EP0406873A2 - Vakuumpumpe mit Sicherung gegen Belüftung des Rezipienten bei Stillstand - Google Patents
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- EP0406873A2 EP0406873A2 EP90112881A EP90112881A EP0406873A2 EP 0406873 A2 EP0406873 A2 EP 0406873A2 EP 90112881 A EP90112881 A EP 90112881A EP 90112881 A EP90112881 A EP 90112881A EP 0406873 A2 EP0406873 A2 EP 0406873A2
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/02—Liquid sealing for high-vacuum pumps or for compressors
Definitions
- the invention is based, an oil-sealed backing pump, z. B. equip a rotary vane pump with the simplest means so that no gas or oil flows back into the evacuated apparatus when the pump is switched off or when the pump stops unintentionally.
- each oil-sealed backing pump produces a loud noise when its final pressure is reached, which is caused by the incompressibility of the oil in the pump head chamber, which is completely degassed in this operating state (oil blow).
- a very small amount of gas (air) is constantly flowing into the scooping chamber, for example through a nozzle.
- the vacuum pump is very sensitive to this amount of gas: if it is somewhat too large, if the desired final vacuum is not reached, if it is somewhat too small, the oil hammer will not be eliminated.
- this gas supply In order to seal the vacuum pump at a standstill, this gas supply must also be shut off in addition to the oil supply, which significantly reduces the simplicity of the atmosphere-side solution.
- the oil level in the storage room must be at a certain level, because otherwise the distance between the oil intake opening and the oil level, and thus the gas content in the intake oil, will fluctuate, because the gas bubbles entered naturally collect just below the oil level, while the oil remains almost gas-free further below the surface.
- An exact dosage of the gas quantity with fluctuating oil level is with this Measure therefore not possible, i.e. a pump equipped in this way cannot have a large, usable oil supply. However, this is increasingly required today.
- Another known solution uses an auxiliary pump for the oil supply of the backing pump, which simultaneously sucks in gas and oil via a suction opening.
- the proportion of gas depends very much on the oil viscosity and thus on the operating temperature of the backing pump and fluctuates with it within wide limits. Such a solution is therefore also unsatisfactory.
- An auxiliary pump 2 is arranged on the shaft of the vacuum pump 1, which is preferably designed as a rotary vane pump with at least three vanes 3.
- the auxiliary pump has two suction openings, one for gas 4 (air), which ends above the highest oil level in the oil reservoir, and one for oil 5, which ends below the lowest oil level.
- the auxiliary pump has an ejection opening (6) which opens into the pumping chamber of the vacuum pump, a spring-loaded valve 7 being arranged between the auxiliary pump and the pumping chamber, which valve opens only at a pressure difference of more than 1 bar.
- the pumping chamber of the auxiliary pump is designed and the position of the two suction openings is selected so that the auxiliary pump first draws in a small amount of air and then fills its pumping chamber with oil.
- oil and gas are mixed intensively and pressed together via the spring-loaded valve 7 into the pump chamber of the vacuum pump.
- the spring-loaded valve 7 closes and seals the vacuum pump at this point.
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine ölgedichtete Vorvakuumpumpe, bei der die Sicherung gegen Belüftung des Rezipienten bei Stillstand der Pumpe dadurch erreicht wird, daß ihr Schöpfraum auf der Atmosphärenseite in diesem Zustand vakuumdicht verschlossen wird.
Um für die Absperrung der Ölzufuhr bei Stillstand der Vakuumpumpe mit einfachsten Mitteln auszukommen und gleichzeitig die für die Geräuschdämpfung notwendige Gaszufuhr genau dosieren und ebenfalls absperren zu können, ist auf der Pumpenwelle eine Hilfspumpe 2 vorgesehen, die über getrennte Ansaugkanäle 4 und Öl 5 ansaugt, mischt und über ein federbelastetes Ventil 7 in den Schöpfraum der Vakuumpumpe drückt.
Description
- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine ölgedichtete Vorvakuumpumpe, z. B. eine Drehschieberpumpe, mit einfachsten Mitteln so auszurüsten, daß beim Abschalten oder einem ungewollten Stillstand der Pumpe kein Gas oder Öl in die evakuierte Apparatur zurückströmt.
- Zu diesem Zweck werden wahlweise zwei Techniken angewendet:
- Entweder wird in die Saugleitung der Vorvakuumpumpe ein Ventil eingebaut, das bei Stillstand der Pumpe automatisch schließt,
- oder es werden alle auf der Atmophärenseite der Pumpe liegenden Zugänge zum Pumpenschöpfraum automatisch abgesperrt. - Da ein Saugstutzenventil großen Querschnitt und eine besondere Betätigungseinrichtung erfordert, ist diese Lösung sehr aufwendig, mit einfachen Mitteln also nicht zu realisieren.
- Dagegen ist auf der Atmosphärenseite i. w. nur die Ölzufuhr zum Schöpfraum abzusperren (das Auspuffventil kann selbsttätig schließen), so daß diese Lösung der oben genannten Forderung näher kommt. Die Erfindung geht deshalb von dieser Lösung aus und verfolgt den Zweck, ihre bisher noch vorhandenen, gravierenden Unzulänglichkeiten zu beseitigen.
- Diese Unzulänglichkeiten hängen damit zusammen, daß jede ölgedichtete Vorvakuumpumpe bei Erreiche ihres Enddruckes ein lautes Geräusch erzeugt, welches durch die Inkompressibilität des bei diesem Betriebszustand vollständig entgasten Öls im Pumpenschöpfraum entsteht (Ölschlag). Um dieses Geräusch zu vermeiden, läßt man ständig eine sehr kleine Menge Gas (Luft) in den Schöpfraum einströmen, etwa über eine Düse. Die Vakuumpumpe reagiert auf dies Gasmenge sehr empfindlich: ist sie etwas zu groß, wir das gewünschte Endvakuum nicht erreicht, ist sie etwas zu klein, wird der Ölschlag nicht beseitigt.
- Um die Vakuumpumpe im Stillstand abzudichten, muß also neben der Ölzufuhr auch diese Gaszufuhr abgesperrt werden,was die Einfachheit der atmosphärenseitigen Lösung deutlich mindert.
- Die dafür bereits bekannten Lösungen gehen den Weg, Öl und Gas im Ölvorratsraum der Vakuumpumpe zu mischen (z. B. durch ein rotierendes Flügelrad, das halb in Öl eintaucht) und dieses Gemisch durch eine Düse in den Pumpenschöpfraum einzusaugen. Dann muß nur noch diese Zuleitung abgesperrt werden, um die Vakuumpumpe bei Stillstand abzudichten.
- Das ist zwar einfach, hat aber einen ganz entscheidenden Nachteil: der Ölstand im Vorratsraum muß auf eine bestimmten Höhe sein, weil sonst der Abstand zwischen der Ölansaugöffnung und dem Ölspiegel und damit auch der Gasgehalt im angesaugten Öl schwankt, denn die eingetragenen Gasblasen sammeln sich naturgemäß dicht unter dem Ölspiegel an, während das Öl weiter unterhalb der Oberfläche fast gasfrei bleibt. Eine genaue Dosierung der Gasmenge bei schwankendem Ölstand ist mit dieser Maßnahme also nicht möglich, das heißt, eine so ausgerüstete Pumpe kann keinen großen, ausnutzbaren Ölvorrat haben. Dieses wird heute aber zunehmend gefordert.
- Eine andere bekannte Lösung verwendet eine Hilfspumpe für die Ölversorgug der Vorvakuumpumpe, welche über eine Saugöffnung gleichzeitig Gas und Öl ansaugt. Dabei hängt der Gasanteil sehr stark von der Ölviskosität und damit von der Betriebstemperatur der Vorvakuumpumpe ab und schwankt mit dieser in weiten Grenzen. Auch eine solche Lösung befriedigt daher nicht.
- Damit stellen sich für die Erfindung folgende Aufgaben:
- Ölzufuhr zum Schöpfraum der laufenden Vakuumpumpe mit dosierter Menge.
- Zumischung einer genau dosierten, kleinen Gasmenge zu diesem zugeführten Öl.
- Unabhängigkeit der Öl- und Gasdosierung vom Ölstand im Vorratsraum und von der Öltemperatur innerhalb weiter Grenzen.
- Automatische Absperrung der Zufuhr des Öl-Gas-Gemisches zum Schöpfraum der Vakuumpumpe bei deren Stillstand.
- Erreichen dieser Ziele mit einfachsten Mitteln. - Das wird durch die Erfindung auf folgende Weise erreicht (siehe Abbildungen 1 und 2)
Auf der Welle der Vakuumpumpe 1 ist eine Hilfspumpe 2 angeordnet, die vorzugsweise als Drehschieberpumpe mit mindestens drei Schiebern 3 ausgebildet ist.
- Die Hilfspumpte hat zwei Ansaugöffnungen, eine für Gas 4 (Luft), welche oberhalb des höchsten Ölstandes im Ölvorratsraum endet, und eine für Öl 5, welche unterhalb des niedrigsten Ölstandes endet.
- Die Hilfspumpe hat eine Ausstoßöffnung (6), welche in den Schöpfraum der Vakuumpumpe mündet, wobei zwischen Hilfspumpe und Schöpfraum ein federbelastetes Ventil 7 angordnet ist, welches erst bei einer Druckdifferenz von mehr als 1 bar öffnet.
- Der Schöpfraum der Hilfspumpe ist so ausgebildet und die Lage der beiden Ansaugöffnungen ist so gewählt, daß die Hilfspumpe zunächst eine kleine Menge Luft ansaugt und sich anschließend ihr Schöpfraum mit Öl auffüllt.
- Bei der weiteren Drehung des Pumpenrotor 2 werden Öl und Gas intensiv gemischt und gemeinsam über das federbelastete Ventil 7 in den Schöpfraum der Vakuumpumpe gedrückt.
- Bei Stillstand der Anordnung schließt das federbelastete Ventil 7 und dichtet die Vakuumpumpe an dieser Stelle ab. - Es ist selbstverständlich, daß auch das Auspuffventil der Vorvakuumpumpe und ein eventuell vorhandenes Gasballastventil bei Stillstand derselben vakuumdicht schließen müssen, um ein Belüften der Appartur zu verhindern. Dafür sind einfache Lösungen bekannt; sie werden hier nicht näher beschrieben, gewinnen aber im Zusammenhang mit der Erfindung besondere Bedeutung.
- Praktische Versuche zeigen, daß eine genaue Dosierung der angesaugten, sehr kleinen Gasmenge vorteilhaft dadurch erreicht werden kann, daß die äußere Kontur des Schöpfraums der Hilfspumpe 8 sich im Bereich zwischen der Gasansaugöffnung und der Ölansaugöffnung nur wenig von dem Pumpenrotor entfernt, damit das Saugvermögen der Hilfspumpe für Gas entsprechend gering bleibt. Nach dem Passieren der Ölansaugöffnung soll die Kontur sich stärker vom Rotor lösen, um für Öl ein größeres Saugvermögen zu erreichen und gleichzeitig eine gute Durchmischung Öl/Gas zu erzielen. Die Kapselkontur erhält damit eine unrunde Form, die aus CNC-Maschinen aber leicht herzustellen ist.
- Da heute die meisten Vorvakuumpumpen ohnhin mit Ölförderpumpen auf der Pumpenwelle ausgerüstet werden, besteht der zusätzliche Aufwand der Erfindung lediglich in der besonderen Ausbildung dieser Ölförderpumpe und in der Anordnung eines federbelasteten Ventils in der Ölförderleitung. Der dafür erforderliche Aufwand und auch der Platzbedarf sind aber nur Bruchteile derjenigen, die heute z. B. für ein automatisch arbeitendes Saugstutzenventil eingesetzt werden müssen.
Claims (7)
1. Ölgedichtete Vorvakuumpumpe mit einer auf der Pumpenwelle angeordneten Hilfspumpe für die Ölversorgung des Schöpfraums, welche vorzugsweise als Drehschieberpumpe mit mindestens 3 Schiebern ausgebildet ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß in den Schöpfraum der Hilfspumpe zwei getrennte Ansaugöffnungen münden, von denen die eine Gas, die andere Öl aus dem Gas-/Öl-Vorratsraum der Vorvakuumpumpe ansaugt.
dadurch gekennzeichnet,
daß in den Schöpfraum der Hilfspumpe zwei getrennte Ansaugöffnungen münden, von denen die eine Gas, die andere Öl aus dem Gas-/Öl-Vorratsraum der Vorvakuumpumpe ansaugt.
2. Vorvakuumpumpe nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Gasansaugkanal oberhalb des höchstzulässigen Ölstandes, der Ölansaugkanal unterhalb des niedrigstzulässigen Ölstandes beginnt.
dadurch gekennzeichnet,
daß der Gasansaugkanal oberhalb des höchstzulässigen Ölstandes, der Ölansaugkanal unterhalb des niedrigstzulässigen Ölstandes beginnt.
3. Vorvakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die äußere Kontur des Schöpfraumes der Hilfspumpe derart von der üblichen Kreisform abweicht, daß das Volumen des Ansaugraumes nach dem Durchgang eines Schiebers vor Gasansaugöffnung zunächst nur langsam zunimmt, um nach dem Durchgang vor der Ölansaugöffnung schneller zuzunehmen.
dadurch gekennzeichnet,
daß die äußere Kontur des Schöpfraumes der Hilfspumpe derart von der üblichen Kreisform abweicht, daß das Volumen des Ansaugraumes nach dem Durchgang eines Schiebers vor Gasansaugöffnung zunächst nur langsam zunimmt, um nach dem Durchgang vor der Ölansaugöffnung schneller zuzunehmen.
4. Vorvakuumpumpe nach den Ansprüchen 1 - 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß sich unabhängig von der Winkelstellung des Rotors der Hilfspumpe immer ein Schieber zwischen der Gasansaugöffnung und der Ölansaugöffnung befindet.
dadurch gekennzeichnet,
daß sich unabhängig von der Winkelstellung des Rotors der Hilfspumpe immer ein Schieber zwischen der Gasansaugöffnung und der Ölansaugöffnung befindet.
5. Vorvakuumpumpe nach den Anspüchen 1 - 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen der Ausstoßöffnung der Hilfspumpe und dem Schöpfraum der Vorvakuumpumpe in dem Ölfluß ein federbelastetes Ventil angeordnet ist, welches erst bei einer Druckdifferenz von mehr als 1 bar den Ölfluß freigibt.
dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen der Ausstoßöffnung der Hilfspumpe und dem Schöpfraum der Vorvakuumpumpe in dem Ölfluß ein federbelastetes Ventil angeordnet ist, welches erst bei einer Druckdifferenz von mehr als 1 bar den Ölfluß freigibt.
6. Vorvakuumpumpe nach den Ansprüchen 1- 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß sie mit einem bei Stillstand der Pumpe vakuumdicht schließenden Auspuffventil ausgerüstet ist.
dadurch gekennzeichnet,
daß sie mit einem bei Stillstand der Pumpe vakuumdicht schließenden Auspuffventil ausgerüstet ist.
7. Vorvakuumpumpe nach den Ansprüchen 1 - 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß sie mit einer bei Stillstand automatischen eintretenden Unterbrechnung einer gegebenenfalls vorhandenen Gasballastzufuhr ausgerüstet ist.
dadurch gekennzeichnet,
daß sie mit einer bei Stillstand automatischen eintretenden Unterbrechnung einer gegebenenfalls vorhandenen Gasballastzufuhr ausgerüstet ist.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3922417 | 1989-07-07 | ||
| DE19893922417 DE3922417A1 (de) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | Vakuumpumpe mit sicherung gegen belueftung des rezipienten bei stillstand |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| EP0406873A2 true EP0406873A2 (de) | 1991-01-09 |
| EP0406873A3 EP0406873A3 (en) | 1991-11-27 |
Family
ID=6384524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| EP19900112881 Withdrawn EP0406873A3 (en) | 1989-07-07 | 1990-07-05 | Vacuum pump with security against aeration of recipient at stoppage |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0406873A3 (de) |
| DE (1) | DE3922417A1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997004236A1 (de) * | 1995-07-19 | 1997-02-06 | Leybold Vakuum Gmbh | Ölgedichtete drehschiebervakuumpumpe mit einer ölversorgung |
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| DE19526321A1 (de) * | 1995-07-19 | 1997-01-23 | Leybold Ag | Ölgedichtete Drehschiebervakuumpumpe mit Ölpumpe |
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1989
- 1989-07-07 DE DE19893922417 patent/DE3922417A1/de active Granted
-
1990
- 1990-07-05 EP EP19900112881 patent/EP0406873A3/de not_active Withdrawn
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3922417A1 (de) | 1991-01-17 |
| EP0406873A3 (en) | 1991-11-27 |
| DE3922417C2 (de) | 1991-08-29 |
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