DE60309461T2 - Ferroelektrischer speicher - Google Patents

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    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/22Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements

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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein ferroelektrische Speicher und insbesondere solche Speicher, die Speicherzellen umfassen, welche ferroelektrische Kondensatoren umfassen und in Reihen und Spalten angeordnet sind, um eine regelmäßige Schaltanordnung zu bilden.
  • 2. Darstellung des Problems
  • Es ist wohlbekannt, daß ferroelektrische Materialien fähig sind, eine Polarisation, welche verwendet werden kann, um Informationen in einem nichtflüchtigen Speicher zu speichern, zu bewahren. Zum Beispiel, falls ein ausreichend starkes elektrisches Feld oder eine ausreichend starke Spannung über einen ferroelektrischen Kondensator angelegt wird, bleibt eine Polarisation in Richtung des Feldes erhalten, wenn die Spannung entfernt wird. Falls das Feld dann über denselben Kondensator in entgegengesetzter Richtung angelegt wird, schaltet das ferroelektrische Material um, und wenn das Feld entfernt wird, bleibt eine Polarisation in der entgegengesetzten Richtung erhalten. Elektronische Schaltungen sind ausgelegt worden, um die Polarisation in die eine Richtung mit einem digitalen Status logisch "1" zu assoziieren und die Polarisation in die entgegengesetzte Richtung mit einem Status logisch "0". Siehe beispielsweise die Schaltungen, die in dem US-Patent 2,876,436, ausgegeben am 3. März 1959 an J.R Anderson, beschrieben sind. Wie andere integrierte Speicherschaltungen umfassen diese Schaltungen Speicherzellen, die in Reihen und Spalten angeordnet sind, wobei jede Speicherzelle zumindest einen Schalter umfaßt, einen Kondensator mit einem Paar von Elektroden, und der Speicher ebenfalls Plattenleitungen, manchmal Treiberleitungen genannt, umfaßt, die mit einer Elektrode des Kondensators in jeder Zelle verbunden sind, und Bitleitungen, die mit der anderen Elektrode des Kondensators durch den Schalter hindurch verbunden sind. In dieser Offenbarung sollten wir auf die "Plattenleitung" als "Treiberleitung" verweisen wie es manchmal in dem Stand der Technik getan wird. In dem oben erwähnten Anderson-Patent ist der Schalter eine Diode. Wie in der Technik bekannt, kann der Schalter ein Transistor sein, welcher ein Gatter, eine Source and einen Drain aufweist, und umfaßt der Speicher Wortleitungen, die mit dem Steuergatter des Transistors verbunden sind. Siehe beispielsweise US-Patent 4,873,664, ausgegeben am 10. Oktober 1989 an S. Sheffield Eaton, Jr. Der Transistor verhält sich durch sein Gatter gesteuert wie ein Schalter, um den Kondensator mit der Bitleitung zu verbinden. Information wird in die Speicherzelle geschrieben durch Aufbringen entweder einer hohen Spannung oder einer niedrigen Spannung auf der Bitleitung, Einschalten des Transistors, um die Biteitung mit dem Kondensator zu verbinden, und Anbringen einer vorbestimmten Spannung zwischen der hohen Spannung und der niedrigen Spannung auf der Treiberleitung. Die hohe Spannung verursacht, daß die Speicherzelle den einen Polarisationszustand annimmt, und die niedrige Spannung verursacht, daß die Speicherzelle den entgegengesetzten Polarisationszustand annimmt. Die Speicherzelle wird gelesen durch Hervorrufen einer Spannungsdifferenz zwischen der Bitleitung und der Treiberleitung, und durch Verbinden der Bitleitung mit dem Kondensator über den Transistor. Falls der ferroelektrische Zustand sich aufgrund einer angelegten Spannung ändert, wird die Bitleitung eine erste Spannung annehmen und falls der ferroelektrische Zustand sich nicht umschaltet, wird dann die Bitleitung eine zweite Spannung annehmen. Die Spannung der Bitleitung wird verglichen mit einer Referenzspannung, die etwa halbwegs zwischen der ersten und der zweiten Spannung liegt; falls die Spannung der Bitleitung unterhalb der Referenzspannung liegt, treibt ein Richtungsverstärker eine Ausgabe niedrig, und falls die Spannung der Bitleitung oberhalb der Referenzspannung liegt, treibt ein Richtungsverstärker einen Ausgang hoch. Auf diesem Wege bestimmt der Zustand des ferroelektrischen Kondensators vor dem Ablesen den Ausgabezustand, wenn die Zelle abgelesen wird.
  • In dem oben beschriebenen Speicher und in anderen ähnlichen herkömmlichen ferroelektrischen Speichern wird die Treiberleitung gepulst. Die Treiberleitung, die relativ lang und mit den Elektroden von vielen Kondensatoren verbunden sein kann, hat eine hohe Kapazität. Folglich dauert es relativ lang, bis die Spannung zu ihrem vollen Wert angestiegen ist, mit dem Ergebnis, daß die Zeit zum Lesen und zum Schreiben auf den Speicher lang ist. Um die Lese- und Schreib-Prozesse zu beschleunigen, sind ferroelektrische Speicher entwickelt worden, in welchen die Treiberleitung nicht gepulst wird. Siehe Hiroki Koike et al., "A 60-ns 1-Mb Nonvolatile Ferroelectric Memory With A Nondriven Cell Plate Line Write/Read Scheme, IEEE Journal of Solid State Circuits, Vol. 31, No. 11, November 1996. Eine andere Lösung war, die Treiberleitung parallel zu der Bitleitung anzuordnen, so daß nur ein Kondensator zur Zeit gepulst wird. Siehe die Ausführungsform der 6 in dem oben erwähnten Eaton, Jr.-Patent. Segmentierte Treiberleitungen sind ebenfalls vorgeschlagen worden, um den Zyklus der Treiberleitung zu beschleunigen und Energie zu reduzieren. Siehe US-Patent Nr. 5,598,366. Jedoch sind alle diese Speicher wegen signifikanter Störungsprobleme nicht erfolgreich gewesen. "Störung" ist ein problematisches Kennzeichen der meisten ferroelektrischen Speicher des Standes der Technik, in welchen "Stör"-Spannungen, üblicherweise mit geringer Amplitude, auf nicht vermeidbare Weise an Speicherzellen, auf die kein Zugriff erfolgt, angelegt werden, wobei diese Spannungen den Zustand des Speichers ändern können und daher zu fehlerhaften abgelesenen Werten führen können. Zum Beispiel ist in der Quelle Koike et al. erklärt, daß die Ableitung von der Bitleitung und der Treiberleitung zu den Knoten eines Kondensators, auf den nicht zugegriffen wird, die Daten. zerstören kann. Dieses Problem wird gelöst durch ein Kompensationsschema, welches dem Speicher Komplexität hinzufügt und ihn verlangsamt. Folglich hatte das Störproblem entweder zur Folge, daß Speicher komplexer und langsamer gemacht wurden, um die Störung zu beheben, wie in der Quelle Koike et al., oder daß das Design zu unzuverlässig wurde, um erfolgreich zu sein, wie in dem Eaton, Jr.-Patent. Überdies bleiben die Anforderungen an die durchschnittliche Leistung solcher Zellen ziemlich hoch.
  • Bis vor Kurzem tendierten alle ferroelektrischen Materialien im Zeitablauf dazu, zu ermüden und die Schaltungsladung verringerte sich auf einen Punkt, wo die Zelle nicht länger gelesen werden konnte. Vor etwa zehn Jahren wurde eine Klasse von Materialien, die hier geschichtete Übergitterverbunde genannt werden, entdeckt, die nicht ermüden. Jedoch, während die Schaltungsladung relativ stabil bleibt in diesen Materialien, altern diese Materialien dennoch, d. h. die Höhe der ersten und zweiten Spannungen hängt im allgemeinen von der Historie der Speicherzelle ab. Zum Beispiel werden abhängig von der Historie beide, die erste und zweite Spannung, bei einem Lesen einer spezifischen Zelle um einen Faktor von einigen Volts von der ersten und der zweiten Spannung eines späteren Abtastwertes derselben Zelle abweichen; oder kann sich die Hysteresekurve mit der Zeit in der Größe von Millisekunden aufgrund der Neuordnung der Ladung innerhalb des Kondensators verschieben. Folglich, obwohl die Referenzspannung zwischen der ersten und der zweiten Spannung für einen Abtastwert liegen wird, können bei einem späteren Lesevorgang beide, die erste und die zweite Spannung, oberhalb der Referenzspannung liegen. Daraus folgt im allgemeinen ein fehlerhaftes Lesen der Speicherzelle. Folglich sind diese Speicher nicht "zuverlässig", da die abgelesenen oder abgetasteten Meßwerte der Daten relativ unzuverlässig sind.
  • Eine typische Lösung für das oben erwähnte Problem ist offenbart in US Patent 4,888,733, ausgegeben am 19. Dezember 1989 an Kenneth J. Mobley. Der Speicher, der in dem Mobley- Patent offenbart ist, isoliert den ferroelektrischen Kondensator mit zwei Transistoren, was das Stör-Problem verhindert. Es pulst ebenfalls den ferroelektrischen Kondensator in eine Richtung und speichert die entwickelte Ladung auf einem ersten temporären Speicherkondensator, pulst den ferroelektrischen Kondensator in der entgegengesetzten Richtung und speichert die entwickelte Ladung auf einem zweiten temporären Speicherkondensator und vergleicht dann die gespeicherten Ladungen auf den zwei Speicherkondensatoren. Folglich vergleicht dieser Speicher im wesentlichen zwei Zustände desselben Kondensators, die einer nach dem anderen in einem Zeitintervall genommen wurden, das zu kurz ist für das Altern oder für andere stattgefundene Änderungen, welches das Alterungsproblem verhindert. Jedoch verdreifacht diese Lösung die Länge an Zeit, die es dauert, einen Speicher zu lesen; folglich ist dieser Speicher nicht wettbewerbsfähig mit Speichern nach dem Stand der Technik, welche eine schnelle Lesezeit erfordern. Des weiteren sind die zusätzlichen temporären Speicherkondensatoren lineare Kondensatoren, welche wesentlichen zusätzlichen Raum in dem Speicher einnehmen, so ist ein Speicher gemäß des Mobley-Design relativ wuchtig und in einem Speicher-Markt, wo Speicherchips zunehmend kompakt sind, nicht wettbewerbsfähig. Es gibt viele andere Multikondensator/Multitransistor-Ferroelektrospeicher, die vorgeschlagen wurden, um die oben erwähnten Probleme zu lösen, von denen einige in kommerzielle Produkte eingearbeitet wurden. Alle von ihnen sind sowohl um ein Vielfaches kompakter und langsamer als herkömmliche DRAMs.
  • Die oben erwähnten Probleme, speziell das Alterungsproblem und das "Stör"-Problem, sind besonders schwerwiegend in den schnellsten und engmaschigsten Speicherarchitekturen. Folglich sind bis heute kommerzielle Anwendungen von ferroelektrischen Speichern begrenzt auf relativ langsame und wuchtige Architekturen wie das Mobley-Design. Es wäre sehr wünschenswert, eine ferroelektrische Speicherarchitektur zu haben, die schneller und weniger wuchtig wäre als das Mobley-Design, aber nicht dem "Stör"-Problem unterliegen würde. Ein solches Speicherdesign, das außerdem das Alterungsproblem verhindern würde, würde ein wesentlicher Fortschritt der Technik sein.
  • LÖSUNG
  • Die Erfindung löst die oben erwähnten Probleme, wie auch andere Probleme des Standes der Technik durch Bereitstellen eines ferroelektrischen Speichers, in welchem jede Speicherzelle individuell ausgesucht werden kann, ohne mit einer anderen Speicherzelle elektrisch verbunden zu sein. Dadurch wird jegliche Stör-Möglichkeit ausgeschlossen.
  • Die Erfindung stellt außerdem eine Speicherzelle zur Verfügung, in welcher die ferroelektrischen Elemente Kondensatoren sind, wobei die Speicherzelle gelesen werden kann, ohne die ferroelektrischen Kondensatoren umzuschalten.
  • Die Erfindung stellt außerdem einen ferroelektrischen Speicher zu Verfügung, der einen neuartigen Treiber für die Bitleitung hat, welcher die Bitleitung auf eine Spannung von einem Volt oder weniger steuert und vorzugsweise auf weniger als ein halbes Volt.
  • Die Erfindung stellt außerdem einen ferroelektrischen Speicher zur Verfügung, der einen neuartigen Leseverstärker aufweist, wobei der Leseverstärker drei Bitleitungseingänge aufweist, wobei zwei davon Eingänge von Dummy-Bitleitungen sind.
  • Die Erfindung stellt des weiteren einen ferroelektrischen Speicher zur Verfügung, in welchem die Bitleitungen partitioniert sind.
  • Die Erfindung stellt einen ferroelektrischen, nicht flüchtigen Speicher zur Verfügung, der aufweist: eine Vielzahl von Paaren aus parallelen Bitleitungen, eine Vielzahl von Treiberleitungen parallel zu den Bitleitungen, eine Wortleitung senkrecht zu den Bitleitungspaaren und den Treiberleitungen und eine Vielzahl von Speicherzellen, wobei jeder Speicherzelle eines der Paare der Bitleitungen und eine der Treiberleitungen zugeordnet ist, wobei jede Speicherzelle umfaßt: einen ersten ferroelektrischen Kondensator mit einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode, einen zweiten ferroelektrischen Kondensator mit einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode, einen ersten Transistor mit einem Gatter, und einen zweiten Transistor mit einem Gatter; wobei in jeder der Speicherzellen der erste Transistor zwischen die erste Elektrode des ersten Kondensators und eine der Bitleitungen in dem zugeordneten Bitleitungspaar geschaltet ist und der zweite Transistor zwischen die erste Elektrode des zweiten Kondensators und die andere der Bitleitungen in dem zugeordneten Bitleitungspaar geschaltet ist, und die Gatter des ersten und zweiten Transistors mit der Wortleitung verbunden sind, wobei der Speicher weiterhin aufweist: einen Treiberleitungs-Transistor, der jeder der Treiberleitungen zugewiesen ist, wobei der Treiberleitungs-Transistor ein Gatter umfaßt, wobei jede der Treiberleitungen mit der zweiten Elektrode des ersten und zweiten ferroelektri schen Kondensators in der Speicherzelle, die der Treiberleitung zugewiesen ist, über den Treiberleitungs-Transistor verbunden ist, wobei jede der Treiberleitungen mit zwei oder weniger der Speicherzellen verbunden ist; und wobei das Gatter des Treiberleitungs-Transistors mit der Wortleitung verbunden ist. Vorzugsweise sind die Speicherzellen in Reihen parallel zu den Wortleitungen und in Spalten parallel zu den Bitleitungen und den Treiberleitungen angeordnet und ist jeder der Treiberleitungen mit der zweiten Elektrode des ersten Kondensators und der zweiten Elektrode des zweiten Kondensators in nur einer der Speicherzellen in einer Reihe aus Speicherzellen verbunden. Vorzugsweise ist eine der Treiberleitungen mit jeder der Zellen verbunden und befindet sich die Treiberleitung zwischen den Bitleitungen in dem Bitleitungspaar, welches der Zelle zugeordnet ist, der die Treiberleitung zugeordnet ist. Vorzugsweise sind die Speicherzellen in Reihen parallel zu den Wortleitungen und in Spalten parallel zu den Bitleitungen und den Treiberleitungen angeordnet und ist jede der Treiberleitungen mit der zweiten Elektrode des ersten Kondensators und der zweiten Elektrode des zweiten Kondensators in zwei der Speicherzellen in einer Reihe von Speicherzellen verbunden. Vorzugsweise befindet sich die Treiberleitung zwischen den beiden Zellen. Vorzugsweise sind die Bitleitungen komplementär und ist jede der Speicherzellen eine Ein-Bit-Speicherzelle. Vorzugsweise ist einer der Kondensatoren ein ferroelektrischer Dummy-Kondensator und ist die Bitleitung, die mit dem ferroelektrischen Dummy-Kondensator verbunden ist, eine Dummy-Bitleitung. Vorzugsweise sind die Bitleitungen höchstrangige Bitleitungen und gibt es eine Vielzahl von Speicherzellen, die in eine erste Gruppe und in eine zweite Gruppe aufgeteilt sind, wobei der Speicher weiter einen Transistor zum Auswählen einer ersten Gruppe mit einem Gatter, einen Transistor zum Auswählen einer zweiten Gruppe mit einem Gatter, eine Auswahlleitung für die erste Gruppe, eine Auswahlleitung für die zweite Gruppe, eine erste zweitrangige Bitleitung und eine zweite zweitrangige Bitleitung umfaßt, und bei dem der Transistor zum Auswählen einer ersten Gruppe zwischen die höchstrangige Bitleitung und die erste zweitrangige Bitleitung geschaltet ist, wobei der Transistor zum Auswählen der zweiten Gruppe zwischen die höchstrangige Bitleitung und die zweite zweitrangige Bitleitung geschaltet ist, wobei die Auswahlleitung für die erste Gruppe mit dem Gatter des Transistors zum Auswählen der ersten Gruppe verbunden ist und die Auswahlleitung für die zweite Gruppe mit dem Gatter des Transistors zum Auswählen der zweiten Gruppe verbunden ist. Vorzugsweise umfaßt der Speicher weiterhin eine Treiberschaltung für die Bitleitung zum Treiben der Bitleitung auf eine Spannung, die ein Drittel oder weniger der oberen Spannung des Speichers beträgt. Vorzugsweise ist jede der Speicherzellen eine Zwei-Bit-Speicherzelle. Vorzugsweise ist einer der Kondensatoren ein ferroelektrischer Dummy- Kondensator und ist die mit dem ferroelektrischen Dummy-Kondensator verbundene Bitleitung eine Dummy-Bitleitung.
  • Die Erfindung stellt das erste Mal einen ferroelektrischen, nichtflüchtigen Speicher zur Verfügung, der wettbewerbsfähig ist mit DRAMs und SRAMs hinsichtlich Geschwindigkeit, Zuverlässigkeit und Kompaktheit. Eine Vielzahl von andern Kennzeichen, Aufgaben und Vorteile der Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung, wenn im Zusammenhang mit den begleitenden Zeichnungen gelesen, ersichtlich werden.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine Darstellung einer elektrischen Schaltung einer Speicherzelle, welche drei Transistoren und zwei Kondensatoren entsprechend einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung aufweist;
  • 2 ist eine Darstellung einer Schaltung, die zwei Ausführungsformen einer Speicherzellenanordnung entsprechend der Erfindung darstellt;
  • 3 ist eine Darstellung einer elektrischen Schaltung, die im Detail eine Dummy-Speicherzelle entsprechend der Erfindung zeigt;
  • 4 ist eine Darstellung einer Schaltung, die die Verbindungen mit dem Leseverstärker nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung zeigt;
  • 5 ist eine Darstellung einer Schaltung, die die Verbindungen mit dem Leseverstärker nach einer anderen bevorzugten Ausführungsform der Erfindung zeigt;
  • 6 zeigt eine exemplarische Ausführungsform eines Speichers, in welchem die Erfindung eingebaut ist;
  • 7 ist eine Darstellung einer elektrischen Schaltung nach einer alternativen bevorzugten Ausführungsform einer Speicherzelle entsprechend der Erfindung;
  • 8 ist eine Darstellung einer elektrischen Schaltung einer alternativen bevorzugten Ausführungsform einer Dummy-Speicherzelle entsprechend der Erfindung;
  • 9 ist eine Darstellung einer elektrischen Schaltung, die zwei Ausführungsformen einer Schaltung für einen Bitleitungstreiber für die Lesefunktion entsprechend einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung zeigt,
  • 10 ist ein Zeitdiagramm für die Schaltung nach 9;
  • 11 zeigt eine exemplarische Hysteresekurve für ein ferroelektrisches Material, die die Kennzeichen der bevorzugten Ausführungsform der Lesefunktion entsprechend der Erfindung darstellt;
  • 12 ist ein Abschnitt einer partitionierten Speicherzellenanordnung entsprechend einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;
  • 13 ist eine Darstellung einer elektrischen Schaltung einer alternativen bevorzugten Ausführungsform eines Abschnitts einer Speicheranordnung, welche eine Zwei-Bit-4C/5T-Speicherzelle aufweist;
  • 14 ist eine Darstellung einer elektrischen Schaltung nach einer anderen alternativen bevorzugten Ausführungsform eines Abschnitts einer Speicheranordnung, welcher dieselbe ist wie die Anordnung von 13. außer daß die Treiberleitung zwischen den Paaren von Bitleitungen angeordnet ist;
  • 15 ist eine Darstellung einer elektrischen Schaltung nach einer anderen bevorzugten Ausführungsform eines Abschnitts einer Speicheranordnung, die ähnlich ist mit der der 13, außer daß sie eine Dummy-Bitleitung und einen Kondensator aufweist; und
  • 16 ist eine Darstellung einer elektrischen Schaltung, die eine bevorzugte Ausführungsform des Leseverstärkers von 5 darstellt.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Die Aufmerksamkeit kurz auf 6 lenkend wird ein Speicher 436 entsprechend der Erfindung gezeigt. Eine Speicheradresse wird an die Eingänge 438 angelegt, dekodiert in Steuerlogik 480, Dekodierer 441 und Multiplexer 478, um eine spezielle Speicherzelle in der Anordnung 445 anzusprechen, wie in der Adresse angezeigt. Signale entsprechend der einkommenden Daten auf der Leitung 435 werden an die angesprochene Zelle über IO Transceiver 479 und Multiplexer 478 angelegt, um in die Zelle zu schreiben, und Leseverstärker und IO Transceiver 479 tatstet Ausgangsdaten von der angesprochenen Zelle ab und gibt sie auf Leitung 435 aus. Der Signalerzeuger 480 erzeugt bestimmte Zeitgebungssignale, um den Speicher zu betreiben, und legt sie an den Dekodierer 441, den Leseverstärker und IO Transceiver 479 und Multiplexer 478 an. Die Erfindung betrifft neuartige Strukturen von Speicherzellen und Dummy-Zellen in einer Anordnung 445 wie in den 13, 7 und 7 gezeigt, Leseverstärkerstrukturen, wie in den 4 und 5 gezeigt, einen Bitleitungs-Treiber, der in 9 gezeigt ist und eine Anordnungsstruktur, die in 12 gezeigt ist, welche individuell und in Kombination in einem komplexen, schnellen, zuverlässigen und energieeffizienten Speicher resultieren, ein Zeitdiagramm für die Schaltung nach 9 ist in 10 illustriert und eine Hysteresekurve in 11.
  • Hier entspricht eine "Spannungsleitung" im allgemeinen einer Bitleitung, einer Wortleitung, einer Treiberleitung oder einer anderen Spannungsquelle, oder einer Spannungssenke; der Begriff "Trinionzelle" entspricht im allgemeinen einer Speicherzelle, die drei Transistoren und zwei Kondensatoren aufweist oder anders gesagt einer 3T/2C-Zellenkonfiguration. Hier bezieht sich der Begriff "Quelle/Drain"-Pfad, da bezogen auf einen Transistor, auf den leitfähigen Pfad durch einen Feldeffekttransistor (FET), einen anderen Typ von Transistor oder ein anderes Schaltelement, dessen Pfad entweder leitend oder nicht leitend sein kann in Abhängigkeit von dem Zustand des Gatters oder eines anderen Kontrollmechanismus für das Schaltelement. Hierin ist, wenn eine Richtung im Zusammenhang mit einer Querschnittsansicht eines Wafers disutiert wird, die Silikonschicht im allgemeinen "unten" an und eine Metallschicht im allgemeinen "oben" an einer solchen Darstellung. Folglich entspricht ein Verweis auf eine erste Komponente, die "oberhalb" einer zweiten Komponente plaziert ist, im allgemeinen, daß die zweite Komponente näher an der Silikonschicht ist als die erste Komponente. Dementsprechend entspricht die "Aufwärts"-Richtung einer Richtung, welche von der Silikonschicht zu der Metallschicht führt.
  • 1 ist eine Darstellung einer elektrischen Schaltung einer Speicherzelle 100 gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Speicherzelle 100 umfaßt einen ersten ferroelektrischen Kondensator 106, einen zweiten ferroelektrischen Kondensator 108, und Transistoren 105, 107 und 109. Die Zelle 100 ist verbunden mit einer Anordnung 445 (6) via die Wortleitung 101, ein Bitleitungs-Paar umfassend die Bitleitungen 102 und 104, und eine Treiberleitung 103. Die Gatter 123, 128 und 136 der Transistoren 105, 107 und 109 sind mit der Wortleitung 101 verbunden. Einer von Source/Drain des Transistors 105 ist verbunden mit der Bitleitung 102 am Knoten 113 und der andere von Soruce/Drain des Transistors 105 ist verbunden mit einer ersten oder unteren Elektrode 126 des Kondensators 106. Die zweite oder obere Elektrode 125 des Kondensators 106 ist verbunden mit dem Knoten 110, welcher ebenfalls verbunden ist mit einem von Source/Drain 127 des Transistors 107 und der zweiten oder oberen Elektrode 133 des Kondensators 108. Der andere von Source/Drain 129 des Transistors 107 ist verbunden mit der Treiberleitung 103 am Knoten 111. Die erste oder untere Elektrode 134 des Kondensators 108 ist verbunden mit einem von Source/Drain des Transistors 109, und der andere von Source/Drain 138 des Transistors 109 ist verbunden mit der Bitleitung 104 am Knoten 112. Wir werden auf den Transistor 107 als der "Treiberleitungs-Transistor" hinweisen. In dieser Offenbarung ist dieser Transistor Teil der Zelle 100.
  • Ein unterscheidungsfähiger Aspekt der bevorzugten Ausführungsform der Speicherzelle 100 von 1 ist, daß die Bitleitungen 102 und 104 parallel verlaufen zu der Treiberleitung 103, und daß alle vorangehenden rechtwinklig zu der Wortleitung 101 angeordnet sind. Diese Anordnung ermöglicht wünschenswerterweise, daß individuelle Zellen ausgewählt werden durch Aktivieren einer Kombination einer Wortleitung und einer Treiberleitung, die nur mit einer speziellen Zelle zusammenhängt. Solche Selektivität vermindert die Energieanforderung, die mit dem Aktivieren einer ganzen Spalte oder Reihe von Zellen verbunden ist, wenn nur eine Zelle von Interesse ist. Außerdem verhindert das Auswählen von einer einzelnen Zelle auf diese Weise, daß ungewünschte Störspannungen nicht ausgewählte Zellen erreichen. Das Vorgenannte ist wünschenswert, da solche Störspannungen mit der Zeit ungewünschte Änderungen in der Polarisation der nicht ausgewählten Speicherzellen verursachen können. Es wird anerkannt werden, daß die alternativen relativen Orientierungen der Wortleitungen, der Bitleitungen und der Treiberleitungen angewandt werden können unter Anwendung der erfindungsgemäßen Technologie, die hierin offenbart wird, und daß alle solche Variationen innerhalb des Schutzbereiches der vorliegenden Erfindung liegen.
  • Nach einer bevorzugten Ausführungsform umfaßt die in 1 dargestellte Trinionzelle zwei ferroelektrische Kondensatoren und drei Transistoren. Die drei Transistoren, die durch die Bezugszeichen 105, 107 und 109 identifiziert sind, sind vorzugsweise N-Kanal-Transistoren, können aber alternativ P-Kanal-Transistoren sein, P- und N-Übertragungsgatter, bipolare Transistoren, andere Vorrichtungen zum Schalten von Strom oder eine Mischung von verfügbaren Transistoren sein. Ferroelektrische Kondensatoren 106 und 108 können eine oder mehrere von einer Auswahl von ferroelektrischen Materialien umfassen, umfassend aber nicht darauf begrenzt PZT (Blei Zirkonat Titanat) und schichtweise Übergittermaterialien. Schichtweise Übergittermaterialien werden diskutiert im vergebenen Patent US 5,519,234 , ausgegeben am 21. Mai 1996, mit Titel "Ferroelectric Dielectric Memory Cell Can Switch At Least Giga Cycles And Has Low Fatigue – Has High Dielectric Constant And Low Leakage Current", dessen Offenbarung hiermit durch Bezugnahme mit eingebunden wird.
  • Ein Vorteil der bevorzugten Ausführungsform der Trinionzelle ist, daß beide, die obere und die untere Elektrode, von beiden Kondensatoren 106 und 108 von ihren zugehörigen Bitleitungen und/oder Treiberleitungen durch zumindest einen Transistor isoliert sind, wodurch eine höhere elektrische Isolation gewährt wird, wenn diese Transistoren ausgeschaltet sind, als die entsprechend dem Stand der Technik. Nach einer bevorzugten Ausführungsform sind die Transistoren, welche arbeiten, um selektiv die Kondensatoren 106 und 108 von ihren entsprechenden Bitleitungs- und Treiberleitungs-Verbindungen zu isolieren, an eine einzige Wortleitung angekoppelt. Auf diese Weise wird durch Ausschalten der Wortleitung 101 vorzugsweise das Ausschalten der drei Transistoren 105, 107 und 109 bewirkt, wodurch beide Elektroden von beiden Kondensatoren 106 und 108 von Störungen der Spannungen von den Bitleitungen 102 und 104 und der Treiberleitung 103 und von Störungen aufgrund von möglichem Rauschen von Quellen, die mit diesen Spannungsleitungen verbunden sind, vollständig isoliert werden. Obwohl die oben aufgeführte Diskussion auf eine Schaltung ausgerichtet ist, die eine Konfiguration hat, die eine vollständige Isolation von Kondensatoren von allen Störungsquellen durch Schalten einer einzigen Wortleitung ermöglicht, wird es anerkannt werden, daß alternative Ausführungsformen mehr als eine Wortleitungen verwenden können, um die gewünschte elektrische Isolation des Kondensators zu erreichen, und daß alle solche Variationen sich bestimmungsgemäß innerhalb des Schutzbereiches der vorliegenden Erfindung befinden.
  • Nach einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann die 3T/2C-Zelle oder Trinionzelle verwendet werden, um ein einzelnes Datenbit durch Speichern komplementärer Daten auf den Bitleitungen 102 und 104 zu speichern. Hierin wird auf diesen Ansatz verwiesen als der Ein-Bit-Speicherungsmodus. Alternativ können zwei Datenbits durch Speichern von unabhängigen Daten auf den Bitleitungen 102 und 104 in der erfindungsgemäßen Speicherzelle gespeichert werden. Die Option der Speicherung von Zwei-Bit-Daten wird in größerer Länge unten diskutiert. Hierin wird auf den zweiten Ansatz verwiesen als der Zwei-Bit-Speichermodus.
  • Wo die 3T/2C-Speicherzelle in dem Ein-Bit-Speichermodus verwendet wird, wird wünschenswerterweise eine hohe Störfestigkeit zur Verfügung gestellt. Außerdem stellt die Verwendung einer gemeinsamen Treiberleitung oder DL-Leitung 103 in Kontakt mit den oberen Elektroden der zwei Kondensatoren 106 und 108 wünschenswerterweise ausgeglichene Spannungspulse an den zwei Kondensatoren 106, 108 zur Verfügung, wodurch günstigerweise Unausgeglichenheiten in den Spannungs- und Strom-Konditionen an den oberen Elektroden der zwei Kondensatoren minimiert werden.
  • Nach einer bevorzugten Ausführungsform arbeitet die Verwendung einer gemeinsamen Treiberleitung 103 für die zwei separaten Kodensatoren 106, 108 in Kombination mit der Verwendung von Transistor 107, welcher zwischen der Treiberleitung 103 und den zweiten oder oberen Elektroden der Kondensatoren 106, 108 liegt, um kapazitive Ladungen auf der Treiberleitung 103 zu reduzieren. Es kann erkannt werden, daß, wenn die Wortleitung 101 abgeschaltet wird, der Transistor 107 einen offenen Schaltkreis zwischen der Treiberleitung 103 und den zweiten oder oberen Elektroden der Kondensatoren 106 und 108 bewirken wird, wodurch die Kondensatoren 106 und 108 daran gehindert werden, die Treiberleitung 103 kapazitiv zu laden. Diese Reduktion der kapazitiven Ladung arbeitet wünschenswerterweise, um zu ermöglichen, daß die Treiberleitung 103 in weniger Zeit und unter Verwendung von weniger Energie umgeschaltet werden kann als wenn kapazitive Ladung vorhanden ist. Vielmehr funktioniert wünschenswerterweise geeignetes Schalten des Transistors 107 unter Steuerung der Wortleitung 101, um Störungen oder "Stör"-Spannungen entlang der Treiberleitung 103 daran zu hindern, die zweiten oder oberen Elektroden der Kondensatoren 106 und 108 zu beeinflussen.
  • Zusätzlich zu den oben diskutierten Vorteilen der elektrischen Isolation bewirkt das Plazieren der Treiberleitung 103 zwischen die Bitleitungen 102 und 104 nach einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Speicherzelle wünschenswerterweise, daß wechselseitige kapazitive Kopplung zwischen den Bitleitungen 102 und 104 ausgeglichen wird.
  • Wie vorher bemerkt kann die 3T/2C- oder Trinionzelle ebenfalls in einem Zwei-Bit-Speichermodus verwendet werden. In diesem Fall enthalten die Bitleitungen 102 und 104 bevorzugt unabhängige Datenbits. In diesem Modus arbeitend würde die erfindungsgemäße Speicherzelle eine in Speicherbits geteilt durch die Anzahl von Transistoren per Zelle gemessene und dem erhältlichen Stand der Technik wesentlich überlegene Datenspeicherdichte zur Verfügung stellen. Speziell können in dem Zwei-Bit-Speichermodus der vorliegenden Erfindung zwei Datenbits in einer Zelle mit drei Transistoren gespeichert werden. Im Gegensatz ist im allgemeinen in einer traditionellen 2T/2C-Speicherzelle nur ein Bit gespeichert. Folglich speichert eine bevorzugte Ausführungsform der Speicherzelle der vorliegenden Erfindung 1 Bit per 1,5 Transistoren, wohingegen die 2T/2C-Speicherzelle nach dem Stand der Technik 1 Bit per 2,0 Transistoren speichert. Dieser Anstieg in der Dichte der Datenspeicherung bewirkt vorzugsweise, daß eine noch weitere Größenreduktion der Speicherschaltungen unter Verwendung der hierin offenbarten erfindungsgemäßen Technologie möglich wird.
  • Nach einer bevorzugten Ausführungsform liefert die Verwendung einer gemeinsamen Treiberleitung 103 zwischen den Bitleitungen 102 und 104 ausgeglichene elektrische Impulse an die zweiten oder oberen Elektroden 126, 134 der Kondensatoren 106 und 108. Diese elektrische Ausgeglichenheit bewirkt wünschenswerterweise, daß ein Signalversatz reduziert wird und, daß der Betrieb des Leseverstärkers (5 und 6), der mit den Dummy-Referenzzellen (2 und 3) verwendet wird, verbessert wird. Wie in dem Fall des Ein-Bit-Speichers bewirkt die Verwendung einer gemeinsamen Treiberleitung 103 in Verbindung mit dem Transistor 107 wünschenswerterweise, daß kapazitives Laden auf der Treiberleitung 103 reduziert wird.
  • 2 stellt eine Speicheranordnung 200, 240 entsprechend einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. 2 stellt sowohl eine Anordnung 200 entsprechend der Ein-Bit-Speichermodus-Ausführungsform und eine Anordnung 240 entsprechend der Zwei-Bit-Speichermodus-Ausführungsform dar. Die Anordnung 200 umfaßt eine Vielzahl an Spalten 248, 249 etc., und eine Vielzahl an Reihen 252, 253 etc., von Speicherzellen mit einer Gesamtzahl von (N+1) × M Zellen, wobei N+1 die Anzahl von Spalten in der Anordnung 200 ist und M die Anzahl von Reihen in der Anordnung ist. Die gepunkteten Linien 243 stellen zusätzliche Reihen dar, die erforderlich sind, um die Anordnung zu vervollständigen und die gepunkteten Linien 244 zeigen die zusätzlichen Spalten an, um die Anordnung zu vervollständigen. Die Anordnung 200 umfaßt Zellen 100, und 202206 sowie durch gepunktete Linien 243 und 244 angezeigte Zellen. Die Anordnung 240 umfaßt alle Zellen in der Anordnung 200 plus eine Spalte 250 von Dummy-Zellen, umfassend die Dummy-Zellen 220, 221 und die zusätzlichen, durch die gepunktete Linie 245 angezeigten Zellen. Vorzugsweise bewirkt die Plazierung der gemeinsamen Treiberleitung 227 zwischen die Bitleitungen 226 und 228, daß die gegenseitige kapazitive Kupplung zwischen den Bitleitungen reduziert wird.
  • Eine beispielhafte Dummy-Zelle wird in 3 gezeigt. Diese Zelle hat dieselbe Struktur wie die Speicherzelle 100 von 1, umfassend drei Transistoren 310, 312 und 314, zwei ferroelektrische Kondensatoren 311 und 313, die wie oben beschrieben verbunden sind, und welche in die Anordnung 240 eingeschlossen sind durch die Wortleitung 209, die Dummy-Bitleitungen 226 und 228 und die Dummy-Treiberleitung 227, wie oben beschrieben für die entsprechenden Elemente von 1. Die Tatsache, daß zwei Dummy-Bitleitungen 226 und 228 und zwei ferroelektrische Dummy-Kondensatoren 311 und 313 vorhanden sind, ist ein wichtiges Kennzeichen der Erfindung. Die Dummy-Zelle 220 wird in dem komplementären Modus betrieben: Die in den Kondensatoren 311 und 313 gespeicherten ferroelektrischen Zustände sowie die an die Bitleitungen 226 und 228 angelegten Signale sind komplementär. Das bedeutet, wenn der Zustand des Kondensators 311 logisch "1" ist, ist der Zustand des Kondensators 313 logisch "0" und umgekehrt.
  • Auf 2 zurückkommend wird es anerkannt werden, daß die Komponenten und elektrischen Verbindungen von jeder der Zellen 100, 202206 sowie der anderen Zellen der Anordnung 200 die, die nicht explizit gezeigt sind, im allgemeinen denen der Speicherzelle 100, die in 1 dargestellt ist, entsprechen, wobei die Komponenten und Schaltungen von jeder der Dummy-Zellen in Spalte 250 allgemein denen der in 3 gezeigten Dummy-Zelle 220 entsprechen. Jedoch, um der Einfachheit willen, sind die internen Details jeder der Zellen in 2 weggelassen.
  • Nach einer bevorzugten Ausführungsform erstrecken sich die Wortleitungen 209, 210 und die anderen Wortleitungen durch die Anordnungen 200 und 240, wobei jede Wortleitung sich auf eine Reihe von Zellen bezieht. Entsprechend verlaufen die Bitleitungen 102 und 104 und die Treiberleitung 103 wie auch die anderen Bit- und Treiberleitungen durch die Anordnung 200 und in der Ein-Bit-Ausführungsform, in welcher die Bitleitungen komplementär sind, bezieht sich jedes komplementäre Paar von Bitleitungen und die dazu gehörende Treiberleitung auf eine Spalte von Zellen.
  • Nach einer bevorzugten Ausführungsform müßten, damit eine Zelle ausgewählt wird, die Wortleitung und die Treiberleitung, die an dieser Zelle zusammentreffen, beide aktiviert sein. Beispielsweise, wo sowohl die Wortleitung 210 als auch die Treiberleitung 103 aktiv sind, ist die Zelle 203 aktiviert. Mit der dargestellten Kombination von aktiven Treiber- und Wortleitungen wird die Zelle 100 bevorzugt eine aktive Treiberleitung haben, aber die Abwesenheit einer aktiven Wortleitung würde verhindern, daß jegliche Spannung die Elektroden der Kondensatoren in der Zelle 100 erreichen. In der Zelle 204 wäre die Wortleitung aktiv, folglich würden die oberen Elektroden des Kondensators an die Treiberleitung 207 angekoppelt. Jedoch würde Treiberleitung 207 nicht aktiv sein, wodurch jegliche Störung der Polarisation der Kondensatoren der Zelle 204 verhindert würden.
  • Im Stand der Technik würde die Existenz von Störspannungen die Verwendungen von mehreren Dummy-Leitungen verhindert haben wegen der zerstörerischen Wirkung der Stör-Spannungen, welche an einer oder mehrerer der Elektroden eines Kondensators vorhanden wären. Jedoch bewirkt nach einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Verwendung von Transistoren oder anderen Schaltelementen zwischen den beiden Elektroden des Kondensators innerhalb jeder Dummy-Zelle und allen Quellen von Störspannungen, daß die Kondensatoren gegen solche Stör-Spannungen geschützt sind, wodurch eine größere Flexibilität und Kompaktheit in dem Design der Speicherschaltung ermöglicht wird, ohne die Polarisation der Vielzahl an Kondensatoren in der Speicherzelle zu stören.
  • In der Ausführungsform von 2 ist N eine ganze Zahl und kann gleich Null sein. Das bedeutet, es können mehr als eine Dummy-Zelle für jede aktive Zelle vorhanden sein. Vorzugsweise ist N gleich 3, 7, 15 oder ein anderes Vielfaches von 2N – 1. Wie im Stand der Technik bekannt können viel mehr Reihen oberhalb und/oder unterhalb der dargestellten Reihen und viel mehr Spalten, umfassend sowohl zusätzliche Spalten von aktiven Zellen und zusätzliche Spalten von Dummy-Zellen, vorhanden sein. Ein Vorteil der Erfindung ist, daß viel mehr Reihen von Zellen verwendet werden können als bei Speichern des Standes der Technik, ohne den Speicher wesentlich zu verlangsamen. Dies liegt daran, daß alle Zellen in einer Spalte außer der Zelle, auf die zugriffen wird, von der Treiberleitung abgekoppelt sind und daß folglich ihre Kapazität sich nicht zu der Kapazität der Treiberleitung addiert. Da in früheren ferroelektrischen Speichern die Kapazität eines Speicherzellenkondensators in der Größe der Kapazität der Treiberleitung ist, kann, wenn die Speicherzelle entsprechende Erfindung mit irgendeinem Design des Standes der Technik kombiniert wird, die Länge der Spalte um einen Faktor, der ungefähr gleich der Anzahl von Zellen in der Spalte des Designs nach dem Stand der Technik ist, verlängert werden. Zum Beispiel, falls das Design nach dem Stand der Technik begrenzt war auf acht Reihen, kann das Design mit der Zelle der vorliegenden Erfindung 64 Reihen verwenden und dennoch ungefähr dieselbe Geschwindigkeit haben.
  • 4 stellt die Verbindung des Leseverstärkers 402 mit der Anordnung von 2 und dem Speicher von 6 in dem Ein-Bit-per-Zelle-Modus dar und 5 stellt die Verbindung eines Leseverstärkers 502 mit der Anordnung von 2 und dem Speicher von 6 in der Zwei-Bit-Ausführungsform dar. Das Design von Leseverstärkern wie 402 ist im Stand der Technik bekannt und wird daher nicht im Detail beschrieben. Der Leseverstärker 502, besonders die Funktion wie seine Referenzsignale auf den Leitungen 516 und 518 von der Dummy-Zelle 220 abgeleitet werden, ist neuartig. Die Bitleitungen 406 und 408 in 4 stellen ein Bitleitungspaar dar, wie die Bitleitungen 102 und 104. In dieser Ausführungsform entsprechen die Bitleitungen entgegengesetzten logischen Zuständen. Die Bitleitungen sind mit zwei Seiten des Leseverstärkers 402 wie im Stand der Technik bekannt verbunden. Ein durch die Lese-Freigabe-Leitung 412 übertragenes Freigabesignal für den Leseverstärker, SEN, wird über einen Eingang 413 an den Leseverstärker 402 angelegt. Die Lese-Freigabe-Leitung 412 ist eine der Leitungen, die die mit dem Signalgenerator 480 (6) verbundenen Signalleitungen 485 bilden. Daten werden von dem Leseverstärker 402 auf eine Datenleitung 414 ausgegeben, welche, wie aus dem Stand der Technik bekannt, zu einem Datenausgang 435 (6) gemultiplext ist.
  • In 5 entspricht eine Bitleitung 506 jeder der Bitleitung 102, 104 etc. In dieser Ausführungsform umfaßt ein Leseverstärker 502 drei Bitleitungseingänge 516, 518 und 519. Ein Bitleitungseingang 519 ist verbunden mit der Bitleitung 506. Der Bitleitungseingang 516 ist verbunden mit der Dummy-Bitleitung 226, und der Bitleitungseingang 518 ist verbunden mit der Dummy-Leitung 228. Innerhalb des Leseverstärkers 502 sind die Signale von den zwei Dummy-Leitungen 226 und 228 verknüpft, um ein einzelnes Referenzsignal auf einer Refe renzleitung 520 zu ergeben, welches Referenzsignal auf halbem Wege zwischen den Signalen DM0 und DM1 ist. Die Verbindung eines Leseeingangs 513, einer Leseleitung 512 und einer Datenleitung 514 in den Speicher 436 von 6 ist so wie für den Leseverstärker von 4 beschrieben.
  • 16 ist eine Darstellung einer elektrischen Schaltung, die eine bevorzugte Ausführungsform des Leseverstärkers von 5 darstellt. 16 zeigt Treiber 530, 533 und 531, welche Lese-Freigabesignale zur Verfügung stellen, und den Leseverstärker 502. Der Treiber 533 ist nicht verbindlich und wird daher in Schattenlinien gezeigt. Der Leseverstärker 502 umfaßt N-Kanal-Transistoren 541, 542, 543, 544 und 545, und P-Kanal-Transistoren 551, 552, 553, 554, 555 und 556. Die P-Kanal-Transistoren können ebenfalls N-Kanal-Transistoren mit invertierten Gattern sein. Ein Bitleitungseingang 519 mit Signal BL ist mit den Gattern der Transistoren 553 und 554 verbunden. Die Dummy-Bitleitung mit dem Signal DM0 ist mit dem Gatter des Transistors 555 verbunden und die Dummy-Bitleitung mit dem Signal DM1 ist mit dem Gatter des Transistors 556 verbunden. Der Ausgang des Treibers 530 ist mit dem Gatter der Transistoren 541, 544 und 545 und den Eingängen der Treiber 531 und 533 verbunden. Die Ausgänge der Treiber 533 und 531 sind mit einem Knoten 560 verbunden, welcher mit einem von Source/Drain der Transistoren 553, 554, 555 und 556 verbunden ist. Einer von Source/Drain von jedem der Transistoren 551 bis 544 ist mit Masse verbunden wie bei 560. Der andere von Source/Drain des Transistors 441 ist mit einem Knoten 562 verbunden, der die Transistoren 551 und 542 verbindet, und mit den Gattern der Transistoren 552 und 543 verbindet. Einer von Source/Drain des Transistors 545 ist verbunden mit einem von Source/Drain der Transistoren 555, 556 und 552. Der andere von Source/Drain des Transistors 544 ist verbunden mit dem Knoten 563, der die Transistoren 552 und 543 verbindet und mit den Gattern der Transistoren 551 und 542 verbindet und der andere von Source/Drain des Transistors 545 ist verbunden mit einem von Source/Drain der Transistoren 554, 553 und 551.
  • Der Leseverstärker 502 arbeitet wie folgt. Wenn das Lese-Freigabesignal auf der Leitung 513 zur Verfügung gestellt wird, schalten die Transistoren 541 und 544 an, um die Knoten 562 und 563 mit Masse zu verbinden. Zu demselben Zeitpunkt legen die Treiber 531, 533 ein hohes Signal an den Knoten 560 an. Der Treiber 531 stellt ein hohes Signal mit einer relativ langen Periode zur Verfügung, das ausreichend Zeit zur Verfügung stellt, damit das Signal an dem Knoten 560 sich stabilisiert. Der Treiber 533 stellt einen relativ schnellen Impuls, welcher die Geschwindigkeit des hoch gehenden Knotens 560 vergrößert. Er wird bevorzugt ver wendet für Anwendungen, die eine hohe Betriebsgeschwindigkeit erfordern. Falls das Signal BL höher ist als die verknüpften Signale DM0 und DM1, werden die Transistoren 553 und 554 mehr als die Transistoren 555 und 556 einschalten und wird der Knoten 521 schneller hochgezogen. Auf der anderen Seite, falls die verknüpften Signale DM0 und DM1 höher sind als das Signal BL, wird dann der Knoten 520 schneller hochgezogen. Die Schaltung 503, die die Transistoren 551, 552, 542 und 543 umfaßt, verhält sich dann wie ein konventioneller Leseverstärker, um die verknüpften Signale an den Knoten 521 und 520 auf die Schienen zu ziehen. Das heißt, falls das Signal an dem Knoten 521 höher ist als das Signal an dem Knoten 520, wird dann der Knoten 521 und die Datenleitung 514 hochgezogen und der Knoten 520 tiefgezogen, und falls das Signal an dem Knoten 521 niedriger ist als die verknüpften Signale an den Knoten 521 und 520, wird die Datenleitung 521 tiefgezogen.
  • Wie im Stand der Technik bekannt kann ein separater Leseverstärker 402 mit jedem komplementären Paar von Bitleitungen verbunden sein oder kann ein Leseverstärker von mehreren Paaren von Bitleitungen verwendet werden, welche Transistoren verwenden, die von Signalen von einem Signalerzeuger 480 (6) betrieben werden, über eine Multiplexer-Schaltung, oder in einer anderen Weise. Ähnlich kann ein separater Leseverstärker 502 zwischen die Dummy-Bitleitungen und jede der anderen Bitleitungen verbunden sein oder kann ein Leseverstärker mit einer Vielzahl von Bitleitungen verwendet werden.
  • Es ist ein Kennzeichen der Erfindung, daß Dummy-Zellen wie 220 so betrieben werden, daß die Kondensatoren 311 und 314 in entgegengesetzten logischen Zuständen sind. Jedoch alternieren die speziellen logischen Zustände, was mit jedem Zyklus sein kann, aber wünschenswerterweise ändern sich die Zuständige weniger oft, zum Beispiel alle 10, 25 oder 100 Zyklen, abhängig von dem ferroelektrischen Material. Das heißt, falls für eine Serie von einem Zyklus der Kondensator 311 in dem Zustand logisch "0" ist und der Kondensator 314 in dem Zustand logisch "1", wird in den nächsten Serien von Zyklen der Kondensator 311 plaziert sein in einem Zustand logisch "1" und der Kondensator 314 wird plaziert sein in einem Zustand logisch "0". Dadurch wird verhindert, daß die Kondensatoren sich einprägen und/oder ermüden und wird der Abgleich der Dummy-Zelle sehr verbessert.
  • 6 ist ein Blockdiagramm, das einen exemplarischen integrierten Schaltkreisspeicher 436 darstellt, wobei ein Speicherabschnitt 100 ein Teil ist und wobei Speicheranordnungen wie 200 und 240 entsprechend der Erfindung verwendet werden. Für die Einfachheit ist die ge zeigte Ausführungsform für einen 16K × 1 FeRAM; jedoch kann die Erfindung verwendet werden in einer breiten Auswahl von Größen und Typen von Speichern umfassend, aber nicht darauf begrenzt, diese bei denen die Adressen nicht gemultiplext werden wie bei Speichertypen Flash oder SRAM. In der gezeigten 16K-Ausführungsform sind sieben Adresseingangsleitungen 438 vorhanden, welche durch den Steuerlogik-Abschnitt 480 und die Leitungen 439 mit dem X-Dekodier-Abschnitt 441 verbunden sind. Der X-Dekodierer 441 ist verbunden mit einer 128 × 128-Speicherzellen-Anordnung 445 über 128 Leitungen 446, welche die Wortleitungen wie 252 und 253 umfassen (2) und die Gruppenauswahlleitungen 940 und 942 (12). Drei andere Adressleitungen 438 werden über die Steuerlogik 480 dekodiert, um 8 Y-Auswahlleitung 486 zum Treiben des Y-Multiplexers 478 zu liefern, welcher die Bit- und die Treiberleitungen 447 treibt, wie 102104 und 226228 (2 und 3). Der Generator 480 für das Steuerlogik-Signal ist mit dem Leseverstärker und dem Datenausgang-Multiplexer-Schaltkreis 479 über die Leitungen 485 verbunden. Diese Leitungen stellen das SEN-Signal, das in Verbindung mit 4 diskutiert wurde, die CH und GR SEL-Signale, die unten in Verbindung mit den 17, 18 und 20 diskutiert werden, sowie andere Signale zur Verfügung. Die Anzahl der Leitungen 446, 447, 485 und 486 hängt davon ab, welche der hierin diskutierten Ausführungsform der Erfindung verwendet wird sowie von der Größe der Anordnung. Der DATA-Bus 435 ist ein bidirektionaler 16-Bit-Bus, der mit dem Leseverstärker und dem Datenausgangs-Multiplexer 479 verbunden ist und der einen 16-Bit-Dateneingang in den Speicher zur Verfügung stellt. Die Ausführungsform der gezeigten Speicherzellen-Anordnung 445 enthält 128 × 128 = 16.384 Speicherzellen, was herkömmlich als 16 K bezeichnet wird. Diese Zellen sind ferroelektrische, auf Kondensatoren basierende Umschaltzellen wie 100.
  • Die Wirkungsweise des Speichers in 6 ist die folgende. Die Signale A0 bis A6 des X-Dekodierers und die Signale A7 bis A9 des Y-Dekodierers werden durch die Steuerlogik 480 verbunden, gepuffert und dekodiert, und zum X-Dekodierer 441 bzw. dem Zwei-Weg-Y-Multiplexer 478 übergeben. Der X-Dekodierer 441 dekodiert die Adresssignale und plaziert die Wortleitungssignale wie die oben diskutierten WL0 und WL1 Signale auf einer der Wortleitungen 446; generell wird ein Signal auf der Wortleitung der Zelle plaziert, die adressiert ist. Wie oben erwähnt umfaßt der Leseverstärker und IO-Transceiverschaltkreis 479 Leseverstärker wie 402 und 502 (4 und 5), welche entlang der Leitungen 447 angeordnet sind, um die Signale auf den ausgewählten Leitungen abzutasten und zu verstärken, und treibt und empfängt der I0-Transceiver in der Schaltung 479 Daten von der Datenleitung 435.
  • Die verschiedenen Komponenten des Speichers 436 in der 6 werden nur als eine exemplarische Ausführungsform gezeigt, um darzustellen, wie die Erfindung verwendet wird. Jedoch gibt es buchstäblich Hunderte von Speicherdesigns, in welchen die Erfindung verwendet werden kann, und plazieren unterschiedliche Designs die verschiedenen Komponenten an verschiedenen Einbauorten, verwenden sie vielleicht einige der Komponenten nicht oder verwenden sie andere Komponenten. Zum Beispiel werden in unterschiedlichen Speicherdesigns die Leseverstärker in dem Mittelpunkt der Leitungen 447 plaziert, an demselben Ende wie die Leitungstreiber, oder an einem anderen Platz in dem Schaltkreis. In einigen Speichern können der Signalgenerator 480 und der X-Dekodierer und der Wortleitungs-Treiberschaltkreis in eine Einheit zum Generieren eines Einzelsignals kombiniert werden. Die Schaltung der verschiedenen Komponenten des Speichers 436, außer wie woanders hierin diskutiert, ist in dem Stand der Technik des Designs integrierter Schaltkreisspeicher bekannt und wird hierin nicht weiter diskutiert werden. Eine andere Logik, die erforderlich ist oder nützlich ist, um die Funktionen wie oben behandelt auszuüben, sowie andere bekannte Speicherfunktionen, ist ebenfalls in dem Speicher 436 enthalten, ist aber nicht gezeigt und wird auch nicht diskutiert, da sie nicht direkt maßgeblich für die Erfindung ist.
  • 7 ist eine elektrische schematische Darstellung einer alternativen Speicherzelle 700 entsprechend der Erfindung. Diese Struktur umfaßt vier Transistoren 711, 713, 714 und 716 und zwei ferroelektrische Kondensatoren 712 und 715. Die Transistoren 711, 713 und der Kondensator 712 sind mit einer Bitleitung 706 und einer Treiberleitung 707 in demselben Weg verbunden wie die Transistoren 105 und 107 und der Kondensator 106 mit der Wortleitung 101, der Bitleitung 102 und der Treiberleitung 103 (1) verbunden ist und die Transistoren 714 und 716 und der Kondensator 715 sind mit einer Wortleitung 701, einer Bitleitung 709 und einer Treiberleitung 708 in demselben Wege verbunden wie die Transistoren 107 und 109 und der Kondensator 108 mit der Wortleitung 101, der Bitleitung 104 und der Treiberleitung 103 verbunden sind. Der einzige Unterschied ist, daß es zwei Treiberleitungen 707 und 708 anstelle von einer gibt. Außerdem kann die Zelle 700 progammiert sein als eine Einzel-Bitzelle mit Kondensatoren 712 und 715 in komplementären Zuständen oder als 2-Bit-Zelle. Diese Struktur wie die Struktur der Zelle 100 von 1 ist hervorragend in einer Umgebung mit hohem Rauschen, wie ein eingebetteter Speicher, da die ferroelektrischen Kondensatoren 712, 715 vollständig isoliert sind, außer wenn sie adressiert sind. Jedoch, wie unten weiter im Detail gesehen werden kann, ist der Schreibzyklus ungefähr die Hälfte von dem Schreibzyklus der Zelle 100; folglich ist ein Speicher mit einer Zelle 700 extrem schnell.
  • 8 zeigt eine Dummy-Zelle 800, in welcher Transistoren 811, 813, 814 und 816 und Kondensatoren 812 und 815 verbunden sind mit Bitleitungen 806, 809, Wortleitung 801 und Treiberleitungen 807 und 808, ebenso wie die entsprechenden Transistoren und Kondensatoren in der Zelle 700 verbunden sind. In dieser Struktur haben die Dummy-Leitungen 807 und 808 immer komplementäre Signale, wie auch die Bitleitungen 806 und 809.
  • Die Leseverstärker 402 (4) und 502 (5) werden bevorzugt verwendet mit der 1-Bit-Ausführungsform der Zelle 700 und der 2-Bit-Ausführungsform der Zelle 700, wie oben für die Zelle 100 von 1 beschrieben.
  • Sich nun zur 9 wendend, werden zwei Ausführungsformen einer Bitleitungs-Treiberschaltung 900 gezeigt, welche eine kleine Ladung für die Leseverfahren der 15 und 16 zur Verfügung stellen. Die Treiberschaltung 900 umfaßt zwei Transistoren 902 und 904 und einen Kondensator 906. Der Transistor 902 hat ein invertiertes Gatter. Der Transistor 902 kann ebenfalls ein P-Kanal-Transistor sein, während der Transistor 904 ein N-Kanal-Transistor ist. Der Kondensator 906 kann ein ferroelektrischer Kondensator oder ein konventioneller linearer Kondensator sein. Das invertierte Gatter des Transistors 902 ist mit der "Lade"-Leitung 908 verbunden. Einer von Source/Drain des Transistors 902 ist mit Vdd verbunden, während der andere von Source/Drain mit einer Elektrode 915 des Kondensators 906 verbunden ist, welche bevorzugt die untere Elektrode ist. Nach einer Ausführungsform ist die andere Elektrode 916 des Kondensators 906 über die Leitung 921 mit Masse 914 verbunden. Die zweite Ausführungsform umfaßt einen Pufferverstärker 917. Nach der zweiten Ausführungsform ist der Eingang des Puffers 917 mit der Lade-Leitung 908 verbunden und ist der Ausgang mit der Elektrode 916 verbunden. Ein Knoten 911 zwischen dem Transistor 902 und der Elektrode 915 ist ebenfalls mit der Bitleitung 907 durch den Transistor 904 verbunden, dessen Gatter mit der Lade-Leitung 908 verbunden ist. Der P-Kanal-Transistor 902 kann ersetzt werden mit einem P/NB-Übertragungs-Gatter oder jegliches Tastungselement, welches einschalten wird, wenn CH niedrig ist. Desgleichen kann der N-Kanal-Transistor 904 ebenfalls ersetzt werden mit einem P/N-Übertragungs-Gatter oder jeglichem Abtastungselement, welches einschalten wird, wenn CH hoch ist.
  • Ein den Betrieb des Bitleitungstreibers 900 zeigendes Zeitdiagramm 920 wird in 10 gezeigt. Zu Beginn eines Zyklus ist das CH-Signal auf der Ladungs-Leitung niedrig, was bedeutet, daß der Transistor 902 an ist und der Transistor 904 aus ist. Folglich ist die Elektrode 915 hochgezogen und ist das LE-Signal, welches den Spannungszustand dieser Elektrode darstellt, hoch. Dann geht das CH-Signal auf der Ladungs-Leitung hoch, wodurch der Transistor 902 abschaltet und der Transistor 904 einschaltet, was eine positive Ladung auf der Elektrode 915 erlaubt, sich auf die Bitleitung 907 zu entladen, was verursacht, daß die Spannung BL auf der Bitleitung um einen kleinen Wert ansteigt. Die Kapazität des Kondensators 906 ist sorgfältig ausgesucht und mit der Kapazität der Bitleitung 907 abgeglichen, so daß der Anstieg der Spannung auf der Bitleitung ausreichend ist, um die Leseoperation zu treiben, aber nicht ausreichend ist, um wesentlich den ferroelektrischen Kondensator der Speicherzelle, der mit der Bitleitung verbunden ist, zu stören. Vorzugsweise, mit den aktuellen ferroelektrischen Kondensatoren und der Speicherzellentechnologie nach dem Stand der Technik, ist ein Kondensator 915 so ausgewählt, daß die Spannung der Bitleitung auf ein Drittel der hohen Spannungsquelle des Speichers ansteigt, das heißt der Vdd-Spannung, oder weniger. Vorzugsweise ist sie ein Viertel der hohen Spannung des Speichers oder weniger. Jedoch, wie in Zusammenhang mit 19 diskutiert, wurde herausgefunden, daß das das System sogar mit Spannungen von 1,5 V und 2 V, welche in sehr hohen elektrischen Speichern nach dem Stand der Technik so viel wie zwei Drittel oder drei Viertel der hohen Speicherspannung sein kann, gut arbeiten wird. Die Wirkungsweise der Ausführungsform mit dem Pufferverstärker 917 ist dieselbe, außer wenn die Lade-Leitung 908 hoch geht, der Puffer 917 einschaltet und die obere Elektrode 916 hoch treibt, welche zweimal so viel Ladung auf die Bitleitung 907 entlädt.
  • 11 ist eine ferroelektrische Hysteresekurve 925, die die Polarisierbarkeit P eines ferroelektrischen Kondensators wie 106 gegenüber der Spannung aufträgt. Solche Hysteresekurven sind in dem Stand der Technik wohlbekannt, so daß ihre Erzeugung hier nicht diskutiert werden muß. Die "Y-Achse" stellt die Ladung Q an dem Kondensator dar, wohingegen die "X-Achse" die Spannung V darstellt. Bei Null Volt ist ein ferroelektrischer Kondensator in dem Zustand logisch "1" an dem Punkt A der Hysteresekurve 925, während ein ferroelektrischer Kondensator in dem Zustand logisch "0" an dem Punkt C ist. Wenn 0,4V an dem Kondensator eingebracht werden, steigt der ferroelektrische Kondensator in dem Zustand logisch "1" entlang der Hysteresekurve zum Punkt B, während der ferroelektrische Kondensator in dem Zustand logisch "0" zu dem Punkt D aufsteigt. Da die Hysteresekurve von C zu D steiler ist als von A zu B, absorbiert der Kondensator in dem Zustand logisch "0" mehr Polarisationsla dung. Folglich ist die Spannung im Endzustand der Bitleitung niedriger als für den Kondensator in dem Zustand logisch "1". Der Schlüsselfaktor, der von der Kurve 925 zu beobachten ist, ist, daß die Hysteresekurve steiler ist für den Zustand, welcher umschalten würde, falls die Spannung, die an den Kondensator angelegt wird, in derselben Richtung wäre, aber größer als die zwangsweise Spannung. Dies trifft zu in welchem Polarisationszustand der Kondensator auch immer ist. Folglich ist die Bitleitung, die in einem SDRO-Zyklus niedriger ist, ebenfalls die Bitleitung, die in einem SNDRO-Zyklus niedriger ist.
  • 11 stellt dar, wie die unterschiedliche Steilheit der Hysteresekurve zu einem stabilen Abtastschema führt. Falls eine kleine Ladung an den ferroelektrischen Kondensator angelegt wird, wird in Abhängigkeit davon, ob der Kondensator in dem Zustand "logisch 1" oder "logisch 0" ist, eine große Differenz in der an dem Kondensator erzeugten Spannung sein. Die entstandene Spannung, falls der Kondensator in dem Zustand "A" ist, wird viel größer sein als die entstandene Spannung, falls der Kondensator in dem Zustand "C" ist. Die entstandene Spannung wird nicht ausreichend sein, um den Zustand des ferroelektrischen Kondensators zu ändern, aber die Spannungsdifferenz kann einfach festgestellt werden durch Leseverstärker nach dem Stand der Technik. Nach dem Abtasten kann die Spannung schnell entfernt werden. Eine Zurückschreibe-Operation kann wahlweise verwendet werden, falls ein extrem stabiles System gewünscht ist, abhängig von den Designanforderungen. Alternativ, falls ein Impuls mit einer Spannung V1 an eine Seite eines ferroelektrischen Kondensators angelegt wird, dessen Ladung klein genug ist, so daß sie nicht den Zustand des ferroelektrischen Kondensators ändert, wird der ferroelektrische Kondensator eine Ladung auf die Bitleitung entladen. Die Differenz zwischen der Ladung, die in dem Zustand "logisch 1" entladen wird, und der Ladung, die in dem Zustand "logisch 0" entladen wird, ist QL-QK. Diese große Ladungsdifferenz QL-QK zwischen den zwei unterschiedlichen Zuständen des Kondensators kann einfach durch Leseverstärker nach dem Stand der Technik abgetastet werden. Nachdem der Leseverstärker den Zustand erfaßt hat, kann eine Zurückschreibe-Operation abhängig von den Designanforderungen durchgeführt werden oder auch nicht.
  • Wie beim Stand der Technik bekannt, fällt der Kondensator in dem Zustand logisch "1" zurück auf ungefähr E, wenn die Spannung von dem Kondensator entfernt wird, wohingegen der Kondensator in dem Zustand logisch "0" auf ungefähr F zurückfällt. Jedesmal, wenn der Kondensator gelesen wird, geht der Kondensator zurück auf einen Zustand näher an Null. Jedoch, für ferroelektrische Kondensatoren nach dem Stand der Technik, gibt es eine Grenze, wie weit eine solche Hysteresekurve sich entspannen wird und nach Millionen von Zyklen erreicht der Kondensator in dem Zustand logisch "1" solch einen Punkt G, wo er nicht mehr entspannen wird und erreicht der Kondensator in dem Zustand logisch "0" den Punkt H, wo er ebenfalls nicht mehr entspannen wird. Jedoch, wie es im Stand der Technik bekannt ist, verschiebt sich die Hysteresekurve ebenfalls bei auf den ersten Zyklus folgenden Zyklen, so daß der Kondensator in dem Zustand logisch "1" immer weniger Ladung absorbiert, als der Kondensator in dem Zustand logisch "0". Das oben Erwähnte erklärt ebenfalls, warum es für ein stabiles System wünschenswert ist, einen Wiederschreib-Zyklus zu haben, obwohl der Kondensator in den SNDRO-Lese-Verfahren nicht geschaltet wird. Der Wiederschreib-Zyklus führt die Kondensatoren zurück zu den Zuständen A bzw. C; folglich beeinflußt die Entspannung des Kondensators nicht die Leistung des Kondensators.
  • Sich nun der 12 zuwendend wird ein Abschnitt einer Speicherzellenanordnung 930 entsprechend der Erfindung gezeigt, welche partitionierte Bitleitungen und Treiberleitungen aufweist. Die Anordnung 930 umfaßt mehrere Ebenen von Bitleitungen. Die Bitleitung 932 der oberen Ebene ist eine der Leitungen 447 des Speichers 436 (6). Das bedeutet, sie ist näher an dem Y-Multiplexer 478. Jede Bitleitung der oberen Ebene wie 932 hat mehrere Gruppen 947, 948 von zwei Bitleitungen 934 und 936 der zweiten Ebene, die mit ihr in Zusammenhang stehen. Die Ausdehnung der Bitleitungen wie 932, 934 und 936 oben und unten in der Figur ist beabsichtigt, um die bevorzugte Anwesenheit von vielfachen Gruppen von Bitleitungen der zweiten Ebene darzustellen. Die Anzahl von Bitleitungen der zweiten Ebene wird von Überlegungen bezüglich des Layouts und des Schaltungsdesigns abhängen, welche für unterschiedliche Implementierungsstrategien unterschiedlich sein können. Jede Bitleitung 934, 936 der zweiten Ebene ist mit der Bitleitung 932 der oberen Ebene durch einen Transistor 938 bzw. 939 verbunden. Das Gatter des Transistors 938 ist mit einer Auswahlleitung 940 für die erste Gruppe verbunden, während das Gatter des Transistors 939 mit einer Auswahlleitung 942 für die zweite Gruppe verbunden ist. Um zu ermöglichen, daß der Leser die Diskussion der Anordnung 930 mit der Diskussion der Anordnung 200 und 240 von 2 verbindet, werden wir annehmen, daß die Speicherzelle links oben der Anordnung 930 ebenfalls die Speicherzelle links oben der Anordnung 200, 240 ist und haben wir die Elemente gleich numeriert. Um eine Zelle auszuwählen, um in der Anordnung 930 adressiert zu werden, müssen sowohl eine Gruppenauswahlleitung und eine Wortleitung entsprechend der Zelle aktiv sein. Zum Beispiel, um die Zelle 100 auszuwählen, muß das GRSEL1-Signal hoch sein, um den Transistor 938 anzuschalten und die Bitleitung 934 der zweiten Ebene mit der Bitleitung 932 der oberen Ebene zu verbinden und muß die Wortleitung 101 hoch sein, um die Transistoren 105, 107 und 109 einzuschalten. Um eine Zelle in einer unteren Gruppe auszuwählen, ist GRSEL1 niedrig und GRSEL2 hoch.
  • Jede Bitleitung der zweiten Ebene wie 934 ist mit einer kleinen Anzahl von Speicherzellen, zum Bespiel 8, 16 etc. verbunden. Die Gesamtkapazität der Bitleitung entspricht der Summe der Kapazität der Bitleitung der oberen Ebene und der Kapazität der Bitleitung der zweiten Ebene. Da lediglich eine Bitleitung der zweiten Ebene mit der Bitleitung der oberen Ebene verbunden wird, wenn auf eine Zelle zugegriffen wird, beeinflussen die Kapazitäten der anderen Bitleitungen der zweiten Ebene nicht die gesamte Kapazität der Bitleitung. Folglich verringert das Partitionieren der Bitleitungen wesentlich die Bitleitungs-Kapazität, was wesentlich die Geschwindigkeit erhöht, mit der die Bitleitung auf die volle Spannung heraufkommen wird, was den Speicher beschleunigt.
  • Die Anordnung 930 umfaßt ebenfalls mehrere Ebenen von Treiberleitungen. Die Treiberleitung 941 der oberen Ebene ist eine der Leitungen 447 des Speichers 436 (6). Das bedeutet, daß sie näher ist an dem Y-Multiplexer 478. Jede Treiberleitung der oberen Ebene wie 941 weist mehrere Gruppen von zwei Treiberleitungen 945 und 946 des zweiten Levels auf, die mit ihnen in Zusammenhang stehen. Die Ausdehnung der Treiberleitungen wie 941, 945 und 946 wie oben und unten in der Figur ist beabsichtigt, um die bevorzugte Anwesenheit von mehreren Gruppen von Treiberleitungen der zweiten Ebene anzuzeigen. Abermals wird die Anzahl von Treiberleitungen der zweiten Ebene abhängen von Überlegungen bezüglich des Layouts und des Schaltungsdesigns. Jede Treiberleitung 945, 946 der zweiten Ebene ist durch einen Transistor 943 bzw. 944 mit der Treiberleitung 941 der oberen Ebene verbunden. Das Gatter des Transistors 943 ist mit der Auswahlleitung 940 der ersten Gruppe verbunden, während das Gatter des Transistors 944 mit der Auswahlleitung 942 der zweiten Gruppe verbunden ist. In dieser Ausführungsform wählen die Gruppen Auswahlsignale GRSEL1 und GRSEL2 die Gruppe wie oben beschrieben bezüglich der Partitionierung der Bitleitung aus. Wie für die Bitleitungen ist jede Treiberleitung der zweiten Ebene wie 943 mit einer kleinen Anzahl von Speicherzellen, zum Beispiel 8, 10 etc. verbunden. Die Gesamtkapazität der Treiberleitung entspricht der Summe der Treiberleitungskapazität der oberen Ebene und der Treiberleitungskapazität der zweiten Ebene. Da, wenn auf eine Zelle zugegriffen wird, nur eine Treiberleitung der zweiten Ebene mit der Treiberleitung der oberen Ebene verbunden ist, beeinflussen die Kapazitäten der anderen Treiberleitung der zweiten Ebene nicht die Gesamtka pazität der Treiberleitung. Folglich verringert das Partitionieren der Treiberleitungen wesentlich die Kapazität der Treiberleitung, was wesentlich die Geschwindigkeit, mit der die Treiberleitung auf ihre volle Spannung kommen wird, erhöht, was den Speicher beschleunigt.
  • Während in der in 12 gezeigten Ausführungsform sowohl die Bitleitungen als auch die Treiberleitungen partitioniert sind, können in anderen Ausführungsformen nur die Bitleitungen oder nur die Treiberleitungen partitioniert sein. Zusätzliche Ebenen unterhalb der zweiten Ebene können ebenso vorkommen. Der wichtige Aspekt ist, daß es eine Hierarchie von Bitleitungen und/oder Treiberleitungen gibt, wobei jede Leitung einer oberen Ebene mit einer Vielzahl von Leitungen einer zweiten Ebene durch Transistoren verbunden ist, jede Verbindungsleitung der zweiten Ebene durch Transistoren mit einer Vielzahl von Leitungen einer dritten Ebene verbunden sind, etc. Wortleitungen können ebenfalls in einer den Bit- und Treiberleitungen ähnlichen Weise partitioniert sein.
  • Da die Zelle 100 im Vergleich beispielsweise mit konventionellen DRAM-Designs einen zusätzlichen Transistor aufweist, könnte es erscheinen, daß es etwas weniger kompakt wäre als vergleichbare DRAM-Designs mit komplementärem Modus oder einem vergleichbaren DRAM-Design, welches Dummy-Zellen verwendet. Jedoch, da die Kompaktheit des Zellabschnitts des Speichers etwas mehr ist als konventionelle Designs, die manchmal als 1T/1C bezeichnet werden, führen die Vorteile der Isolation und der niedrigen Energie zu einer insgesamt niedrigen Dichte, wenn die Unterstützungsstrukturen, die jeder Speicher haben muß, berücksichtigt werden. Da die Kondensatoren, die nicht angesprochen sind, isoliert sind und ihre Kapazität nicht an der Treiberleitungs- und Bitleitungskapazität Anteil nimmt, können die Anordnungen viel größer gemacht werden als vorangehende Anordnungen von ferroelektrischen Speichern, ohne riesige Bitleitungs- und Treiberleitungs-Treiber aufzuweisen und ohne einen Plattenleitungstreiber für jede Reihe von Zellen aufzuweisen, wie in einigen Speichern des Standes der Technik. Da die Unterstützungsstruktur viel kleiner ist, ist die Dichte des gesamten Speichers kleiner. Im Vergleich mit DRAM ist ein Auffrischungsschaltkreis nicht erforderlich, da der Speicher nicht flüchtig ist. Vielmehr erlaubt die zwischen die Bitleitungen angeordnete Treiberleitung ein wirksames Design des Speichers und reduziert zu derselben Zeit ein Nebensprechen zwischen den Bitleitungen, was allen Elementen der Anordnung erlaubt, kompakter zu sein.
  • Der Speicher entsprechend der Erfindung verwendet ebenfalls viel weniger Energie als Designs nach dem Stand der Technik. Die großen Kapazitäten, die große Bitleitungs- und Treiberleitungs-Treiber erforderten oder Treiber für jede Reihe von Zellen in manchen Fällen, fuhrt an sich schon in eine hohe Energieanforderung. Vielmehr nach den Designs des Standes der Technik wurden viele nicht adressierte Zellen kontinuierlich hochgefahren. Dies ist Energieverschwendung und wird durch einen Speicher entsprechend der Erfindung eliminiert.
  • Zusätzlich zu der von den isolierten Kondensatoren und anderen Merkmalen der Erfindung zur Verfügung gestellten Kompaktheit und niedrigen Energie erhöht die reduzierte Kapazität sehr die Geschwindigkeit des Speichers. Die reduzierte Kapazität bedeutet, daß die Zeit für das Stabilisieren der Spannungsleitungen kleiner ist und die Zykluszeit ebenfalls entsprechend kleiner ist. Die Isolierung führt außerdem zu weniger Rauschen und eliminiert vollständig Störung einer nicht ausgewählten Speicherzelle wegen anderer Speicherzellen, die beschrieben werden oder gelesen werden. Dieses niedrigere Rauschen und das Eliminieren von vielen der Störquellen erlaubt eine zuverlässige SNDRO-Lesefunktion, welche extrem schnell ist.
  • Hierin ist ein Speicher beschrieben, der drei Transistor und zwei Kondensatoren aufweist, eine Treiberleitung symmetrisch angeordnet zwischen den Bitleitungen, welche eine Vielzahl von anderen neuartigen Merkmalen aufweist. Es sollte verstanden sein, daß die speziellen Ausführungsformen, die in den Zeichnungen gezeigt sind und in dieser Spezifikation beschrieben sind, lediglich dem Zwecke eines Beispiels dienen und sollten nicht angesehen werden als die Erfindung begrenzend, welche in den unten aufgeführten Ansprüchen beschrieben ist. Des weiteren ist es offensichtlich für den Fachmann, daß viele Verwendungen und Modifikationen der spezifischen beschriebenen Ausführungsform machen kann, ohne sich von dem erfindungsgemäßen Konzept zu entfernen.
  • Einige Beispiele von Speicheranordnungs-Strukturen, die Kennzeichen und Vorteile der Erfindung verwenden, sind in den 21 bis 24 gezeigt. 21 ist eine Darstellung einer elektrischen Schaltung eines Abschnitts 950 einer Speicheranordnung, in welcher eine Treiberleitung 955 und ein Treiberleitungstransistor 956 mit einem Paar von zwei Transistoren zusammenhängen, zwei Speicherzellen 953 und 954 eines ferroelektrischen Kondensators. In dieser Ausführungsform ist eine einzelne Treiberleitung 955 mit jedem der Kondensatoren 957, 958, 959 und 960 verbunden. Ansonsten ist die Schaltung dieselbe wie die Schaltung 100 der 1. Die Schaltung 950 kann angesehen werden als eine einzelne 2-Bit-Zelle 951, welche vier Kondensatoren und fünf Transistoren aufweist, oder als zwei 1-Bit-Zellen 953 und 954 mit einer Treiberleitung 955, die mit den zwei Zellen durch einen Treibertransistor verbunden ist.
  • 14 ist eine Darstellung einer elektrischen Schaltung eines Abschnitts 966 einer Speicheranordnung, die dieselbe ist wie die Anordnung 950, außer daß die Treiberleitung 968 zwischen den Bitleitungspaaren 969, 970 und 971, 972 angeordnet ist. Diese Ausführungsform kann angesehen werden als eine einzelne 2-Bit-Zelle oder zwei 1-Bit-Zellen. Diese Ausführungsform ist weiter bevorzugt als die Ausführungsform der 13, da sie weniger Rauschen aufweist und das Layout mehr ausgeglichen und effizienter ist.
  • 15 zeigt eine andere Ausführungsform eines Abschnitts 980 einer Speicheranordnung, die dieselbe Struktur wie die Ausführungsform der 13 hat, außer daß die Bitleitungs-Paare 982, 983 und 984, 985 nicht komplementär sind, ein Kondensator 988 ein Dummy-Kondensator ist und die Bitleitung 985 eine Dummy-Bitleitung ist. Die Schaltung 980 kann angesehen werden als eine einzelne 3-Bit-Zelle 189 oder als drei 1-Bit-Zellen 990, 991 und 992.
  • Die Ausführungsformen der 1315 sind kompakter und schneller als jegliche ferroelektrische Speicher des Standes der Technik, sind aber ein bißchen langsamer als die vorangestellten Ausführungsformen und verbrauchen mehr Energie. Falls jemand versucht, mehr als vier Kondensator angebunden an eine einzelne Treiberleitung zu verwenden, werden die Treiber und die Unterstützungsschaltung so groß und verringert sich die Geschwindigkeit so sehr, daß die meisten der Vorteile der Erfindung verloren gehen. Die Wirkungsgrade des Layouts gehen ebenfalls verloren.
  • Die Erfindung ist beschrieben worden bezüglich eines ferroelektrischen Speichers, in welchem die ferroelektrischen Elemente Kondensatoren sind. Jedoch können viele ihrer Aspekte angewendet werden auf ferroelektrische Speicher, in welchen die ferroelektrischen Elemente ferroelektrische FETs oder andere ferroelektrische Elemente sind. Siehe zum Beispiel US-Patent Nr. 6,339,238 ausgegeben am 15. Januar 2002 an Lim et al, welches hierin durch Bezugnahme aufgenommen ist, als ob es hierin vollständig offenbart ist. Viele der Elemente wie die Struktur, in welcher die Zellen vollständig isoliert sind, ist ebenfalls anwendbar auf DRAMS.
  • Es ist ebenfalls offensichtlich, daß die Geräteelemente und die vorgetragenen Handlungen unter einigen Umständen in einer anderen Reihenfolge durchgeführt werden können; oder können äquivalente Strukturen ersetzt werden für die verschiedenen beschriebenen Strukturen, oder kann eine Vielzahl von unterschiedlichen Materialien verwendet werden. Es wird verstanden werden, daß nach dem Lesen der obigen Offenbarung der Fachmann viele unterschiedliche Ausführungsformen der Erfindung zusätzlich zu den oben beschriebenen machen kann.

Claims (11)

  1. Ferroelektrischer, nicht flüchtiger Speicher (436), der aufweist: eine Vielzahl (248, 249) von Paaren aus parallelen Bitleitungen (102, 104; 706, 709), eine Vielzahl von Treiberleitungen (103; 707, 708) parallel zu den Bitleitungen, eine Wortleitung (101, 701) senkrecht zu den Bitleitungspaaren und den Treiberleitungen und eine Vielzahl von Speicherzellen (100, 202206, 700), wobei jeder Speicherzelle eines der Paare der Bitleitungen (102, 104; 706, 709) und eine der Treiberleitungen (103; 707, 708) zugeordnet ist, wobei jede Speicherzelle (100, 202206, 700) umfaßt: einen ersten ferroelektrischen Kondensator (106, 712) mit eine ersten Elektrode (126) und einer zweiten Elektrode (125), einen zweiten ferroelektrischen Kondensator (108, 715) mit einer ersten Elektrode (134) und einer zweiten Elektrode (133), einen ersten Transistor (105, 711) mit einem Gatter (123) und einen zweiten Transistor (109, 716) mit einem Gatter (136); wobei in jeder der Speicherzellen der erste Transistor (105, 711) zwischen die erste Elektrode (126) des ersten Kondensators (106, 712) und eine (102, 706) der Bitleitungen in dem zugeordnen Bitleitungspaar geschaltet ist und der zweite Transistor (109, 716) zwischen die erste Elektrode (134) des zweiten Kondensators (108, 715) und die andere (104, 709) der Bitleitungen in dem zugeordneten Bitleitungspaar geschaltet ist, und die Gatter (123, 126) des ersten und zweiten Transistors (105, 109; 711, 716) mit der Wortleitung (101, 701) verbunden sind; wobei der Speicher gekennzeichnet ist durch einen Treiberleitungs-Transistor (107, 713, 714), der jeder der Treiberleitungen (103; 707, 708) zugewiesen ist, wobei der Treiberleitungs-Transistor (107, 713) ein Gatter (128) umfaßt, wobei jede der Treiberleitungen (103; 707, 708) mit der zweiten Elektrode (125, 133) des ersten und zweiten ferroelektrischen Kondensators (106, 108; 712, 715) in der Speicherzelle (100, 202206, 700), der der Treiberleitung zugewiesen ist (103; 707, 708) über den Treiberleitungs-Transistor (107; 713, 714) verbunden ist, wobei jede der Treiberleitungen (103; 707, 708) mit zwei oder weniger der Speicherzellen (100, 202206, 700) verbunden ist; und wobei das Gatter (128) des Treiberleitungs-Transistors (107, 713, 714) mit der Wortleitung (101, 701) verbunden ist.
  2. Ferroelektrischer, nicht flüchtiger Speicher nach Anspruch 1, bei dem die Speicherzellen (10, 202206) in Reihen (252, 253) parallel zu den Wortleitungen (101) und Spalten (248, 249) parallel zu den Bit-(102, 104) und Treiberleitungen (103) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Treiberleitungen (103) mit der zweiten Elektrode (125) des ersten Kondensators (106) und der zweiten Elektrode (133) des zweiten Kondensators (108) in nur einer der Speicherzellen in einer Reihe (252, 253) aus Speicherzellen (100, 202206) verbunden ist.
  3. Ferroelektrischer, nicht flüchtiger Speicher nach Anspruch 1, bei dem es eine der Treiberleitungen (103) gibt, die jeder der Zellen (100, 202206) zugeordnet ist, und sich die Treiberleitung (103) zwischen den Bitleitungen (102, 104) in dem Bitleitungspaar, das der Zelle zugeordnet ist, der die Treiberleitung (103) zugeordnet ist, befindet.
  4. Ferroelektrischer, nicht flüchtiger Speicher nach Anspruch 1, bei dem die Speicherzellen (953, 954) in Reihen parallel zu den Wortleitungen und Spalten parallel zu den Bitleitungen (969, 970, 971, 972) und den Treiberleitungen (955, 968) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Treiberleitungen (955, 968) mit der zweiten Elektrode des ersten Kondensators und der zweiten Elektrode des zweiten Kondensators in zwei der Speicherzellen (953, 954) in einer Reihe aus Speicherzellen verbunden ist.
  5. Ferroelektrischer, nicht flüchtiger Speicher nach Anspruch 4, bei dem die Treiberleitung (968) sich zwischen den beiden Zellen befindet.
  6. Ferroelektrischer, nicht flüchtiger Speicher nach Anspruch 1, bei dem die Bitleitungen (406, 408) komplementär sind und jede der Speicherzellen eine Ein-Bit-Speicherzelle ist.
  7. Ferroelektrischer, nicht flüchtiger Speicher nach Anspruch 1, bei dem einer der Kondensatoren ein ferroelektrischer Dummy-Kondensator (998) ist und die Bitleitung, die mit dem ferroelektrischen Dummy-Kondensator (988) verbunden ist, eine Dummy-Bitleitung (985) ist.
  8. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 1, bei dem die Bitleitungen höchstrangige Bitleitungen (932) sind und es eine Vielzahl der Speicherzellen gibt, die in eine erste Gruppe (947) und eine zweite Gruppe (948) aufgeteilt sind, wobei der Speicher weiter einen Transistor (938) zum Auswählen einer ersten Gruppe mit einem Gatter, einen Transistor (939) zum Auswählen einer zweiten Gruppe mit einem Gatter, eine Auswahlleitung (940) für die erste Gruppe, eine Auswahlleitung (942) für die zweite Gruppe, eine erste zweitrangige Bitleitung (934) und eine zweite zweitrangige Bitleitung (936) umfaßt und bei dem der Transistor (938) zum Auswählen einer ersten Gruppe zwischen die höchstrangige Bitleitung (932) und die erste zweitrangige Bitleitung (934) geschaltet ist, wobei der Transistor (939) zum Auswählen der zweiten Gruppe zwischen die höchstrangige Bitleitung (932) und die zweite zweitrangige Bitleitung (936) geschaltet ist, wobei die Auswahlleitung (940) für die erste Gruppe mit dem Gatter des Transistors (938) zum Auswählen der ersten Gruppe verbunden ist und die Auswahlleitung (942) für die zweite Gruppe mit dem Gatter des Transistors (939) zum Auswählen der zweiten Gruppe verbunden ist.
  9. Ferroelektrischer Speicher nach Anspruch 8 und weiter eine Bitleitungs-Treiberschaltung (900) zum Treiben der Bitleitung (907) auf eine Spannung, die ein Drittel oder weniger der Hoch-Spannung des Speichers beträgt, umfassend.
  10. Ferroelektrischer, nicht flüchtiger Speicher nach Anspruch 1, bei dem jede der Speicherzellen eine Zwei-Bit-Speicherzelle ist.
  11. Ferroelektrischer, nicht flüchtiger Speicher nach Anspruch 10, bei dem einer der Kondensatoren ein ferroelektrischer Dummy-Kondensator ist und die Bitleitung, die mit dem ferroelektrischen Dummy-Kondensator verbunden ist, eine Dummy-Bitleitung (226, 228) ist.
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