EP0909834A2 - Folientransportvorrichtung - Google Patents

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Publication number
EP0909834A2
EP0909834A2 EP98116742A EP98116742A EP0909834A2 EP 0909834 A2 EP0909834 A2 EP 0909834A2 EP 98116742 A EP98116742 A EP 98116742A EP 98116742 A EP98116742 A EP 98116742A EP 0909834 A2 EP0909834 A2 EP 0909834A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
transport roller
film
transport
opening
transported
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP98116742A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0909834A3 (de
Inventor
Erwin Winter
Wolfgang Dr. Schwarz
Bernhard Schönherr
Karl-Heinrich Wenk
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold Systems GmbH
Original Assignee
Leybold Systems GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Systems GmbH filed Critical Leybold Systems GmbH
Publication of EP0909834A2 publication Critical patent/EP0909834A2/de
Publication of EP0909834A3 publication Critical patent/EP0909834A3/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/541—Heating or cooling of the substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H23/00—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs
    • B65H23/02—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs transversely

Definitions

  • the invention relates to a film transport device according to the preamble of the claim 1 and the use of the film transport device according to the invention according to claim 12.
  • Such film feeders are known Way also in so-called coil coating plants, such as B. described in EP 406 641 A1, used.
  • these coating systems e.g. B. for the production of ribbon capacitor films a thin metallic layer, e.g. B. aluminum, on the continuously via evaporator boats guided film sheet evaporated.
  • a thin metallic layer e.g. B. aluminum
  • the unwinding roll, the film feeders and the take-up roll during the coating process arranged within the coil coating system. The unwinding and winding roll will be only after the entire film web has been coated removed from the vacuum chamber or against new winding rolls exchanged.
  • the object of the present invention is a To design a device for transporting film webs that the supply and the further transport the film from a supply roll to one Processing station and further to a take-up roll is made possible in a simple manner, wherein the disadvantages of batch processing, in particular State of the art coating be avoided.
  • this object is achieved by that in a device for transporting foils, especially of film webs, a fixed, preferably a circular cross section having transport roller is provided, on the lateral surface of the film to be transported abuts and on this or a conveyor belt slides snugly with the feed direction the film web lying on the outer surface an angle with the axis of the transport roller forms ⁇ ⁇ 0 ° or ⁇ ⁇ 90 °.
  • the direction of advance of the film through the direction the axis of the transport roller.
  • the transport path of the film is proportional for the axial extension of the on the transport roller adjacent winding sections.
  • the film by means of transport elements, such as Bands, chains, straps or one already on Foil, helical over the outer surface to pull the transport roller.
  • transport elements such as Bands, chains, straps or one already on Foil
  • Conveyor belts are provided because of the coefficient of friction between the preferably also made of metallic Shell surface made of materials the transport roller and a metallic conveyor belt is low, which means only low tensile forces necessary for the axial feed of the conveyor belt are.
  • the materials Shell surface and the conveyor belt also others Suitable material combinations, which have a low Allow coefficients of friction.
  • the conveyor belt this is done from one end of the transport roller to their other end by means of appropriate Deflected elements and thus forms one closed ring.
  • the film lying on the conveyor belt is then held on this by static friction.
  • the effective length of the transport route is in essentially by the axial extent and the Number of wraps of the film around the transport roller selectable.
  • the free overall cross section between the sliding, on the Lateral surface adjacent film and the free To measure the diameter of the opening such that an annular gap seal between the opening cross-section and film web is formed.
  • This Annular gap seal is advantageous because of this the flow conductance through the free total cross section is reduced, which in particular Differences in pressure between the first and the second Half space can be maintained since a sufficient pressure equalization flow for this is prevented through the opening.
  • the film e.g. from an atmospheric pressure Outside in a coating chamber having negative pressure into a coil coating line and the coated film web from the coating chamber out into the outside space, e.g. for the purpose of Rewinding on a take-up reel in continuous operation to transport.
  • This is advantageous a continuous coating of long film webs possible, making their production inexpensive is.
  • Are particularly suitable for this e.g. B. made of plastic and / or paper Film webs as claimed in claim 10.
  • the opening form at least one groove over a Pumping channel through a pumping device, preferably by means of one or more vacuum pumps is evacuable.
  • the z. B. trained as an annular groove The groove then forms an intermediate pumping stage between the higher pressure range and the negative pressure range in the coating chamber which is the transition of gas particles from the outside into the coating chamber prevented.
  • Fig. 1a is one in an opening 12a Chamber wall 10 arranged transport roller 6 with wound film 4 shown.
  • the Transport roller 6 protrudes on both sides of the chamber wall 10a in the half space 41 or 42.
  • On the lateral surface 8 of the transport roller 6 is a film web 4 wound with several turns 14, 14 ', 14' '.
  • the feed direction V of the film web 4 forms the axis A of the transport roller 6 a feed angle ⁇ , where ⁇ ⁇ 0 ° and ⁇ ⁇ 90 °.
  • the feed angle ⁇ depending on the film web width a to be chosen so that the condition ⁇ ⁇ arctan (2 ⁇ r / a) is satisfied with 0 ° ⁇ ⁇ 90 °, the radius of the Transport roller is designated with r.
  • the partition walls 10a, 10b shown in Fig. 1b are part of the chamber wall of a coil coating system with an evaporator source 18 for vacuum vapor deposition of foil webs 4 with metallic layers or metal oxides and / or nitrites, not completely shown in Fig. 1b.
  • a film web 4 typically having a film thickness of 0.3 ⁇ m to 2 mm, it is transported from the outside space 41, which usually has atmospheric pressure, on the transport roller 6 through the opening 12a, 12b into the coating chamber 42 arranged in the strip coating system.
  • the coating chamber 42 typically has a pressure of 10 -4 mbar to 10 -2 mbar during the coating process.
  • annular gap 16a, 16b is formed such that the flow of atmospheric particles from the outer space 41 into the negative pressure area of the chamber 42 is prevented.
  • the length of the entire transport path L of the film web 4 is proportional to the number of turns 14, 14 ', 14' 'on the transport roller 6.
  • Film web 4 is either separated by two Transport rollers in a coating chamber transported in and out or through a only transport roller 6, as shown in Fig. 1b, into the coating chamber and at one Evaporator source 18 passed and then from the coating chamber 42 into the outer space 41 transported out and then usually up a take-up reel.
  • the transport direction T, T 'of the film web 4 is by reversing the belt tension or the conveyor belt movement reversible.
  • the transport roller 26 shown in Figure 2 is like the transport roller 6 in Figure 1a or 1b in the opening 32 of a partition 30 is arranged.
  • the Partition 30 does not separate interior 20 coating chamber shown by the Outside space 21.
  • FIG Film feed direction V ' guides the transport roller 26 the film web 24 from the atmospheric pressure Outside space 21 in the negative pressure Coating chamber 20.
  • an annular gap 36 is formed, the function a vacuum seal between the outside 21 and the interior 20 of the coating chamber.
  • Vacuum pump can be evacuated to negative pressure is.
  • the evacuable groove 38 forms an intermediate the outside space 21 and the inside 21 of the coating chamber arranged intermediate pump stage for Separation of the atmospheric area 21 from the vacuum area 20. Further evacuable intermediate pump stages can be provided in the area of the opening 32 become. The number of intermediate pump stages depending on the space between the 21st and the coating chamber 20 existing printing difference to choose such that a pressure increase in the coating chamber 20 during the Transport and coating the film web 24 is avoided.
  • the film transport device shown in Figure 2 22 with intermediate pump stage is also for The coated film web 24 is discharged the interior 20 of the coating system in a corresponding manner Application provided.

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Abstract

Bei einer Vorrichtung zum Beschichten von Folien in einer Vakuumkammer ist zum Transport der Folienbahn in die, durch die und aus der Vakuumkammer heraus mindestens eine Transportrolle (6) vorgesehen, auf welcher die transportierte Folienbahn (4) anliegend, parallel zur Rotationsachse der Transportrolle (4) weitertransportierbar ist. Die Vorschubrichtung (V) der auf der Transportrolle (6) schräg auflaufenden Folienbahn (4) bildet mit der Längsachse der Transportrolle (6) einen Winkel α ≠ 0° bzw. α ≠ 90°. Hierdurch wickelt die Folienbahn (4) auf der Mantelfläche (8) der Transportrolle (6) oder auf einem auf der Transportrolle (6) gleitenden Transportband spiralförmig auf und wird schräg zur ihrer Vorschubrichtung (V) entlang eines Transportweges über eine gewünschte Transportstrecke (L) gleitend transportiert. Die Transportrolle (4) ist in einer Durchgangsöffnung (12a,12b) der Vakuumkammer drehbar angeordnet, wodurch die Folienbahn (4) durch die Durchgangsöffnung (12a,12b) vom unter Atmosphärennormaldruck stehenden Auflenraum in den Unterdruck aufweisenden Beschichtungsraum transportierbar ist und kontinuierlich in die Vakuumkammer hinein- und herausgeführt wird, wobei der Kammerunterdruck konstant bleibt.

Description

Die Erfindung betrifft eine Folientransportvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 und die Verwendung der erfindungsgemäßen Folientransportvorrichtung gemäß Patentanspruch 12.
Vorrichtungen zum Transport von z.B. aus Papier oder Kunststoff bestehenden Folienbahnen über einzelne, z. B. hintereinander angeordnete rotierende Rollenwalzen sind bekannt. Derartige Folientransporteinrichtungen werden z. B. in Rotationsdruckanlagen eingesetzt und dienen der kontinuierlichen Zuführung der von Abwickelrollen abgewickelten Folienbahnen zu dem Druckwerk.
Derartige Folienzuführungen werden in bekannter Weise auch in sogenannten Bandbeschichtungsanlagen, wie z. B. in der EP 406 641 A1 beschrieben, eingesetzt. In diesen Beschichtungsanlagen wird z. B. zur Herstellung von Bandkondensatorfolien eine dünne metallische Schicht, z. B. Aluminium, auf die kontinuierlich über Verdampferschiffchen geführte Folienbahn aufgedampft. Da der Aufdampfprozeß unter Vakuumbedingungen durchgeführt wird, sind die Abwickelrolle, die Folienzuführungen und die Aufwickelrolle während des Beschichtungsprozesses innerhalb der Bandbeschichtungsanlage angeordnet. Die Abwickel- und Aufwickelrolle werden erst nach erfolgter Beschichtung der gesamten Folienbahn aus der Vakuumkammer entnommen bzw. gegen neue Wickelrollen ausgetauscht.
Diese Unterbrechung des Beschichtungsprozesses ist mit Nachteilen behaftet, da zur Entnahme der Wikkelrollen die gesamte Beschichtungsanlage zunächst auf Atmosphärendruck zu belüften ist, die Wickel-rollen auszutauschen sind und anschließend die Beschichtungsanlage wieder zu Evakuieren ist, was zeitaufwendig ist und derartige Beschichtungsverfahren verteuert.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum Transport von Folienbahnen so auszubilden, daß die Zuführung und der Weitertransport der Folie von einer Abwickelrolle zu einer Bearbeitungsstation und weiter zu einer Aufwickelrolle in einfacher Weise ermöglicht wird, wobei die Nachteile der chargenweisen Bearbeitung, insbesondere Beschichtung gemäß dem Stand der Technik vermieden werden.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß bei einer Vorrichtung zum Transport von Folien, insbesondere von Folienbahnen, eine feststehende, vorzugsweise einen kreisförmigen Querschnitt aufweisende Transportrolle vorgesehen ist, auf deren Mantelfläche die zu transportierende Folie anliegt und auf dieser oder einem Transport-band anliegend gleitet, wobei die Vorschubrichtung der auf der Mantelfläche anliegenden Folienbahn mit der Achse der Transportrolle einen Winkel α ≠ 0° oder α ≠ 90° bildet. Hierdurch gleitet die Folie auf der Mantelfläche direkt oder auf dem Transportband schraubenförmig und wird auf der Mantelfläche der nicht rotierenden Transportrolle entlang deren Axialrichtung transportiert. Hierbei ist die Vorschubrichtung der Folie durch die Richtung der Achse der Transportrolle festgelegt.
Der Transportweg der Folie ist dabei proportional zur axialen Erstreckung der auf der Transportrolle anliegenden Wicklungsabschnitte. Durch Umkehrung des Bandzuges bzw. des Transportbandzuges ist die Transportrichtung der Folienbahn in einfacher Weise umkehrbar, wie in Patentanspruch 8 angegeben.
Zum Aufbringen der Folienbahn auf ein auf der Transportrolle anliegendes Transportband ist vorgesehen, die Folie mittels Transportelementen, wie Bändern, Ketten, Riemen oder einer bereits aufliegenden Folie, schraubenförmig über die Mantelfläche der Transportrolle zu ziehen. Vorteilhaft sind hierfür aus metallischen Werkstoffen bestehende Transportbänder vorgesehen, da der Reibungskoeffizient zwischen der vorzugsweise ebenfalls aus metallischen Werkstoffen gefertigten Mantelfläche der Transportrolle und einem metallischen Transportband gering ist, wodurch nur geringe Zugkräfte zum axiale Vorschub des Transportbandes erforderlich sind. Prinzipiell sind für die Werkstoffe der Mantelfläche und des Transportbandes auch andere Werkstoffpaarungen geeignet, welche einen niedrigen Reibungskoeffizienten ermöglichen. Das Transportband wird hierzu von einem Ende der Transportwalze zu deren anderem Ende mittels entsprechender Umlenkelemente zurückgeführt und bildet damit einen geschlossenen Ring.
Die auf dem Transportband anliegende Folie wird auf dieser dann durch Haftreibung gehalten.
Zum Aufbringen der Folienbahn auf die Transportrolle direkt wird diese endseitig an der Transportbahn oder den Transportelementen befestigt und über die Transportrolle direkt gezogen, wodurch die Folie spiralförmig auf die Mantelfläche aufgewickelt wird.
Die effektive Länge der Transportstrecke ist im wesentlichen durch die axiale Ausdehnung und die Anzahl der Wicklungen der Folie um die Transportrolle wählbar.
Zum Transport einer Folienbahn von einem Halbraum in den durch eine Wand getrennten anderen Halbraum hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, die Transportrolle in einer Öffnung dieser Wand anzuordnen, wie in Anspruch 4 angegeben. Hierbei ragt die Transportrolle mit der auf dieser aufgewickelten, anliegenden Folienbahn beidseitig durch die Öffnung. Von Vorteil ist, daß hierbei eine Öffnung, vorzugsweise eine kreisförmige Öffnung mit nur geringem Öffnungsquerschnitt und Ausdehnung erforderlich ist. Im Vergleich zu anderen, insbesondere rechteckigen Spaltöffnungen sind derartige Öffnungsquerschnitte formstabil.
Gemäß Anspruch 5 ist vorgesehen, den freien Gesamtquerschnitt zwischen der gleitenden, auf der Mantelfläche anliegenden Folie und dem freien Durchmesser der Öffnung derartig zu bemessen, daß eine Ringspaltdichtung zwischen Öffnungsguerschnitt und Folienbahn ausgebildet wird. Diese Ringspaltdichtung ist vorteilhaft, da hierdurch der Strömungsleitwert durch den freien Gesamtquerschnitt verringert ist, wodurch insbesondere Druckdifferenzen zwischen dem ersten und dem zweiten Halbraum aufrechterhalten werden können, da eine ausreichende Druckausgleichsströmung hierfür durch die Öffnung hindurch verhindert wird. Hierdurch ist es auch erfindungsgemäß möglich, die Folie z.B. von einem Atmosphärendruck aufweisenden Außenraum in eine Unterdruck aufweisende Beschichtungskammer einer Bandbeschichtungsanlage hinein und die beschichtete Folienbahn aus der Beschichtungskammer heraus in den Außenraum, z.B. zwecks Aufwicklung auf eine Aufwickelrolle im Durchlaufbetrieb zu transportieren. Hierdurch ist vorteilhaft eine kontinuierliche Beschichtung langer Folienbahnen möglich, wodurch deren Herstellung kostengünstig ist. Hierzu eignen sich insbesondere z. B. aus Kunststoff und/oder aus Papier hergestellte Folienbahnen, wie in Anspruch 10 beansprucht.
Gemäß Anspruch 7 ist vorgesehen, in der Öffnung mindestens eine Nut auszubilden, die über einen Abpumpkanal durch eine Abpumpeinrichtung, vorzugsweise mittels einer oder mehrerer Vakuumpumpen evakuierbar ist. Die z. B. als Ringnut ausgebildete Nut bildet dann eine Zwischenpumpstufe zwischen dem höheren Druckbereich und dem Unterdruckbereich in der Beschichtungskammer, welche den Übergang von Gasteilchen vom Außenraum in die Beschichtungskammer verhindert. Weitere vorteilhafte und die Erfindung weiterbildende Merkmale sind in den weiteren Unteransprüchen angegeben.
Im folgen werden zwei bevorzugte und in den Zeichnungen dargestellte Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1a
eine Querschnittsansicht einer Transportrolle mit aufgewickelter Folienbahn nach einem ersten Ausführungsbeispiel,
Figur 1b
eine Querschnittsansicht einer Transportrolle mit aufgewickelter Folienbahn in einer Vakuumbeschichtungsanlage nach einem zweiten Ausführungsbeispiel und
Figur 2
eine Transportrolle für eine Bandbeschichtungsanlage nach einem zweiten Ausführungsbeispiel
In Fig. 1a ist eine in einer Öffnung 12a einer Kammerwand 10 angeordnete Transportrolle 6 mit aufgewickelter Folienbahn 4 dargestellt. Die Transportrolle 6 ragt beiderseits der Kammerwand 10a in den Halbraum 41 bzw. 42. Auf der Mantelfläche 8 der Transportrolle 6 ist eine Folienbahn 4 mit mehreren Windungen 14,14',14'' aufgewickelt. Die Vorschubrichtung V der Folienbahn 4 bildet mit der Achse A der Transportrolle 6 einen Vorschubwinkel α, wobei gilt α ≠ 0° und α ≠ 90°. Um ein Überlappen der einzelnen Windungen 14,14',14'' auf der Mantelfläche 8 zu verhindern, ist der Vorschubwinkel α in Abhängigkeit der Folienbahnbreite a so zu wählen, daß die Bedingung α ≤ arctan(2πr/a) mit 0° < α < 90° erfüllt ist, wobei der Radius der Transportrolle mit r bezeichnet ist.
Die in Fig. 1b dargestellten Trennwände 10a,10b sind Teil der Kammerwandung einer in Figur 1b nicht vollständig dargestellten Bandbeschichtungsanlage mit einer Verdampferquelle 18 zum Vakuumbedampfen von Folienbahnen 4 mit metallischen Schichten oder Metalloxyden und/oder -nitriten. Zum Beschichten derartiger, eine Foliendicke von typischerweise 0,3 µm bis 2 mm aufweisende Folienbahn 4 wird diese von dem üblicherweise Atmosphärendruck aufweisenden Außenraum 41 auf der Transportrolle 6 durch die Öffnung 12a,12b in die in der Bandbeschichtungsanlage angeordneten Beschichtungskammer 42 transportiert. Die Beschichtungskammer 42 weist typischerweise während des Beschichtungsprozesses einen Druck von 10-4 mbar bis 10-2 mbar auf. Zwischen den Windungen der Folienbahn 14,14',14'' und dem freien Durchmesser der Öffnungen 12a,12b ist jeweils ein Ringspalt 16a,16b derartig ausgebildet, daß der Durchfluß von Atmosphärenteilchen aus dem Außenraum 41 in den Unterdruckbereich der Kammer 42 verhindert wird.
Die Länge des gesamten Transportweges L der Folienbahn 4 ist proportional zu der Anzahl der Windungen 14,14',14'' auf der Transportrolle 6.
Die innerhalb der Beschichtungskammer 42 beschichtete Folienbahn 4 wird entweder durch zwei separate Transportrollen in eine Beschichtungskammer hinein- und heraustransportiert oder durch eine einzige Transportrolle 6, wie in Fig. 1b gezeigt, in die Beschichtungskammer hinein und an einer Verdampferquelle 18 vorbeigeführt und anschließend aus der Beschichtungskammer 42 in den Außenraum 41 heraustransportiert und danach üblicherweise auf eine Aufwickelrolle aufgewickelt.
Die Transportrichtung T,T' der Folienbahn 4 ist durch Umkehrung des Bandzuges oder der Transportbandbewegung umkehrbar.
Die in Figur 2 dargestellte Transportrolle 26 ist wie die Transportrolle 6 in Figur 1a bzw. 1b in der Öffnung 32 einer Trennwand 30 angeordnet. Die Trennwand 30 trennt den Innenraum 20 einer nicht weiter dargestellten Beschichtungskammer von dem Außenraum 21. Gemäß der in Figur 2 eingezeichneten Folienvorschubrichtung V' führt die Transportrolle 26 die Folienbahn 24 von dem Atmosphärendruck aufweisenden Außenraum 21 in die Unterdruck aufweisende Beschichtungskammer 20. Zwischen den auf der Mantelfläche 28 anliegenden Windungen 34',34'',34''' der Folienbahn 24 und dem freien Innendurchmesser der Öffnung 32 ist analog zu dem in Figur 1a bzw. 1b dargestellten Ausführungsbeispiel ein Ringspalt 36 ausgebildet, der die Funktion einer Vakuumdichtung zwischen dem Außenraum 21 und dem Inneren 20 der Beschichtungskammer erfüllt. Zur Unterstützung dessen Dichtungseigenschaften weist die Öffnung 32 mindestens eine umlaufende Nut 38 auf, die über einen Abpumpkanal 40 mit einer oder mehreren in der Figur 2 nicht dargestellten Vakuumpumpe auf Unterdruck evakuierbar ist. Die evakuierbare Nut 38 bildet eine zwischen dem Außenraum 21 und dem Inneren 21 der Beschichtungskammer angeordneten Zwischenpumpstufe zur Trennung des Atmosphärenbereich 21 von dem Vakuum-bereich 20. Weitere evakuierbare Zwischenpumpstufen können im Bereich der Öffnung 32 vorgesehen werden. Dabei ist die Anzahl der Zwischenpumpstufen in Abhängigkeit des zwischen dem Außenraum 21 und der Beschichtungskammer 20 vorhandenen Drukkunterschiedes derartig zu wählen, daß ein Druckanstieg in der Beschichtungskammer 20 während des Transports und der Beschichtung der Folienbahn 24 vermieden wird.
Die in der Figur 2 dargestellte Folientransportvorrichtung 22 mit Zwischenpumpstufe ist auch zum Ausschleusen der beschichteten Folienbahn 24 aus dem Inneren 20 der Beschichtungsanlage in entsprechender Anwendung vorgesehen.
Durch die Verwendung der in Figur 1a,1b und Figur 2 dargestellten Folientransportvorrichtungen 2,22 bei Vakuumbandbeschichtungsanlagen können diese als sogenannte Inline-Anlagen in Kombination mit weiteren dem Folienbeschichtungsprozeß vorangeordneten und/oder nachgeordneten und z. B. in InlineBauweise ausgeführten Bearbeitungsvorrichtungen eingesetzt werden, wodurch die gesamte Verarbeitung derartiger Folienbahnen 4,24 in industriellen Anwendungen in kostengünstiger Weise ermöglicht wird.
Bezugszeichenliste
2
Transportvorrichtung
4
Folienbahn, Folie
6
Transportrolle, Welle
7a, 7b
Transportrollenabschnitt
8
Mantelfläche
10a,10b
Trennwand, Kammerwand
11a,11b
Wandseite
12a,12b
Öffnung
14,14',14''
Windung
16a,16b
Ringspalt
18
Verdampferquelle
20
Beschichtungskammerraum, Halbraum
21
Außenraum, Halbraum
22
Folientranportvorrichtung
24
Folienbahn, Folie
26
Transportrolle
27a,27b
Transportrollenabschnitt
28
Mantelfläche
30
Trennwand
31a,31b
Wandseite
32
Öffnung
34',34'',34'''
Windung
36
Ringspalt
38
Nut
40
Abpumpkanal
41
Außenraum, Halbraum
42
Innenraum, Halbraum
D,D'
Öffnungsdurchmesser
L,L'
Transportweg
S
Strömungsrichtung
T,T'
Axialrichtung, Transportrichtung
V,V'
Vorschubrichtung
α
Vorschubwinkel
a,a'
Folienbahnbreite
r
Transportrollenradius

Claims (15)

  1. Vorrichtung zum Transport von Folien, insbesondere von Folienbahnen, mit einer feststehenden, vorzugsweise einen kreisförmigen Querschnitt aufweisenden Transportrolle, auf deren Mantelfläche die zu transportierende Folie direkt oder auf einem auf der Transportrolle gleitenden Transportband und auf der Transportrolle anliegt, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorschubrichtung (V,V') der auf der Transportrolle (4,24) auflaufenden Folie (4,24) mit der Achse der Transportrolle (6,64) einen Winkel α ≠ 0° bzw. α ≠ 90° bildet, wodurch die Folie (4,24) auf der Mantelfläche (8,28) der Transportrolle (4,24) oder auf einem auf der Transportrolle (6,26) gleitenden Transportband spiralförmig aufwickelt, und wodurch die Folie (4,24) auf der Transportrolle (6,26) in deren Axialrichtung (T,T') entlang eines Transportweges (L,L') gleitend transportierbar ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die Länge des axialen Transportweges (L,L') im wesentlichen der axialen Ausdehnung der auf der Transportrolle (6,26) aufliegenden Wickelabschnitte (14', 14'') entspricht.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Wicklung (14',34') der Folie (4,24) auf der Mantelfläche (8,28) über einen Umfangsbereich von mindestens 360° anliegt.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportrolle (6,26) in einer Durchgangsöffnung (12a,12b,32) einer Trennwand (10,30) angeordnet ist und daß die Folienbahn (4,24) auf dem der einen Wandseite (11a,31a) zugeordneten Transportrollenabschnitt (7a,27a) auf der Transportrolle (6,26) aufwickelbar ist und auf der Transportrolle (6,26) spiralförmig gleitend durch die Durchgangsöffnung (12a,12b,32) transportierbar ist, und von dem, der anderen Wandseite (11b,31b) zugeordneten Transportrollenabschnitt (7b,27b) von der Transportrolle (6,26) abwickelbar ist.
  5. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Wand (10a,10b,30) eine Kammerwand einer verschließbaren Kammer mit einem Innenraum (20,42) ist, in deren Innenraum (20,42) ein von dem Außenraum (21,41) unterschiedlicher atmosphärischer Druck, vorzugsweise Unterdruck einstellbar ist, und daß zwischen dem freien Durchmesser (D,D') der Öffnung (12a,12b,32) und der auf der Transportrolle (6,26) anliegenden Folie (4,24) ein Ringspalt (16,36) ausgebildet ist, dessen Gesamtquerschnitt derartig bemessen ist, daß die Druckdifferenz zwischen dem Innenraum (20,42) und dem Außenraum (21,41) während des axial gerichteten Transports der Folie (4,24) konstant bleibt.
  6. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine innerhalb der Durchgangsöffnung (12a,12b,36) umlaufende Nut zur Aufnahme eines vorzugsweise elastischen Dichtungselementes vorgesehen ist, welches einerseits dichtend auf der auf der Mantelfläche (8,28) anliegenden Folie (4,24) und andererseits an der Kammerfläche dichtend anliegt, wodurch eine Druckdifferenz zwischen dem Innenraum (20,42) und dem Außenraum (21,41) während des axial gerichteten Transports der Folie (4,24) konstant bleibt.
  7. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchgangsöffnung (36) im Bereich der auf der Transportrolle (26) anliegenden Folienabschnitte (34',34'') mindestens eine, vorzugsweise umlaufende Nut (38) aufweist, in welche ein mit einer Abpumpvorrichtung verbundener evakuierbarer Pumpkanal (40) mündet, durch welchen von dem Außenraum (21) in den Querschnittsbereich des Ringspalts (36) einströmendes Gas abpumpbar ist, wodurch eine den atmosphärischen Druck in dem Innenraum (20) ändernde Gasströmung zwischen dem Innenraum (20) und dem Außenraum (21) weiter reduzierbar ist.
  8. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorschubrichtung (V,V') der Folie (4,24) umkehrbar ist, wodurch die Transportrichtung (T,T') der Folie (4,24) umkehrbar ist und wodurch insbesondere die Folie (4,24) aus dem Innenraum (20,42) in den Außenraum (21,41) transportierbar ist.
  9. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie (4,24) eine Dicke von maximal bis zu 2 mm, vorzugsweise eine Dicke von 0,0005 - 0,003 mm aufweist.
  10. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Folie (4,24) aus Kunststoff und/oder aus Papier hergestellt ist.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportrolle (6,26) einstückig ausgebildet ist oder aus mehreren, vorzugsweise in Axialrichtung (T,T') aneinandergefügten Teilrollen besteht welche vorzugsweise miteinander koppelbar sind.
  12. Verwendung einer Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 11 für eine Bandbeschichtungsanlage zum kontinuierlichen Transport einer zu beschichtenden Folie (4,24) von einem Atmosphärendruck aufweisenden Außenraum (21,41) in einen evakuierbaren, Unterdruck aufweisenden Beschichtungskammerraum (20,42) einer Bandbeschichtungsanlage und/oder zum Transport einer in einer evakuierbaren Unterdruck aufweisenden Beschichtungskammerraum (20,42) einer Bandbeschichtungsanlage beschichteten Folie in den Atmosphärendruck aufweisenden Außenraum (21,41), wobei die Folie (4,24) in dem Beschichtungskammerraum (20,42) im kontinuierlichen Durchlaufbetrieb beschichtet wird.
  13. Verwendung einer Vorrichtung nach Anspruch 12, wobei die Bandbeschichtungsanlage eine Aufdampfeinrichtung oder eine PVD- oder eine CVD-Einrichtung umfaßt, mittels welcher auf die Folie (4,24) aufzudampfende Substanzen, vorzugsweise metallische und/oder metalloxydische und/oder metallnitridische Substanzen, abscheidbar sind.
  14. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorschubwinkel α einen Wert 0° < α < 90° aufweist.
  15. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorschubwinkel α die Bedingung α ≤ arctan(2πr/a) erfüllt, wobei r der Radius der Transportrolle (6,26) und a die Breite der Folienbahn (4,24) ist.
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