung eines guten Korrekturzustandes hat sich die Einhaltung der folgenden Bedingungen aus den nachstehend näher erläuterten Gründen als wesentlich erwiesen

0,12/ < Y^d/n < 0,35/

0,5 < I r₆/r_s I < 1,6

Darin bezeichnen

(1) ίο

(2)

(3)

15

Γ5 und r*

die Gesamtsumme der Verhältnisse zwischen Dicken und Brechungsindizes der Linsen des dritten Linsenglieds,
die Abbe-Zahl des ersten Linsenglieds,
die Abbe-Zahl der negativen Linse des zweiten Linsenglieds,

die Abbe-Zahl der negativen Linse des dritten Linsenglieds,

die Abbe-Zahl der positiven Linse des dritten Linsenglieds,

die Krümmungsradien auf der bildseitigen Oberfläche des zweiten Linsenglieds und jo der gegenstandsseitigen Oberfläche des dritten Linsenglieds.

Der Durchmesser des reellen Zwischenbildes in mm ist mit FA bezeichnet; vgl. hierzu auch G. Schröder, Technische Optik, Vogel-Verlag Würzburg 1974, S. 134—135 u. S. 148, sowie S. Flügge, Handbuch der Physik, Bd. XXIX, Verlag Springer 1967, S. 263.

Die Bedingung (1) ist wesentlich zur Korrektur von Koma, insbesondere bezüglich schräger Strahlung bei einem ultraweiten Gesichtsfeld mit einer Feldzahl von etwa 30. Wenn £d/n den unteren Grenzwert der Bedingung (1) unterschreitet, wird Koma beträchtlich und von großer Asymmetrie und zusätzlich kann chromatische Aberration nicht so gut korrigiert werden, wie es für Apochromate erforderlich ist. Wenn der obere Grenzwert der Bedingung (1) überschritten wird, wird andererseits chromatische Queraberration beträchtlich unterkorrigiert und weiter tritt Vignettierung für schräge Strahlung bei großem Bildfeldwinkel auf, wobei die Intensität der Randstrahlung ungenügend wird.

Die Bedingung (2) definiert die Gesamtdifferenz in der Dispersion für die achromatischen Linsen und ist wesentlich für einen guten Ausgleich von chromatischer Längsaberration mit chromatischer Queraberration bei dem Objektiv. Wenn

H*»in**r nie Hi* r iinti»rp C\r(*n-7vut*rt At*r

-t^r>

b0 beträchtlich überkorrigiert, wenn chromatische Queraberration ausreichend korrigiert ist und zusätzlich kann Unscharfe zur Verringerung des Bildkontrastes führen.

Die Bedingung (3) dient zur Ausbildung des Objektivs nach dem Gauss-Typ und zur Begrenzung der Krümmungsradien auf den einander gegenüberliegenden konkaven Flächen des zweiten und dritten Linsenglieds in einem Objektiv vom Gauss-Typ. Diese Bedingung ist wesentlich zur Korrektur von Bildfeldkrümmung. Wenn | rs/r_b | den oberen Grenzwert der Bedingung (3) überschreitet, wird die Pelzval-Summe so hoch, daß die Ebenheit der Bildfläche schlecht ist. Wenn I Γ5/Γ61 kleiner als der untere Grenzwert der Bedingung (3) ist, wird andererseits Koma beträchtlich, obwohl die Peizval-Summe auf ein Minimum herabgesetzt werden kann.

F i g. 1 zeigt ein Objektiv mit einer hinteren Linsengruppe, die aus einem dreilinsigen Kittglied als drittem Linsenglied und einem vierten positiven Linsenglied besteht, während Fig.3 ein Objektiv auf verbesserter Basis zeigt, bei dem als drittes Linsengüed ein zweilinsiges Meniskusglied verwendet wird und ein dreilinsiges Kittglied als fünftes Linsenglied in der hinteren Linserigruppe zugefügt ist. Dieses Objektiv zeichnet sich dadurch aus, daß es den Bedingungen (1) bis (3) aus den obenbeschriebenen Gründen genügt.

v„ in der Bedingung (2) betrifft dabei die Abbe-Zahl des zweiten Linsenglieds, da ein einlinsiges Linsenglied anstelle des Kittgliedes als zweites Linsengüed verwendet wird. In ähnlicher Weise betreffen v_p' und v_p' in der Bedingung (2) die Abbe-Zahlen der bildseitigen und der gegenstandsseitigen Linse des dritten Linsenglieds, da ein zweilinsiges Kittglied anstelle des dreilinsigen Kittglieds als drittes Linsengüed verwendet ist. Das Objektiv mit dem schematisch in Fig.3 gezeigten Aufbau ist so ausgelegt, daß es zusätzlich die folgenden Bedingungen für eine verbesserte Lösung der der Erfindung zugrundeliegenden Aufgabe erfüllt

V₅ -

0,001

1,85 > λ, > 1,7

(4)

(5)

0,2/ <A _{+ (}/_{s +} A₊A< o,8/ (6)

"J "4 "5

«5-1

1/-91

0,5 <

/<3,5

/<2,5

(7)

(8)

J η on η σ O\ ict

wird chromatische Queraberration beträchtlich unterkorrigiert, wenn chromatische Längsaberration zufrie- r₉und rn denstellend korrigiert ist und kann nicht durch das Kittglied korrigiert werden, wodurch es unmöglich ist, die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe zu lösen. Wenn der obere Grenzwert der Bedingung (2) c4 c4 und ι überschritten ist, wird chromatische Längsaberration die Krümmungsradien auf der bildseitigen

Oberfläche des dritten Linsenglieds und

der bildseitigen Oberfläche des vierten

Linsenglieds,

die Dicke des zweiten Linsenglieds und

der beiden Linsen des dritten Linsen-

<h

Π), /Jj, IH,

glieds, .

den Luftabstand zwischen zweitem

drittem Linsenglied,

und

V4 und V5
Θ4und θ₅

die Brechungsindizes des ersten Linsenglieds, des zweiten Linsenglieds, der beiden Linsen des dritten '.insenglieds und des vierten Linsenglieds,
die Abbe-Zahlen der beiden Linsen des dritten Linsenglieds,

Werte der beiden Linsen des dritten Linsenglieds, gegeben durch

θ ·

und

die Brennweite des Objektivs.

IO

15

²⁰ mungsradius zu ermöglichen, da ein kleiner Krümmungsradius unvermeidlich starke sphärische Aberration hervorruft. Wenn n\ kleiner als der untere Grenzwert der Bedingung (5) ist, wird sphärische Aberration beträchtlich. Wenn /j| den oberen Grenzwert der Bedingung (S) überschreitet, hat andererseits das erste Linsenglied einen sehr geringen Krümmungsradius und verliert die Funktion, andere Aberrationen zu korrigieren.

Die Bedingung (6) begrenzt die Bedingung (1) schärfer und ist wesentlich zur besseren Korrektur der Aberrationen, wie es schon in Verbindung mit der Bedingung (1) beschrieben ist.

Die Bedingungen (7) und (8) sind notwendig zur Korrektur von Astigmatismusdifferenz und Koma. Wenn die oberen Grenzwerte der Bedingungen (7) und (8) überschritten werden, wird Astigmatismus unterkorrigiert, während innere Koma beträchtlich auftritt.

Wenn

Die Bedingung (4) dient zur Herabsetzung des Sekundärspektrums der chromatischen Aberration auf ein Minimum, welches die Auflösung im Mittelfeld des Bildes beträchtlich herabsetzt, indem Materialien mit hoher Dispersion für die konvexe und konkave Linse des dritten Linsenglieds verwendet werden. Bei diesem Objektiv wird die vom ersten und zweiten Linsenglied hervorgerufene chromatische Aberration durch Wahl eines Materials mit einem großen Θ-Wert für die konvexen Linsen des dritten Linsenglieds und eines Materials mit einem kleinen Θ-Wert für die konkave Linse des dritten Linsengliedes korrigiert.

Die Bedingung (5) ist vorgesehen, um den ungünstigen Effekt auf sphärische Aberration bei großer Öffnung auf ein Minimum herabzusetzen, indem ein Material mit hohem Brechungsindex für das Frontlinsenglied verwendet wird. Konkreter ausgedrückt dient die Bedingung (5) dazu, ein Material mit hohem Brechungsindex zu wählen, um einen großen KrQm-

kleiner als die unteren Grenzwerte der Bedingungen (7) und (8) sind, wird die Astigmatismusdifferenz überkorrigiert und zusätzlich wird äußere Koma beträchtlich.

Das Objektiv mit dem in Fig.3 gezeigten Aufbau kann weiter durch Begrenzung der Bedingung (2) auf folgenden Bereich verbessert werden:

45< I Vi -Vi I + \v*-vs\ £90

Das Objektiv 1 hat die nachstehend in Tabelle 1 aurgeluhrten Konstruktionsdaten: Tabelle 1

/=	1,0 N.A.	= 0,16 JJ =	-4 X	W.D. = 0,7141	Vl	= 81,90	Si
							fj
η	= 0,4823						V' ■
		d, =	0,0814	n, = 1,49250			'■k
/1	= -1,1061				Vl	= 51,33
		di =	0,0044
O	= 0,2743				Vi	= 45,61
		cl_:, =	0,1278	n₂ = 1,65844
Λ)	= -3,7731						i.'
		d₄ =	0,0235	«3 = 1,53256			I
r_}	= 0,1584				Va	= 29,23
		d, =	0,1440
Λ>	= -0,1602				»'s	= 95,15	;·■■
		d„ -	0,0223	>U = 1,72825			I
Γη	= -20,3323				V(,	= 54,91
		di =	0,1579	n₅ = 1,43389			I
	= -1,3149
		d» =	0,0721	η«, = 1,63854
/·„	- -0.3140

Fortsetzung ,-„, = -4,8690 η, =0,4933

rf» =0,0044 rfiu = 0,0853

= 1,49250

v₇ = 81,90

Das Objektiv 2 hat die nachstehend in Tabelle 2 aufgeführten Konstruktionsdaten: Tabelle 2
/= 1,0 N.A. = 0,16 β = -4 X W.D. = 0,2736

/·, =0,6326

rf, =0,0624

r, = -1,5353 r₄ =0,2435 /■5 =0,1401 /■„ = -0,1409 r₇ = -1,5682 r» = -0,3138 r,„ = 4,8966 /■„ = -0,4277 r_I2 = 3,0712 r„ = -0,4846 /■u = -0,3910 i-Ls = -0,9323 6>4 = 0,5623

ih =0,0054 rf₄ =0,1373 rf₅ =0,1504 rf„ =0,2035 t/₇ =0,0817 rf., =0,0136 rf,o = 0,0817 rfu = 0,0054 rf,, = 0.0403 rf,., = 0,1150 </i4 = 0,0531

Θ, = 0,539

η, = 1,83400
/;., = 1,71300

«4 = 1,61340
«5 = 1,49700

n₇ = 1,43389

λ₈ = 1,64000
η,, = 1,49700
»ι,,= 1,52130

^Z^ = 0,000617

Das Objektiv 3 hat die nachstehend in Tabelle 3 aufgerührten Konstruktionsdaten: Tabelle 3

/=1,0 N.A. = 0,16 β = -4 X W.D. = 0,2753

r, =0,6773

r> = -1,5184

Π = 0,2418

r₅ =0,1415

r₍, = -0,1406

ih =0,0608

c/₂ =0,0055

rf, =0,1382

rf, =0,1516

rf₆ =0,2046

η, = 1,83400

η, = 1,72600

n₄ = 1,61340

V₅

= 37,19 = 53,89

= 43,84 = 81,60

V₇ = 95,15

»'S

60,09

81,60

= 52,55

37,19

v, = 53,56

»'4 =43,84

ίο

Fortsetzung	rf₇	= 0,0822	«j -	1,49700	V₅ = 81,60
η = -1,0627
	rf,	= 0,0137
λ, = -0,3129
	rf\|(l	= 0,0822	«7 =	1,43389	v₇ =95,15
r,u = 3,0907
	rfii	= 0,0055
/·,, = -0,4372
	rf.2	= 0,0414	«₈ =	1,65160	v₈ = 58,67
r_i2 = 3,4568
	d\i	= 0,1287	/», =	1,49700	V₉ = 81,60
r_l} = 0,4957
	du	= 0,0412	W₁₀ =	1,55781	V₁₁₁ = 53,85
r,4 = -0,3606
	05	= 0,539	<9₄-0 V₅-V₄	* = 0,000617
/•υ = -0,8637
Θ₄ = 0,5623

Das Objektiv 4 hat die nachstehend in Tabelle 4 aufgeführten Konstruktionsdaten: Tabelle 4

/= 1,0 N.A. = 0,16 β = -4 X W.D. = 0,2732 r, =0,6327

	= -1,4982	«ι	= U,U6Ü2	n, =	1,83400	V\|	= 37,19	I	= 81,60
								j
	= 0,2441	d₂	= 0,0054					= 43,84 I
								I
	= 0,1400	dA	= 0,1372	«1 =	1,72600	v,	= 53,56	= 95,15
rs
	= -0,1409	d%	= 0,1504
r_h
	= -1,4709	rf„	= 0,2031	«4 =	1,61340	Va	= 58,67
r₇
	= -0,3152	rf?	= 0,0816	"5 =	1,49700	V₅	= 81,60
ff
	= Ί,8481	rf₉	= 0,0136				= 52,55
fw
	= -0,4291	rfio	= 0,0816	ni =	1,43389 .	V₇
f\\
	= 3,0253	rfii	= 0,0054
rn
	= 0,4934	rf.2	= 0,0410	W₈ =	1,65160	V₈
f\z
	= -0,3929	dn	= 0,1276	IH =	1,49700	»'.)
f\A
	= -0,8983	rfl4	= 0,0408	. «10 =	1,52130	Vl(I
'15	= 0,5623
Θ_Α	0j	= 0,539	04-0	- = 0,000617

Π

Das Objektiv 5 hat die nachstehend in Tabelle 5 aufgerührten Konstruktionsdaten: Tabelle 5

/=1,0 N.A. = 0,16 β = -4 X W.D. = 0,2740 /·, =0,6480

r₂ = -1,4720 r₄ =0,2452
r₅ =0,1414
r„ = -0,1410 r₇ =-1,6897 λ, = -0,3145 r,„ = 5,6253
/·,, = -0,4267 r,₂ = 2,9647
r„ = 0,4937
r„ = -0,3936 fi₅ = -0,9338 04 = 0,5623

rf, =0,0604 rf₂ =0,0055 rf₄ =0,1376 rf_s =0,1508 rf,, =0,2036 rf₇ =0,0818 rf, =0,0136 rf„, = 0,0818 rf,, = 0,0055 rf,, = 0,0411 rf,3 = 0,1280 rf,4 = 0,0409

0, = 0,539

η ι = 1,83400

W₃ = 1,72600

«4 = 1,61340

/J₅ = 1,49700

/I₇ = 1,43389

w„ = 1,64000

/j,, = 1,49700
/J₁₀= 1,52130

v, = 37,19

V₃ =53,56

V₄ = 43,84

V₅ =81,60

V₇ =95,15

v_s = 60,09

»V =81,60

V₁₁, = 52,55

= 0,000617

Das Objektiv 6 hat die nachstehend in Tabelle 6 aufgeführten Konstruktionsdaten: Tabelle 6

/= 1,0 N.A. = 0,16 β = -4 X W.D. = 0,3055 r, =2,1020

	= -0,6814	rf.	= 0,0527	π, = 1,80400	ν, =46,80
η
	= 0,1957	d₂	= 0,0157
r₄
	= 0,1396	rf₄	= 0,1283	W₃ = 1,74320	V₃ =52,55

	= -0,1124	ds	= 0,2079
r_t,
	= -0,7695	d„	= 0,1545	n₄ = 1,59270	v₄ =33,56
/•7
	= -0,2295	rf₇	= 0,0695	/J₅ = 1,49700	V₅ =89,16
/9
	rf«	= 0.0166

14

Fortsetzung

Λο =4,9102
r„ = -0,5041
r_l2 = -7,3769

/-,j = 0,5607
Λ_Μ = -0,3267
r,5 = -0,6205
0, = 0,590

</,o = 0,0828 d_n = 0,0050 d_n = 0,0255

d_n = 0,1241 rfi4 = 0,0255

O₅ = 0,539 m = 1,62041 /J₈ = 1,61340

/ι» = 1,43389 «,ο= 1,61340

V₇ = 56,52

V₈ =62,43

v, =95,15 V₁₀ = 62,43

V₅-V₄

= 0,000917

Das Objektiv 7 hat die nachstehend in Tabelle 7 aufgeführten Tabelle 7

/=1,0 N.A. =0,16

λ, =0,4732

</, =0,0591

r₃ = -2,0957

r₄ =0,2435

r_s =0,1317

r₆ = -0,1313

r₇ = -0,6285

r₉ = -0,3001

T₁₁, = 1,7457

r,, = -0,4346

r,₂ - 3,4323

/-,3 = 0,4733

r,4 = -0,3464

/•15 = -0,6177

04 = 0,577

Konstruktionsdaten:

j»=-4X W.D. = 0,2677 «ι = 1,80610

rf, =0,0053 ti, =0,1344 </₅ =0,1475 d_b =0,1284 rf₇ =0,1516 tf₉ = 0,0053 d_M = 0,0879 d_u = 0,0053 </i2 = 0,0401 </,., = 0,1252 rf,4 = 0,0400

0₅ = 0,539 W₃ = 1,74320

«4 = 1,59551 n₅ = 1,49700

W₇ = 1,43389

/»„ = 1,62041 m, = 1,43389 η ι,, = 1,62041

^^ = 0,000902

ν, =40,95

V₃* =49,41

V₄ =39,21 v_s = 81,34

V₇ =95,15

v₈ =60,27 v₉ =95,15 v,o = 60,27

15 16

Darin bezeichnen

0 bis γ» die Krümmungsradien auf den Oberflächen der Linsen,
d\ bis d,_t die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände

zwischen diesen,

/Ji bis Πιο die Brechungsindizes der Linsen,
Vi bis νιο die Abbe-Zahlen der Linsen,

1 die Brennweite des Objektivs,

ΝΛ. die numerische Aperatur,

β die Vergrößerung,

W.D. den Arbeitsabstand und

O₄, θ₅ Werte der beiden Linsen des dritten Linsenglieds entsprechend

15

θ = ⁿi~ "r

rif - n_c

Von diesen Objektiven hat das Objektiv 1 den schematisch in Fig. 1 gezeigten Aufbau. Die Frontlinsengruppe besteht dabei aus einem ersten positiven Linsenglied und einem zweiten meniskusförmigen Kittglied, während die hintere Linsengruppe aus einem dritten, dreilinsigen Kittglied und einem vierten positiven Linsenglied bestehL Daher ist "Σ,ά/η gleich dtJn* + djlns+d»lrH, in Bedingung (1). In der Bedingung (2) Vp V_n Vp und V_n' V\ vj V5 und ve bzw. V₄. Daher bedeutet 45S I v_p-v_n I + I v_n'—H p'\ < 105 in der Bedingung (2) 45S I V1-V3I + |v₄-v₅ I S105 und 45<

I V| -Vj I + I V₄-V₆ I S 105.

Die Objektive 2 bis 7 haben den schematisch in F i g. 3 dargestellten Graundaufbau, bei dem die Frontlinsengruppe aus einem ersten positiven Linsenglied und einem zweiten meniskusförmigen Linsenglied besteht, während die hintere Linsengruppe aus einem zweilinsigen meniskusförmigen Kittglied als drittem Linsenglied, einem vierten positiven Linsenglied und einem dreilinsigen Kittglied als fünftem Linsenglied besteht. Daher bedeutet Σά/η in Bedingung (1) ck/nt + dj/ns und V₉, V_n, Vp und v„' in Bedingung (2) entsprechend v\, V3, Vs bzw. ίο V₄. Weiter sind dabei r^d^ih und V2 nicht verwendei, da das zweite Linsenglied aus einer Einzellinse besteht und auch r₈, <4 % und Vt sind nicht aufgeführt, da das dritte Linsenglied nur ein zweilinsiges Kittglied ist.

45

Hierzu 9 Blatt Zeichnungen

50

55

b0

65

Claims

Patentansprüche:

1. Mikroskopobjektiv vom Gauß-Typ, dessen Frontlinsengruppe aus einem ersten positiven Linsenglied und einem bildseitig konkaven Kittglied aus einer positiven und einer negativen Linse und dessen hintere Linsengruppe aus einem gegenstandsseitig konkaven Kittglied, enthaltend eine positive Linse und eine negative Linse und einer positiven Einzellinse besteht, gekennzeichnet durch eine Einzellinse als erstem positiven Linsenglied und eine weitere positive Linse am Kittglied in der hinteren Linsengruppe und durch Werte gemäß der Tabelle 1 oder durch Werte, die durch Variation ausgehend von diesem Datensatz bei Wahl folgender Größen innerhalb der angegebenen Bereiche zu einem Objektiv mit gleicher Numerischer Apertur NA^ gleichem Arbeitsabstand W.D. und gleicher FA-Zahl führen: