DE3119032C2 - Festkörper-Bildabtastvorrichtung - Google Patents

Festkörper-Bildabtastvorrichtung

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DE3119032C2 DE3119032A DE3119032A DE3119032C2 DE 3119032 C2 DE3119032 C2 DE 3119032C2 DE 3119032 A DE3119032 A DE 3119032A DE 3119032 A DE3119032 A DE 3119032A DE 3119032 C2 DE3119032 C2 DE 3119032C2
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Abstract

Es ist eine Festkörper-Bildabtastvorrichtung geschaffen, bei der die Erscheinung des Überstrahlens ohne eine Einbuße in anderen Kennwerten, wie die Empfindlichkeit, verhindert werden kann. Gemäß Fig. 2 wird das Überstrahlen dadurch verhindert, daß die Überstrahlungsladung, die infolge einer intensiven Lichteinstrahlung von fotoelektrischen Wandlerelementspalten (1) in die Ladungsübertragungselementspalten (2) überfließt, durch Ladungsübertragungselementspalten (2), Auswahl-Gatebereiche (24) und Überschußladungsabsorptionsbereiche (23) hindurch während einer Lichtsignalspeicherperiode nach außen abgeleitet wird. Bei der erfindungsgemäßen Festkörper-Bildabtastvorrichtung wird nach der Entfernung der Überstrahlungsladung die in den fotoelektrischen Wandlerelementspalten (1) vorhandene Signalladung aus einem Ladungsausgabebereich (4) über Ladungsübertragungselementspalten (2), Auswahl-Gatebereiche (24) und Speicherbereiche (22) ausgelesen, so daß es möglich ist, ein Bildsignal zu erhalten, das von der für die Bildwiedergabe äußerst nachteilhafte Wirkungen aufweisenden Überstrahlungsladung frei ist. Bei der erfindungsgemäßen Festkörper-Bildabtastvorrichtung werden die Ladungsübertragungselementspalten (2) sowohl als ein zur Bildung des Bildsignals erforderlicher Signalausleseweg verwendet als auch ein Abzugsweg für die Überstrahlungsladung, so daß keine Notwendigkeit zur Anbringung eines besonderen Antiüberstrahlungsmechanismus in der Umgebung des fotoelektrischen ................

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Festkörper-Bildabtestvorrichtung mit einem eine fotoelektrische Wandelementspalte und eine Ladungsübertragungselementspalte aufweisenden Bildabtastbereich, einem eine Ladungsübertragungsclementspalte aufweisenden Speicherbereich, einem Ladungsauslesebereich zum Auslesen einer in dem Speicherbereich gespeicherten Ladung, einem Überschußladungsabsorptionsbereich zur Absorption einer von einer fotoclektrischen Umwandlung in der fotoelektrischen Wandlerelenientspalte herrührenden Überschußladung, und einem M Auswahl-Gatebereich zur Übertragung der in der Ladungsübcrtragungselementspalte des Bildabtaslb1?- reichs vorhandenen Ladung zum Speicherbereich.
Ein einer bekannten Fcstkörper-Bildabtastvorriehtung (DE-OS 28.42 34b) zugrundeliegendes Prinzip ist *>5 anhand von Fig. la bis I c erläutert.
In Fig. la sind mit dem Bezugs/eichen 1 fotoelektrische Wandlerelementspaltcn bezeichnet, mit 2 Ladungsübertragungselementspalten zur Übertragung einer durch fotoelektrische Umwandlung erhaltenen Signalladung in der vertikalen Richtung, und mit 4 ein Ausleseregisterabschnitt, um die in den Ladungsübertragungselementspalten 2 vorhandene Signalladung zeilenweise auszulesen. Mit 3 ist ein Antiüberstrahlabschnitt oder Überlauf-Drainabschnitt bezeichnet, der für eine vertikale Übertragung jeweils parallel zu den Ladungsübertragungselementspalten 2 ausgebildet ist Ein die fotoelektrische Wandlerelementspaiten 1, Ladungsübertragungselementspalten 2 und Überlauf-Drainabschnitte 3 umfassender Bereich bildet einen Bildabtastbereich und es sind die Ladungsübertragungselementspalten 2 gewöhnlich gegen Licht abgeschirmt. Ladungen, die durch auf die fotoelektrischen Wandlerelementspaiten 1 eiaf.illendes Licht erzeugt werden, werden vorübergehend über eine konstante Zeitdauer gespeichert und sodann auf die Ladungsübertragungselementspalten 2 für eine vertikale Übertragung überführt, während die fotoelektrischen Wandlerelementspaiten 1 erneut mit der fotoelektrischen Umwandlung und Ladungsspeicherung beginnen. Die zur vertikalen Übertragung auf die Ladungsübertragungselementspalten 2 übertragenen Signalladungen werden für jede in das Register 4 zu überschiebende Zeile ausgelesen und sequentiell an einem Ausgäbeabschnitt 5 ausgjlesea Zu dieser Zeit tritt, wenn in dem fotoelektrischen Wandlerabschnitt eine die Sättigungsladung der fotoelektrischen Wandlerelemente überschießende Ladung erzeugt wird, das gewöhnlich als Überstrahlen bezeichnete Phänomen auf. d. h. ein Überlauf der Überschußladung auf die Umgebung. Die Antiüberstrahlungsbereiche 3 sind zu dem Zweck vorgesehen, ein Übertreten der Überlaufladung zu den Ladungsübertragungselementspalten 2 oder den nahegelegenen fotoelektrischen Wandlerelementen zu verhindern. Gewöhnlich weisen sie eine Überlauf-Drainstruktur auf, in der ein Drainbereich zum Abzug von Überlaufladung vorgespannt ist. Fig. 1b stellt eine Schnittansicht zur Darstellung des Verfahrens zur Verhinderung des Überstrahlens mit Hilfe der Überlauf-Drainstruktur dar. Mit dem Bezugszeichen 6 sind Überlauf-Drainabschnitte zum Abziehen der Überlaufladung bezeichnet, mit 7 Kanalsperrabschnitte, mit 8 eine begrabene Schicht eines Ladungsübertragungselementes, mit 9 dazu gehörige Übertragungselektroden und mit 10 fotoelektrische Wandlerabschnitte, die beispielsweise durch PN-Flächendioden gebildet sind. Mit dem Bezugszeichen 11 sind Potentialabgleichelektroden für die Überlauf-Drainabschnitte 6 und die foioelektrischen Wandlerabschnitte 10 bezeichnet und mit 12 Elektroden zur Steuerung der Ladungsübertragung zwischen den fotoelektrischen Wandlerabschnitten 10 und den Ladungsübertragungselementspalten 2. In Fig. Ic ist die in den verschiedenen Teilen der in F i g. 1 dargestellten Vorrichtung entwickelte Potentialverteilung dargestellt. Mit dem Bezugszeichen 16 ist ein unter den Steuerelektroden 12 herrschendes Potential bezeichnet, mit 17 ein unter den Überlauf-Potentialabgleichelektroden 11 herrschendes Potential, mit 18 ein Potential vorgespannter Überlauf-Drainabschnitte. mit 19 ein Potential an den Kanalsperrabsehnitien 7. mit 20 ein Potential an den fotoelektrischen Wandlcrabschnitten 10 und mit 21 ein Potential an den Ladungsübcrtragungselementcn 8. In diesem Zustand wird eine durch in das Substrat eintretendes Lieht erzeugte Ladung in den fotoelektrischen Wandlerabschnitten 10 gespeichert und das dort bestehende Potential nahen sieb,
schließlich dem Überlauf-Abgleichelektrodenpotential 17 und geht darüber hinaus, wodurch ein Oberlauf von Ladung zu den Oberlauf-Drainabschnitten 6 hervorgerufen wird. Da das Potential 16 zwischen den fotoelektrischen Wandlerabschnitten 10 und den Ladungsübertragungselementabschnitten 8 weniger tief ist als das Überlauf-Abgleichelektrodenpotential 17, fließt die Überschußladung niemals zu einem Potent'alwall 21 in den Ladungsübertragungselementspalten 2. Sicherlich kann das Überstrahlen durch die Anbringung der Überlauf-Drainabschnitte 6, wie in der obigen Ausführung, verhindert werden. Durch die Ausbildung der Überlauf-Drainbereiche 6 wird jedoch die effektive Fläche der fotoelek irischen Wandlerabschnitte 10 um den Betrag schmäler, der den Bereichen entspricht, in denen die Überlauf-Potentialabgleichelektroden 11 und auf die Überlauf-Drainbereiche 6 ausgebildet sind. Folglich ist die effektive Empfindlichkeit der Vorrichtung herabgesetzt Zusätzlich ist die Anbringung der Überlauf-Drainbereiche 6 vom Standpunkt einer Größenverringerung des Bildabtastbereichs vorteilhaft. Beispielsweise besitzt bei der Ausbildung einer Bildabtastvorrichtung, bei der Bildelemente zu 500 Elementen in der vertikalen Richtung und ungefähr 400 Elemente in der horizontalen Richtung in einer Bildabtastbereichsgröße entsprechend einem optischen System von 2/3 Inch angeordnet sind, ein einzelnes Bildelement die Abmessungen von 13,5 μιη in der vertikalen Richtung χ 23 μΐη in der horizontalen Richtung. In diesem Fall beträgt, wenn die Abmessung des Überlauf-Drainabschnittes auf 4 μιη, die Abmessung der Überlaufpoten tialabgleichelektrode 11 auf 4 μιη und die Abmessung des Kanalsperrabschnitts 7 auf 4 μπι eingestellt wird, in der horizontalen Richtung die Abmessung des verbleibenden Bereichs nur 11 μπι, innerhalb dessen der fotoelektrische Wandlerabschnitt 10 und der Ladungsübertragungselementabschnitt 8 ausgebildet werden müssen. In eine.n derartigen Fall ist daher die Empfindlichkeit gering, und es ist auch unmöglich, ein hohes Ladungsniveau einzustellen, so daß keine hochwirksame Bildabtastvorrichtung erhalten werden kann.
Bei einer als bekannt geltenden Festkörper-Bildabtastvorrichtung der eingangs genannten Art (DE-OS 30 21 470) sind jeder Ladungsübertragungselementspalte jeweils zwei fotoelektrische Wandlerelementspalten zugeordnet, die sich beidseits der Ladungsübertragungselementspalte erstrecken. Zwar wird hierdurch eine gewisse Platzersparnis auf dem Bildabtastbereich erreicht, doch sind als bekannt geltenden Festkörper-Bildabtastvorrichtung die Überschußladungsabsorptionsbereiche jeweils zwischen zwei benachbarten fotoelektrischen Wandlerelementspalten ebenfalls auf dem Bildabtastbereich angeordnet, so daß die Üborschußladung unmittelbar von den fotoelektrischen Wandlerelementspalten in die Überschußladungsabsorptionsbereiche hinüberfließen kann. Der Auswahl-Gatebereich ist jeweils an einem Ende der Ladungsübertragungselementspalte des Bildabtastbereichs angeordnet und dient lediglich dazu, die von der auf der einen Seite der Ladungsübertragungselementspalte des Bildabtastbereichs angeordneten fotoelektrischen Wandlerelementspalte herrührenden Signalladungen von denen aus der anderen fotoelektrischen Wandlerelementspalte herrührenden Signalladungen zu trennen. Da bei dieser als bekannt geltenden Festkörper-Bildabtastvorrichtung die Überschußlidungsabsorptionsbereiche zwischen den fotoelektrischen Wandlerelementspalten auf dem Bildabtastbereich angeordnet sind, ist die effektive lichtaufnehmende Oberfläche des Büdabtastbereichs verringert
Schließlich ist bei einer anderen als bekannt
% geltenden Festkörper-Bildabtastvorrichtung (DE-OS 31 01 803) jeweils zwischen der fotoelektrischen Wandlerelementspalte und der Ladungsübertragungselementspalte auf dem Bildabtastbereich eine Anzahl von Überschußabsorptionsbereichen angeordnet, die an
ι» eine äußere Elektrode angeschlossen sind. Die von der Wandlerelementspalte herrührenden Überschußladungen werden dabei durch eine an die Überschußladungsabsorptionsbereiche angrenzende Überstrahlungssteuerelektrode in die Überschußladungsabsorptionsbereiche überführt und über die äußere Elektrode aus dem Bildabtastbereich abgeleitet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Festkörper-Bildabtastvorrichtung der eingangs genannten Art dahingehend auszubilden, daß Überstrahlungs-
2(i erscheinungen hervorrufende Überschußladungen ohne eine Notwendigkeit zur Verringerung der effektiven lichtaufnehmenden Oberfläche des Bildabtastbereichs beseitigt werden.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst,
daß die Überschußladung durch die Ladungsübertragungselementspalte hindurch dem Auswahl-Gatebereich zuleitbar ist, der sie selektiv in den Überschußladungsabsorptionsbereich ableitet.
Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind
jo in den Unteransprüchen angegeben.
In der folgenden Beschreibung ist die Erfindung anhand einiger Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Hierin zeigen
Fig. la bis Ic eine Aufsicht, eine Teilschnittansicht bzw. ein Potentialdiagramm einer Fremdkörper-Bildabtastvorrichtung nach dem Stand der Technik,
F i g. 2 eine einen grundlegenden Aufbau darstellende Aufsicht einer Festkörper-Bildabtastvörrichtung,
Fig.3 eine eine Ausführungsform der Festkörper-Bildabtastvorrichtung darstellende Aufsicht,
Fig.4 ein den Betrieb dieser Ausführungsform erläuterndes Wellendiagramm, und
Fig.5 eine eine weitere Ausführungsform der Festkörper-Bildabtastvorrichtung darstellende Aufsieht.
Bei einer Festkörper-Bildabtastvorrichtung vom Ladungsübertragungstyp erfolgt durch die zum Zeitpunkt der fotoelektrischen Umwandlung aus den fotoelektrischen Wandlerelementspalten überfließende
so Überschußladung eine nachteilige Beeinflussung der zu dieser Zeit in den den fotoelektrischen Wandlerelementspalten benachbarten Ladungsübertragungselementspalten vorhandenen Signalladungen. Es ist daher ein Aufbau erforderlich, bei dem die Überschußladung in einen Überlaufdrain abgezogen oder absorbiert wird, so daß sie nicht in die Ladungsübertragungselementspalten hineinfließt. Aus dieser Erwägung heraus ist es, um die Wirkung der aus den fotoelektrischen Wandlerelementspalten überlaufenden Überschußladung auf die in den Ladungsübertragungselementspalten vorhandene Signalladung zu beseitigen, wüijschenswert, die Ladungsübertragungselementspalten zur Zeit der fotoelektr'schen Umwandlung von Signalladung freizuhalten. Um dies zu erreichen, sind zur Zeit der fotoelektrischen Umwandlung von den Ladungsübertragungselementspalten entkoppelte Speicherbereiche vorgesehen, in die die Signalladungen von den Ladungsübertragungselementspalten zur dortigen Spei-
cherung zu übertragen sind. Nachdem die Signalladungen zu den Speicherbereichen übertragen sind, brauchen die Ladungsübertragungselementspalten die Funktion der Speicherung der zu übertragenden Signalladungen nicht mehr aufzuweisen und können daher als eine verschiedene Funktion aufweisende Bereiche verwendet werden, d. h. daß sie als die vorerwähnte Überlauf-Drainbereiche verwendet werden können.
Fig. 2 zeigt einen grundlegenden Aufbau einer eine derartige Funktion aufweisenden Festkörper-Bildabtastvorrichtung. In F i g. 2 sind Bereiche 22 zur Speicherung der von den fotoelektrischen Wandlerelementspalten 1 bei der fotoelektrischen Umwandlung herrührenden Signalladungen zwischen einem die fotoeiektrischen Wandiereiementspaiten i und die Ladungsübertragungselementspalten 2 aufweisenden Bereich und einem von einem Registerbereich gebildeten Ladungsauslesebereich 4. Während der durch die fotoelektrischen Wandlerelementspalten 1 und die Ladungsübertragungselemente 2 gebildete Bereich einen von dem einfallenden Licht bestrahlten Bildabtastbereich bildet, stellen die Speicherbereiche 22 Zwischenspeicherbereiche zur Übertragung der Signalladungen zum Ladungsauslesebereich 4 dar. Daher ist dieser Bereich gegen Licht abgeschirmt. Zwischen dem Bildabtastbereich 1, 2 und den Speicherbereichen 22 sind Auswahl-Gatebereiche 24 vorgesehen, die die Signalladungen von den Ladungsübertragungselementspalten 2 zu den Speicherbereichen 22 übertragen und die aus den fotoelektrischen Wandlerelementspalten 1 und damit aus den Ladungsübertragungsspalten 2 überfließende Überschußladungen in von vorgespannten Drainbereichen 23 gebildete Überschußiadungsabsorptionsbereiche ableiten. Ein Ausgangsanschluß ist unter dem Bezugszeichen 5 dargestellt.
Die in F i g. 2 dargestellte und vorstehend beschriebene Festkörper-Bildabtastvorrichtung wird zur zweidimensionalen Bildabtastung verwendet. Zum Zwecke einer eindimensionalen Bildabtastung werden dagegen eine einzige fotoelektrische Wandlerelementspalte 1, Ladungsübertragungselementspalte 2, Speicherbereich 22, vorgespannter Drainbereich 23, Auswahl-Gatebereich 24 und Ausleseregisterbereich 4 verwendet.
Auf die fotoelektrischen Wandlerelementspalten 1 einfallendes Licht verursacht eine Erzeugung von Ladungen in einem Substrat, und die Ladungen werden in dem Substrat gespeichert. Über das Sättigungsladungsniveau hinausgehend erzeugte Überschußladungen fließen in die Ladungsübertragungselementspalten 2 über. Die überfließenden Überschußladungen breiten sich durch Diffusion längs der Ladungsubertragungseiementspahen 2 aus und treten durch die Auswahl-Gatebereiche 24 hindurch, um in die vorgespannten Drainbereiche 23 abgezogen zu werden. Nach einer vorbestimmten fotoelektrischen Umwandlungsperiode werden die in den fotoelektrischen Wandlerelementspalten 1 gespeicherten Ladungen zu den Ladungsübertragungselementspalten 2 übertragen, wobei jedoch eine große Menge von Überschußladungen in den Ladungsübertragungselementspalten 2 verbleibt da sie durch Diffusion zu den vorgespannten Drainbereichen 23 übertragen werden. Um die Restladungen hinauszufegen, wird an die Ladungsübertragungselementspalten 2 ein Spannungsimpuls angelegt wodurch die Restladungen innerhalb einer kurzen Zeitspanne in die vorgespannten Drainbereiche 23 hinausgefegt werden. Nach dieser Operation werden die in den fotoelektrischen Wandlerelementspalten 1 vorhandenen Signalladungen den Ladungsübertragungselementspalten 2 zugeführt. Die den Ladungsübertragungselementspalten 2 zugeführten Signalladungen werden durch die Auswahl-Gatebereiche 24 hindurch innerhalb einer kurzen Zeitspanne zu in den Speicherbereichen 22 vorhandenen Ladungsübertragungselementspalten übertragen. Zur Zeit der Übertragung der Signalladung sind die Auswahl-Gatebereiche 24 in einen offenen Zustand gesteuert, um die Ladungen zu den Speicherbereichen 22 zu übertragen, während sie hinsichtlich der vorgespannten Drainbereiche 23 gesperrt sind. Die zu den Speicherbereichen 22 übertragenen Signalladungen werden zeilenweise zum Ausleseregister 4 für einen sequentiellen Lesevorgang übertragen. Während die in den Speicherbereichen 22 vorhandenen Ladungen aus dem Ausleseregister 4 ausgelesen werden, findet in den fotoelektrischen Wandlerelementspalten 1 die Erzeugung von Ladungen durch das einfallende Licht und deren Speicherung statt, und die Ladungsübertragungselementspalten 2 dienen als ein Kanal, durch den die aus den fotoelektrischen Wandlerelementspalten 1 herrührende Überschußladung zu den vorgespannten Drainbereichen 23 übertragen wird. Zu dieser Zeit dienen die Ladungsübertragungselementspalten 2 dazu, Überschußladungen zu den vorgespannten Drainbereichen 23 hinaus zu fegen, indem lediglich ihre Übertragungselektroden (nicht dargestellt) mit einer konstanten Spannung vorgespannt sind und es kann, um die Wirkung des Hinausfegens zu erhöhen, ein Spannungsimpuls angelegt werden, um die Überschußladungen zwangsweise zu den vorgespannten Drainbereichen 23 hinauszufördern.
F i g. 3 zeigt einen Aufbau einer Ausführungsform der Festkörper-Bildabtastvorrichtung. Die fotoelektrischen Wandlerelementspalten 1 sind durch PN-Flächendioden gebildet und die Ladungsübertragungselementspalten 2 sind durch Ladungsverschiebeelemente (CCDs) gebildet. Mit dem Bezugszeichen 12 sind Elektroden zur Übertragung der Signalladungen von den fotoelektrischen Wandlerelementspalten 1 zu den Ladungsübertragungselementspalten 2 bezeichnet, mit 7 ein Kanalsperrbereich zur Abtrennung jedes Wandlerelementes in der horizontalen Richtung, wobei der Kanalsperrbereich 7 mit Ausnahme der Überlauf-Drainabschnitte denselben Aufbau aufweist wie bei der bekannten Bildabtastvorrichtung, mit 25 eine Übertragungselekirode zur Übertragung der in den Ladungsübertragungselementspalten t des Bildabtastbereiches vorhandenen Signalladungen zu den Ladungsübertragungselementspalten der Speicherbereiche 22, und mit 26 von den fotoeiektriiciien Wandlere'ernenteri 1 zu den Drainbereichen 23 reichende Gateelektroden zur Übertragung der von den Ladungsübertragungselementspalten herrührenden Überschußladungen. Die i Ladungsübertragungselementspalten der Speicherbe- j; reiche 22 sind mit derselben Zahl von Übertragungselek- J troden versehen wie die Ladungsübertragungselement- ξ, spalten 2 der Bildabtastbereiche, und diese Übertra- % gungselektroden können durch zweiphasige Zeittaktim- ; pulssignale ausgesteuert werden. J
In Fig.4 ist ein Beispiel für einen Satz von Impulssignalen dargestellt die in der vorliegenden Ausführungsform von (nicht dargestellten) Signalquellen geliefert werden. Mit 0,-;, 0vi, 0s 1 und 0,j sind Spannungsimpulse bezeichnet die an die Übertragungselektroden in den Ladungsübertragungselementspalten der Bildabtastbereiche I1 2 und der Speicherbereiche 22 angelegt sind, mit 0 pt Spannungsimpulse, an
die Elektroden 12 zur Übertragung der Signalladung von den fotoelektrischen Wandlerelementspalten 1 zu den angrenzenden Ladungsübertragungselementspalten 2 angelegt sind, mit 0 vr Spannungsimpulse, die an die Übertragungse Übertragungselektroden 25 zur Übertragung der Signalladung von den Ladungsübertragungselementspalten 2 des Bildabtastbereiches zu den Ladungsübertragungselementspalten der Speicherbereiche 22 angelegt sind, und mit 0qo Spannungsimpulse, die an die Elektroden 26 zur Übertragung der Überschußladung von den Ladungsübertragungselementspalten 2 des Bildabtastbereichs zu den vorgespannten Drainbereichen 23 angelegt sind. Während einer Periode ii sind die Spannungsimpulse 0od zur Übertragung der in den Ladungsübertragungselementspalten 2 des Bildabtastbereichs vorhandenen Restladung zu den vorgespannten Drainbereichen 23 angelegt, während einer nachfolgenden Periode h sind die Elektroden 12 zur Übertragung der Signalladungen von den fotoelektrischen Wandlerelementspalten 1 zu den angrenzenden Ladungsübertragungselementspalten 2 offen gesteuert, und während einer nachfolgenden Periode f3 sind die Spannungsimpulse 0si, 0S2 zur Ladungsübertragung von den Ladungsübertragungselementspalten 2 des Bildabtastbereichs zu den Ladungsübertragungselementspalten des Speicherbereichs 22 angelegt. Während dieser Periode f3 ist an die Übertragungselektrode 25 ein Impuls 0 \τ angelegt, so daß Ladungen zu der Ladungsübertragungselementspalte 2 des Bildabtastbereichs und zu der Ladungsübertragungseiementspalte des Speicherbereichs 22 übertragen werden. Zu dieser Zeit werden die Elektroden 26 geschlossen gehalten und sie werden, nachdem die Signalladung des Bildabtastbereichs zu den Speicherbereichen 22 übertragen worden ist, geöffnet, um die vorgespannten Drainbereiche 23 und die Ladungsübertragungselementspalten 2 des Bildabtastbereichs 1,2 zu koppeln. Zu dieser Zeit sind die Übertragungselektroden 25 geschlossen gehalten. Während bei dem oben beschriebenen Betrieb die im Bildabtastbereich 1, 2 vorhandene Restladung zu den vorgespannten Drainbereichen 23 übertragen wird, ist es auch möglich, die Ladung durch die Speicherbereiche 22 und den Registerbereich 4 zu dem Ausgabeabschnitt hinauszufegen. Die Perioden fi, f? und ti sind derart gewählt, daß sie innerhalb der vertikalen Rücklaufperiode liegen, während der kein abgetastetes Bild auftritt.
Bei der vorstehend erwähnten Ausführungsform kann, da die fotoelektrischen Wandlerelementspalten 1 nicht durch die Anbringung; eines Überlaufdrain verengt sind, im Vergleich zu der den Überlaufdrain aufweisen-
to den bekannten Bildabtastvorrichtung die Empfindlichkeit vorteilhaft ohne eine wesentliche Änderung in der Überstrahlungs-Unterdrückungswirkung verdoppelt werden. Ferner wurde nachgewiesen, daß das Überstrahlen bis zu einer Lichtintensität, die ungefähr dem lOOfachen der Sättigungsbelichtung der fotoelektrischen Wandiereiemente entspricht, unterdrückt werden konnte.
In Fig.5 ist eine weitere Ausführungsform dargestellt, bei der ein vorgespannter Drainbereich 27 auch an der oberen Seite des Bildabtastbereichs (entgegengesetzt zu den Speicherbereichen) vorgesehen ist, so daß die von den Ladungsübertragungselementspalten 2 des Bildabtastbereichs herrührenden Überschußladungen auch in den Drainbereich 27 hinein abgezogen werden können. Bei diesem Aufbau wurde festgestellt, daß die Überstrahlungs-Unterdrückungswirkung im wesentlichen die gleiche ist wie bei der vorhergehenden Ausführungsform von Fig.4, jedoch konnte ein zusätzlicher Effekt einer Unterdrückung der Ladungs-
jo ausbreitung nach dem Überstrahlen erhalten werden.
Bei dem Aufbau dieser mit dem Drainbereich 27 versehenen Ausführungsform ist es möglich, das Hinausfegen der Restladung zum Drainbereich 27 vor der Übertragung der Signalladung von den fotoelektrisehen Wandlerelementen 1 zu den angrenzenden Ladungsübertragungselementspalten 2 zu bewirken. In diesem Fall müssen die Ladungsübertragungselementspalten 2 des Bildabtastbereichs einen 3- oder 4phasigen Aussteuerungsaufbau aufweisen, der die Fähigkeit zur Änderung der Richtung der Ladungsübertragung besitzt
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Festkörper-Bildabtastvorrichtung mit einem eine fotoelektrische Wandlerelementspalte (1) und eine Ladungsübertragungselementspalte (2) aufweisenden Bildabtastbereich, einem eine Ladungsübertragungselementspalte aufweisenden Speicherbereich (22), einen Ladungsauslesebereich (4) zum Auslesen einer in dem Speicherbereich (22) gespeicherten Ladung, einem Überschußladungsabsorp- to tionsbereich (23) zur Absorption einer von einer fotoelektrischen Umwandlung in der fotoelektrischen Wandlerelementspalte (1) herrührenden Überschüßladung, und einem Auswahl-Gatebereich (24) zur Übertragung der in der Ladungsübertragungselesientspalte (2) des bildabtastberekhs vorhandenen Ladung zum Speicherbereich (22), dadurch gekennzeichnet, daß die Überschußladung durch die Ladungsübertragungselementspal- te (2) hindurch dem Auswahl-Gatebereich (26) zuleitbar ist, der sie selektiv in den Überschußladungsabsorptionsbereich (23) ableitet.
2. Festkörper-Bildabtastvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die in der Ladungsübertragungselementspalte (2) des Bildabtastsignals vorhandene Ladung vor der Ladungsübertragung von der fotoelektrischen Wandlerelementspalte (1) zur Ladungsübertragungselementspalte (2) in die Laciungsübertragungselementspalte des Speicherbereichs (22) hinausgefegt wird.
3. Festkörper-Bildabtastvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Anzahl von je eine fotoelektrische Wandlerelementspalte (1) und eine dazu parallele Ladungsübertragungselementspalte (2) aufweisenden Paaren, deren jedem je ein Ladungsspeicherbereich (22), ein Überschußladungsabsorptionsbereich (23) und ein Auswahl-Gatebereich (24, 26) zugeordnet ist, quer zur Spaltenrichtung in einer Reihe angeordnet und der Ladungsauslesebereich (4) durch ein der Anzahl der Ladungsspeicherbereiche (22) entsprechendes und an diese angrenzendes Ausleseregister gebildet ist, in das die in die Ladungsspeicherbereiche (22) übertragenen Signalladungcn zeilenweise auslesbar sind.
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