DE4107802C2 - - Google Patents

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Antriebsregelein­ heit für einen Ultraschallmotor, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Aus der US-PS 49 52 834 ist ein Schaltkreis zum Antrieb eines Ultraschallmotors bekannt, wobei ein Rotor durch Wanderwellen angetrieben wird, die durch einen piezoelek­ trischen Effekt erzeugt werden, wobei der Schaltkreis ei­ nen Pulsgenerator umfaßt, dessen Pulse den Ultraschall­ motor antreiben, einen Schaltkreis zum Verändern der Pulsweite, um die Drehzahl des Motors zu verändern, ein am Motor angebrachtes piezoelektrisches Rückkopplungs- Element, um ein Rückkopplungssignal von der Drehzahl des Motors zu erzeugen, und einen Schaltkreis für das automa­ tische Verfolgen der Antriebsfrequenz, der auf das Rück­ kopplungssignal vom Motor reagiert und ein Spannungssig­ nal abgibt, um den Pulsgenerator zu steuern.
Aus der DE-OS 36 34 329 ist eine gattungsgemäße Antriebs­ regeleinheit bekannt für einen Ultraschallmotor zum An­ trieb eines bewegbaren Teils durch eine Vibrationswander­ welle, die durch Anlegen eines periodischen Signals an ein elektromechanisches Energieumformerelement, wie z. B. eine elektrostriktive oder piezoelektrische Einrichtung, erzeugt wird. Der Ansteuerzustand des Vibrationswellen­ motors wird erfaßt, die Phasendifferenz zwischen dem er­ faßten Signal und dem dem Umformerelement zugeführten periodischen Signal ermittelt und die Frequenz des peri­ odischen Signals derart gewählt, daß die Phasendifferenz gleich einer vorbestimmten Konstante ist und der Vibra­ tionswellenmotor in einem Resonanzzustand betrieben wird.
Nachteilig dabei ist, daß sich der Resonanzzustand unter Temperatureinfluß verändert und sich damit der Wirkungs­ grad verschlechtert.
Es stellt sich daher die Aufgabe, eine gattungsgemäße An­ triebsregeleinheit zu schaffen, die jederzeit einen gleichmäßigen Betrieb des Ultraschallmotors mit sehr gutem Wirkungsgrad unabhängig von Temperaturänderungen des Vibrators und unabhängig von Laständerungen des Mo­ tors gewährleistet, wobei die temperaturabhängigen Änderungen der mechanischen Resonanzfrequenz des Vibrators zu kompensieren sind.
Die Lösung dieser Aufgabe gelingt erfindungsgemäß mit einer gattungsgemäßen Antriebsregeleinheit mit den kenn­ zeichnenden Merkmalen des Patentanspruchs 1.
Die neue Antriebsregeleinheit trägt der Tatsache Rech­ nung, daß ein optimaler Wirkungsgrad des Motors dann er­ reicht wird, wenn die Phasendifferenz zwischen der von dem Schwingungsdetektor erfaßten, als Spannung ausgege­ bene Vibratorschwingung und der an das piezoelektrische Element angelegten Spannung einen bestimmten Wert hat. Deshalb wird die Frequenz der angelegten Spannung von der Frequenznachführeinrichtung so geregelt, daß die von dem Phasendifferenzdetektor erfaßte Phasendifferenz auf einen vorgegebenen Wert nachgeführt wird. Gleichzeitig ist zur Konstanthaltung der Drehzahl eine Regeleinrich­ tung vorgesehen, mittels welcher die an das piezoelek­ trische Element angelegte Spannung in der Weise regelbar ist, daß die von dem Schwingungsdetektor ausgegebene Spannung, welche die Schwingungsamplitude des Vibrators darstellt, auf einem vorgegebenen Wert hält.
Mit der neuen Antriebsregeleinheit wird demzufolge jeder­ zeit ein Betrieb des Ultraschallmotors mit hervorragen­ dem Wirkungsgrad in der Umwandlung von elektrischer in mechanische Energie unabhängig von Temperaturänderungen des Vibrators und unabhängig von Laständerungen er­ reicht.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Ansprüchen 2 bis 4 angegeben.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand einer Zeichnung erläutert. Die Figuren der Zeich­ nung zeigen:
Fig. 1 einen Ultraschallmotor in einer schematischen Aufsicht zur Darstellung des Funktionsprinzips des Motors,
Fig. 2 den Ultraschallmotor in einer schematischen Seitenansicht,
Fig. 3 eine erste Antriebsregeleinheit in Form eines Blockschaltbildes,
Fig. 4 eine zweite, geänderte Antriebsregeleinheit, ebenfalls in Form eines Blockschaltbildes, und
Fig. 5a, 5b und 5c unterschiedliche Wellenformen von an ein piezoelektrisches Element als Teil des Mo­ tors angelegten Spannungen.
Wie in Fig. 1 und Fig. 2 gezeigt, umfaßt ein Ultra­ schallmotor M einen ringförmigen, als Stator dienenden Vibrator 3 und einen Rotor 4. Der Vibrator 3 besteht aus einem ringförmigen piezoelektrischen Element 1 und einem ebenfalls ringförmigen elastischen Element 2, die fest miteinander verbunden sind und zur Erzeugung einer Ultra­ schall-Wanderwelle dienen. Der Rotor 4 ist als beweg­ liches Element des Motors M an den Vibrator 3 angedrückt und durch diesen in Drehung versetzbar.
Das piezoelektrische Element 1 ist in Umfangsrichtung in zwei Gruppen von piezoelektrischen Segmenten A und B unterteilt. Jedes Segment A, B umfaßt Abschnitte, welche in Reihe mit Abständen angeordnet sind, die der Hälfte der Wellenlänge der Wanderwelle entsprechen, und wel­ che in Richtungen parallel zur Axialrichtung abwechselnd polarisiert sind. Die Segmente A und B sind in Umfangs­ richtung um einen Längenbetrag, der drei Viertel der Wellenlänge entspricht, voneinander beabstandet. An die Segmente A und B werden Hochfrequenz-Spannungen mit einer Phasendifferenz von 90° angelegt, wodurch im Sta­ tor 3 im Segment A und im Segment B stehende Wellen er­ zeugt werden, die sich durch Interferenz zu der Wander­ welle überlagern. Infolge dieser Wanderwelle und unter Vermittlung durch die infolge des Andrucks des Rotors 4 an den Vibrator 3 zwischen diesen wirkende Reibungskraft wird der Rotor 4 in Drehung versetzt. Die Drehrichtung des Motors M ist umkehrbar, indem die Phasendifferenz der angelegten Hochfrequenz-Spannungen auf 270° geändert wird.
Wie die Fig. 3 zeigt besteht eine Antriebsregeleinheit für die Versorgung und Regelung des Ultraschallmotors M im wesentlichen aus einem Stromversorgungsteil 5, einem Schwingungsdetektor 6, einer Frequenznachführeinrichtung 7 und einem Spannungsreglerteil 8. Der Stromversorgungs­ teil 5 dient zur Bereitstellung einer Hochfrequenz-Span­ nung von etwa 40 kHz, die an die Segmente A und B ange­ legt wird. Der Schwingungsdetektor 6 ist ein piezoelek­ trisches Meßelement, das an den Vibrator 3 angeklebt ist und zur Erfassung dessen Schwingungszustandes dient. Die Frequenznachführeinrichtung 7 dient zur variablen Rege­ lung der Frequenz der angelegten Hochfrequenzspannung, indem diese Frequenz Veränderungen der mechanischen Reso­ nanzfrequenz des Vibrators 3, wie sie infolge von dessen Temperaturänderungen auftreten, nachgeführt wird. Der Spannungsreglerteil 8 sorgt dafür, die Schwingungsampli­ tude des Vibrators 3 unabhängig von Laständerungen des Motors M auf einem vorgegebenen Wert zu halten.
Der Stromversorgungsteil 5 umfaßt einen Gleichstrom-Zerhacker 5A und einen Wechselrichter­ kreis 5B. Der Zerhacker 5A ändert seine Ausgangsspannung durch Veränderung des Durchlaßverhältnisses eines Schalt­ gliedes S5 nach Maßgabe eines Treibers D1, dem als Ein­ gangssignal das Ausgangssignal des Spannungsreglerteils 8 zugeführt wird. Der Wechselrichterkreis 5B verändert die Frequenz der Ausgangsspannung durch Öffnen und Schließen von Schaltgliedern S1 bis S4 nach Maßgabe eines zweiten Treibers D2. dem als Eingangssignal das Ausgangssignal der Frequenznachführeinrichtung 7 zuge­ führt wird. Der Wechselrichterkreis 5B umfaßt eine Kombi­ nation aus zwei Sätzen von Halbbrücken-Wechselrichtern und erzeugt als Ausgangssignale zwei Rechteck-Wechsel­ spannungen mit einer Phasendifferenz. Die zugehörigen Ausgänge sind über je einen Transformator mit den Segmen­ ten A und B des Vibrators 3 verbunden, um an diesen die Wechselspannungen mit einer Maximalspannung von etwa 100 V und einer Frequenz von etwa 40 kHz anzulegen.
Die Frequenznachführeinrichtung 7 ist ein PLL-Schalt­ kreis mit einem Phasenkomparator PC, einem Tiefpaßfilter LPF und einem spannungsgesteuerten Oszillator VCO. Der Phasenkomparator PC vergleicht die Phasenlagen der Aus­ gangsspannung V1 des Schwingungsdetektors 6 und der an das piezoelektrische Element 1 angelegten Spannung V2. Der Tiefpaßfilter LPF läßt nur den Niederfrequenzanteil des Ausgangssignals des Phasenkomparators PC passieren.
Der spannungsgesteuerte Oszillator VCO liefert eine Rechteckspannung, deren Frequenz von dem Ausgangssignal des Tiefpaßfilters LPF abhängt. Der Ausgangs des span­ nungsgesteuerten Oszillators VCO ist mit dem Eingang des weiten Treibers D2 verbunden. Die Frequenznachführein­ richtung 7 regelt die Frequenz der Ausgangsspannung des Wechselrichterkreises 5B in der Weise, daß zwischen die­ ser Frequenz und der jeweiligen Resonanzfrequenz des Vi­ brators 3 eine gleichbleibende, einen vorgegebenen Wert aufweisende Frequenzdifferenz erhalten bleibt. Hierdurch werden Drehzahländerungen des Motors M, die durch tempe­ raturabhängige Änderungen der mechanischen Resonanzfre­ quenz des Vibrators 3 verursacht werden, kompensiert.
Liegt die Phasendifferenz zwischen den beiden Spannungen V1 und V2 unterhalb eines vorgegebenen Werts, dann wird die Ausgangsspannung des Phasenkomparators PC niedriger. Dies führt zu einer Erhöhung der Ausgangsfrequenz des spannungsgesteuerten Oszillators VCO, was wiederum eine Erhöhung der Schwingungsfrequenz des Wechselrichterkreises 5B hervorruft. Liegt die Phasendifferenz zwischen den Spannungen V1 und V2 oberhalb des vorgegebenen Wer­ tes, dann werden die Ausgangsfrequenz des Oszillators VCO und die Schwingungsfrequenz des Wechselrichterkrei­ ses 5B erniedrigt.
Schließlich umfaßt die Frequenznachführeinrichtung 7 noch einen Phasenkompensator PSC für eine auf die Aus­ gangsspannung des Phasenkomparators VC wirkende Kompen­ sation, mittels welcher die Schwingungsfrequenz so ge­ regelt wird, daß sie geringfügig höher bleibt als die mechanische Resonanzfrequenz des Vibrators 3 und somit stets den optimalen Wert für einen gleichmäßigen Betrieb des Motors M mit maximalem Wirkungsgrad aufweist.
Der Spannungsreglerteil 8 umfaßt ein Absolutwertglied 8a, ein Einstellglied 8b und einen Modulator 8c. Das Ab­ solutwertglied 8a sorgt für eine Vollwellengleichrich­ tung und Glättung der Ausgangsspannung V1 des Schwin­ gungsdetektors 6. Das Einstellglied 8b dient zur Einstel­ lung eines Drehzahl-Sollwertes für die Drehzahl des Mo­ tors M. Der Modulator 8c liefert als Ausgangssignal eine Rechteckspannung, deren Pulsbreite in Abhängigkeit von der Differenz zwischen den dem Modulator 8c zugeführten Ausgangsspannungen der Glieder 8a und 8b variiert. Der Ausgang des Spannungsreglerteils 8 ist mit dem Eingang des Treibers D1 verbunden.
Ist der Mittelwert der Ausgangsspannung V1 höher als die vom Einstellglied 8b ausgegebene, dem Drehzahl-Sollwert entsprechende Spannung, dann wird das Tastverhältnis des Schaltgliedes S5 verkleinert, um die Ausgangsspannung des Gleichstromzerhackers 5A und damit die Drehzahl des Motors M zu erniedrigen. Umgekehrt wird, wenn der Mittel­ wert der Ausgangsspannung V1 niedriger als die vom Ein­ stellglied 8b ausgegebene Spannung ist, das Tastverhält­ nis des Schaltgliedes S5 vergrößert, um die Ausgangsspan­ nung des Zerhackers 5A und die Drehzahl des Motors M zu erhöhen.
Fig. 4 zeigt eine zweite Antriebsregeleinheit, die sich von der zuvor beschriebenen im wesentlichen im Stromver­ sorgungsteil 50 und in der Art der Regelung dieses Strom­ versorgungsteils 50 unterscheidet. Wie aus Fig. 4 er­ sichtlich ist, enthält der Stromversorgungsteil 50 einen Wechselrichterkreis 51 zur Versorgung des piezoelektri­ schen Elementes 1 des Vibrators 3 mit Hochfrequenzspan­ nung. Die Ausgangsfrequenz des Wechselrichterkreises 51 wird durch die Frequenznachführeinrichtung 7 geregelt. Das Tastverhältnis der Pulse der ausgegebenen Rechteck­ spannung wird durch einen Drehzahl-Reglerteil 80 gere­ gelt.
Der Wechselrichterkreis 51 umfaßt auch hier eine Kombi­ nation von zwei Sätzen von Halbbrücken-Wechselrichtern und erzeugt als Ausgangssignale wieder zwei Rechteck- Wechselspannungen mit einer Phasendifferenz. Die zuge­ hörigen Ausgänge sind über je einen Transformator mit den Segmenten A und B des Vibrators 3 verbunden, um die­ sen mit Wechselspannungen von bis zu etwa 100 V und mit einer Frequenz von etwa 40 kHz zu versorgen.
An dem Vibrator 3 ist auch hier ein Schwingungsdetektor 6 in Form eines piezoelektrischen Meßelementes ange­ klebt, mit welchem der Schwingungszustand des Vibrators 3 erfaßbar ist. Die Frequenznachführeinrichtung 7 regelt und variiert die Schwingungsfrequenz des Wechselrichter­ kreises 51, um die Phasendifferenz zwischen der Ausgangs­ spannung des Schwingungsdetektors 6 und der an das piezo­ elektrische Element 1 des Vibrators 3 angelegten Spannung auf einem vorgegebenen Wert zu halten. Der Reglerteil 80 regelt und variiert das Tastverhältnis der Pulse der vom Wechselrichterkreis 51 ausgegebenen Spannung in der Wei­ se, daß die Ausgangsspannung des Schwingungsdetektors 6 auf einem vorgegebenen Wert gehalten wird.
Die Frequenznachführeinrichtung 7 führt also eine Rege­ lung durch, die dafür sorgt, daß die Ausgangsfrequenz des Wechselrichterkreises 51 sich um einen festen Betrag von der Resonanzfrequenz des Vibrators 3 unterscheidet, um Änderungen der Drehzahl des Motors M infolge von tem­ peraturabhängigen Änderungen der mechanischen Resonanz­ frequenz des Vibrators 3 zu kompensieren.
Der Reglerteil 80 dient dem Zweck, Änderungen der Dreh­ zahl des Motors M infolge von Lastschwankungen zu kompen­ sieren. Er umfaßt ein Absolutwertglied 81, ein Einstell­ glied 82 und einen Modulator 83, deren Funktion und Wir­ kungsweise denen des Absolutwertgliedes 8a, des Einstell­ gliedes 8b und des Modulators 8c des zuvor anhand von Fig. 3 beschriebenen Ausführungsbeispieles entsprechen. Der Wechselrichterkreis 51 umfaßt frequenzvariable Schaltglieder S1 bis S4 für die Änderung der Tastverhält­ nisse der vom Kreis 51 ausgegebenen Spannungen. Die Schaltglieder S1 bis S4 werden durch Signale betätigt, die vom Reglerteil 80 ausgegeben werden. Dieser Punkt wird anhand der Fig. 5a, 5b und 5c näher erläutert.
Wie aus einem Vergleich der Fig. 5a bis 5c ersicht­ lich ist, bleibt, wenn das Tastverhältnis der Pulse der vom Wechselrichterkreis S1 ausgegebenen Rechteckspannung durch die Regelung verändert wird, die an das piezoelek­ trische Element 1 angelegte Spannung in ihrer Höhe gleich, jedoch ändert sich die Zeitdauer, über welche die Spannung angelegt wird, so daß eine Änderung der zuge­ führten elektrischen Leistung erfolgt. Sinkt die Dreh­ zahl des Motors M ab, sorgt die Regeleinheit für eine Vergrößerung des Tastverhältnisses und somit für eine Erhöhung der zugeführten Leistung (Fig. 5a). Umgekehrt sorgt die Regeleinheit bei einem Ansteigen der Drehzahl des Motors M für eine Verkleinerung des Tastverhältnis­ ses und somit für eine Verringerung der zugeführten Lei­ stung (Fig. 5c). Die in Fig. 5b gezeigte zugeführte Leistung stellt einen Zwischenzustand zwischen den Lei­ stungen gemäß Fig. 5a und 5c dar.
Eine gleichmäßige, lastunabhängige Drehzahl des Motors M kann auch dadurch erreicht werden, daß das Tastverhält­ nis nach Maßgabe des Ausgangssignals des Schwingungsdetek­ tors 6 geregelt wird. Eine dementsprechende Einrichtung kann als Teil des Zerhackers realisiert werden, wodurch der entsprechende Schaltkreis insgesamt kompakt und kostengünstig wird.

Claims (5)

1. Antriebsregeleinheit für einen Ultraschallmotor mit einem Vibrator, der aus einem piezoelektrischen Ele­ ment und einem elastischen Element gebildet ist, und mit einem durch Ultraschall-Schwingungen des piezo­ elektrischen Elementes in Drehung versetzbaren Rotor, wobei die Antriebsregeleinheit folgende Teile umfaßt:
  • - einen Stromversorgungsteil zur Versorgung des piezo­ elektrischen Elementes mit Wechselspannung,
  • - einen Spannungsdetektor zur Erfassung einer an dem Vibrator angelegten elektrischen Spannung,
  • - einen Schwingungsdetektor zur Erfassung des Schwin­ gungszustandes des Vibrators und zur Ausgabe eines von der Schwingungsfrequenz des Vibrators abhängen­ den Signals,
  • - eine erste Regeleinrichtung zum Erzeugen eines er­ sten Signals in Abhängigkeit von der Phasendiffe­ renz zwischen dem Vibratorzustandssignal und einem Signal von dem Spannungsdetektor, und
  • - eine zweite Regeleinrichtung zum Erzeugen eines zweiten Signals durch Vergleichen des Vibratorzu­ standssignals mit einer Referenzspannung,
dadurch gekennzeichnet, daß der Stromversorgungsteil (5, 50) einen Frequenz­ reglerteil (5B, 51) und einen Spannungsreglerteil (5A, 51) aufweist, wobei der Frequenzreglerteil als Wechselrichterkreis ausgeführt ist, der das erste Signal von der ersten Regeleinrichtung (7) aufnimmt und abhängig von dem ersten Signal die Frequenz der elektrischen Spannung derart einstellt, daß die Fre­ quenz des Vibrators (3) auf einem Wert zu halten ist, der um einen bestimmten Betrag von der Resonanzfrequenz versetzt ist, indem die Phasendifferenz auf einem vor­ bestimmten Wert gehalten wird, wobei der Spannungs­ reglerteil abhängig von dem zweiten Signal von der zweiten Regeleinrichtung (8, 80), wobei diese einen Pulsweitenmodulator (83) zum Regeln des Tastverhält­ nisses aufweist, derart einstellbar ist, daß durch Veränderung des Durchlaßverhältnisses eine modifizier­ te Ausgangsspannung zu erzeugen ist, so daß der Span­ nungsreglerteil die elektrische Leistung abhängig von dem zweiten Signal derart einstellt, daß die Drehzahl des Ultraschallmotors (M) auf einen voreinstellbaren Wert zu stabilisieren ist.
2. Antriebsregeleinheit nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Spannungsreglerteil (51) als Gleichstrom­ zerhacker mit einem Schaltglied (S5) ausgeführt ist.
3. Antriebsregeleinheit nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Spannungsreglerteil (5A) zum Teil eben­ falls als Wechselrichterkreis (51) ausgeführt ist.
4. Antriebsregeleinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwingungsdetek­ tor ein an dem Vibrator (3) angeordnetes piezoelektri­ sches Element (6) aufweist.
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Families Citing this family (53)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69111481T2 (de) * 1990-02-14 1996-01-18 Nippon Kogaku Kk Antriebsvorrichtung für einen Ultraschallwellenmotor.
JPH05184167A (ja) * 1992-01-06 1993-07-23 Canon Inc 進行波型モータの制御装置
JP2972010B2 (ja) * 1992-01-08 1999-11-08 キヤノン株式会社 振動型アクチュエーター駆動制御装置
JP3169421B2 (ja) * 1992-03-13 2001-05-28 キヤノン株式会社 振動波モータの駆動制御装置
JPH05273361A (ja) * 1992-03-24 1993-10-22 Seiko Instr Inc 超音波モータ付電子機器
DE4216273C2 (de) * 1992-05-16 1996-06-05 Daimler Benz Ag Wanderwellenmotor zum Betrieb mit unterschiedlichen Schwingungsformen
US5939847A (en) * 1992-08-07 1999-08-17 Nikon Corporation Drive control device for ultrasonic motors
KR100204460B1 (ko) * 1992-12-16 1999-06-15 모리시타 요이찌 초음파모터의 속도제어방법
US5563464A (en) * 1993-02-09 1996-10-08 Olympus Optical Co., Ltd. Circuit for rotating ultrasonic motor
JPH06351270A (ja) * 1993-06-04 1994-12-22 Canon Inc 超音波モータ制御装置
FR2721154B1 (fr) * 1994-06-08 1996-07-05 Moulinex Sa Circuit d'alimentation d'un moteur piézo-électrique.
US5644199A (en) * 1994-07-20 1997-07-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for driving an ultrasonic motor
JP3412923B2 (ja) * 1994-09-14 2003-06-03 キヤノン株式会社 振動波駆動装置の制御装置
JPH08116685A (ja) * 1994-10-17 1996-05-07 Canon Inc 振動波モータ
DE19529662C2 (de) * 1995-08-11 1998-09-10 Siemens Ag Anordnung zur Ansteuerung eines piezoelektrischen Aktors
JP3437359B2 (ja) * 1996-01-08 2003-08-18 キヤノン株式会社 振動波駆動装置の制御装置
US5900690A (en) * 1996-06-26 1999-05-04 Gipson; Lamar Heath Apparatus and method for controlling an ultrasonic transducer
US5754016A (en) * 1996-09-18 1998-05-19 Dentsply Research & Development Corp Method of continuous control of tip vibration in a dental scalar system
US5945768A (en) * 1997-05-08 1999-08-31 Alliedsignal Inc. Piezoelectric drive circuit
AU9642498A (en) 1998-10-25 2000-05-15 Nanomotion Ltd. Driver for piezoelectric motors
JP3171187B2 (ja) * 1999-03-30 2001-05-28 ミノルタ株式会社 圧電アクチュエータ
FR2802359B1 (fr) 1999-12-09 2002-02-08 Metabole Dev Et Conseil Circuit d'alimentation pour moteur piezo-electrique
DE10008937A1 (de) * 2000-02-25 2001-08-30 Philips Corp Intellectual Pty Elektrischer Schaltkreis zur Ansteuerung von piezoelektrischen Antrieben
US6400062B1 (en) 2000-03-21 2002-06-04 Caterpillar Inc. Method and apparatus for temperature compensating a piezoelectric device
KR100376229B1 (ko) * 2000-12-28 2003-03-15 학교법인 인하학원 초음파 모터 구동 제어장치
ITMI20011571A1 (it) * 2001-07-23 2003-01-23 Abb Service Srl Dispositivo di azionamento per motore ultrasonico
DE10149671A1 (de) * 2001-10-09 2003-04-24 Eppendorf Ag Verfahren zum Steuern eines Piezoantriebes und Piezoantrieb zur Durchführung des Verfahrens
DE10158584A1 (de) * 2001-11-29 2003-07-03 Philips Intellectual Property Piezoelektrische Antriebsvorrichtung und ein Regelverfahren für eine piezoelektrische Antriebsvorrichtung
JP3540311B2 (ja) * 2002-05-31 2004-07-07 松下電器産業株式会社 モータ駆動制御装置
US7404809B2 (en) * 2004-10-12 2008-07-29 Iradimed Corporation Non-magnetic medical infusion device
US7267661B2 (en) * 2002-06-17 2007-09-11 Iradimed Corporation Non-magnetic medical infusion device
US7553295B2 (en) 2002-06-17 2009-06-30 Iradimed Corporation Liquid infusion apparatus
EP1441398A1 (de) * 2003-01-27 2004-07-28 Koninklijke Philips Electronics N.V. Piezoelektrische Antriebsvorrichtung und ein Regelverfahren für eine piezoelektrische Antriebsvorrichtung
US7119475B2 (en) * 2003-03-31 2006-10-10 Seiko Epson Corporation Driving method of piezoelectric actuator, driving apparatus of piezoelectric actuator, electronic watch, electronics, control program of piezoelectric actuator, and storage medium
US7675218B2 (en) * 2004-03-10 2010-03-09 Seiko Epson Corporation Drive apparatus of piezoelectric actuator, electronic apparatus, drive method of electronic apparatus, drive control program of electronic apparatus, and medium
KR100665328B1 (ko) 2005-12-15 2007-01-09 삼성전기주식회사 압전 초음파 진동자의 구동 장치
DE102006042695B4 (de) * 2006-01-18 2012-02-23 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Selbsterregender PWM-Controller für einen Einphasenultraschallmotor
DE102006054597B4 (de) * 2006-11-20 2012-03-01 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Steuervorrichtung eines Ultraschallmotors
JP4597185B2 (ja) * 2007-02-02 2010-12-15 キヤノン株式会社 塵埃除去装置および塵埃除去装置の駆動方法
US8105282B2 (en) * 2007-07-13 2012-01-31 Iradimed Corporation System and method for communication with an infusion device
JP2011030285A (ja) * 2009-07-21 2011-02-10 Olympus Corp 超音波モータ
JP5884303B2 (ja) * 2011-06-07 2016-03-15 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット
JP5799596B2 (ja) * 2011-06-10 2015-10-28 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット
FR2991835B1 (fr) * 2012-06-08 2015-07-17 Faurecia Sieges Automobile Circuit de commande d'un moteur piezoelectrique alimente par la batterie d'un vehicule automobile
CN105978400B (zh) * 2016-06-14 2018-09-21 四川航天系统工程研究所 超声电机控制方法
US11268506B2 (en) 2017-12-22 2022-03-08 Iradimed Corporation Fluid pumps for use in MRI environment
CN111464062A (zh) * 2020-04-24 2020-07-28 哈尔滨工业大学 一种超声驱动单元零电压-零电流软开关式驱动方法
CN112798954B (zh) * 2020-12-29 2022-06-21 歌尔股份有限公司 振动电机的检测方法及装置
CN112946362B (zh) * 2021-03-31 2022-06-21 歌尔股份有限公司 振动电机的谐振频率检测方法、装置、终端设备及存储介质
CN113311226B (zh) * 2021-04-30 2022-06-21 歌尔股份有限公司 振动电机的谐振频率检测方法、装置、终端设备及存储介质
US11838632B2 (en) * 2021-12-08 2023-12-05 Canon Kabushiki Kaisha Driving control apparatus, image pickup apparatus, and control method
CN116351686B (zh) * 2023-04-04 2024-06-25 重庆科技学院 一种可变压可变频超声清洗机发生器及控制方法
CN119743042B (zh) * 2024-11-27 2026-04-17 天津大学 基于自激振荡原理的超声电机微型驱动器及使用方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4692649A (en) * 1985-03-01 1987-09-08 Canon Kabushiki Kaisha Driving circuit of a vibration wave motor
US4727276A (en) * 1985-03-26 1988-02-23 Canon Kabushiki Kaisha Driving circuit for vibration wave motor
GB2183371B (en) * 1985-10-09 1989-09-27 Canon Kk Vibration wave motor and drive circuit therefor
US4713571A (en) * 1986-01-23 1987-12-15 Canon Kabushiki Kaisha Driving circuit of a vibration wave motor
JPH078153B2 (ja) * 1986-07-14 1995-01-30 キヤノン株式会社 振動波モーター装置
JP2586082B2 (ja) * 1987-02-09 1997-02-26 株式会社ニコン 超音波モータの電源周波数最適化装置
US4888514A (en) * 1987-10-16 1989-12-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Driving apparatus for ultrasonic motor
US5021700A (en) * 1988-03-01 1991-06-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Driving apparatus for ultrasonic motor
JPH01234073A (ja) * 1988-03-14 1989-09-19 Olympus Optical Co Ltd 振動波モータの駆動回路
US5013982A (en) * 1989-05-02 1991-05-07 Olympus Optical Co., Ltd. Circuit for driving ultrasonic motor

Also Published As

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US5130619A (en) 1992-07-14
DE4107802A1 (de) 1992-07-02

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