EP0056749B1 - Cathode à chauffage direct, et son procédé de fabrication - Google Patents

Cathode à chauffage direct, et son procédé de fabrication Download PDF

Info

Publication number
EP0056749B1
EP0056749B1 EP82400030A EP82400030A EP0056749B1 EP 0056749 B1 EP0056749 B1 EP 0056749B1 EP 82400030 A EP82400030 A EP 82400030A EP 82400030 A EP82400030 A EP 82400030A EP 0056749 B1 EP0056749 B1 EP 0056749B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
tungsten
oxide
cathode
mixture
rare earths
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
EP82400030A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
EP0056749A2 (fr
EP0056749A3 (en
Inventor
Guy Clerc
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thales SA
Original Assignee
Thomson CSF SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=9254238&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=EP0056749(B1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Thomson CSF SA filed Critical Thomson CSF SA
Publication of EP0056749A2 publication Critical patent/EP0056749A2/fr
Publication of EP0056749A3 publication Critical patent/EP0056749A3/fr
Application granted granted Critical
Publication of EP0056749B1 publication Critical patent/EP0056749B1/fr
Expired legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02Main electrodes
    • H01J1/13Solid thermionic cathodes
    • H01J1/14Solid thermionic cathodes characterised by the material

Definitions

  • the subject of the present invention is a cathode for a high frequency electronic tube, and more particularly a thermoelectronic emission cathode with direct heating.
  • the cathodes are generally produced from tungsten or thoriated tungsten wires for reasons of thermoelectronic emissivity, the operating temperature is then between 1,900 and 2,000 ° K.
  • Mechanical problems then arise due to the difference in thermal behavior of the materials, problems imperfectly resolved by expensive mechanical assemblies. It has been proposed to avoid thermo-mechanical problems inside the tube while ensuring good thermo-electronic emissivity by introducing direct heating from a pyrolytic graphite support and by depositing a material on the graphite surface. emitting at a lower temperature than tungsten or thoriated tungsten such as lanthanum hexaboride La B 6 for example.
  • Such a structure makes it possible to obtain electronic emission at a temperature between 1,400 and 1,500 ° C.
  • emissive materials such as lanthanum hexaboride is their high chemical activity vis-à-vis hot graphite, which can lead to the destruction of the cathode.
  • Application FR-A-2,445,605 discloses a direct heating cathode comprising a pyrolytic graphite support heated by the Joule effect and an emissive layer based on lanthanum hexaboride which is separated from the support by an intermediate layer.
  • the present invention relates to a direct heating cathode working at the same temperature as the lanthanum hexaboride cathode, but not requiring an intermediate layer between the graphite and the emissive layer.
  • the advantage lies in the elimination of the intermediate layer.
  • the present invention relates to a direct heating cathode comprising a support cut out of pyrolytic graphite heated by the Joule effect and an emissive coating, characterized in that this coating consists of an emissive layer composed of a mixture of tungsten and rare earth oxide.
  • the present invention relates to a direct heating cathode comprising a support cut out of pyrolytic graphite heated by the Joule effect and an emissive coating, characterized in that this coating consists of an emissive layer and a surface layer, the emissive layer being composed of a mixture of tungsten and rare earth oxide and the surface layer consisting of tungsten hemicarbide.
  • the present invention relates to a direct heating cathode comprising a support cut out of pyrolytic graphite heated by the Joule effect and an emissive coating, characterized in that this coating consists of an emissive layer composed of a mixture of tungsten , rare earth oxide and tungsten carbide.
  • This comprises a support 1 of pyrolytic graphite with a thickness of approximately 200 ⁇ m, on which is deposited, by plasma or by cathode sputtering, or by any other means known to those skilled in the art, a homogeneous layer 2 of a mixture of tungsten and lanthanum oxide, the latter being in proportions of between 0.5% and 10%, the thickness of layer 2 can be between 50 and 100 ⁇ m.
  • the tungsten of the emissive layer can be transformed in its surface part 3, over a thickness of 10 to 20 k tm, into tungsten hemicarb W 2 C. This transformation is carried out in the usual way by heating the cathode in vapors of hydrocarbon at a temperature of about 1,800 ° C.
  • tungsten carbide can be codeposited with tungsten and lanthanum oxide, in a proportion ranging from 10% to 50% carbide, 0.5 to 10% lanthanum oxide, the balance being made by tungsten. This variant eliminates the carburetion process of tungsten.

Landscapes

  • Solid Thermionic Cathode (AREA)

Description

  • La présente invention a pour objet une cathode pour tube électronique haute fréquence, et plus particulièrement une cathode à émission thermo-électronique à chauffage direct.
  • Dans les tubes électroniques haute fréquence du type triode, tétrode ou pentode, qui comportent une cathode, une anode et une, deux ou trois grilles, il est avantageux de réaliser les grilles en graphite pyrolytique, matériau connu pour ses qualités mécaniques et thermiques.
  • Toutefois, dans ces mêmes tubes les cathodes sont généralement réalisées en fils de tungstène ou de tungstène thorié pour des raisons d'émissivité thermo-électronique, la température de fonctionnement est alors comprise entre 1 900 et 2 000 °K. Il se pose alors, en fonctionnement, des problèmes mécaniques du fait de la différence de comportement thermique des matériaux, problèmes résolus imparfaitement par des montages mécaniques coûteux. On a proposé d'éviter les problèmes thermo-mécanique à l'intérieur du tube tout en assurant une bonne émissivité thermo-électronique en introduisant un chauffage direct à partir d'un support en graphite pyrolytique et en déposant à la surface du graphite un matériau émettant à plus basse température que le tungstène ou le tungstène thorié tel l'hexaborure de lanthane La B6 par exemple. Une telle structure permet d'obtenir l'émission électronique à une température comprise entre 1 400 et 1 500 °C. Toutefois, un inconvénient de matériaux émissifs tels l'hexaborure de Lanthane est leur grande activité chimique vis-à-vis du graphite à chaud, qui peut conduire à la destruction de la cathode. On est contraint de ce fait à introduire une couche intermédiaire entre le graphite et l'hexaborure de Lanthane formant barrière de diffusion entre ces deux matériaux.
  • Par la demande FR-A-2.445.605, on connaît une cathode à chauffage direct comportant un support en graphite pyrolytique chauffé par effet Joule et une couche émissive à base d'hexaborure de lanthane qui est séparée du support par une couche intermédiaire.
  • Par la demande de brevet FR-A-2.237.303 on connaît en particulier les deux modes de réalisation suivants :
    • a) une cathode chaude constituée d'un substrat contenant au moins un métal à point de fusion élevé et d'une substance active comportant de l'oxyde de lanthane, et un réducteur formé au moins en partie d'un carbure d'un métal à point de fusion élevé que la substance du substrat contient (voir revendications 1 à 3) ;
    • b) une cathode chaude constituée d'une plaquette formée d'un mélange de tungstène et d'oxyde de lanthane, cette plaquette étant soumise à une carburation de surface, dans un mélange de benzène et d'hydrogène (voir page 4, ligne 6).
  • La présente invention a pour objet une cathode à chauffage direct travaillant à la même température que la cathode en hexaborure de lanthane, mais ne nécessitant pas de couche intermédiaire entre le graphite et la couche émissive.
  • Par rapport à une cathode couramment utilisée dans l'art antérieur, les principaux avantages entraînés sont :
    • - une température de fonctionnement plus faible ;
    • - une meilleure tenue mécanique.
  • Par rapport à une cathode en hexaborure de lanthane, l'avantage réside dans la suppression de la couche intermédiaire.
  • Selon la revendication 1, la présente invention concerne une cathode à chauffage direct comportant un support découpé en graphite pyrolytique chauffé par effet Joule et un revêtement émissif, caractérisée en ce que ce revêtement est constitué d'une couche émissive composée d'un mélange de tungstène et d'oxyde de terres rares.
  • Selon la revendication 2, la présente invention concerne une cathode à chauffage direct comportant un support découpé en graphite pyrolytique chauffé par effet Joule et un revêtement émissif, caractérisée en ce que ce revêtement est constitué d'une couche émissive et d'une couche superficielle, la couche émissive étant composée d'un mélange de tungstène et d'oxyde de terres rares et la couche superficielle étant constituée d'hémicarbure de tungstène.
  • Selon la revendication 7, la présente invention concerne une cathode à chauffage direct comportant un support découpé en graphite pyrolytique chauffé par effet Joule et un revêtement émissif, caractérisée en ce que ce revêtement est constitué d'une couche émissive composée d'un mélange de tungstène, d'oxyde de terres rares et de carbure de tungstène.
  • D'autres objets, caractéristiques et résultats de l'invention ressortiront de la description suivante annexée par la figure unique qui représente une vue en coupe d'un mode de réalisation de la cathode selon l'invention.
  • Celle-ci comporte un support 1 en graphite pyrolytique d'une épaisseur d'environ 200 ¡.Lm, sur lequel on dépose, par plasma ou par pulvérisation cathodique, ou par tout autre moyen connu de l'homme de l'art, une couche homogène 2 d'un mélange de tungstène et d'oxyde de lanthane ce dernier étant dans des proportions comprises entre 0,5 % et 10 %, l'épaisseur de la couche 2 peut être comprise entre 50 et 100 ¡.Lm.
  • Le tungstène de la couche émissive peut être transformé dans sa partie superficielle 3, sur une épaisseur de 10 à 20 ktm, en hémicarbure de tungstène W2C. Cette transformation est réalisée d'une manière usuelle par chauffage de la cathode dans des vapeurs d'hydrocarbure à une température d'environ 1 800 °C.
  • Dans une autre variante, le carbure de tungstène peut être codéposé avec le tungstène et l'oxyde de lanthane, en proportion allant de 10 % à 50% de carbure, de 0,5 à 10% d'oxyde de lanthane, la balance étant faite par le tungstène. Cette variante permet d'éliminer le processus de carburation du tungstène.
  • La cathode selon l'invention peut être obtenue par un procédé comportant les étapes suivantes :
    • a) mélange de poudres de tungstène et d'oxyde de terres rares ;
    • b) pressage du mélange sous une pression d'environ 3 000 bars ;
    • c) frittage à une température de 2 000 °C environ ;
    • d) dépôt dudit mélange par pulvérisation cathodique sur un support en graphite pyrolytique ;
    • e) chauffage à une température d'environ 1 800 °C sous pression réduite d'hydrocarbure.

Claims (10)

1. Cathode à chauffage direct comportant un support (1) découpé en graphite pyrolytique chauffé par effet Joule et un revêtement émissif, caractérisée en ce que ce revêtement est constitué d'une couche émissive (2) composée d'un mélange de tungstène et d'oxyde de terres rares.
2. Cathode à chauffage direct comportant un support (1) découpé en graphite pyrolytique chauffé par effet Joule et un revêtement émissif, caractérisée en ce que ce revêtement est constitué d'une couche émissive (2) et d'une couche superficielle (3), la couche émissive (2) étant composée d'un mélange de tungstène et d'oxyde de terres rares et la couche superficielle (3) étant constituée d'hémicarbure de tungstène.
3. Cathode selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisée en ce que l'oxyde de terres rares constituant la couche émissive (2) est de l'oxyde de lanthane.
4. Cathode selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que les proportions d'oxyde de terres rares constituant la couche émissive (2) sont comprises entre 0,5 % et 10% du poids du mélange.
5. Cathode selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que l'épaisseur de la couche émissive (2) est comprise entre 50 ¡.Lm et 100 µm.
6. Procédé de fabrication d'une cathode selon l'une des revendications 2 ou, 3 à 5 rattachées à la revendication 2, comportant les étapes successives suivantes :
a) mélange de poudres de tungstène et d'oxyde de terres rares ;
b) pressage du mélange sous une pression d'environ 3 000 bars ; c) frittage à une température 2000°C environ ;
d) dépôt dudit mélange (2) par pulvérisation cathodique sur un support en graphite pyrolytique (1) ;
e) chauffage à une température d'environ 1 800 °C sous pression réduite d'hydrocarbure.
7. Cathode à chauffage direct comportant un support (1) découpé en graphite pyrolytique chauffé par effet Joule et un revêtement émissif, caractérisée en ce que ce revêtement est constitué d'une couche émissive (2) composée d'un mélange de tungstène, d'oxyde de terres rares et de carbure de tungstène.
8. Cathode selon la revendication 7, caractérisée en ce que l'oxyde de terres rares est de l'oxyde de lanthane.
9. Cathode selon l'une des revendications 7 ou 8, caractérisée en ce que les proportions de la couche émissive (2) sont de 10% à 50% de carbure de tungstène, de 0,5 à 10 % d'oxyde de terres rares, la balance étant faite par le tungstène.
EP82400030A 1981-01-16 1982-01-08 Cathode à chauffage direct, et son procédé de fabrication Expired EP0056749B1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8100782A FR2498372A1 (fr) 1981-01-16 1981-01-16 Cathode a chauffage direct, son procede de fabrication, et tube electronique incorporant une telle cathode
FR8100782 1981-01-16

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP0056749A2 EP0056749A2 (fr) 1982-07-28
EP0056749A3 EP0056749A3 (en) 1982-08-25
EP0056749B1 true EP0056749B1 (fr) 1984-10-17

Family

ID=9254238

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP82400030A Expired EP0056749B1 (fr) 1981-01-16 1982-01-08 Cathode à chauffage direct, et son procédé de fabrication

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4577134A (fr)
EP (1) EP0056749B1 (fr)
JP (1) JPS57138744A (fr)
DE (1) DE3260969D1 (fr)
FR (1) FR2498372A1 (fr)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3148441A1 (de) * 1981-12-08 1983-07-21 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Verfahren zur herstellung einer thermionischen kathode
US4810926A (en) * 1987-07-13 1989-03-07 Syracuse University Impregnated thermionic cathode
DE4026300A1 (de) * 1990-08-20 1992-02-27 Siemens Ag Elektronenemitter einer roentgenroehre
EP0637046B1 (fr) * 1993-07-29 1998-04-01 Nec Corporation Cathode à émission thermoionique, procédé de fabrication d'un telle cathode à émission thermoionique et appareil à faisceau d'électrons
FR2733856B1 (fr) * 1995-05-05 1997-08-29 Thomson Tubes Electroniques Cathode pour canon a electrons a grille, grille destinee a etre associee avec une telle cathode et canon a electrons comportant une telle cathode
FR2775118B1 (fr) 1998-02-13 2000-05-05 Thomson Tubes Electroniques Grille pour tube electronique a faisceau axial a performances ameliorees
FR2789800B1 (fr) 1999-02-16 2001-05-11 Thomson Tubes Electroniques Generateur radiofrequence de tres grande puissance
DE102008020187A1 (de) * 2008-04-22 2009-10-29 Siemens Aktiengesellschaft Kathode mit einem Flachemitter
CN103998635B (zh) * 2011-12-20 2017-01-18 株式会社东芝 钨合金、以及使用该钨合金的钨合金部件、放电灯、发射管和磁控管
US20170330725A1 (en) * 2016-05-13 2017-11-16 Axcelis Technologies, Inc. Lanthanated tungsten ion source and beamline components

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3389977A (en) * 1964-08-05 1968-06-25 Texas Instruments Inc Tungsten carbide coated article of manufacture
US3719856A (en) * 1971-05-19 1973-03-06 O Koppius Impregnants for dispenser cathodes
CH582951A5 (fr) * 1973-07-09 1976-12-15 Bbc Brown Boveri & Cie
NL175480C (nl) * 1974-06-12 1984-11-01 Philips Nv Elektrode voor een ontladingslamp, werkwijze voor de vervaardiging van een dergelijke elektrode en ontladingslamp voorzien van een dergelijke elektrode.
CH579824A5 (fr) * 1974-10-25 1976-09-15 Bbc Brown Boveri & Cie
US4019081A (en) * 1974-10-25 1977-04-19 Bbc Brown Boveri & Company Limited Reaction cathode
JPS6053418B2 (ja) * 1976-08-09 1985-11-26 株式会社日立製作所 電子管陰極構体
DE2732960C2 (de) * 1977-07-21 1982-04-01 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Glühkathode und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE2838020C3 (de) * 1978-08-31 1987-06-19 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Direkt geheizte Kathode für Senderöhren mit koaxialem Aufbau der Elektroden
FR2445605A1 (fr) * 1978-12-27 1980-07-25 Thomson Csf Cathode a chauffage direct et tube electronique haute frequence comportant une telle cathode

Also Published As

Publication number Publication date
FR2498372A1 (fr) 1982-07-23
JPS57138744A (en) 1982-08-27
DE3260969D1 (en) 1984-11-22
EP0056749A2 (fr) 1982-07-28
EP0056749A3 (en) 1982-08-25
FR2498372B1 (fr) 1983-07-22
US4577134A (en) 1986-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0056749B1 (fr) Cathode à chauffage direct, et son procédé de fabrication
EP0013201B1 (fr) Cathode à chauffage direct et tube électronique haute fréquence comportant une telle cathode
FR2508237A1 (fr) Procede pour la fabrication d'une jonction de josephson, notamment d'une jonction tunnel de josephson
EP0000317A1 (fr) Procédé de fabrication d'une électrode en siliciure sur un substrat notamment semi-conducteur
EP2234944B1 (fr) Procede de realisation d'une couche de carbure refractaire sur une piece en materiau composite c/c
EP0053867B1 (fr) Emetteur thermique d'électrons et sa fabrication
JPS6148207B2 (fr)
US4799250A (en) Rotating anode with graphite for X-ray tube
FR2655191A1 (fr) Anode pour tube a rayons x.
EP0794548B1 (fr) Cathode thermoionique et son procédé de fabrication
US2788460A (en) Electrodes for electron discharge devices and methods of making same
FR2492178A1 (fr) Limiteur de tension a enveloppe etanche au gaz en matiere isolante
FR2675141A1 (fr) Materiau composite a matrice ceramique avec interphase lamellaire entre fibres de renfort refractaires et matrice, et procede pour sa fabrication.
US5065070A (en) Sputtered scandate coatings for dispenser cathodes
US5155755A (en) Anode for x-ray tubes with composite body
EP0415847A1 (fr) Anticathode tournante de tube à rayons X
FR2716034A1 (fr) Emetteurs thermoélectroniques d'électrons et procédés pour leur fabrication.
EP1200973B1 (fr) Cathode a oxydes amelioree et son procede de fabrication
CN112342495A (zh) 一种不锈钢表面氮化物与金属复合导电涂层制备方法
FR3164202A1 (fr) Composite de tungstene-diamant et son procede de fabrication
FR2580864A1 (fr) Couche barriere au bombardement ionique pour tube a vide
BE511584A (fr)
FR2481849A1 (fr) Limiteur de tension a enveloppe etanche au gaz en matiere isolante
FR2683090A1 (fr) Cathode a reserve et procede de fabrication d'une telle cathode.
FR2475796A1 (fr) Cathode a chauffage direct, son procede de fabrication, et tube electronique incorporant une telle cathode

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Designated state(s): CH DE GB NL

AK Designated contracting states

Designated state(s): CH DE GB NL

17P Request for examination filed

Effective date: 19821006

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Designated state(s): CH DE GB LI NL

REF Corresponds to:

Ref document number: 3260969

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19841122

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 19850122

Year of fee payment: 4

PLBI Opposition filed

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009260

26 Opposition filed

Opponent name: N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN

Effective date: 19850124

NLR1 Nl: opposition has been filed with the epo

Opponent name: N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN

PLBI Opposition filed

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009260

26 Opposition filed

Opponent name: BBC AKTIENGESELLSCHAFT BROWN,BOVERI & CIE.

Effective date: 19850713

NLR1 Nl: opposition has been filed with the epo

Opponent name: BBC AKTIENGESELLSCHAFT BROWN, BOVERI & CIE.

PLAB Opposition data, opponent's data or that of the opponent's representative modified

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009299OPPO

R26 Opposition filed (corrected)

Opponent name: N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN * 850713 BBC AK

Effective date: 19850124

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Payment date: 19870131

Year of fee payment: 6

RDAG Patent revoked

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009271

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: PATENT REVOKED

27W Patent revoked

Effective date: 19870320

NLR2 Nl: decision of opposition
REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

GBPR Gb: patent revoked under art. 102 of the ep convention designating the uk as contracting state