DE3011003C2 - Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Meßwerten an einem Werkstück - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Meßwerten an einem WerkstückInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung von Meß
werten an einem Werkstück mit einer Vorrichtung, die einen
Stützaufbau für eine Sonde enthält, um diese relativ zum zu
messenden Werkstück und relativ zu einer Einrichtung zum
kontinuierlichen Messen der Lage der Sonde in Bezug auf
einen Bezugspunkt zu bewegen, wobei die Sonde eine Einrich
tung zum Erzeugen eines Meßsignals bei Erreichen einer vorbe
stimmten Beziehung zu einer nahegelegenen Fläche des Werk
stücks besitzt.
Bei Verfahren dieser Art ist es zur Beschleunigung des Meß
vorgangs üblich, die Sonde schnell von einer zu messenden
Oberfläche zur nächsten zu messenden Oberfläche zu bewegen.
Diese Beschleunigung wird jedoch durch die dynamische Verbie
gung des Trage- oder Stützaufbaus begrenzt. Dies bedeutet,
daß dann, wenn das Signal erzeugt wird und die Sonde einer
Beschleunigung oder Abbremsung unterworfen ist, die Messung
einen anderen Wert ergibt, als wenn die Sonde sich mit
konstanter Geschwindigkeit bewegen würde. Wenn dieser Unter
schied eine bestimmte Toleranz überschreitet, wird die
Messung unbrauchbar.
Aus der DE 26 47 147 A1 ist ein Verfahren zur Kompensierung
von Meßfehlern bei einer Koordinatenmeßmaschine bekannt, die
durch eine statische Ausbiegung eines Führungsschlittens und
durch Luftspaltänderungen der Luftlagerung dieses Führungs
schlittens verursacht werden. Die statische Ausbiegung und
die Luftspaltänderungen entstehen dabei durch das Gewicht
einer am Führungsschlitten befestigten Konsole, durch das
Gewicht der längs dieser Konsole verschiebbaren Meßeinheit
sowie durch das wechselnde Gewicht der jeweils verwendeten
Abtastdorne. Die Meßfehlerkompensation wird bei dem bekann
ten Verfahren dadurch vorgenommen, daß die Spaltbreite der
Führungsschlitten-Luftlagerung soweit verändert wird, bis
sich der Abtastdorn wieder in der unverfälschten Posi
tion befindet. Eine Kompensation dynamisch bedingter Verfor
mungen ist dabei nicht vorgesehen.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein einfach und wirtschaftlich
zu realisierendes Meßverfahren zu schaffen, mit dem eine
hohe Genauigkeit der Meßwerte auch bei hohen Verfahrgeschwin
digkeiten der Meßvorrichtung gewährleistet werden kann.
Gelöst wird diese Aufgabe gemäß der Erfindung dadurch, daß
die durch die Beschleunigung verursachte dynamische Abbie
gung des Stützaufbaus, die auftritt, wenn die Sonde auf die
Fläche zu bewegt wird, zum Zeitpunkt der Abgabe des Meßsig
nals automatisch bestimmt wird.
Damit wird es möglich, die durch die Beschleunigung verur
sachte dynamische Abbiegung des Stützaufbaus zu ermitteln
und nachträglich die mittels der Sonde gemessenen Koordina
ten des Werkstücks zu korrigieren.
Eine bevorzugte Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
umfaßt eine Sonde mit einer Einrichtung zur Erzeugung eines
Meßsignals bei Erreichen einer vorbestimmten Beziehung zu
einer nahegelegenen Fläche des Werkstücks, einen die Sonde
abstützenden Aufbau zur Bewegung relativ zum Werkstück sowie
eine Einrichtung zur kontinuierlichen Messung der Lage der
Sonde während der Bewegung relativ zu einem gegebenen Bezugs
punkt, und diese Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, daß
eine Einrichtung zur Bestimmung einer der Beschleunigung des
Stützaufbaus entsprechenden Größe vorgesehen ist, so daß die
durch die Beschleunigung des Stützaufbaus verursachte Abbie
gung des Stützaufbaus zum Zeitpunkt der Abgabe des Meßsig
nals bestimmbar ist.
Die dynamische, durch die Beschleunigung verursachte Abbie
gung des Stützaufbaus kann dadurch bestimmt werden, daß
irgendein Parameter der Einrichtung, der durch die Geschwin
digkeitsänderung der Sonde beeinflußt wird, erfaßt wird. Die
bei der Erfassung des Parameters erzielten Meßergebnisse
werden in entsprechende Lageunterschiede der Sonde von der
Stelle, die sie im Ruhezustand oder im Zustand gleichmäßiger
Geschwindigkeit einnehmen würde, umgewandelt, und der Lage
unterschied wird dann zu dem vorhandenen, durch die Meßein
richtung aufgezeichneten Meßergebnis hinzugefügt oder von
ihm abgezogen.
Der Parameter kann die Sondenbeschleunigung sein, die
beispielsweise durch einen Beschleunigungsmesser an einem
sich bewegenden Teil der Einrichtung gemessen wird. Möglich
ist es auch, den entsprechenden Parameter zu messen durch
einen Dehnungsmeßstreifen an einem sich bewegenden oder
einem stationären Teil der Einrichtung oder durch ein Dreh
moment-Meßgerät an einer Welle oder durch ein Strommeßgerät
in einem zum Antrieb der Einrichtung benutzten Motor.
Weitere vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in
Unteransprüchen angegeben.
Die Erfindung wird nachfolgend beispielsweise anhand
der Zeichnung näher erläutert; in der Zeichnung zeigt:
Fig. 1 eine Seitenansicht der Meßeinrichtung,
Fig. 2 ein Blockschaltbild des verwendeten Meß
systems,
Fig. 3 einen vergrößerten Ausschnitt aus Fig. 1
mit Einzelheiten der Meßsonde und des
Beschleunigungsmessers, und
Fig. 4 ein Geschwindigkeitsdiagramm.
Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung enthält eine Sonde
10, die so abgestützt oder aufgehängt ist, daß sie sich
in Richtung der X-, Y- und Z-Achsen eines orthogonalen
Koordinatensystems bewegen kann. Zu diesem Zweck ist die
Sonde 10 an dem unteren Ende einer sich vertikal erstrecken
den Meßwelle 11 befestigt, die durch ein Lager 12 so abgestützt ist,
daß sie in der Z-Achse bewegbar ist, wobei das Lager 12
integral mit einem Schlitten 13 ausgeführt ist, der in der
X-Achsenrichtung an einem Balken 14 bewegbar ist. Dieser
Balken 14 ist wiederum an einer an einem Tisch 16 befestigten
Schiene 15 in Y-Achsenrichtung beweglich. Die Sonde 10
besitzt einen Griffel oder Stiel 17 mit einem sphärischen
Meßende 27, das an dem zu messenden Werkstück 8 angelegt
wird. Es wird angenommen, daß eine Messung in Richtung
der X-Achse ausgeführt werden soll, und zwar soll der
Abstand X1 zwischen einer Fläche 21 eines Bezugsblocks
22 und einer Fläche 23 des Werkstücks 8 bestimmt werden.
Dabei muß der Schlitten 13 längs der Schiene 14 mittels
einer Spindel 19 in Richtung der X-Achse bewegt werden;
die Spindel 19 wird dabei mittels eines an einem Ende
des Balkens 14 befestigten Motors 20 angetrieben. Die
Ermittlung des Meßergebnisses geschieht dabei mittels
eines optoelektronischen Meßkopfes 24, der an dem Schlitten
13 befestigt ist und sich mit diesem längs eines Maßstabes
25 bewegt, welcher an dem Balken 14 angebracht ist. Der
Abgabewert des Meßkopfes wird durch einen Zähler 26X er
faßt.
Dabei ist eine gleichartige motorgetriebene Spindel zur
Bewegung der Meßwelle 11 durch das Lager 12 hindurch vor
gesehen und eine weitere motorgetriebene Spindel zur Be
wegung des Balkens 14 längs der Schiene 15 vorgesehen;
die Sonde 10 wird zunächst durch diese nicht gezeigten
Antriebseinrichtungen in Richtung der Y- bzw. der Z-Achse
so bewegt, daß die Messung in Richtung der X-Achse an der
erforderlichen Stelle der Y- und Z-Richtung vorgenommen
wird. Zunächst wird der Motor 20 so betrieben, daß das
Meßende 27 gegen die Bezugsfläche 21 angelegt wird, und
der Zähler 26 wird auf das von der Sonde im Zeitpunkt der
Anlage des Meßendes 27 an der Fläche 21 abgegebene Signal
hin auf Null gestellt. Dabei ist Vorsorge getroffen, daß
die Sonde mit langsamer gleichförmiger Bezugsgeschwindigkeit
gegen die Fläche 21 bewegt wird, um eine Verfälschung der
Nullstellung durch Trägheitswirkungen zu vermeiden.
Gleichartige Null-Stellungsvorgänge werden in Bezug auf
die Y- und Z-Achsenrichtungen vorgenommen. Eine jede der
artige Betätigung schließt normalerweise ein Anhalten der
Sonde unmittelbar nach Ausführung der Messung und eine
Beschleunigung der Sonde zum nächsten Meßpunkt hin ein.
Nach diesem Nullstellungsvorgang ist die Vorrichtung zur
Ausführung aller Meßvorgänge bereit, die auf diese Null
stellung bezogen sind; die nachfolgend beschriebene Aus
führung eines Meßvorganges bezieht sich demnach auf die
Meßvorgänge von vielen solchen Vorgängen, oftmals Hunderten
von Vorgängen, die an einem komplizierten Werkstück aus
geführt werden müssen. Um diesen Ablauf wirtschaftlich
durchzuführen, müssen die einzelnen Arbeitsgänge in rascher
Reihenfolge ausgeführt werden. Je schneller die beweglichen
Teile in Bewegung gesetzt werden, umso größer ist dabei die
Möglichkeit, daß die Meßwerte durch Trägheitseinwirkungen
verfälscht werden. Darauf wird nun im einzelnen eingegangen.
Wenn der Motor 20 angetrieben wird, um den Schlitten in
Richtung der X-Achse von der Nullstellung oder irgendeiner
anderen Ruhestellung aus zu beschleunigen, wird das Teil
11, das im Gleichgewichtszustand eine Mittelachse 11A be
sitzt, durch die Trägheitskraft so gebogen oder verformt,
daß seine Mittellinie die gezeigte Lage 11B in Fig. 1 ein
nimmt. In diesem Zusammenhang kann das Teil als einseitig
eingespannter Balken angesehen werden, der an dem Lager 12
abgestützt ist und sich gegenüber dem Lager und dem Schlitten
13 verbiegt. Das Meßende 27, welches im Gleichgewichts
zustand die Stellung 27A einnimmt, gelangt unter Beschleu
nigungseinwirkung in eine Stellung 27B, die gegenüber der
Stellung 27A um einen Abbiegungsbetrag DX (in Fig. 1 über
trieben dargestellt) entfernt liegt. Der tatsächliche
Wert der Abbiegung DX kann in der Größenordnung von einigen
µm liegen. Das Meßende 27 legt sich deshalb später an das
Werkstück an, als es ohne Verbiegung des Teils 11 der Fall
wäre. Es wird angenommen, daß die Beschleunigung gleichmäßig
erfolgt, so daß die Geschwindigkeit der Sonde quadratisch
mit dem zurückgelegten Weg zunimmt und daß die Abbiegung
DX bis zum Zeitpunkt der Anlage an dem Werkstück ungeändert
geblieben ist. Zum Zeitpunkt der Anlage besitzt der Meß
kopf eine Stellung 24B statt der Gleichgewichtsstellung
24A. Der durch den Meßkopf aufgenommene Abstand X2 ist
deshalb um den Betrag DX größer als der eigentlich aufzu
nehmende Abstand X1.
Die Sonde 10 kann in irgendeiner Weise aufgebaut sein; es
muß eine Einrichtung vorhanden sein, die ein Signal 37
abgibt, wenn die Sonde, oder genauer ein Erfassungselement
der Sonde eine vorbestimmte Bezugslage zum Werkstück
einnimmt. Bei dem beschriebenen Beispiel ist das Erfassungs
element der Griffel oder Meßstift 17 mit seinem Meßende 27
und das Signal 37 wird durch in Fig. 3 dargestellte elek
trische Kontakte der Meßstiftlagerung erzeugt, durch die der Meßstift 17 in
einem Gehäuse 36 gehalten wird. Die Kontakte ändern den
Zustand eines elektrischen Kreises, wenn eine auf den
Meßstift einwirkende Kraft den Zustand der Kontakte ändert.
Das Signal 37 wird zum Anhalten des Motors 20 und zum
Einleiten des nächsten Meßschrittes verwendet. Das Signal
37 wird auch benutzt, um die augenblickliche Ablesung oder
den Zählwert im Zähler 26X an einen Hauptspeicher 28 eines
Rechners 29 zu übertragen, der zur Verarbeitung der durch
die Vorrichtung erzielten Meßwerte benutzt wird.
In der bisher beschriebenen Weise ist die Vorrichtung be
kannt und bildet nicht Teil der Erfindung. Es ergibt sich
jedoch aus der Beschreibung, daß die Beschleunigungswerte,
mit denen die Vorrichtung beaufschlagt werden kann, durch
die beschriebenen Ablenkvorgänge oder Verbiegungen beschränkt
werden.
Um diese Trägheitseffekte auszuschalten oder eine Beein
flussung der Meßergebnisse durch die Trägheitseffekte zu
beseitigen, wird durch die Erfindung eine Einrichtung zur
Erzeugung eines Signals geschaffen, welches anzeigt, daß
der Abstand DX ein zulässiges Minimum übersteigt. Bei
dem dargestellten Ausführungsbeispiel wird dazu ein Be
schleunigungsmesser 30 verwendet, der in der Nähe der
Sonde 10 oder in ihr selbst vorgesehen ist. In der Dar
stellung nach Fig. 3 umfaßt der Beschleunigungsmesser 30
eine bekannte Anordnung aus piezo-elektrischen Kristallen
31, die zwischen einer Grundplatte 32 und einer freien
Masse 33 angebracht sind. Drei Abgabemeßwerte 34X, 34Y
und 34Z, die insgesamt als das Ausgangssignal 34 be
zeichnet werden, werden von den Kristallen erhalten als
die elektrischen Ströme, die infolge von auf die Masse
33 in der X-, Y- bzw. Z-Richtung einwirkenden Kräften
erzeugt werden. Der Beschleunigungsmesser 30 ist in einem
Gehäuse untergebracht, das direkt zwischen dem Teil 11
und dem Gehäuse 36 der Sonde angebracht ist.
Das Gesamtausgangssignal 34, d. h. die drei Komponenten
34X, 34Y und 34Z werden jeweiligen Schwellwert-Verstärkern
38 zugeführt (von denen nur einer in Fig. 2 dargestellt ist),
deren Ausgangssignale 39 proportional der Größe der Signale
34 sind, wenn die Signale 34 einen vorbestimmten Grenz- oder
Schwellwert überschreiten, der einem verträglichen
Maximalabbiegewert des Teiles 11 entspricht.
Die Ausgangssignale 39 können so weiter verwendet werden,
daß sie auf einen Schalter 40 einwirken, um die Übertragung
des Zählwertes vom Zähler 26 zum Speicher 28 zu sperren und
ein Signal 41 abzugeben, das anzeigt, daß der Meßvorgang
mit geringerer Verschiebungsgeschwindigkeit wiederholt
werden soll. Diese Verwendung des Ausgangssignals des
Beschleunigungsmesser ist besonders dann vorteilhaft, wenn
der Motor 20 so eingeschaltet wird, daß die Bedienungsperson
mit Handschaltung auf das Teil 11 eine Kraft überträgt.
Falls jedoch die Vorrichtung durch ein Rechnerprogramm
betrieben und gesteuert wird, wird das nachfolgend
beschriebene System vorteilhafter sein.
Das Signal 34 wird an eine Digitalisiereinrichtung 42,
also einen Analog/Digitalwandler, angelegt, der die je
weilige Größe des Signals 34 in ein entsprechendes Binär
signal 43 wandelt. Das Signal 43 wird über einen Zwischen- oder
Pufferspeicher 44 und einen Dekoder 45 geleitet,
dessen Ausgangssignal 46 eine Adresse in einem Korrektur
speicher 47 bildet. Dieser Speicher enthält eine Liste
oder Tabelle von Abweichungswerten DX(n) der Abweichung
DX für entsprechende Werte des Signals 34X. Das Signal
37 wird an den Pufferspeicher 44 angelegt, um den augen
blicklichen Wert des Signals 37 durch den Dekoder 45
in den Speicher 47 zu übertragen, wobei dieser durch Aus
gabe des Wertes DX(n) reagiert, der an der entsprechenden
Adresse vorhanden ist; dieser DX(n)-Wert wird an einen
Subtraktor 48 übertragen. Dieser ist zwischen dem Zähler
26X und dem Speicher 28 eingefügt und so ausgelegt, daß
er die Differenz X2-DX(n) bildet, die den wahren Wert
des Abstandes X1 darstellt.
Die verschiedenen Werte DX(n) im Speicher 47 werden durch
einen Eichvorgang hergestellt. Dabei wird der Schlitten
13 so bewegt, daß die Sonde 10 in Eingriff oder in Anlage
mit einem Probestück, beispielsweise dem Werkstück 8,
kommt. Zuerst wird der Schlitten 13 mit der gleichen
geringen und gleichförmigen Geschwindigkeit angetrieben,
die beim Nullstellen des Zählers 26X am Bezugsblock 22
benutzt wird. Dadurch wird eine Basisablesung X2a im
Zähler 26 erhalten, die den wahren Abstand X1 darstellt.
Daraufhin wird der Schlittenlauf mehrmals mit zunehmend
größerer Beschleunigung wiederholt. Bei jedem Schlitten
lauf wird das Ausgangssignal X2n des Zählers 26 zum
Zeitpunkt der Abgabe des Signals 37 im Speicher 28 gegen
den Inhalt des Pufferspeichers 44 aufgezeichnet. Die
Differenzen X2n-X2a = DXn bei verschiedenen Werten von
X2n werden dann erzeugt und in den Speicher 47 an den
Speicherplätzen eingespeichert, deren Adressen den Ausgangs
signalen des Pufferspeichers 44 und des Dekoders 45
entsprechen. Dieser Eichvorgang der Vorrichtung kann
mit Hilfe des Rechners 29 leicht ausgeführt werden.
Die Beschreibung ist bisher auf die parallel zur X-Achse
gelegenen Richtungen bezogen. Ein gleichartiges System
ist für die Richtungen parallel zur Y-Achse vorgesehen.
Wegen der Steifheit des Teils 11 in Richtung der Z-Achse
wird normalerweise kein gleichartiges System für diese
Richtung gebraucht, jedoch ist in der Vorrichtung selbst
verständlich auch eine Skala, ein Ablesekopf und ein
Zähler für die Z-Achse vorhanden, wie sie für die X-Achsen
richtungen beschrieben sind. Der Zähler für die Z-Richtung
ist der Zähler 26Z in Fig. 2.
Um nun zu dem Eichvorgang der Vorrichtung zurückzukommen,
so ist zu sehen, daß unterschiedliche Werte DX(n) in
unterschiedlichen Bereichen des Koordinatenfeldes über
dem Tisch 16 erzeugt werden, da die Abbiegung DX um so
größer wird, je weiter die Sonde 10 vom Lager 12 entfernt
ist, d. h. je größer die unabgestützte Länge des Teils 11
ist. Deshalb wird die Vorrichtung für unterschiedliche
Höhen Z1 (Fig. 1) des Meßendes 27 über der Fläche des
Tisches 16 geeicht. Zu diesem Zweck wird der Zähler 26Z
(Fig. 2) über eine Teiler- oder Dividierschaltung 49
geschaltet, um ein Korrektursignal 50 in Abständen von
beispielsweise 15 cm während der Bewegung des Meßendes
von der geringsten bis zur höchsten Lage über dem Tisch
16 zu erzeugen. Die Eichung wird in jeweils einem dieser
Intervalle ausgeführt und das Signal 50 wird benutzt, um
mit einer Multiplexschaltung 51 das Dekoder-Ausgangssignal
46 zum richtigen Teilgebiet des Speichers 47 zu leiten.
In Fig. 4 ist die Geschwindigkeit der Sonde über ihrem
Weg aufgetragen, so daß der Beschleunigungsvorgang der
Sonde zwischen den Punkten A und B gezeigt ist. Über den
Weg kann eine gleichförmige Beschleunigung vorhanden
sein, um die Sondengeschwindigkeit mit entsprechend hoher
Rate auf ein Maximum zu bringen. Beim Erreichen dieses
Maximalwerts im Punkt B (entsprechend der größten Geschwin
digkeit, die der Motor 20 erreichen kann) schwingt die
Sonde zunächst infolge der Vibration des von dem Lager 12
abstehenden Teils 11 . Diese Schwingungsvorgänge klingen
ab und die Sondengeschwindigkeit erreicht beispielsweise
beim Punkt C einen gleichförmigen Wert. Der Beschleunigungs
messer 30 reagiert auf die Vibrationen
und korrigiert entsprechend die erhaltenen Ablesungen.
Alternativ kann der Beschleunigungsmesser dazu verwendet
werden, eine Ablesung mittels des Schalters 40 so lange
zu sperren, so lange die Oszillationswerte über einem brauch
werten Wert liegen.
Statt an der Sonde kann der Beschleunigungsmesser auch
an dem Schlitten 13 angebracht werden und es kann ein ent
sprechender Korrekturablauf, gleichartig mit dem beschrie
benen, aufgrund dieser Lage des Beschleunigungsmessers fest
gelegt werden. Statt eines Beschleunigungsmessers kann
auch an irgendeiner Stelle ein Dehnungsmeßstreifen ange
bracht werden, wenn diese Stelle in Abhängigkeit von der
Sondenbeschleunigung Verzerrungen unterworfen ist.
Der beschriebene Eichvorgang der Vorrichtung läuft so ab,
daß die Verschiebung der Sonde bei unterschiedlichen Be
schleunigungen gemessen werden. Es ist zu sehen, daß diese
Verschiebung durch den Rechner 29 aufgrund der Beschleu
nigung und der bekannten Biegeformeln errechnet werden
kann.
Der Rechner 29 ist ein elektronischer Digitalrechner, und
der Subtraktor 48 kann entweder als verdrahtete Schaltung
oder als Rechenanweisung vorliegen.
Claims (8)
1. Verfahren zur Bestimmung von Meßwerten an einem Werkstück
mit einer Vorrichtung, die einen Stützaufbau für eine Son
de enthält, um diese relativ zum zu messenden Werkstück
und relativ zu einer Einrichtung zum kontinuierlichen Mes
sen der Lage der Sonde in Bezug auf einen Bezugspunkt zu
bewegen, wobei die Sonde eine Einrichtung zum Erzeugen ei
nes Meßsignals bei Erreichen einer vorbestimmten Bezie
hung zu einer nahegelegenen Fläche des Werkstücks be
sitzt,
dadurch gekennzeichnet,
daß die durch die Beschleunigung verursachte dynamische
Abbiegung des Stützaufbaus (11), die auftritt, wenn die
Sonde (10) auf die Fläche (23) zu bewegt wird, zum Zeit
punkt der Abgabe des Meßsignals (37) automatisch bestimmt
wird.
2. Verfahren nah Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ausgangssignal der Meßeinrichtung zum Ausgleich
der Abbiegung korrigiert wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ausgangssignal der Meßeinrichtung gesperrt wird,
wenn die dynamische Abbiegung des Stützaufbaus (11) einen
vorbestimmten Grenzwert überschreitet.
4. Verfahren nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Meßvorgang mit geringerer Verschiebungsgeschwin
digkeit des Stützaufbaus (11) wieserholt wird.
5. Vorrichtung zur Bestimmung eines Meßwertes eines Werk
stücks, wobei
- a) eine Sonde (10) mit einer Einrichtung (52) zur Erzeu gung eines Meßsignals (37) bei Erreichen einer vorbe stimmten Beziehung zu einer nahegelegenen Fläche (23) des Werkstücks (18) vorgesehen ist,
- b) ein die Sonde (10) abstützender Aufbau (11) zur Bewe gung relativ zum Werkstück (18) vorgesehen ist,
- c) eine Einrichtung (24, 25) zur kontinuierlichen Messung der Lage der Sonde (10) während der Bewegung relativ zu einem gegebenen Bezugspunkt (21) vorgese hen ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Einrichtung zur Bestimmung einer der Beschleuni
gung des Stützaufbaus (11) entsprechenden Größe vorgese
hen ist, so daß die durch die Beschleunigung des Stütz
aufbaus (11) verursachte Abbiegung des Stützaufbaus (11)
zum Zeitpunkt der Abgabe des Meßsignals (37) bestimmbar
ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Einrichtung vorgesehen ist, um das Ausgangssig
nal der Meßeinrichtung (24, 25) in Abhängigkeit von der
Abbiegung zu korrigieren.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Schalter (40) vorgesehen ist, um das Ausgangssig
nal der Meßeinrichtung zu sperren, wenn die dynamische Ab
biegung des Stützaufbaus (11) einen vorbestimmten Grenz
wert überschreitet.
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