DK2929307T3 - Spektrometer til analyse af en lysstråles spektrum - Google Patents
Spektrometer til analyse af en lysstråles spektrum Download PDFInfo
- Publication number
- DK2929307T3 DK2929307T3 DK13808131.0T DK13808131T DK2929307T3 DK 2929307 T3 DK2929307 T3 DK 2929307T3 DK 13808131 T DK13808131 T DK 13808131T DK 2929307 T3 DK2929307 T3 DK 2929307T3
- Authority
- DK
- Denmark
- Prior art keywords
- light beam
- polarization
- spectrometer
- wavelength
- deflected light
- Prior art date
Links
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 title claims description 29
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 111
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 88
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 69
- 238000005215 recombination Methods 0.000 claims description 55
- 230000006798 recombination Effects 0.000 claims description 54
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 42
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 35
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 10
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 4
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000000701 chemical imaging Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N (2,5-dioxopyrrolidin-1-yl) 4-pyren-1-ylbutanoate Chemical compound C=1C=C(C2=C34)C=CC3=CC=CC4=CC=C2C=1CCCC(=O)ON1C(=O)CCC1=O YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000661 Mercury cadmium telluride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004497 NIR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000002983 circular dichroism Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000002189 fluorescence spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0224—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using polarising or depolarising elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/447—Polarisation spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
- G02B27/283—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/063—Illuminating optical parts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/063—Illuminating optical parts
- G01N2201/0633—Directed, collimated illumination
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1866—Transmission gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Claims (13)
1. Spektrometer (100; 200; 300) til analyse afen opstrøms lysstråles (1) spektrum med: - en indgangsspalte (101), der er indrettet til at lade den opstrøms lysstråle (1) passere igennem, - kollimationsmidler (110), der er indrettede til ud fra den opstrøms lysstråle (1) at frembringe en kollimeret lysstråle (10), og - midler til vinkelmæssig spredning (120), der er anbragt således, at de indfanger den kollimerede lysstråle (10) og vinkelmæssigt spreder den kollimerede lysstråle (10) afhængigt afen flerhed af bølgelængder (Ål, Å2), idet spektrometeret (100) er kendetegnet ved, at: - midlerne til vinkelmæssig spredning (120) omfatter mindst et diffraktionsgitter til adskillelse efter polarisation, som har en normal N til gitteret, idet diffraktionsgitteret til adskillelse efter polarisation er beregnet til at afbøje den kollimerede lysstråle (10) i: - mindst en første afbøjet lysstråle (11, 12) ifølge en første diffraktionsorden, som enten er diffraktionsordenen +1 eller diffraktionsordenen -1 af diffraktionsgitteret til adskillelse efter polarisation (120), idet den første afbøjede lysstråle (11, 12) er afbøjet vinkelmæssigt afhængigt af flerheden af bølgelængder (Ål, Å2) og har en første polarisationstilstand, som er cirkulær, og - en anden afbøjet lysstråle (21, 22) ifølge en anden diffraktionsorden, som enten er diffraktionsordenen +1 eller diffraktionsordenen -1 af diffraktionsgitteret til adskillelse efter polarisation, idet den anden diffraktionsorden er forskellig fra den første diffraktionsorden, idet den anden afbøjede lysstråle (21, 22) er afbøjet vinkelmæssigt afhængigt af flerheden af bølgelængder (Ål, Å2) og har en anden polarisationstilstand, som er cirkulær og ortogonal på den første polarisationstilstand, og at det har: - optiske rekombinationsmidler (130; 330; 430), der i det mindste er indrettede på en optisk vej for den anden afbøjede lysstråle (21, 22), nedstrøms for diffraktionsgitteret til adskillelse efter polarisation (120), idet de optiske rekombinationsmidler (130; 330; 430) omfatter mindst en plan optisk reflekterende overflade (130; 331; 432), som er parallel med normalen N til gitteret, og som er indrettet til i det mindste at bortlede den anden afbøjede lysstråle (21, 22), og - fokuseringsmidler (140), der er indrettede til for hver bølgelængde i flerheden af bølgelængder (Ål, Å2) at fokusere den første afbøjede lysstråle (11, 12) og den anden afbøjede lysstråle (21, 22) på en og samme fokuseringsflade (141).
2. Spektrometer (100; 200; 300) ifølge krav 1, i hvilket diffraktionsgitteret til adskillelse efter polarisation (120) er plant og har retlinede og parallelle linier (122).
3. Spektrometer (100; 200) ifølge krav 2, i hvilket den plane optiske reflekterende flade (130; 331; 432) er parallel med linierne (122) i diffraktionsgitteret til adskillelse efter polarisation (120), således at den første afbøjede lysstråle (11, 12) og den anden afbøjede lysstråle (21, 22) for hver bølgelængde i flerheden af bølgelængder (Ål, Å2) fokuseres af fokuseringsmidlerne (140) i et og samme fokuseringspunkt (31, 32) på fokuseringsfladen (141), idet fokuseringspunkterne (31, 32) er adskilte på fokuseringsfladen (141) afhængigt af flerheden af bølgelængder (Ål, Å2).
4. Spektrometer (300) ifølge krav 2, i hvilket den plane optiske reflekterende flade (130) sammen med linierne (122) i diffraktionsgitteret til adskillelse efter polarisation (120) danner en vinkel mellem 0° og 90°, således at den første afbøjede lysstråle (11, 12) og den anden afbøjede lysstråle (21, 22) for hver bølgelængde i flerheden af bølgelængder (Ål, Å2) fokuseres af fokuseringsmidlerne (140) på to adskilte fokuseringspunkter (31, 31A, 32, 32A) på fokuseringsfladen (141), idet de to adskilte fokuseringspunkter (31, 31A, 32, 32A) er adskilte på fokuseringsfladen (141).
5. Spektrometer (200) ifølge et af kravene 1 til 4 med en fast eller bevægelig udgangsspalte (201), der er anbragt på fokuseringsfladen (141) og indrettet til at lade de af fokuseringsmidlerne (140) rekombinerede afbøjede lysstråler (11, 21) passere igennem til fokuseringsfladen (141).
6. Spektrometer (100) ifølge et af kravene 1 til 5 med påvisningsmidler (150) anbragt på fokuseringsfladen (141) og indrettet til for hver bølgelængde i flerheden af bølgelængder (Ål, Å2) at afgive et signal med hensyn til summen af afbøjet lysintensitet ved den bølgelængde (Ål, Å2) i diffraktionsordenen +1 og af afbøjet lysintensitet ved den bølgelængde (Ål, Å2) i diffraktionsordenen -1.
7. Spektrometer (100; 300) ifølge et af kravene 1 til 6, i hvilket de optiske rekombinationsmidler (130) har et plant spejl anbragt således, at det for hver bølgelængde i flerheden af bølgelængder (Ål, Å2) reflekterer den anden afbøjede lysstråle (21, 22) i en retning, der er parallel med den første afbøjede lysstråle (11,12).
8. Spektrometer (100; 200) ifølge et af kravene 1 til 6, i hvilket de optiske rekombinationsmidler (330) har et prisme, der omfatter en basis (331), en indgangsflade (332) og en udgangsflade (333), der hælder i forhold til indgangsfladen (332), idet indgangsfladen (332) og udgangsfladen (333) for hver bølgelængde i flerheden af bølgelængder (Ål, Å2) bryder den første afbøjede lysstråle (11, 12) og den anden afbøjede lysstråle (21, 22), idet den anden afbøjede lysstråle (21, 22) for hver bølgelængde i flerheden af bølgelængder (Ål, Å2) bortledes ved refleksion på prismets (330) basis (331) mellem indgangsfladen (332) og udgangsfladen (333).
9. Spektrometer (100) ifølge et af kravene 1 til 6, i hvilket de optiske rekombinationsmidler (430) har: - en plade (433) med kvartbølgeforsinkelse anbragt i udgangen af diffraktionsgitteret til adskillelse efter polarisation (120), idet pladen (433) med kvartbølgeforsinkelse er indrettet til at ændre den første polarisationstilstand og den anden polarisationstilstand for at omdanne deres cirkulære ortogonale polarisationstilstande til lineære polarisationstilstande, som er indbyrdes ortogonale, - et første spejl (431) og et andet spejl (432) anbragt parallelt for at stå over for hinanden og vinkelret på diffraktionsgitteret til adskillelse efter polarisation (120), således at det første spejl (431), henholdsvis det andet spejl (432) for hver bølgelængde i flerheden af bølgelængder (Ål) reflekterer den første afbøjede lysstråle (11), henholdsvis den anden afbøjede lysstråle (21), og - en polarisationsrekombinations-terning (4340), som har en rekombinationsgrænseflade (4343), som er anbragt mellem det første spejl (431) og det andet spejl (432), således at den af det første spejl (431) reflekterede første afbøjede lysstråle (11) falder ind på en første indgangsflade (4341A) på polarisationsrekombinations-terningen (4340), og den af det andet spejl (432) reflekterede anden afbøjede lysstråle (21) falder ind på en anden indgangsflade (4342A) på polarisationsrekombinations-terningen (4340), idet den ene af de reflekterede afbøjede lysstråler (21) reflekteres af rekombinationsgrænsefladen (4343), og den anden reflekterede afbøjede lysstråle (11) transmitteres af rekombinationsgrænsefladen (4343), idet den første afbøjede lysstråle (11) og den anden afbøjede lysstråle (21) er parallelle ved udgangen fra polarisationsrekombinations-terningen (4340).
10. Spektrometer (100) ifølge et af kravene 1 til 8, i hvilket kollimationsmidlerne (110) omfatter et optisk kollimationssystem med en digital kollimationsåbning, og i hvilket fokuseringsmidlerne (140) omfatter et optisk fokuseringssystem med en digital fokuseringsåbning, som er mindst lig med det dobbelte af den digitale kollimationsåbning.
11. Spektrometer (100) ifølge krav 6 og et af kravene 7 til 10, i hvilket påvisningsmidlerne har en flerkanaldetektor.
12. Spektrometer ifølge krav 6 og et af kravene 7 til 10, i hvilket påvisningsmidlerne har en bevægelig spalte og en enkeltkanaldetektor.
13. Spektrometer (200) ifølge krav 5 og et af kravene 7 til 10 med en fluorescenscelle (202) og målemidler (210), idet fluorescenscellen (202) er anbragt nedstrøms for udgangsspalten (201), således at den belyses af de rekombinerede afbøjede lysstråler (11, 21) og udsender et fluorescenssignal, idet målemidlerne (210) er indrettede til at måle fluorescenssignalets lysintensitet.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR1261625A FR2998962B1 (fr) | 2012-12-04 | 2012-12-04 | Spectrometre pour l'analyse du spectre d'un faisceau lumineux |
| PCT/FR2013/052900 WO2014087081A1 (fr) | 2012-12-04 | 2013-11-29 | Spectromètre pour l'analyse du spectre d'un faisceau lumineux |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DK2929307T3 true DK2929307T3 (da) | 2019-04-15 |
Family
ID=47833219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DK13808131.0T DK2929307T3 (da) | 2012-12-04 | 2013-11-29 | Spektrometer til analyse af en lysstråles spektrum |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9638635B2 (da) |
| EP (1) | EP2929307B1 (da) |
| DK (1) | DK2929307T3 (da) |
| FR (1) | FR2998962B1 (da) |
| WO (1) | WO2014087081A1 (da) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3722787B1 (en) * | 2017-12-07 | 2024-03-27 | Yokogawa Electric Corporation | Spectroscopic analyzer |
| KR102527672B1 (ko) | 2018-04-06 | 2023-04-28 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 비선형 광학계를 갖는 검사 장치 |
| CN109212766B (zh) * | 2018-09-10 | 2021-07-27 | 武汉光迅科技股份有限公司 | 一种分光装置、波长选择开关和分光方法 |
| CN110376213B (zh) * | 2019-08-14 | 2022-01-25 | 深圳市麓邦技术有限公司 | 光学检测系统及方法 |
| US12449575B2 (en) * | 2019-12-16 | 2025-10-21 | Jasco Corporation | Reflective polarized light separation and diffraction element and optical measurement device comprising same |
| CN113206387B (zh) * | 2021-04-22 | 2022-10-14 | 电子科技大学 | 一种宽带宽的太赫兹频段准光和差比较器 |
| CN113155285B (zh) * | 2021-04-23 | 2024-12-20 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种星载小型轻量化Dyson高光谱成像仪系统 |
| CN119534351B (zh) * | 2024-11-21 | 2025-09-09 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种定域面固定的棱镜型外差光谱仪 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08122706A (ja) * | 1994-10-19 | 1996-05-17 | Advantest Corp | 偏光解消装置及びこれを用いた分光装置 |
| WO2002059584A2 (en) * | 2000-12-29 | 2002-08-01 | Chromagen, Inc. | Scanning spectrophotometer for high throughput fluorescence detection |
| JP4645173B2 (ja) | 2004-11-26 | 2011-03-09 | 株式会社ニコン | 分光器、及びこれを備えている顕微分光装置 |
| WO2008130561A1 (en) | 2007-04-16 | 2008-10-30 | North Carolina State University | Multi-layer achromatic liquid crystal polarization gratings and related fabrication methods |
| EP2137558B1 (en) | 2007-04-16 | 2011-10-19 | North Carolina State University | Low-twist chiral liquid crystal polarization gratings and related fabrication methods |
-
2012
- 2012-12-04 FR FR1261625A patent/FR2998962B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-11-29 US US14/649,096 patent/US9638635B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2013-11-29 WO PCT/FR2013/052900 patent/WO2014087081A1/fr not_active Ceased
- 2013-11-29 EP EP13808131.0A patent/EP2929307B1/fr not_active Not-in-force
- 2013-11-29 DK DK13808131.0T patent/DK2929307T3/da active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2929307A1 (fr) | 2015-10-14 |
| US9638635B2 (en) | 2017-05-02 |
| US20150316476A1 (en) | 2015-11-05 |
| EP2929307B1 (fr) | 2019-01-02 |
| WO2014087081A1 (fr) | 2014-06-12 |
| FR2998962B1 (fr) | 2015-02-20 |
| FR2998962A1 (fr) | 2014-06-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DK2929307T3 (da) | Spektrometer til analyse af en lysstråles spektrum | |
| US9709441B2 (en) | Spectrometer of high diffraction efficiency for analyzing the spectrum of a light beam | |
| US8184285B2 (en) | Method and apparatus using volume holographic wavelength blockers | |
| CN110631702B (zh) | 一种光谱分辨率增强装置 | |
| CN106441581B (zh) | 一种高分辨率的线阵ccd直读型光谱仪 | |
| JP5517621B2 (ja) | 高感度スペクトル分析ユニット | |
| JP6097412B2 (ja) | 光学装置 | |
| US11639873B2 (en) | High resolution multi-pass optical spectrum analyzer | |
| CN110501074B (zh) | 高通量宽谱段高分辨率的相干色散光谱成像方法及装置 | |
| JP4790822B2 (ja) | 光学分光計 | |
| CN214173564U (zh) | 一种基于阶梯光栅的闪电光谱成像仪 | |
| CN102967367B (zh) | 一种紫外二维全谱高分辨光学系统 | |
| CN101023388A (zh) | 用于布拉格光栅可调谐滤光器的方法和装置 | |
| US12174066B2 (en) | Reducing polarization dependent loss (PDL) in a grating-based optical spectrum analyzer (OSA) | |
| JPH05281041A (ja) | 分光器 | |
| CN209513049U (zh) | 光谱仪色散组件及光谱仪 | |
| US8786853B2 (en) | Monochromator having a tunable grating | |
| CN115014519A (zh) | 一种基于法布里珀罗干涉仪的超光谱分辨光谱仪 | |
| CN108713135B (zh) | 一种光谱分析系统 | |
| KR20160143969A (ko) | 평면거울 및 렌즈를 이용한 성능개선 분광기 | |
| CN207366081U (zh) | 一种摄谱仪 | |
| JP2017150981A (ja) | 分光装置 | |
| CN113624339A (zh) | 一种基于dmd和中阶梯光栅的同向色散光谱分析仪及方法 | |
| TW202536369A (zh) | 用於同步３ｄ高光譜成像的光學構件和系統 | |
| CN119355948A (zh) | 用于光学检测系统的光路切换装置 |