JPS6067805A - 近接センサ - Google Patents
近接センサInfo
- Publication number
- JPS6067805A JPS6067805A JP58175208A JP17520883A JPS6067805A JP S6067805 A JPS6067805 A JP S6067805A JP 58175208 A JP58175208 A JP 58175208A JP 17520883 A JP17520883 A JP 17520883A JP S6067805 A JPS6067805 A JP S6067805A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical fiber
- optical
- proximity sensor
- receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光ファイバを周込た近接センサに関するもので
ある。
ある。
近接した物体の距離を光ファイ・９を用いて検出する近
接センサが従来から用いられてきている。
接センサが従来から用いられてきている。
従来の近接センサは、光源に結合された発光側光ファイ
バと、受光素子に結合された受光側光ファイバとを備え
、各光ファイバの自由端の端面は同方向に揃えられてお
シ、この自由端の端面の近傍において、光ファイバの光
軸にほぼ沿ってこの端面に接近、離反するように移動す
る物体の位置又は有無を検出するものである。即ち、こ
の近接センサは、発光側光ファイバから出力された光が
物体に当たることによって生じた反射光を受光側光ファ
イバによシ捉え、この反射光の強さによシ光ファイバの
自由端の端面と所要の物体との間の距離Ｌ１即ち、物体
の位置を検出するように構成されている。このようガ構
成によると、受光側光ファイノぐによシ検出される反射
光の強さＩと、上述の距離ｔとの間の関係は、第１図に
示される如くなシ、ｔが所定値ｔｔｎより小さい範囲で
は、ｔの増加に対してＩは急激に増加し、ｔかｔｍよシ
ボさい範囲では、Ｉはｔの増加に対し、１／Ｌ２に比例
して減少する特性となっているａ第１図に示す検出特性
曲線の様子は、発光側及び受光側の光ファイバの直径に
応じて定まるものであシ、且つ、光ファイバの直径は通
常段階的に異なるものが用意されているだけであって、
任意の直径の光ファイバを入手することは一般に不可能
であるから、特性曲線を自由に設定すふことができなか
った。
バと、受光素子に結合された受光側光ファイバとを備え
、各光ファイバの自由端の端面は同方向に揃えられてお
シ、この自由端の端面の近傍において、光ファイバの光
軸にほぼ沿ってこの端面に接近、離反するように移動す
る物体の位置又は有無を検出するものである。即ち、こ
の近接センサは、発光側光ファイバから出力された光が
物体に当たることによって生じた反射光を受光側光ファ
イバによシ捉え、この反射光の強さによシ光ファイバの
自由端の端面と所要の物体との間の距離Ｌ１即ち、物体
の位置を検出するように構成されている。このようガ構
成によると、受光側光ファイノぐによシ検出される反射
光の強さＩと、上述の距離ｔとの間の関係は、第１図に
示される如くなシ、ｔが所定値ｔｔｎより小さい範囲で
は、ｔの増加に対してＩは急激に増加し、ｔかｔｍよシ
ボさい範囲では、Ｉはｔの増加に対し、１／Ｌ２に比例
して減少する特性となっているａ第１図に示す検出特性
曲線の様子は、発光側及び受光側の光ファイバの直径に
応じて定まるものであシ、且つ、光ファイバの直径は通
常段階的に異なるものが用意されているだけであって、
任意の直径の光ファイバを入手することは一般に不可能
であるから、特性曲線を自由に設定すふことができなか
った。
本発明の目的は、従って、光ファイバの直径を変更する
ことなしに、検出特性曲線を任意に設定するととができ
るようにした、光ファイバによる近接センサを提供する
ことにある。
ことなしに、検出特性曲線を任意に設定するととができ
るようにした、光ファイバによる近接センサを提供する
ことにある。
本発明による近接センサの構成は、光源に結合された発
光側光ファイバと、受光素子に結合された受光側光ファ
イバとを備え、各光ファイバの自由端の端面が被検出体
の方向に向けられて成っておシ、各自由端の端面近傍に
おいて、光ファイバの光軸にほぼ沿ってこれらの端面に
接近、離反するように移動する上記被検出体に上記発光
側光ファイ／４からの光を投射し、上記被検出体からの
反射光を上記受光側光ファイバにょシ捉え、上記受光側
光ファイバにより捉えられた反射光の強さに基づいて上
記被検出体の位置を検出する近接センサにおいて、上記
自由端部における各光ファイ／ｓ’１の光軸の間隔を所
望の長さに設定するためのスペーサを、上記２つの光フ
ァイバの自由端の間に設けた点に特徴を有する。
光側光ファイバと、受光素子に結合された受光側光ファ
イバとを備え、各光ファイバの自由端の端面が被検出体
の方向に向けられて成っておシ、各自由端の端面近傍に
おいて、光ファイバの光軸にほぼ沿ってこれらの端面に
接近、離反するように移動する上記被検出体に上記発光
側光ファイ／４からの光を投射し、上記被検出体からの
反射光を上記受光側光ファイバにょシ捉え、上記受光側
光ファイバにより捉えられた反射光の強さに基づいて上
記被検出体の位置を検出する近接センサにおいて、上記
自由端部における各光ファイ／ｓ’１の光軸の間隔を所
望の長さに設定するためのスペーサを、上記２つの光フ
ァイバの自由端の間に設けた点に特徴を有する。
上述の如く、光軸間隔長調節用のスー？−サを用い、２
つの光ファイバの光軸の間隔を所望の長さに調節可能と
すると、光ファイバの直径を変更することなしに、検出
特性曲線を任意に修正、変更することが可能となり、検
出感度の調節も自由に行なうことができる。
つの光ファイバの光軸の間隔を所望の長さに調節可能と
すると、光ファイバの直径を変更することなしに、検出
特性曲線を任意に修正、変更することが可能となり、検
出感度の調節も自由に行なうことができる。
以下、図示の実施例によシ本発明の詳細な説明する。
第２図には、本発明による近接センサの一実施例が示さ
れている。近接センサ１は、発光側光ファイバ２と受光
側光ファイバ３とを有し、発光側光ファイバ２の一端２
ａは、コリメータレンズ等を介して平行光線を発する光
源４に結合されている。受光側光ファイバ３の一端３ａ
は、フォトトランジスタ５と結合されておシ、受光側光
ファイバ３を介して送られてくる光信号は、フォトトラ
ンジスタ５によシ相応する電気信号に変換される。
れている。近接センサ１は、発光側光ファイバ２と受光
側光ファイバ３とを有し、発光側光ファイバ２の一端２
ａは、コリメータレンズ等を介して平行光線を発する光
源４に結合されている。受光側光ファイバ３の一端３ａ
は、フォトトランジスタ５と結合されておシ、受光側光
ファイバ３を介して送られてくる光信号は、フォトトラ
ンジスタ５によシ相応する電気信号に変換される。
光ファイバ２，３の他端２ｂ、３ｂは、スペーサ６を介
して重ね合されておシ、スペーサ６によシ、各光ファイ
バ２，３の他端２ｂ、３ｂは、その光軸が平行となるよ
うに配置されると共に、スペーサ６の厚みを調節するこ
とによシ、両光ファイバの光軸間の距離を任意の値に設
定することができる。被検出体９は、他端２ｂの投光端
面７及び他端３ｂの受光端面８に対向しており、投光端
面７からの光が被検出体９に当たシ、これによシ生じた
反射光の一部が受光端面８から光ファイバ３に入る配置
とガっている。光ファイバ３に入射した光は、フォトト
ランジスタ５によってその入射光の強さＩに応じたレベ
ルの検出電圧Ｖに変換され、この検出電圧Ｖは増幅器１
０によシ増幅された後、表示器１１に入力される。既に
述べたように、各光ファイバ２．３の端面７，８と被検
出体９との間の距離ｔと、反射光の強さＩとの間には、
所定の関係が成立し、表示器１１においては、この所定
の関係を利用し、検出電圧Ｖに基づいて距離ｔの表示を
行なうようになっている。
して重ね合されておシ、スペーサ６によシ、各光ファイ
バ２，３の他端２ｂ、３ｂは、その光軸が平行となるよ
うに配置されると共に、スペーサ６の厚みを調節するこ
とによシ、両光ファイバの光軸間の距離を任意の値に設
定することができる。被検出体９は、他端２ｂの投光端
面７及び他端３ｂの受光端面８に対向しており、投光端
面７からの光が被検出体９に当たシ、これによシ生じた
反射光の一部が受光端面８から光ファイバ３に入る配置
とガっている。光ファイバ３に入射した光は、フォトト
ランジスタ５によってその入射光の強さＩに応じたレベ
ルの検出電圧Ｖに変換され、この検出電圧Ｖは増幅器１
０によシ増幅された後、表示器１１に入力される。既に
述べたように、各光ファイバ２．３の端面７，８と被検
出体９との間の距離ｔと、反射光の強さＩとの間には、
所定の関係が成立し、表示器１１においては、この所定
の関係を利用し、検出電圧Ｖに基づいて距離ｔの表示を
行なうようになっている。
第３図（ａ）を参照すると、光ファイバ２，３の検出端
近傍が拡大して詳細に示されている。発光側光ファイバ
２は、光フアイバ心線１２と、光ファイバ６綜１２の外
周に被着されナイロン等の材料から成る外被１３とから
成っておシ、受光側光ファイバ３もまた、光フアイバ心
線１４と外被１５とから成っている。各光フアイバ心線
１２．１４の直径はいずれもＤであり、スに一部６によ
って、その光軸間の距離がＡに設定されている。
近傍が拡大して詳細に示されている。発光側光ファイバ
２は、光フアイバ心線１２と、光ファイバ６綜１２の外
周に被着されナイロン等の材料から成る外被１３とから
成っておシ、受光側光ファイバ３もまた、光フアイバ心
線１４と外被１５とから成っている。各光フアイバ心線
１２．１４の直径はいずれもＤであり、スに一部６によ
って、その光軸間の距離がＡに設定されている。
光フアイバ心線１２及び１４は、その機械的構造によっ
て定まる角度２θで示される視野を有している。従って
、被検出体９０反射面９ａが鏡面であるとした場合、直
径りの全反射円筒領域Ｍ（斜線で示す）が、形成される
。
て定まる角度２θで示される視野を有している。従って
、被検出体９０反射面９ａが鏡面であるとした場合、直
径りの全反射円筒領域Ｍ（斜線で示す）が、形成される
。
従って、被検出体９が、光ファイバ２．３（Ｄ光軸にほ
ぼ沿って、光ファイバ２の投光端面７及び光ファイバ３
の受光端面８と接近、離反し、その距離ｔが変化した場
合に、受光端面８に入射する反射光の強度工は、第３図
（ｂ）に示される如く々る。
ぼ沿って、光ファイバ２の投光端面７及び光ファイバ３
の受光端面８と接近、離反し、その距離ｔが変化した場
合に、受光端面８に入射する反射光の強度工は、第３図
（ｂ）に示される如く々る。
即ち、０＜１≦ｔｏ の範囲では、光フアイバ心線１２
の視野と光ファイバ心＋！＃ｉ！１４の視野とが一致し
ないため、被検出体９からの反射光は、受光端面８に全
く入射せず、従って、■＝０となる。
の視野と光ファイバ心＋！＃ｉ！１４の視野とが一致し
ないため、被検出体９からの反射光は、受光端面８に全
く入射せず、従って、■＝０となる。
ｔ＞ｔｏ となると、上記２つの視野が被検出体９の反
射面９ａ上において重複しはじめるため、強度Ｉの大き
さは、ｔの増加に応じて増大する。両視野の重複面積は
、ｔが増大するにつれて急激に増大するが、Ｌが増大す
ると、受光端面８に入射する反射光量が減少するため、
ｔ＞ｔ□の範囲では、ｔの増加に従って工は減少するこ
ととなる。
射面９ａ上において重複しはじめるため、強度Ｉの大き
さは、ｔの増加に応じて増大する。両視野の重複面積は
、ｔが増大するにつれて急激に増大するが、Ｌが増大す
ると、受光端面８に入射する反射光量が減少するため、
ｔ＞ｔ□の範囲では、ｔの増加に従って工は減少するこ
ととなる。
スペーサ６の厚みを調節することにより、両光ファイバ
心４’Ｊ１２．１４の光軸間の距離Ａを変化させると、
光ファイバによる投光視野と受光視野との重複状態が変
化し、従って、光ファイバの直径りを変化させることな
しに、１０．１ｒｎの値を所望の値に設定することがで
きる。
心４’Ｊ１２．１４の光軸間の距離Ａを変化させると、
光ファイバによる投光視野と受光視野との重複状態が変
化し、従って、光ファイバの直径りを変化させることな
しに、１０．１ｒｎの値を所望の値に設定することがで
きる。
第４図（ａ）には、第３図（、）に示した構成の変形例
が示されている。第４図（ａ’）に示す変形例では、く
さび状のスペーサ１６によって、光ファイバ２の端部２
ｂの光軸と光ファイバ３の端部３ｂの光軸との間、に所
定の角度αを持たせるようにした点が第３１ｉ２１（ａ
）に示す実施例と異−なる。第４図（ａ）に示す構成で
は、この角度αを調節することによシ、ｔ。
が示されている。第４図（ａ’）に示す変形例では、く
さび状のスペーサ１６によって、光ファイバ２の端部２
ｂの光軸と光ファイバ３の端部３ｂの光軸との間、に所
定の角度αを持たせるようにした点が第３１ｉ２１（ａ
）に示す実施例と異−なる。第４図（ａ）に示す構成で
は、この角度αを調節することによシ、ｔ。
及びｔ’ｒｎＯ値を調節することができる。第４図（ｂ
）には、第４図（ＩＬ）の構成に対応する検出特性曲線
が示されている。
）には、第４図（ＩＬ）の構成に対応する検出特性曲線
が示されている。
第４図（、）の構成では、スに一部１６によって、各端
部２ｂ、３ｂが互いに離反する向きに角度付けされてい
るが、第５図（ａ）に示すように、スペーサ１７によシ
、各端部２ｂ、３ｂの間隔をあけると共に、各端部２ｂ
、３ｂが互いに接近する向きに制度付けされる構成とし
、両光軸の交叉角βを調節してその検出特性曲線を調節
するように構成してもよい。第５図（ｂ）には、第５図
（ａ）に示す構成の場合の検出特性曲線が示されている
。
部２ｂ、３ｂが互いに離反する向きに角度付けされてい
るが、第５図（ａ）に示すように、スペーサ１７によシ
、各端部２ｂ、３ｂの間隔をあけると共に、各端部２ｂ
、３ｂが互いに接近する向きに制度付けされる構成とし
、両光軸の交叉角βを調節してその検出特性曲線を調節
するように構成してもよい。第５図（ｂ）には、第５図
（ａ）に示す構成の場合の検出特性曲線が示されている
。
第６図及び第７図には、本発明の他の実施例の近接セン
サの要部が示されている。この実施例では、受光側光ケ
ーブル２０が単一の光ファイバとして構成されておシ、
この受光側光ケーブル２０の周囲に、細匝の多数の光フ
ァイノ々が発光（ＩＩＩ光ケーブル２１として配設され
ている。受光側光ケーブル２０の端部には、断面くさび
状の環状スペーサ２３が、受光側光ケーブル２０と発光
側光ケーブル２１との間に設けられておシ、このスペー
サ２３によシ各光ケーブル２１の光軸と光ケーブル２０
の光軸とが所定の角度γをなすように構成されている。
サの要部が示されている。この実施例では、受光側光ケ
ーブル２０が単一の光ファイバとして構成されておシ、
この受光側光ケーブル２０の周囲に、細匝の多数の光フ
ァイノ々が発光（ＩＩＩ光ケーブル２１として配設され
ている。受光側光ケーブル２０の端部には、断面くさび
状の環状スペーサ２３が、受光側光ケーブル２０と発光
側光ケーブル２１との間に設けられておシ、このスペー
サ２３によシ各光ケーブル２１の光軸と光ケーブル２０
の光軸とが所定の角度γをなすように構成されている。
このような構成によると、スｄ ４Ｊ−２３の肉厚を調
節することにより角度γの大きさを変えることができ、
光ファイノ々の直径を変えるととガしに、検出特性を任
意の特性に定めることが−できる。
節することにより角度γの大きさを変えることができ、
光ファイノ々の直径を変えるととガしに、検出特性を任
意の特性に定めることが−できる。
第８図には、本発明の更に他の実施例が示されている。
第８図に示される実施例では、発光側光ファイバ２と受
光側光ファイノ々３とがスペーサ２４を介して所定の間
隔をあけて配置されており、発光（ｌＩｌｌ光ファイノ
々２の端部に装着されたばね性を有する〕やイゾ２５に
より、発光側光ファイノ々２の端部は、受光側光フ丁イ
ノぐ３の端部から離反するようにばね付勢されている。
光側光ファイノ々３とがスペーサ２４を介して所定の間
隔をあけて配置されており、発光（ｌＩｌｌ光ファイノ
々２の端部に装着されたばね性を有する〕やイゾ２５に
より、発光側光ファイノ々２の端部は、受光側光フ丁イ
ノぐ３の端部から離反するようにばね付勢されている。
そして、図示しないフレームに固着されている支持腕２
６には、調節ねじ２７が螺合されており、調節ねじ２７
のねじ込み量に広じて、発光側光フ了イノ々２の妬占部
を−Ｆ方へ押し下げ、これによシ、発光側光ケーブル々
２の光軸と受光側光ファイノ々の光軸との交叉角度を任
意に調節するととができるように構成されている。こ、
のようｈ構成によれば、検出特性を極めて簡単に調節す
ることが可能と々る。
６には、調節ねじ２７が螺合されており、調節ねじ２７
のねじ込み量に広じて、発光側光フ了イノ々２の妬占部
を−Ｆ方へ押し下げ、これによシ、発光側光ケーブル々
２の光軸と受光側光ファイノ々の光軸との交叉角度を任
意に調節するととができるように構成されている。こ、
のようｈ構成によれば、検出特性を極めて簡単に調節す
ることが可能と々る。
同、ばね性を有するｉ４イブ２５により付勢される光フ
ァイバは、受光側光ファイノ々であってもよいことは勿
論である。また、ばね性を有するノソイプ２５の代υに
板ばねを用いて光ファイノ々の角度付けを行なうように
構成してもよい。
ァイバは、受光側光ファイノ々であってもよいことは勿
論である。また、ばね性を有するノソイプ２５の代υに
板ばねを用いて光ファイノ々の角度付けを行なうように
構成してもよい。
本発明によれば、上述の如く、発光側光ファイバと受光
側光ファイノ々との間にスペーサを設け、両光ファイ・
々の光軸間の長さを任意に調節しうるようにしたので、
光ファイノ々の径を変更することなしに、検出特性を所
望の状態に設定することカニできる。
側光ファイノ々との間にスペーサを設け、両光ファイ・
々の光軸間の長さを任意に調節しうるようにしたので、
光ファイノ々の径を変更することなしに、検出特性を所
望の状態に設定することカニできる。
第１図は光ファイバを用いた近接センサの検出特性を示
すグラフ、第２図は本発明による近接センサの一実施例
を示す概略構成図、第３図（ａ）は第２図に示した近接
センサの要部を拡大して示す拡大断面図、第３図（ｂ）
は第３図（、）に示す近接センサの検出特性曲線を示す
グラフ、第４図（、ｌ）は第３図（ａ）に示した近接セ
ンサの変形例を示す拡大断面図、第４図（ｂ）は第４図
（、）に示す近接センサの検出特性曲線を示すグラフ、
第５図（、）は第３図（、）に示した近接センサの他の
変形例を示す拡大断面図、第５図（ｈ）は第５図（→に
示す近接センサの検出特性曲線を示すグラフ、第６図は
本発明の近接センサの他の実施例の断面図、第７図は第
６図に示す近接センサの右側端面図、第８図は本発明の
近接センサの更に他の実施例の断面図である。 １・・・近接センサ、２・・・発光側光ファイバ、３・
・・受光側光ファイバ、４・・・光源、５・・・フォト
トランジスタ、６，１６．１７・・・スペーサ、７・・
・投光端面、８・・・受光端面、９・・・被検出体、２
０・・・受光側光ケーブル、２１・・・発光側光ケーブ
ル、２３・・・環状ス４−サ。 特許出願人 ヂーゼル機器株式会社 代理人 弁理士 高 野 晶 俊
すグラフ、第２図は本発明による近接センサの一実施例
を示す概略構成図、第３図（ａ）は第２図に示した近接
センサの要部を拡大して示す拡大断面図、第３図（ｂ）
は第３図（、）に示す近接センサの検出特性曲線を示す
グラフ、第４図（、ｌ）は第３図（ａ）に示した近接セ
ンサの変形例を示す拡大断面図、第４図（ｂ）は第４図
（、）に示す近接センサの検出特性曲線を示すグラフ、
第５図（、）は第３図（、）に示した近接センサの他の
変形例を示す拡大断面図、第５図（ｈ）は第５図（→に
示す近接センサの検出特性曲線を示すグラフ、第６図は
本発明の近接センサの他の実施例の断面図、第７図は第
６図に示す近接センサの右側端面図、第８図は本発明の
近接センサの更に他の実施例の断面図である。 １・・・近接センサ、２・・・発光側光ファイバ、３・
・・受光側光ファイバ、４・・・光源、５・・・フォト
トランジスタ、６，１６．１７・・・スペーサ、７・・
・投光端面、８・・・受光端面、９・・・被検出体、２
０・・・受光側光ケーブル、２１・・・発光側光ケーブ
ル、２３・・・環状ス４−サ。 特許出願人 ヂーゼル機器株式会社 代理人 弁理士 高 野 晶 俊
Claims (1)
- １、一端が光源に結合された発光側光ファイバと、一端
が受光素子に結合された受光側光ファイバとを備え、前
記発光側光ファイバの他端側から被検出体に投射された
光によって生じる前記被検出体からの反射光が前記受光
側光ファイバの他端において前記被検出体の位置に関連
した大きさで捉えられるように構成された近接センサに
おいて、前記発光側及び前記受光側光ファイバの各他端
における光軸間隔長を所望の長さに調節するためのスイ
ープが設けられてｂることを特徴とする近接センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58175208A JPS6067805A (ja) | 1983-09-24 | 1983-09-24 | 近接センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58175208A JPS6067805A (ja) | 1983-09-24 | 1983-09-24 | 近接センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6067805A true JPS6067805A (ja) | 1985-04-18 |
Family
ID=15992179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58175208A Pending JPS6067805A (ja) | 1983-09-24 | 1983-09-24 | 近接センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6067805A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3816045A1 (de) * | 1987-09-11 | 1989-05-24 | Flowtec Ag | Lichtleitereinrichtung, insbesondere fuer massendurchflussmesser |
| US5020380A (en) * | 1988-05-11 | 1991-06-04 | Flowtec Ag | Mass flow operating by the coriolis principle |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57108605A (en) * | 1980-12-26 | 1982-07-06 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | Displacement meter |
-
1983
- 1983-09-24 JP JP58175208A patent/JPS6067805A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57108605A (en) * | 1980-12-26 | 1982-07-06 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | Displacement meter |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3816045A1 (de) * | 1987-09-11 | 1989-05-24 | Flowtec Ag | Lichtleitereinrichtung, insbesondere fuer massendurchflussmesser |
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