EP0828080A2 - Gasreibungspumpe - Google Patents

Gasreibungspumpe Download PDF

Info

Publication number
EP0828080A2
EP0828080A2 EP97111700A EP97111700A EP0828080A2 EP 0828080 A2 EP0828080 A2 EP 0828080A2 EP 97111700 A EP97111700 A EP 97111700A EP 97111700 A EP97111700 A EP 97111700A EP 0828080 A2 EP0828080 A2 EP 0828080A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
gas
cylindrical
pump
cylindrical components
component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP97111700A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0828080A3 (de
Inventor
Armin Conrad
Heinrich Lotz
Carsten Dr. Reese
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum GmbH filed Critical Pfeiffer Vacuum GmbH
Publication of EP0828080A2 publication Critical patent/EP0828080A2/de
Publication of EP0828080A3 publication Critical patent/EP0828080A3/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044—Holweck-type pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps

Definitions

  • the invention relates to a gas friction pump according to the preamble of the first Claim.
  • Gas friction pumps of various types are used to convey gases known. Their mode of operation is based on the transmission of impulses from moving Walls on the gas particles. In this way a gas flow is made into the desired one Direction generated.
  • Gas friction pumps operating in a pressure range work in which the free path length of the gas molecules is large compared to geometric dimensions of the pump, i.e. in the molecular flow area, are called molecular pumps.
  • the first gas friction pump of this type was presented by Gaede [1].
  • a Technical modification of the Gaedeschen pump while maintaining the basic principle is a development of Siegbahn [2].
  • Siegbahn is a moving wall rotating disc used.
  • the gas friction pumps of the Gaede, Siegbahn and Holweck type are for the area of application in the pressure area adjoining the top is well suited. she can be used separately in this printing area as well as in Series connected with a turbomolecular pump. This last combination of Turbomolecular pump and friction pump is an elegant way the working range of a turbomolecular pump after higher discharge pressures to move there.
  • Gas friction pumps according to Gaede and Siegbahn show their construction no possibility of being redesigned for a higher pumping speed, without questioning their basic function. Besides, they are specific disadvantages, for example the fact that the friction pump after Siegbahn the gas is pumped against the centrifugal force which reduce their effectiveness in practical use.
  • the object of the invention is a gas friction pump for the molecular flow area to imagine which compared to the conventional constructions has a significantly higher pumping speed and its working range is molecular Flow area does not leave.
  • the geometric dimensions of the pump should be be comparable to conventional constructions and in combination can be operated with a turbomolecular pump.
  • Claims 2 to 10 represent further design options of the Invention.
  • the invention enables the parallel arrangement of the conveying spaces the same space requirement the pumping speed compared to conventional constructions to multiply, the working area being the molecular flow area does not leave. This is important to the characteristic pump switches such as. maintain a high pressure ratio.
  • Special structures in the Input area of the pump, as represented in claims 3 to 6 lead to a high conductance in this area and contribute to the fact that the Gas flow as freely as possible from the suction opening into the coaxial delivery rooms can reach.
  • the shape of the stator components can be designed according to claim 7 be that it has a minimal footprint and rational manufacturing methods allowed.
  • the advantages of the gas friction pump according to the invention become particularly clear, when combined with a turbomolecular pump.
  • the parallel Arrangement of the funding rooms and the design of the entrance area such a high pumping speed is available that it is possible that the the gas emitted to the turbomolecular pump on its fore-vacuum side in full Scope can be taken over without losses and up to molecular flow can be further promoted and compressed to the gas outlet. It will possible to work the turbomolecular pump by up to two orders of magnitude expand towards higher pressures.
  • the work area can be expanded further by one or more additional gas friction pumps take place, which are on the fore-vacuum side of the connected arrangement according to the invention and operated with this in series will.
  • the gas friction pump is in a housing 1 with a suction opening 2 and gas outlet opening 3 shown.
  • the shaft 4 With the shaft 4, they are coaxial with each other arranged cylindrical components 5 connected via a component 10.
  • the wave 4, the component 10 and the cylindrical components 5 form the rotor unit. drive and storage of this rotor unit are not shown here, since they are known per se Constructions can be derived and for the basic idea of the invention have no meaning.
  • the stator element consists of several cylindrical components 6 arranged coaxially to each other, each of which surrounded cylindrical components 5 of the rotor element.
  • the components 6 of the Stator element are provided with spiral conveyor channels 7, which through Web 8 are separated from each other.
  • These delivery channels are the outer ones or inner smooth surfaces of the cylindrical components 5 arranged opposite and designed in such a way that the resulting coaxial conveying spaces 9 form parallel pumping spaces which draw the gas from the intake opening 2 pump to gas outlet 3.
  • the parallel gas flows will end the funding areas e.g. through suitable openings 12 in the stator parts again merged and fed to the gas outlet opening 3.
  • Fig. 2 shows another embodiment.
  • the cylindrical components 5 the rotor element with conveyor channels 7, and the cylindrical components 6 of the stator element have a smooth surface.
  • the component 10, which connects the cylindrical components 5 to each other, is with Opening 11 provided which the connection between the suction opening 2 and produce the delivery rooms 9.
  • the supporting parts 13 of this component can be designed so that they form a gas-promoting structure with the openings 11.
  • Fig. 3 shows, for example, that the gas-producing structure is at an angle to the intake opening 2 standing blades 14 can exist and
  • Fig. 4 shows the gas-producing Structure consisting of oblique holes 15.
  • Fig. 5 shows an embodiment of the cylindrical components, which with delivery channels are provided. These are shaped so that they are meandering Have structure. There are one component on the inside and one on the outside Delivery channels 7 and webs 8 arranged against each other. This leads to an optimal one Space utilization and enables a more compact with the same pumping speed Construction.
  • Fig. 6 shows an example of how the gas friction pump according to the invention with a door bomolecular pump 20 can be combined.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

Die Erfindung beschreibt eine Gasreibungspumpe nach der Bauart von Holweck. Mehrere zylindrische Bauteile (5) sind koaxial zueinander angeordnet und bilden das Rotorelement. Das Statorelement besteht entsprechend aus mehreren koaxial zueinander angeordneten zylindrischen Bauteilen (6). Diese umgeben die zylindrischen Bauteile des Rotorelementes. Parallele Förderkanäle (7) des Statorelementes sind jeweils den äußeren bzw. inneren glatten Oberflächen der zylindrischen Bauteile des Rotorelementes gegenüber angeordnet, so daß parallele Förderräume (9) entstehen. Durch die erfindungsgemäße Anordnung wird das Saugvermögen einer Holweck-Pumpe beträchtlich erhöht, wobei der Arbeitsbereich innerhalb des molekularen Strömungsgebietes bleibt. Die Vorteile werden besonders offensichtlich im Zusammenwirken mit einer Turbomolekularpumpe. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Gasreibungspumpe nach dem Oberbegriff des ersten Patentanspruches.
Zur Förderung von Gasen sind Gasreibungspumpen der verschiedensten Bauart bekannt. Ihre Arbeitsweise beruht auf der Übertragung von Impulsen von bewegten Wänden auf die Gasteilchen. Auf diese Art wird eine Gasströmung in die gewünschte Richtung erzeugt. Gasreibungspumpen, welche in einem Druckbereich arbeiten, in dem die freie Weglänge der Gasmoleküle groß ist gegenüber den geometrischen Abmessungen der Pumpe, also im molekularen Strömungsgebiet, werden Molekularpumpen genannt.
Die erste Gasreibungspumpe dieser Art wurde von Gaede [1] vorgestellt. Eine technische Abwandlung der Gaedeschen Pumpe unter Beibehaltung des Grundprinzips ist eine Entwicklung von Siegbahn [2]. Hier wird als bewegte Wand eine drehende Scheibe benutzt.
Eine weitere Variante einer Gasreibungspumpe wurde von Holweck [3] vorgestellt. Bei dieser dient eine Zylinderoberfläche als bewegte Wand.
Einen großen Fortschritt in der Weiterentwicklung von Gasreibungspumpen stellte die Konstruktion von Becker [4] dar. Hier sind bewegte und stehende Wände abwechselnd hintereinander angeordnet, wobei beide aus mit Schaufeln versehenen turbinenförmigen Scheiben bestehen. Daher wurde für sie auch der Name Turbomolekularpumpe eingeführt.
Diese Weiterentwicklungen der zuerst von Gaede vorgestellten Gasreibungspumpe spielen in der Vakuumtechnik insbesondere in der Hoch- und Ultrahochvakuumtechnik eine immer bedeutendere Rolle. Dabei sind die Einsatzbereiche der Turbomolekularpumpe nach Becker auf der einen Seite und der Gasreibungspumpen nach Gaede, Siegbahn oder Holweck auf der anderen Seite unterschiedlich. Die Turbomolekularpumpe ist durch ihren Aufbau aus vielen in Reihe geschalteten Stufen in der Lage, ein hohes Druckverhältnis zu liefern und so für den Einsatz im Hoch- und Ultrahochvakuumgebiet besonders geeignet. Ihr Einsatzgebiet ist jedoch nach höheren Drücken hin begrenzt, da sie aufgrund der großen Abstände der Pumpenteile nur bei niedrigen Drücken, etwa 10-3 mbar, voll wirksam ist.
Die Gasreibungspumpen nach der Art von Gaede, Siegbahn und Holweck sind für den Einsatzbereich im nach oben anschließenden Druckbereich gut geeignet. Sie können sowohl separat in diesem Druckbereich verwendet werden als auch in Reihe geschaltet mit einer Turbomolekularpumpe. Diese letzte Kombination von Turbomolekularpumpe und Reibungspumpe stellt eine elegante Möglichkeit dar, den Arbeitsbereich einer Turbomolekularpumpe nach höheren Ausstoßdrücken hin zu verschieben.
Dennoch weisen diese Pumpen eine Reihe von Nachteilen auf, welche im praktischen Betrieb zu unbefriedigenden Lösungen führen. Wesentlich für deren Funktion ist, daß der Abstand zwischen rotierenden und stehenden Bauteilen sehr gering ist, um Rückströmungs- und Rückförderverluste kleinzuhalten. Dies gilt insbesondere für die Gasreibungspumpen nach Gaede, Siegbahn und Holweck. Dazu kommt, daß diese (wie auch die Turbomolekularpumpe) nur dann im höheren Druckbereich noch im molekularen Strömungsgebiet arbeiten, wenn die Abstände zwischen rotierenden und stehenden Bauteilen die Bedingung erfüllen, daß sie klein gegenüber der mittleren freien Weglänge der Moleküle des zu pumpenden Gases sind. Denn nur im molekularen Strömungsbereich entwickeln die hier beschriebenen Pumpen ihr volles Druckverhältnis.
Enge Spalte als Voraussetzung für die Funktionsfähigkeit der Pumpen bedeuten aber gleichzeitig, einen kleinen Schöpfraum und somit ein begrenztes Saugvermögen. Somit kann das von der Turbomolekularpumpe komprimierte Gas auch nur bis zu einer bestimmten Menge weiter befördert werden, so daß deren Saugvermögen nach höheren Drücken hin begrenzt ist. Um den Arbeitsbereich von Turbomolekularpumpen nach höheren Drücken hin weiter auszudehnen, wäre eine Gasreibungspumpe mit höherem Saugvermögen von Nutzen, deren geometrische Dimensionen aber gleichzeitig so bemessen sind, daß sie im molekularen Strömungsgebiet arbeitet.
Gasreibungspumpen nach Gaede und Siegbahn weisen von ihrer Bauweise her keine Möglichkeit auf, für ein höheres Saugvermögen umkonstruiert zu werden, ohne ihre grundsätzliche Funktion in Frage zu stellen. Außerdem sind ihnen spezifische Nachteile zu eigen, zum Beispiel die Tatsache, daß bei der Reibungspumpe nach Siegbahn das Gas entgegen der Fliehkraft gepumpt wird, welche ihre Wirksamkeit im praktischen Einsatz mindern.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Gasreibungspumpe für das molekulare Strömungsgebiet vorzustellen, welche gegenüber den herkömmlichen Konstruktionen ein deutlich höheres Saugvermögen aufweist und deren Arbeitsbereich das molekulare Strömungsgebiet nicht verläßt. Die Pumpe soll in ihren geometrischen Abmessungen mit herkömmlichen Konstruktionen vergleichbar sein und in Kombination mit einer Turbomolekularpumpe betrieben werden können.
Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des 1. Patentanspruches gelöst. Die Ansprüche 2 bis 10 stellen weitere Ausgestaltungsmöglichkeiten der Erfindung dar.
Die Erfindung ermöglicht es, durch die parallele Anordnung der Förderräume bei gleichem Raumbedarf das Saugvermögen gegenüber herkömmlichen Konstruktionen zu vervielfachen, wobei der Arbeitsbereich das molekulare Strömungsgebiet nicht verläßt. Dies ist wichtig, um die charakteristischen Pumpeigenschalten wie z.B. ein hohes Druckverhältnis aufrechtzuerhalten. Besondere Strukturen im Eingangsbereich der Pumpe, wie sie in den Ansprüchen 3 bis 6 dargestellt sind, führen zu einem hohen Leitwert in diesem Bereich und tragen dazu bei, daß der Gasstrom möglichst ungehindert von der Ansaugöffnung in die koaxialen Förderräume gelangen kann. Die Form der Statorbauteile kann nach Anspruch 7 so gestaltet werden, daß sie einen minimalen Raumbedarf aufweist und rationelle Herstellungsmethoden erlaubt.
Die durch verschiedene Umfangsgeschwindigkeiten der inneren und äußeren zylindrischen Bauteile bedingten Unterschiede im Druckverhältnis können dadurch aufgehoben werden, daß die axiale Ausdehnung der Rotor- und Statorbauteile gemäß Anspruch 6 von innen nach außen hin abnimmt. Dies kann auch geschehen, indem man die Spalte zwischen Rotor- und Statorscheiben von außen nach innen verkleinert und/oder die Tiefe der Förderkanäle von außen nach innen reduziert.
Besonders deutlich werden die Vorteile der erfindungsgemäßen Gasreibungspumpe, wenn sie mit einer Turbomolekularpumpe kombiniert wird. Die paralelle Anordnung der Förderräume und die Gestaltung des Eingangsbereiches stellen ein so hohes Saugvermögen zur Verfügung, welches es ermöglicht, daß das von der Turbomolekularpumpe aufderen Vorvakuumseite abgegebene Gas im vollen Umfang ohne Verluste übernommen werden kann und als Molekularströmung bis zum Gasaustritt weiter gefördert und verdichtet werden kann. Dadurch wird es möglich, den Arbeitsbereich Turbomolekularpumpe um bis zu zwei Größenordnungen nach höheren Drücken hin auszudehnen.
Eine weitere Ausdehnung des Arbeitsbereiches kann durch eine oder mehrere zusätzliche Gasreibungspumpen erfolgen, welche auf der Vorvakuumseite der erfindungsgemäßen Anordnung angeschlossen und mit dieser in Serie betrieben werden.
Die Erfindung wird an Hand der Abb. 1 bis 6 näher erläutert.
Abb. 1
zeigt die erfindungsgemäße Anordnung im Schnitt.
Abb. 2
zeigt eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anordnung im Schnitt.
Abb. 3
zeigt eine Ausführungsform des Bauteils, welches die zylindrischen Bauteile des Rotors miteinander verbindet.
Abb. 4
zeigt eine weitere Ausführungsform des Bauteils, welches die zylindrischen Bauteile des Rotors miteinander verbindet.
Abb. 5
zeigt eine Ausführungsform der Förderkanäle.
Abb. 6
zeigt die erfindungsgemäße Anordnung in Kombination mit einer Turbomolekularpumpe.
In Abb. 1 ist die Gasreibungspumpe in einem Gehäuse 1 mit Ansaugöffnung 2 und Gasaustrittsöffnung 3 gezeigt. Mit der Welle 4 sind die koaxial zueinander angeordneten zylindrischen Bauteile 5 über ein Bauteil 10 verbunden. Die Welle 4, das Bauteil 10 und die zylindrischen Bauteile 5 bilden die Rotoreinheit. Antrieb und Lagerung dieser Rotoreinheit sind hier nicht gezeigt, da sie aus an sich bekannten Konstruktionen herleitbar sind und für die grundsätzliche Idee der Erfindung keine Bedeutung aufweisen. Das Statorelement besteht aus mehreren koaxial zueinander angeordneten zylindrischen Bauteilen 6, welche jeweils die zylindrischen Bauteile 5 des Rotorelementes umgeben. Die Bauteile 6 des Statorelementes sind mit spiralförmigen Förderkanälen 7 versehen, welche durch Stege 8 voneinander getrennt sind. Diese Förderkanäle sindjeweils den äußeren bzw. inneren glatten Oberflächen der zylindrischen Bauteile 5 gegenüber angeordnet und so gestaltet, daß die dadurch entstehenden koaxial Förderräume 9 parallel arbeitende Pumpräume bilden, welche das Gas von der Ansaugöffnung 2 zur Gasaustrittsöffnung 3 pumpen. Die parallelen Gasströme werden am Ende der Förderräume z.B. durch geeignete Öffnungen 12 in den Statorteilen wieder zusammengeführt und der Gasaustrittsöffnung 3 zugeleitet.
Abb. 2 zeigt eine weitere Ausführungsform. Hier sind die zylindrischen Bauteile 5 des Rotorelementes mit Förderkanälen 7 versehen, und die zylindrischen Bauteile 6 des Statorelementes weisen eine glatte Oberfläche auf.
Das Bauteil 10, welches die zylindrischen Bauteile 5 miteinander verbindet, ist mit Öffnung 11 versehen, welche die Verbindung zwischen der Ansaugöffnung 2 und den Förderräumen 9 herstellen. Die tragenden Teile 13 dieses Bauteils können so gestaltet sein, daß sie mit den Öffnungen 11 eine gasfördernde Struktur bilden. Abb. 3 zeigt beispielsweise, daß die gasfördernde Struktur aus schräg zur Ansaugöffnung 2 stehenden Schaufeln 14 bestehen kann und Abb. 4 zeigt die gasfördernde Struktur bestehend aus schrägen Bohrungen 15.
Abb. 5 zeigt eine Ausführungsform der zylindrischen Bauteile, welche mit Förderkanälen versehen sind. Diese sind hier so geformt, daß sie eine mäanderförmige Struktur aufweisen. Dabei sind auf der Innen- und Außenseite je eines Bauteiles Förderkanäle 7 und Stege 8 gegeneinander angeordnet. Dies führt zu einer optimalen Raumausnutzung und ermöglicht bei gleichem Saugvermögen eine kompaktere Bauweise.
Abb. 6 zeigt an einem Beispiel, wie die erfindungsgemäße Gasreibungspumpe mit einer Tur-bomolekularpumpe 20 kombiniert werden kann.
Literatur
  • [1] W. Gaede, Ann. Phys. 41 (1913) 337 ff.
  • [2] M. Siegbahn, Arch. Math. Astr. Fys. 30 B (1943)
  • [3] F. Holweck, Comptes rendus Acad. Sience 177 (1923) 43 ff.
  • [4] W. Becker, Vackuum Technik 9/10 (1966)

    • Claims (10)

    1. Gasreibungspumpe nach der Bauart von Holweck, deren pumpaktiven Elemente aus einem zylindrischen Bauteil mit glatter Oberfläche als Rotorelement und einem koaxial das zylindrische Bauteil umgebenden zweiten zylindrischen Bauteil als Statorelement, versehen mit untereinander parallelen Förderkanälen, die aus spiralförmigen Nuten mit trennenden Stegen dazwischen gebildet werden, bestehen, so daß zwischen dem Rotorelement und dem Statorelement ein Förderraum entsteht, in welchem Gas von einer Ansaugöffnung zu einer Gasaustrittsöffnung gepumpt wird, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere zylindrische Bauteile (5), koaxial zueinander angeordnet, das Rotorelement bilden und das Statorelement entsprechend aus mehreren koaxial zueinander angeordneten zylindrischen Bauteilen (6) besteht, welchejeweils die zylindrischen Bauteile (5) des Rotorelementes umgeben, wobei die parallelen Förderkanäle (7) jeweils den äußeren bzw. inneren glatten Oberflächen der zylindrischen Bauteile des Rotorelementes gegenüber angeordnet sind und die Förderkanäle (7) so gestaltet sind, daß die so entstandenen koaxialen Förderräume (9) parallel arbeitende Pumpelemente bilden, welche das Gas von der Ansaugöffnung (2) zur Austrittsöffnung (3) pumpen.
    2. Gasreibungspumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Statorelement aus zylindrischen Bauteilen mit glatter Oberfläche und das Rotorelement aus zylindrischen Bauteilen, welche mit Förderkanälen versehen sind, besteht.
    3. Gasreibungspumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zylindrischen Bauteile (5) des Rotorelementes durch ein Bauteil (10) auf der Seite der Ansaugöffnung (2) miteinander verbunden sind, wobei dieses Bauteil Öffnungen (11) aufweist, welche die Ansaugöffnung (2) mit den koaxialen Förderräumen (9) verbindet.
    4. Gasreibungspumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das die zylindrischen Bauteile (5) verbindende Bauteil (10) so gestaltet ist, daß die tragenden Teile (13) mit den Öffnungen (11) eine gasfördernde Struktur bilden.
    5. Gasreibungspumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das die zylindrischen Bauteile (5) verbindende Bauteil (10) so gestaltet ist, daß die tragenden Teile (13) aus schräg zur Ebene zur Ansaugöffnung (2) stehenden Schaufeln (14) gebildet werden, welche den Gasstrom von der Ansaugöffnung (2) in die koaxialen Förderräume (9) lenkt.
    6. Gasreibungspumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das die zylindrischen Bauteile (5) verbindende Bauteil (10) mit schrägen Bohrungen (15) versehen ist, deren Anordnung so ist, daß der Gasstrom von der Ansaugöffnung in die koaxialen Förderräume gelenkt wird.
    7. Gasreibungspumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zylindrischen Bauteile, welche mit Förderkanälen versehen sind, so geformt sind, daß sie einen mäanderförmigen Querschnitt aufweisen, bei dem auf der Innen- und auf der Außenseite je eines Bauteils Förderkanäle (7) und Stege (8) gegeneinander angeordnet sind.
    8. Gasreibungspumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die koaxial zueinander angeordneten zylindrischen Bauteile (5) des Rotorelementes sowie die koaxial zueinander angeordneten Bauteile (6) des Statorelementes unterschiedliche axiale Längen aufweisen, derart, daß die axiale Ausdehnung der durch diese gebildeten Pumpelemente von innen nach außen hin abnimmt.
    9. Gasreibungspumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie so mit einer Turbomolekularpumpe (20) kombiniert ist, daß die Rotorelemente der beiden auf einer Welle montiert sind, und die Gasreibungspumpe sich auf der Vorvakuumseite der Turbomolekularpumpe befindet.
    10. Gasreibungspumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie auf der Vorvakuumseite mit mindestens einer weiteren Gasreibungspumpe verbunden ist.
    EP97111700A 1996-08-10 1997-07-10 Gasreibungspumpe Withdrawn EP0828080A3 (de)

    Applications Claiming Priority (2)

    Application Number Priority Date Filing Date Title
    DE19632375A DE19632375A1 (de) 1996-08-10 1996-08-10 Gasreibungspumpe
    DE19632375 1996-08-10

    Publications (2)

    Publication Number Publication Date
    EP0828080A2 true EP0828080A2 (de) 1998-03-11
    EP0828080A3 EP0828080A3 (de) 1998-10-14

    Family

    ID=7802360

    Family Applications (1)

    Application Number Title Priority Date Filing Date
    EP97111700A Withdrawn EP0828080A3 (de) 1996-08-10 1997-07-10 Gasreibungspumpe

    Country Status (4)

    Country Link
    US (1) US5893702A (de)
    EP (1) EP0828080A3 (de)
    JP (1) JP3971821B2 (de)
    DE (1) DE19632375A1 (de)

    Families Citing this family (43)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    GB9810872D0 (en) * 1998-05-20 1998-07-22 Boc Group Plc Improved vacuum pump
    DE19846188A1 (de) * 1998-10-07 2000-04-13 Leybold Vakuum Gmbh Reibungsvakuumpumpe mit Stator und Rotor
    DE19930952A1 (de) * 1999-07-05 2001-01-11 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
    US6508631B1 (en) * 1999-11-18 2003-01-21 Mks Instruments, Inc. Radial flow turbomolecular vacuum pump
    GB9927493D0 (en) * 1999-11-19 2000-01-19 Boc Group Plc Improved vacuum pumps
    DE10114585A1 (de) * 2001-03-24 2002-09-26 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
    DE10149366A1 (de) 2001-10-06 2003-04-17 Leybold Vakuum Gmbh Axial fördernde Reibungsvakuumpumpe
    JP3961273B2 (ja) * 2001-12-04 2007-08-22 Ｂｏｃエドワーズ株式会社 真空ポンプ
    GB0229355D0 (en) * 2002-12-17 2003-01-22 Boc Group Plc Vacuum pumping arrangement
    FR2854933B1 (fr) * 2003-05-13 2005-08-05 Cit Alcatel Pompe moleculaire, turbomoleculaire ou hybride a vanne integree
    ITTO20030420A1 (it) * 2003-06-05 2004-12-06 Varian Spa Metodo per la realizzazione di statori per pompe da vuot0 e statori cosi' ottenuti
    GB0424199D0 (en) * 2004-11-01 2004-12-01 Boc Group Plc Vacuum pump
    GB0614928D0 (en) * 2006-07-27 2006-09-06 Boc Group Plc Molecular Drag Pumping Mechanism
    JP4935509B2 (ja) * 2007-06-05 2012-05-23 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
    DE102007044945A1 (de) * 2007-09-20 2009-04-09 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
    DE102008063131A1 (de) 2008-12-24 2010-07-01 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
    US8152442B2 (en) * 2008-12-24 2012-04-10 Agilent Technologies, Inc. Centripetal pumping stage and vacuum pump incorporating such pumping stage
    GB2474507B (en) * 2009-10-19 2016-01-27 Edwards Ltd Vacuum pump
    JP5763660B2 (ja) * 2010-09-28 2015-08-12 エドワーズ株式会社 排気ポンプ
    DE202011002809U1 (de) 2011-02-17 2012-06-12 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Statorelement sowie Hochvakuumpumpe
    DE102011112691A1 (de) 2011-09-05 2013-03-07 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
    DE102011119506A1 (de) 2011-11-26 2013-05-29 Pfeiffer Vacuum Gmbh Schnell drehender Rotor für eine Vakuumpumpe
    GB2498816A (en) 2012-01-27 2013-07-31 Edwards Ltd Vacuum pump
    EP2620649B1 (de) 2012-01-27 2019-03-13 Edwards Limited Gastransfervakuumpumpe
    DE102012003680A1 (de) * 2012-02-23 2013-08-29 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
    US10487422B2 (en) 2012-05-31 2019-11-26 Aladdin Manufacturing Corporation Methods for manufacturing bulked continuous filament from colored recycled pet
    US10532495B2 (en) 2012-05-31 2020-01-14 Aladdin Manufacturing Corporation Methods for manufacturing bulked continuous filament from recycled PET
    US8597553B1 (en) 2012-05-31 2013-12-03 Mohawk Industries, Inc. Systems and methods for manufacturing bulked continuous filament
    US11045979B2 (en) 2012-05-31 2021-06-29 Aladdin Manufacturing Corporation Methods for manufacturing bulked continuous filament from recycled PET
    US10695953B2 (en) 2012-05-31 2020-06-30 Aladdin Manufacturing Corporation Methods for manufacturing bulked continuous carpet filament
    US9630353B2 (en) 2012-05-31 2017-04-25 Mohawk Industries, Inc. Method of manufacturing bulked continuous filament
    US10538016B2 (en) 2012-05-31 2020-01-21 Aladdin Manufacturing Corporation Methods for manufacturing bulked continuous carpet filament
    US9636860B2 (en) 2012-05-31 2017-05-02 Mohawk Industries, Inc. Method of manufacturing bulked continuous filament
    CN104541063B (zh) 2012-09-26 2018-08-31 埃地沃兹日本有限公司 转子及具备该转子的真空泵
    DE102012110691A1 (de) * 2012-11-08 2014-05-08 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vorrichtung zur kinetischen Energiespeicherung
    DE102013207269A1 (de) * 2013-04-22 2014-10-23 Pfeiffer Vacuum Gmbh Statorelement für eine Holweckpumpstufe, Vakuumpumpe mit einer Holweckpumpstufe und Verfahren zur Herstellung eines Statorelements für eine Holweckpumpstufe
    EP3205884B1 (de) * 2016-02-12 2020-11-11 Enrichment Technology Company Ltd. Zweigniederlassung Deutschland Selbstpumpendes vakuum-rotorsystem
    US10751915B2 (en) 2016-11-10 2020-08-25 Aladdin Manufacturing Corporation Polyethylene terephthalate coloring systems and methods
    EP4219114B1 (de) 2017-01-30 2024-10-30 Aladdin Manufacturing Corporation Systeme und verfahren zur herstellung von artikeln aus gefärbtem recyceltem pet
    EA201992067A1 (ru) 2017-03-03 2020-03-27 Аладдин Мэньюфэкчеринг Корпорейшн Экструдеры полимеров со сдвоенным вакуумным устройством и связанные с ними способы
    NZ762113A (en) 2017-09-15 2026-01-30 Aladdin Mfg Corp Polyethylene terephthalate coloring method and system for manufacturing a bulked continuous carpet filament
    US11242622B2 (en) 2018-07-20 2022-02-08 Aladdin Manufacturing Corporation Bulked continuous carpet filament manufacturing from polytrimethylene terephthalate
    EP3980587A1 (de) 2019-06-05 2022-04-13 Aladdin Manufacturing Corporation Verfahren zur herstellung von gebauschtem endlosteppichfaden

    Family Cites Families (14)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    US2730297A (en) * 1950-04-12 1956-01-10 Hartford Nat Bank & Trust Co High-vacuum molecular pump
    DE1010235B (de) * 1955-04-22 1957-06-13 Arthur Pfeiffer Fa Molekularpumpe
    DE2526164A1 (de) * 1975-06-12 1976-12-30 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Turbomolekularvakuumpumpe mit zumindest teilweise glockenfoermig ausgebildetem rotor
    JPS60139098U (ja) * 1984-02-24 1985-09-13 セイコ−精機株式会社 組合せ型軸流分子ポンプ
    JPS61145394A (ja) * 1984-12-18 1986-07-03 Tokuda Seisakusho Ltd 分子ポンプ
    JPH0765592B2 (ja) * 1986-02-22 1995-07-19 守彦 木俣 タ−ボ分子ポンプ
    JPS62261696A (ja) * 1986-05-08 1987-11-13 Mitsubishi Electric Corp タ−ボ分子ポンプ装置
    NL8602052A (nl) * 1986-08-12 1988-03-01 Ultra Centrifuge Nederland Nv Hoogvacuumpomp.
    JPH046593U (de) * 1990-04-25 1992-01-21
    DE69016198T2 (de) * 1990-07-06 1995-05-18 Cit Alcatel Zweite Stufe für mechanische Vakuumpumpeinheit und Lecküberwachungssystem zur Anwendung dieser Einheit.
    JPH05248386A (ja) * 1992-03-04 1993-09-24 Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk ねじ溝型真空ポンプ
    US5733104A (en) * 1992-12-24 1998-03-31 Balzers-Pfeiffer Gmbh Vacuum pump system
    GB9525337D0 (en) * 1995-12-12 1996-02-14 Boc Group Plc Improvements in vacuum pumps
    GB9609281D0 (en) * 1996-05-03 1996-07-10 Boc Group Plc Improved vacuum pumps

    Non-Patent Citations (1)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Title
    None

    Also Published As

    Publication number Publication date
    US5893702A (en) 1999-04-13
    JP3971821B2 (ja) 2007-09-05
    JPH1077990A (ja) 1998-03-24
    EP0828080A3 (de) 1998-10-14
    DE19632375A1 (de) 1998-02-19

    Similar Documents

    Publication Publication Date Title
    EP0828080A2 (de) Gasreibungspumpe
    DE3728154C2 (de) Mehrstufige Molekularpumpe
    DE3919529C2 (de) Vakuumpumpe
    EP2295812B1 (de) Vakuumpumpe
    EP1252445B1 (de) Turbomolekularpumpe
    DE4314418A1 (de) Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten
    DE4216237A1 (de) Gasreibungsvakuumpumpe
    EP0408792B1 (de) Gasreibungspumpe mit mindestens einer auslassseitigen Gewindestufe
    DE3932228A1 (de) Turbovakuumpumpe
    EP2933497A2 (de) Vakuumpumpe
    EP0675289B1 (de) Reibungspumpe
    EP1067290B1 (de) Vakuumpumpe
    EP2039941B1 (de) Vakuumpumpe
    EP0363503B1 (de) Pumpenstufe für eine Hochvakuumpumpe
    DE4327506C2 (de) Turbovakuumpumpe
    DE3722164A1 (de) Turbomolekularpumpe
    EP3112688B2 (de) Splitflow-vakuumpumpe sowie vakuum-system mit einer splitflow-vakuumpumpe
    DE102010051316A1 (de) Vakuumpumpe
    EP3845764A2 (de) Vakuumpumpe und vakuumpumpensystem
    EP1119709B1 (de) Reibungsvakuumpumpe mit stator und rotor
    DE10008691B4 (de) Gasreibungspumpe
    EP4194700B1 (de) Vakuumpumpe mit einer holweck-pumpstufe mit veränderlicher holweck-geometrie
    WO2003031823A1 (de) Axial fördernde reibungsvakuumpumpe
    EP3267040B1 (de) Turbomolekularpumpe
    DE19756837C2 (de) Molekular- und Viskositätspumpe

    Legal Events

    Date Code Title Description
    PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

    Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

    AK Designated contracting states

    Kind code of ref document: A2

    Designated state(s): AT CH DE FR GB IT LI NL

    AX Request for extension of the european patent

    Free format text: AL;LT;LV;RO;SI

    PUAL Search report despatched

    Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

    AK Designated contracting states

    Kind code of ref document: A3

    Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

    AX Request for extension of the european patent

    Free format text: AL;LT;LV;RO;SI

    17P Request for examination filed

    Effective date: 19981201

    AKX Designation fees paid

    Free format text: AT CH DE FR GB IT LI NL

    17Q First examination report despatched

    Effective date: 20020228

    STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

    Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

    18D Application deemed to be withdrawn

    Effective date: 20020711