EP0377005A1 - Nach dem coriolisprinzip arbeitendes massendurchflussmessgerät - Google Patents
Nach dem coriolisprinzip arbeitendes massendurchflussmessgerätInfo
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- EP0377005A1 EP0377005A1 EP89905684A EP89905684A EP0377005A1 EP 0377005 A1 EP0377005 A1 EP 0377005A1 EP 89905684 A EP89905684 A EP 89905684A EP 89905684 A EP89905684 A EP 89905684A EP 0377005 A1 EP0377005 A1 EP 0377005A1
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Definitions
- the invention relates to a mass flow meter working according to the Coriolis principle with a mechanical vibration system and with an optical sensor device which detects the mechanical vibrations of the vibration system and which has a light transmitter and a light receiver, the light of the light transmitter being used as a light receiver by a Light guide device is transmitted, which has at least one quartz or sapphire rod and the luminous flux of which can be influenced by the vibrations.
- the light guide device consists of two sapphire rods, of which one sapphire rod is connected at one end to the light transmitter and the other sapphire rod is connected at one end to the light receiver.
- the other ends of the two sapphire rods are designed as totally reflecting prisms and are spaced apart in this way. that the light flux passing through the sapphire rod from the light transmitter passes into the other sapphire rod and is conducted by the latter to the light receiver.
- Dip plugs are attached to the measuring tubes of the mass flow meter in such a way that, depending on the deflections of the measuring tubes, they protrude more or less far into the gap formed between the prism-shaped ends of the sapphire rods.
- the advantage is achieved that the light transmitter and light receiver can be accommodated at a distance from the oscillating measuring tube system, so that they are not exposed to strong temperature fluctuations when cold and hot fluid alternately flows through the measuring tubes. Furthermore, it is avoided that the measuring tube system set in mechanical vibrations transmits undesirable vibrations to the light transmitter and the light receiver or that these are attacked by a chemically aggressive fluid that may emerge from the measuring tubes. In contrast, the sensitive sapphire rods of the light guide device are exposed to such thermal, chemical and mechanical effects.
- a light guide is known from US Pat. No. 4,173,393, which has a core made of quartz, a cladding made of glass and a protective coating made of metallic glass.
- the protective coating of metallic glass is applied in liquid form and contracts more strongly than the glass of the cladding during solidification, as a result of which the light guide is placed under constant compression, which increases the breaking strength.
- the invention has for its object to provide a mass flow meter operating according to the Coriolis principle, the light guide device of which is characterized by mechanical stability and resistance to corrosion and temperature.
- this object is achieved in that the or each quartz or sapphire rod of the light guide device is surrounded by ceramic material or glass.
- the ceramic material or glass surrounding the rods of the light guide device improves the mechanical strength of the light guide device and protects the quartz or sapphire rods of the light guide device from chemical and thermal influences.
- the optical properties of the light guide device are not impaired by the embedding in ceramic material or glass, since ceramic or glass has a lower refractive index than quartz or sapphire. It is particularly advantageous to use types of glass which are suitable for industrial use and which are suitable for binding to sapphire and are chemically and thermally robust. Their refractive index is around 1.5, which is lower than that of sapphire.
- An advantageous development of the invention is that the outside of the ceramic material or glass is surrounded by a metal sheath. This further increases the chemical resistance and mechanical strength of the light guide device.
- the metal cladding also has the advantage that the light guide device can now easily be attached to metallic objects, e.g. a metallic support housing can be attached.
- FIG. 1 is a schematic representation of a light guide device designed according to the invention
- FIG. 2 shows the installation of the light guide device according to FIG. 1 in a mass flow meter working according to the Coriolis principle
- FIGS. 1 and 2 show another embodiment of the light guide device and its installation in a mass flow meter operating according to the Coriolis principle. Identical parts are provided with the same reference numerals in FIGS. 1 and 2.
- the transmitted luminous flux is, as will be explained with reference to FIG. 2, influenced by mechanical vibrations of the flow device of a Coriolis force mass flow meter.
- a luminescence diode can be used as the light transmitter 1.
- the light receiver 2 is a photoelectric converter, which converts the received light into an electrical signal, which represents a sensor signal.
- a PIN diode in the infrared range (for example at a wavelength of 880 nm) can be used for this.
- the light guide device 3 is formed from two sapphire rods 4 and 5 arranged at a short distance from one another and parallel to one another. These are connected at one end to the light transmitter 1 or to the light receiver 2, while their free other ends are chamfered at an angle of 45 °, so that the oblique end faces 6 and 7 formed thereby are at a right angle to one another stand.
- the beam path of the light flux emitted by the light transmitter 1 produced by this configuration is shown in FIG. 1 by the dashed line 8.
- the light propagates essentially axially until it hits the oblique end face 6, where it is totally reflected at an angle of 90 °. It passes through the air gap 9 existing between the two sapphire rods 4 and 5 and meets the oblique face 7 of the sapphire rod 5, where it is totally reflected again at an angle of 90 °. It spreads essentially axially in the sapphire rod 5 and strikes the light receiver 2.
- the two inclined end faces 6 and 7 thus deflect the light by 180 ° in the manner of a right-angled prism.
- the sapphire rods 4, 5 are embedded in a ceramic or glass body 13, which is shown in cross-section (hatched) in the drawings. As can be seen in particular from FIG. 2, the cross-sectional area of the ceramic or glass body 13 is substantially larger than the cross-sectional areas of the sapphire rods 4 and 5 embedded therein.
- the ceramic or glass body 13 serves to increase the strength of the Light guide device. To further increase the strength, the ceramic or glass body 13 is surrounded by a metal sheath 14. Since the ceramic or glass body 13 has a lower refractive index than the sapphire rods 4, 5, the losses of light energy during light transmission in the sapphire rods 4, 5 are minimized.
- the metal sheath 14 can be applied as a metal layer on the outer surface of the ceramic or glass body 13; however, it is preferably a prefabricated metal sleeve which is filled with the ceramic material or glass 13 in which the sapphire rods 4 and 5 are embedded.
- FIG. 2 the arrangement of FIG. 1 for forming a displacement sensor is installed in a Coriolis force mass flow meter with two parallel measuring tubes M in such a way that the siphon rods 4, 5 extend perpendicular to the longitudinal axes of the measuring tubes M. Their inclined end faces 6, 7 lie between the measuring tubes M. On each measuring tube M a plunger 10 or 11 is fastened perpendicular to the longitudinal axis of the measuring tube so that it projects into the air gap 9 between the sapphire rods 4, 5.
- the two plungers 10, 11 lie in one plane, and their mutually facing edges are at a distance from one another, so that there is a gap 12 between these edges, through which part of the light flux reflected on the end face 6 from the sapphire rod 4 to Go sapphire wand 5 can. If, according to the mass flow measurement according to the Coriolis principle, the two measuring tubes M are set into mutually opposite vibrations, the gap 12 between the plungers 10, 11 alternately becomes wider and narrower in time with the vibrations. The intensity of the luminous flux coming from the sapphire rod 4 to the sapphire rod 5 is thereby modulated. Thus, the amplitude and the phase of the modulated luminous flux and consequently also the amplitude and the phase of the sensor signal emitted by the light receiver 2 correspond to the amplitude and the phase of the vibrations of the measuring tubes M.
- Fig. 3 shows a modified embodiment of the light guide device, which is suitable for this case.
- the light guide device 23 of FIG. 3 again contains two sapphire rods 24 and 25, which are connected at one end to a light transmitter 21 or a light receiver 22.
- the other ends of the sapphire rods 24 and 25 are not beveled, but rather are provided with flat end faces 26 and 27 which are perpendicular to the longitudinal axis and which are translucent.
- the light guide device 23 is mounted so that the end faces 26 and 27 are opposite a measuring tube M at a short distance.
- the measuring tube M has a reflective outer surface at least in the region which lies opposite the end faces 26 and 27.
- the sapphire rods 24 and 25 are embedded in a ceramic or glass body 28, which in turn is surrounded by a metal sheath 29, which results in the advantageous effects described above.
- the light emitted by the light transmitter 21, which propagates through the sapphire rod 24, emerges from the end face 26, so that it strikes the reflecting outer surface of the measuring tube M.
- Part of the light reflected by the measuring tube M strikes the end face 27 of the sapphire rod 25, in which it propagates to the light receiver 22.
- the strength of the reflected light entering the sapphire rod 25 depends on the distance between the end faces 26, 27 and the measuring tube M. If the measuring tube M is vibrated, as indicated by the double arrow in FIG.
- this distance changes in time with the vibrations, so that the intensity of the light emitted by the sapphire rod 24 after reflection on the measuring tube M into the sapphire rod 25 is transmitted, is modulated according to the vibrations.
- the light receiver 22 supplies a vibration sensor signal modulated in time with the vibrations.
- the sapphire rods 24 and 25 are therefore closer together in FIG. 3 than the sapphire rods 4 and 5 in FIG. 1.
- quartz rods can also be used instead of the sapphire rods.
- the ceramic or glass body and the surrounding metallic sheath as shown in FIG. 2, to have a rectangular cross-sectional profile.
- the cross-sectional profile of these parts is arbitrary and in particular can also be circular.
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Description
Nach dem Coriolisprinzip arbeitendes Massendurchflußmeßgerät
Die Erfindung betrifft ein nach dem Coriolisprinzip ar¬ beitendes Massendurchflußmeßgerät mit einem mechanischen Schwingsystem und mit einer die mechanischen Schwingungen des Schwingsystems detektierenden, .optischen Sensoreinrich¬ tung, welche einen Lichtsender und einen Lichtempfänger auf¬ weist, wobei das Licht des Lichtsenders zum Lichtempfänger durch eine Lichtleitereinrichtung übertragen wird, die we¬ nigstens einen Quarz- oder Saphirstab aufweist und deren Lichtstrom durch die Schwingungen beeinflußbar ist.
Bei einem aus der EP-OS 0 262 573 bekannten Massendurchflu߬ meßgerät dieser Art besteht die Lichtleitereinrichtung aus zwei Saphirstäben, von denen der eine Saphirstab am einen Ende mit dem Lichtsender und der andere Saphirstab am einen Ende mit dem Lichtempfänger verbunden ist. Die anderen Enden der beiden Saphirstäbe sind als totalreflektierende Prismen ausgebildet und im Abstand voneinander derart angeordnet.
daß der vom Lichtsender durch den Saphirstab gehende Licht¬ strom in den anderen Saphirstab übertritt und von diesem zum Lichtempfänger geleitet wird. An den Meßrohren des Massen¬ durchflußmessers sind Tauchfahnen so angebracht, daß sie in Abhängigkeit von den Auslenkungen der Meßrohre mehr oder weniger weit in den zwischen den prismenförmig ausgebildeten Enden der Saphirstäbe gebildeten Spalt ragen. Mit dieser An¬ ordnung wird der Vorteil erzielt, daß Lichtsender und Licht¬ empfänger im Abstand vom schwingenden Meßrohrsystem geschützt untergebracht werden können, so daß sie keinen starken Tem¬ peraturschwankungen ausgesetzt sind, wenn abwechselnd kaltes und heißes Fluid durch die Meßrohre strömt. Ferner wird ver¬ mieden, daß das in mechanische Schwingungen versetzte Me߬ rohrsystem unerwünschte Vibrationen auf den Lichtsender und den Lichtempfänger überträgt oder daß diese durch ein mög¬ licherweise aus den Meßrohren austretendes chemisch aggres¬ sives Fluid angegriffen werden. Dagegen sind die empfindli¬ chen Saphirstäbe der Lichtleitereinrichtung solchen thermi¬ schen, chemischen und mechanischen Einwirkungen ausgesetzt.
Aus der US-PS 4 173 393 ist ein Lichtleiter bekannt, der einen Kern aus Quarz, eine Ummantelung aus Glas und einen Schutzüberzug aus metallischem Glas aufweist. Der Schutz¬ überzug aus metallischem Glas wird flüssig aufgebracht und zieht sich bei der Verfestigung stärker zusammen als das Glas der Ummantelung, wodurch der Lichtleiter unter bleiben¬ de Kompression gesetzt wird, die die Bruchfestigkeit erhöht.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein nach dem Corio¬ lisprinzip arbeitendes Massendurchflußmeßgerät zu schaffen, dessen Lichtleitereinrichtung sich durch mechanische Stabi¬ lität und Korrosions- und Temperaturbeständigkeit auszeich¬ net.
Nach der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der bzw. jeder Quarz- oder Saphirstab der Lichtleiterein¬ richtung von keramischem Material oder Glas umgeben ist.
Das die Stäbe der Lichtleitereinrichtung umgebende kerami¬ sche Material oder Glas verbessert die mechanische Festig¬ keit der Lichtleitereinrichtung und schützt die Quarz- oder Saphirstäbe der Lichtleitereinrichtung vor chemischen und thermischen Einflüssen. Die optischen Eigenschaften der Lichtleitereinrichtung werden durch die Einbettung in kera¬ misches Material oder Glas nicht beeinträchtigt, da Keramik oder Glas einen niedrigeren Brechungsindex aufweist als Quarz oder Saphir. Besonders vorteilhaft ist die Verwendung von für den industriellen Einsatz geeigneten Glasarten, die zur Bindung an Saphir geeignet sowie chemisch und thermisch robust sind. Deren Brechungsindex beträgt etwa 1,5 und liegt somit niedriger als der von Saphir.
Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung besteht darin, daß die Außenseite des keramischen Materials oder Glases von einer Metallumhüllung umgeben ist. Dadurch wird die chemi¬ sche Beständigkeit und mechanische Festigkeit der Lichtlei¬ tereinrichtung weiter erhöht. Durch die Metallumhüllung wird ferner der Vorteil erzielt, daß die Lichtleitereinrichtung nunmehr leicht an metallischen Gegenständen, z.B. einem me¬ tallischen Trägergehäuse, befestigt werden kann.
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine sche a ische Darstellung einer nach der Erfin¬ dung ausgebildeten Lichtleitereinrichtung,
Fig. 2 den Einbau der Lichtleitereinrichtung gemäß Fig. 1 in einen nach dem Coriolisprinzip arbeitenden Mas¬ sendurchflußmesser und
Fig. 3 eine andere Ausführungsform der Lichtleitereinrich¬ tung und ihren Einbau in einen nach dem Coriolis¬ prinzip arbeitenden Massendurchflußmesser.
Gleiche Teile sind in den Figuren 1 und 2 mit übereinstim¬ menden Bezugszeichen versehen.
Gemäß Fig. 1 sind ein Lichtsender 1, ein Lichtempfänger 2 und eine Lichtleitereinrichtung 3, die das Licht des Licht¬ senders 1 zu dem Lichtempfänger 2 überträgt, vorgesehen. Der übertragene Lichtstrom wird, wie anhand von Fig. 2 erläutert wird, durch mechanische Schwingungen der Durchflußvorrich¬ tung eines Corioliskraft-Massendurchflußmessers beeinflußt.
Als Lichtsender 1 kann eine Lumineszenzdiode verwendet wer¬ den. Der Lichtempfänger 2 ist ein fotoelektrischer Wandler, der das empfangene Licht in ein elektrisches Signal umsetzt, das ein Sensorsignal darstellt. Beispielsweise kann dafür eine PIN-Diode im Infrarotbereich (z.B. bei einer Wellenlän¬ ge von 880 nm) verwendet werden. Die Lichtleitereinrichtung 3 ist aus zwei in geringem Abstand voneinander und parallel zueinander angeordneten Saphirstäben 4 und 5 gebildet. Diese sind an einem Ende mit dem Lichtsender 1 bzw. mit dem Licht¬ empfänger 2 verbunden, während ihre freien anderen Enden im Winkel von 45° abgeschrägt sind, so daß die dadurch gebilde¬ ten schrägen Stirnflächen 6 und 7 im rechten Winkel zueinan¬ der stehen. Der durch diese Ausbildung erzeugte Strahlengang des vom Lichtsender 1 emittierten Lichtstroms ist in Fig. 1 durch die gestrichelte Linie 8 dargestellt. Im Saphirstab 4 breitet sich das Licht im wesentlichen axial aus, bis es auf die schräge Stirnfläche 6 trifft, wo es im Winkel von 90° totalreflektiert wird. Es geht durch den zwischen den beiden Saphirstäben 4 und 5 bestehenden Luftspalt 9 und trifft auf die schräge Stirnfläche 7 des Saphirstabs 5, wo es erneut im Winkel von 90° totalreflektiert wird. So breitet es sich im Saphirstab 5 im wesentlichen axial aus und trifft auf den Lichtempfänger 2. Die beiden schrägen Stirnflächen 6 und 7 lenken somit zusammen das Licht nach Art eines rechtwinkli¬ gen Prismas um 180° um.
Gemäß Fig. 1 sind die Saphirstäbe 4, 5 in einen Keramik¬ oder Glaskörper 13 eingebettet, der in den Zeichnungen im Schnitt (schraffiert) dargestellt ist. Wie insbesondere aus Fig. 2 zu erkennen ist, ist die Querschnittsfläche des Ke¬ ramik- oder Glaskörpers 13 wesentlich größer als die Quer¬ schnittsflächen der darin eingebetteten Saphirstäbe 4 und 5. Der Keramik- oder Glaskörper 13 dient der Erhöhung der Fe¬ stigkeit der Lichtleitereinrichtung. Zur weiteren Erhöhung der Festigkeit ist der Keramik- oder Glaskörper 13 von einer Metallumhüllung 14 umgeben. Da der Keramik- oder Glaskörper 13 einen niedrigeren Brechungsindex als die Saphirstäbe 4, 5 aufweist, sind die Verluste an Lichtenergie bei der Licht¬ übertragung in den Saphirstäben 4, 5 minimiert. Lichtstrah¬ len, die innerhalb der Stäbe nicht exakt axial verlaufen, werden nämlich an der Grenzfläche von Saphir zu Keramik oder Glas aufgrund des genannten Verhältnisses der Brechungsindi¬ zes weitgehend totalreflektiert. Dieser Vorgang ist in Fig. 1 mittels der gestrichelten Linie 15 angedeutet. Die Metall¬ umhüllung 14 kann als Metallschicht auf die Außenfläche des Keramik- oder Glaskörpers 13 aufgebracht werden; vorzugswei¬ se ist sie jedoch eine vorgefertigte Metallhülse, die mit dem keramischen Material oder Glas 13, in das die Saphirstä¬ be 4 und 5 eingebettet sind, ausgefüllt ist.
Gemäß Fig. 2 wird die Anordnung von Fig. l zur Bildung eines Wegsensors in einen Corioliskraft-Maεsendurchflußmesser mit zwei parallelen Meßrohren M so eingebaut, daß sich die Sa¬ phirstäbe 4, 5 senkrecht zu den Längsachsen der Meßrohre M erstrecken. Ihre schrägen Stirnflächen 6, 7 liegen dabei zwischen den Meßrohren M. An jedem Meßrohr M ist eine Tauch¬ fahne 10 bzw. 11 senkrecht zur Meßrohrlängsachse so befe¬ stigt, daß sie in den Luftspalt 9 zwischen den Saphirstäben 4, 5 ragt. Die beiden Tauchfahnen 10, 11 liegen in einer Ebene, und ihre einander zugewandten Kanten liegen im Abstand voneinander, so daß zwischen diesen Kanten ein Spalt 12 be¬ steht, durch den ein Teil des an der Stirnfläche 6 reflek¬ tierten Lichtstroms vom Saphirstab 4 zum Saphirstab 5 gehen
kann. Wenn gemäß der Massendurchflußmessung nach dem Corio¬ lisprinzip die beiden Meßrohre M in zueinander gegensinnige Schwingungen versetzt werden, wird der Spalt 12 zwischen den Tauchfahnen 10, 11 im Takt der Schwingungen abwechselnd breiter und schmäler. Dadurch wird der vom Saphirstab 4 zum Saphirstab 5 gelangende Lichtstrom in seiner Stärke modu¬ liert. Somit entsprechen die Amplitude und die Phase des mo¬ dulierten Lichtstroms und demzufolge auch die Amplitude und die Phase des vom Lichtempfänger 2 abgegebenen Sensorsignals der Amplitude und der Phase der Schwingungen der Meßrohre M.
In manchen Fällen kann es schwierig sein, Tauchfahnen nach Art der Tauchfahnen 10 und 11 von Fig. 2 an den Meßrohren des Massendurchflußmessers anzubringen. Fig. 3 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform der Lichtleitereinrichtung, die für diesen Fall geeignet ist.
Die Lichtleitereinrichtung 23 von Fig. 3 enthält wieder zwei Saphirstäbe 24 und 25, die am einen Ende mit einem Lichtsen¬ der 21 bzw. einem Lichtempfänger 22 verbunden sind. Die an¬ deren Enden der Saphirstäbe 24 und 25 sind in diesem Fall nicht abgeschrägt, sondern mit zur Längsachse senkrechten ebenen Stirnflächen 26 bzw. 27 versehen, die lichtdurchläs¬ sig sind. Die Lichtleitereinrichtung 23 ist so montiert, daß die Stirnflächen 26 und 27 einem Meßrohr M in geringem Ab¬ stand gegenüberliegen. Das Meßrohr M weist zumindest in dem Bereich, der den Stirnflächen 26 und 27 gegenüberliegt, eine reflektierende Außenfläche auf.
Wie bei der Ausführungsform von Fig. 1 sind die Saphirstäbe 24 und 25 in einen Keramik- oder Glaskörper 28 eingebettet, der seinerseits von einer Metallumhüllung 29 umgeben ist, wodurch sich die zuvor geschilderten vorteilhaften Wirkungen ergeben. Bei der Ausführungsform von Fig. 3 tritt das vom Lichtsender 21 emittierte Licht, das sich durch den Saphir¬ stab 24 fortpflanzt, aus der Stirnfläche 26 aus, so daß es auf die reflektierende Außenfläche des Meßrohres M trifft.
Ein Teil des vom Meßrohr M reflektierten Lichts trifft auf die Stirnfläche 27 des Saphirstabs 25, in dem es sich zum Lichtempfänger 22 fortpflanzt. Die Stärke des in den Saphir¬ stab 25 eintretenden reflektierten Lichts ist von dem Ab¬ stand zwischen den Stirnflächen 26, 27 und dem Meßrohr M ab¬ hängig. Wenn das Meßrohr M, wie durch den Doppelpfeil in Fig. 3 angedeutet ist, in Schwingungen versetzt wird, ändert sich dieser Abstand im Takt der Schwingungen, so daß die Stärke des Lichts, das vom Saphirstab 24 nach Reflexion am Meßrohr M in den Saphirstab 25 übertragen wird, entsprechend den Schwingungen moduliert wird. Somit liefert der Lichtemp¬ fänger 22, ähnlich wie der Lichtempfänger 2 von Fig. 1, ein im Takt der Schwingungen moduliertes Schwingungssenεorsignal.
Damit ein möglichst großer Teil des aus dem Saphirstab 24 austretenden Lichts nach Reflexion am Meßrohr in den Saphir¬ stab 25 eintritt, ist es günstig, den Abstand zwischen den Saphirstäben 24 und 25 klein zu halten. Die Saphirstäbe 24 und 25 liegen daher in Fig. 3 näher beieinander als die Sa¬ phirstäbe 4 und 5 in Fig. 1.
Sowohl bei der Ausführungsform von Fig. 1 und 2 als auch bei der Ausführungsform von Fig. 3 können anstelle der Saphir¬ stäbe auch Quarzstäbe verwendet werden.
Ferner ist es nicht erforderlich, daß der Keramik- oder Glas¬ körper und die ihn umgebende metallische Umhüllung, wie in Fig. 2 dargestellt, ein rechteckiges Querschnittssprofil ha¬ ben. Das Querschnittsprofil dieser Teile ist beliebig und kann insbesondere auch kreisrund sein.
Claims
1. Nach dem Coriolisprinzip arbeitendes Massendurchflu߬ meßgerät, mit einem mechanischen Schwingsystem und mit einer die mechanischen Schwingungen des Schwingsystems detektie- renden, optischen Sensoreinrichtung, welche einen Lichtsen¬ der und einen Lichtempfänger aufweist, wobei das Licht des Lichtsenders zum Lichtempfänger durch eine Lichtleiterein¬ richtung übertragen wird, die wenigstens einen Quarz- oder Saphirstab aufweist und deren Lichtstrom durch die Schwin¬ gungen beeinflußbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß der bzw. jeder Quarz- oder Saphirstab (4, 5; 24, 25) der Licht¬ leitereinrichtung (3; 23) von keramischem Material oder Glas (13; 28) umgeben ist.
2. Meßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Quarz- oder Saphirstäbe (4, 5; 24, 25) in einen ge¬ meinsamen Keramik- oder Glaskörper (13; 28) eingebettet sind.
3. Meßgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenseite des keramischen Materials oder Glases (13; 28) von einer Metallumhüllung (14; 29) umgeben ist.
4. Meßgerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallumhüllung (14; 29) als Schicht auf die Außenseite des keramischen Materials oder Glases (13; 28) aufgebracht ist.
5. Meßgerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallumhüllung (14; 29) eine Metallhülse ist, die mit dem die Quarz- oder Saphirstäbe (4, 5; 24, 25) umgebenden keramischen Material oder Glas (13; 28) ausgefüllt ist.
6. Meßgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch ge¬ kennzeichnet, daß die Lichtleitereinrichtung (3) zwei Saphir¬ stäbe (4, 5) aufweist, von denen der eine Saphirstab (4) am einen Ende mit dem Lichtsender (1) und der andere Saphirstab (5) am einen Ende mit dem Lichtempfänger (2) verbunden ist, daß die anderen Enden der beiden Saphirstäbe (4, 5) als to¬ talreflektierende Prismen ausgebildet sind und im Abstand voneinander derart gegenüberliegen, daß der vom Lichtsender
(1) durch den Saphirstab (4) gehende Lichtstrom in den ande¬ ren Saphirstab (5) übertritt und von diesem zum Lichtempfän¬ ger (2) geleitet wird, und daß an dem mechanischen Schwing¬ system wenigstens eine Tauchfahne (10, 11) so angebracht ist, daß sie in Abhängigkeit von der Auslenkung des Schwingssy¬ stems (M) mehr oder weniger weit in den zwischen den pris- menfδrmig ausgebildeten Enden der Saphirstäbe (4, 5) gebil¬ deten Spalt (9) ragt.
7. Meßgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch ge¬ kennzeichnet, daß die Lichtleitereinrichtung (23) zwei Sa¬ phirstäbe (24, 25) aufweist, von denen der eine Saphirstab 24 am einen Ende mit dem Lichtsender (21) und der andere Sa¬ phirstab (25) am einen Ende mit dem Lichtempfänger (22) ver¬ bunden ist, daß die anderen Enden (26, 27) der beiden Sa¬ phirstäbe (24, 25) lichtdurchlässig ausgebildet sind und einem von Fluid durchströmten, in mechanische Schwingungen versetzbaren Meßrohr (M) des Meßgeräts im Abstand gegenüber¬ liegen und daß das Meßrohr (M) zumindest in dem den Enden der Saphirstäbe (24, 25) gegenüberliegenden Bereich eine lichtreflektierende Oberfläche besitzt, so daß das vom Licht¬ sender (21) durch den Saphirstab (24) gehende Licht zumin¬ dest teilweise vom Meßrohr (M) reflektiert wird und dabei in den anderen Saphirstab (25) eintritt, von dem es zum Licht¬ empfänger (22) geleitet wird.
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