DE773367T1 - Turbomolekularpumpe - Google Patents

Turbomolekularpumpe

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DE773367T1
DE773367T1 DE0773367T DE96200164T DE773367T1 DE 773367 T1 DE773367 T1 DE 773367T1 DE 0773367 T DE0773367 T DE 0773367T DE 96200164 T DE96200164 T DE 96200164T DE 773367 T1 DE773367 T1 DE 773367T1
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DE
Germany
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channel
spiral
shaft
pumping
turbomolecular pump
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Pending
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DE0773367T
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English (en)
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DE29600164U1 (de
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Roberto Cerruti
Giampaolo Levi
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Varian SpA
Original Assignee
Varian SpA
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Publication date
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Claims (10)

DE/EP0 773 -/ft. 96200164.0 Ansprüche
1. Turbomolekularpumpe (!) mit einem Pumpenkörper (2), der einen Gaseinlaß (3) und einen Gasauslaß (4) sowie Pumpeinheiten (56a, 56b) aufweist, die innerhalb des genannten Pumpenkörpers angeordnet und durch eine Mehrzahl von Statoren {5a, 5b) und Rotoren (6a, 6b) gebildet sind, wobei sich letztere mit den vorhergehenden abwechsein und an einer Drehwelle (7) befestigt sind, die durch zumindest ein drehbares Lagerungsmittel (8, 9) gelagert und durch einen Motor (10) angetrieben ist, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest einer der genannten Statoren (5a, 5b) mit zumindest einem spiraligen Kanal (12, 18) versehen ist, der an einer der Statorflächen ausgebildet ist.
2. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die genannte Mehrzahl von Pumpstufen eine erste Pumpeinheit (56a), die durch Statoren (5a) und Rotoren (6a) gebildet ist, die mit Schaufeln versehen sind, wobei die genannten Statoren und Rotoren sich gegenseitig abwechseln und in gleicher Ebene liegen, sowie eine zweite Pumpeinheit (56b) aufweist, die durch Statoren (5b) und glatte Rotoren (6b) gebildet ist, die sich gegenseitig abwechseln und in gleicher Ebene liegen, daß die genannte erste Pumpeinheit dem Einlaß (3) der genannten Pumpe (1) zugewandt ist und daß die genannte zweite Pumpeinheit in Entsprechung zum Auslaß (4) der genannten Pumpe (1) angeordnet ist.
3. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der genannte zumindest eine Stator, der mit zumindest einem spiraligen Kanal (12) versehen ist, eng benachbart zu der Platte (11) angeordnet ist,
-/S2-
die den Rotor (6b), welcher dem drehbaren Lagerungsmittel (8, 9) nächstgelegen ist, von dem genannten Lagerungsmittel trennt.
4. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der genannte zumindest eine Stator, der mit zumindest einem spiral igen Kanal (18) versehen ist, eng benachbart zu einem der Statoren (5b) der genannten Pumpeinheiten (56a, 56b) angeordnet ist.
5. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß der genannte zumindest eine spiraiige Kanal (12; 18) so ausgebildet ist, daß, wenn die Rotoren (6a, 6b) sich drehen, der spiraiige Kanal (12; 18) einen Pumpkanal bildet, der versucht, die in dem Kanal (12; 18) enthaltenen Gase aus einem zur Welle (7) proximalen Bereich zu einem von der genannten Welle (7) distalen Bereich hin zu verschieben und auszustoßen.
6. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß der genannte zumindest eine spiralige Kana! (12: 18) so ausgebildet ist, daß, wenn die Rotoren (6a, 6b) sich drehen, der spiraiige Kanal (12; 18) einen Pumpkanal bildet, der versucht, die in dem Kanal (12; 18) enthaltenen Gase aus einem zu der Welle (7) distal gelegenen Bereich zu einem zu der genannten Welle (7) proximalen Bereich hin zu verschieben und auszustoßen.
7. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch zumindest eine radiale Bohrung (16) in dem genannten Pumpenkörper (2), um ein Gas in den Körper (2) der genannten Pumpe (1) einzulassen.
8. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die genannte Platte (11) mit einer Mehrzahl radialer Öffnungen (14)
DE/EPO 773387T1
-i/3-
versehen ist und daß der genannte Körper (2) mit ebenso viel axialen Öffnungen (17) versehen ist, wobei beide der genannten Öffnungen {14, 17) dazu eingerichtet sind, um den Durchtritt von Gas zu ermöglichen, das von der radialen Einlaßbohrung (16) zu dem genannten spiraligen Kanal (12) hin strömt.
9. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine erste Spiraldichtung, die an der genannten Platte (11) vorgesehen und durch einen einzelnen Kanal (12) gebildet ist, der einen Pumpkanal definiert, der dazu vorgesehen ist, die Gase aus einem proximal zu dem genannten drehbaren Lagerungsmittel (8, 9) gelegenen Bereich gegen einen distal von dem genannten drehbaren Lagerungsmittel gelegenen Bereich zu schieben und auszustoßen; eine zweite Spiraldichtung, die an der Oberfläche eines der genannten Statoren (5b), welche dem drehbaren Lagerungsmittel (8, 9) zugewandt ist, vorgesehen und durch einen einzelnen Kanal (18) gebildet ist, der einen Pumpkanal definiert, der dazu vorgesehen ist, die Gase aus einem distaien Bereich der Welle (7) gegen einen Bereich hin zu pumpen, der zu der genannten Welle proximal ist; und eine dritte Spiraldichtung beinhaltet, die an der gegenüberliegenden Fläche des Stators (5b) vorgesehen ist, an der die genannte zweite Spiraldichtung angeordnet ist, wobei die genannte dritte Spiraldichtung durch vier Pumpkanäle gebildet ist, die dazu vorgesehen sind, die Gase von einem proximal zu der rotierenden Welle (7) gelegenen Bereich gegen einen von der genannten Welle distalen Bereich und zu dem Auslaß (4) hin zu verschieben und auszustoßen.
10. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der genannte zumindest eine Stator, der mit zumindest einem spiraligen Pumpkanal (18) versehen ist, mit zumindest einem zweiten spiraligen Pumpkanal, der auf der gegenüberliegenden Seite angeordnet ist, verse-
hen ist, wobei genannter spiral iger Kanal Pumpkanäle definiert, die dazu vorgesehen sind, die Gase von einem zu der Welle (7) proximalen Bereich zu einem Bereich zu schieben und auszustoßen, der von der genannten Welle distal ist und/oder umgekehrt.
DE0773367T 1995-11-10 1996-01-24 Turbomolekularpumpe Pending DE773367T1 (de)

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Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9609281D0 (en) * 1996-05-03 1996-07-10 Boc Group Plc Improved vacuum pumps
JP3079367B2 (ja) * 1997-10-03 2000-08-21 セイコー精機株式会社 ターボ分子ポンプ
TW504548B (en) * 1998-06-30 2002-10-01 Ebara Corp Turbo molecular pump
FR2783883B1 (fr) * 1998-09-10 2000-11-10 Cit Alcatel Procede et dispositif pour eviter les depots dans une pompe turbomoleculaire a palier magnetique ou gazeux
JP2000183037A (ja) * 1998-12-11 2000-06-30 Tokyo Electron Ltd 真空処理装置
US6328527B1 (en) * 1999-01-08 2001-12-11 Fantom Technologies Inc. Prandtl layer turbine
JP3788558B2 (ja) * 1999-03-23 2006-06-21 株式会社荏原製作所 ターボ分子ポンプ
JP4104098B2 (ja) * 1999-03-31 2008-06-18 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
US6412173B1 (en) 1999-07-26 2002-07-02 Phoenix Analysis And Design Technologies, Inc. Miniature turbomolecular pump
GB9921983D0 (en) * 1999-09-16 1999-11-17 Boc Group Plc Improvements in vacuum pumps
US6508631B1 (en) 1999-11-18 2003-01-21 Mks Instruments, Inc. Radial flow turbomolecular vacuum pump
JP3777498B2 (ja) * 2000-06-23 2006-05-24 株式会社荏原製作所 ターボ分子ポンプ
EP1619395B1 (de) * 2004-07-20 2010-03-10 VARIAN S.p.A. Rotationsvakuumpumpe und ihr Auswuchtverfahren
US20080056886A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Varian, S.P.A. Vacuum pumps with improved pumping channel cross sections
GB0618745D0 (en) * 2006-09-22 2006-11-01 Boc Group Plc Molecular drag pumping mechanism
EP2096317B1 (de) 2008-02-27 2012-08-15 Agilent Technologies, Inc. Verfahren zur Herstellung der Rotoranordnung einer Rotationsvakuumpumpe
US8152442B2 (en) * 2008-12-24 2012-04-10 Agilent Technologies, Inc. Centripetal pumping stage and vacuum pump incorporating such pumping stage
US8070419B2 (en) * 2008-12-24 2011-12-06 Agilent Technologies, Inc. Spiral pumping stage and vacuum pump incorporating such pumping stage
GB2498816A (en) 2012-01-27 2013-07-31 Edwards Ltd Vacuum pump
EP2757265B1 (de) * 2013-01-22 2016-05-18 Agilent Technologies, Inc. Spiralenförmige Pumpstufe und Vakuumpumpe mit der Pumpstufe
DE102013213815A1 (de) * 2013-07-15 2015-01-15 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
DE102013220879A1 (de) * 2013-10-15 2015-04-16 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
IT201700075054A1 (it) * 2017-07-04 2017-10-04 Agilent Tech Inc A Delaware Corporation Stadio di pompaggio molecolare per pompa da vuoto e pompa da vuoto comprendente detto stadio di pompaggio molecolare
CN109441875A (zh) * 2018-12-25 2019-03-08 大连金刚科技有限责任公司 叶轮及气体泵

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3969039A (en) * 1974-08-01 1976-07-13 American Optical Corporation Vacuum pump
JPS60139098U (ja) * 1984-02-24 1985-09-13 セイコ−精機株式会社 組合せ型軸流分子ポンプ
US4732529A (en) * 1984-02-29 1988-03-22 Shimadzu Corporation Turbomolecular pump
JPS63255596A (ja) * 1987-04-13 1988-10-21 Ebara Corp タ−ボ分子ポンプ
EP0408791B1 (de) * 1989-07-20 1994-03-16 Leybold Aktiengesellschaft Reibungspumpe mit glockenförmigem Rotor
US5238362A (en) * 1990-03-09 1993-08-24 Varian Associates, Inc. Turbomolecular pump
US5358373A (en) * 1992-04-29 1994-10-25 Varian Associates, Inc. High performance turbomolecular vacuum pumps
DE4314418A1 (de) * 1993-05-03 1994-11-10 Leybold Ag Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten
DE4410656A1 (de) * 1994-03-26 1995-09-28 Balzers Pfeiffer Gmbh Reibungspumpe

Also Published As

Publication number Publication date
DE69600306D1 (de) 1998-06-25
ITTO950911A1 (it) 1997-05-10
IT1281025B1 (it) 1998-02-11
ITTO950911A0 (de) 1995-11-10
DE69600306T2 (de) 1998-09-10
EP0773367A1 (de) 1997-05-14
EP0773367B1 (de) 1998-05-20
JPH09170589A (ja) 1997-06-30
US5688106A (en) 1997-11-18

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