EP1318524A2 - Röntgen-optisches System und Verfahren zur Abbildung einer Quelle - Google Patents

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EP1318524A2
EP1318524A2 EP02026625A EP02026625A EP1318524A2 EP 1318524 A2 EP1318524 A2 EP 1318524A2 EP 02026625 A EP02026625 A EP 02026625A EP 02026625 A EP02026625 A EP 02026625A EP 1318524 A2 EP1318524 A2 EP 1318524A2
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ray
mirrors
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mirror
reflection
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Joachim Lange
Detlef Bahr
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    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—HANDLING OF PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/06—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diffraction, refraction or reflection, e.g. monochromators

Definitions

  • the invention relates to an X-ray optical system with two X-ray mirrors for imaging an X-ray source on a target area.
  • the basic mode of operation of a generic arrangement comprises two in a row concave X-ray mirrors that are set up so that the reflection plane of the first mirror perpendicular to the reflection plane of the second mirror stands.
  • the one falling on the first mirror at a very flat angle X-rays are focused in a coordinate direction and then fall also at a flat angle to the second mirror, where they are in the second coordinate direction perpendicular to it is focused.
  • the two concave X-ray mirrors can be cylindrical, elliptical or have parabolic curvature surfaces.
  • Parabolic mirrors are in particular a parallelization of the incident X-rays possible.
  • the acceptance angle of typical multilayer mirrors is in the range of 1 mrad and the usual focal lengths are in the range of a few centimeters.
  • the electron focus of the X-ray source varies in a linear range from 10 ⁇ m to a few millimeters.
  • the acceptance range of a mirror has a smallest linear dimension in a range around a few 10 ⁇ m and is typically strip-shaped.
  • the usual X-ray samples on the other hand, have linear dimensions in the range from 100 ⁇ m to a few millimeters, typically several tenths of a millimeter.
  • a main problem with the generic X-ray optical systems therefore lies in the relatively low of the mirror arrangement due to the Bragg conditions reflected the intensity of the focused X-ray radiation in relation to the theoretically possible yield due to the size of the radiating area of the x-ray source and on the other hand, the "need" for X-rays due to the area size of the sample to be examined.
  • the object of the invention is an X-ray optical system with the features mentioned at the outset, with as much as possible minor and simple technical modifications without problems Increase the intensity of the focused X-ray radiation on the sample enabled with constant emission power of the X-ray source.
  • this task is just as surprisingly simple how effective way solved by the x-ray mirror deviating from 90 ° are arranged such that they are tilted against one another in such a way that the combined acceptance range of the x-ray mirror to the shape of the X-ray source and / or the target area is adapted.
  • the above object is also achieved solved in that the X-ray mirror deviates from 90 ° with a Deviation of the tilt angle of 90 ° in amount by at least 20 °, preferably tilted between 30 ° and 85 ° against each other are arranged.
  • the combined acceptance range of the both mirrors also focus on the geometric shape of the electron and / or the sample.
  • the tilting of the X-ray mirror according to the invention results in a considerable gain in intensity because of the combined acceptance range compared to the case of the 90 ° arrangement known from the prior art can be enlarged considerably (as shown in the figure below) Drawing becomes clear).
  • the acceptance range is not from the electron focus of the source or the Target focus of the sample moves out.
  • the invention does not only show its advantages unfolded in the field of X-ray optics, but also in the field of Neutron optics and with synchrotron radiation as the source is applicable.
  • the mirrors used can be flat, cylindrical, spherical, be elliptical, parabolic or hyperbolic. It can Gradient mirrors are used, in which the Layer spacing varies laterally and / or in depth. But also can also single crystals or other X-ray or neutron optical elements can be used as a mirror.
  • An embodiment of the invention is particularly preferred X-ray optical system in which at least one X-ray mirror is one Has multilayer structure. This allows a particularly high intensity of the reflected radiation.
  • the tilt angle is of the two x-ray mirrors fixed. You can do this in advance set optical adjustment to a specific geometry "freeze".
  • the tilt angle can also be variable. This allows several different geometries to be created adjust the overall arrangement.
  • the X-ray mirrors are can be snapped into different positions when tilted. On In this way, a selection of predefined ones can be made Make problem adjustments in advance, with the individual Adjustment due to the grid not much adjustment effort must become.
  • the X-ray mirror can also be continuous be tiltable against each other. This allows a completely free On-line optimization tailored to the special needs entirely realize different examination arrangements.
  • the invention is the deviation of the tilt angle of 90 ° amount at least 3 °, preferably at least 10 °, particularly preferably between 30 ° and 85 °.
  • the arrangement is exactly two X-ray mirrors (or neutron mirrors) intended.
  • the X-ray mirror a tilted Kirkpatrick-Baez arrangement, as has been common for many decades.
  • the X-ray mirror can form a tilted side-by-side arrangement like you is described in US-A 6,041,099 cited above.
  • the x-ray mirror can form a tilted multiple corner arrangement.
  • An untilted multiple-corner arrangement is, for example, from the US-A 6,014,423 known per se.
  • the condition for the deviation of the Tilt angle of 90 ° according to the further aspect discussed above the invention then applies to pairs of adjacent x-ray mirrors.
  • An X-ray spectrometer also falls within the scope of the present invention or an X-ray diffractometer or an X-ray microscope, each with an X-ray optical system as described above Art.
  • the invention is shown in the drawing and is based on exemplary embodiments explained in more detail.
  • Fig. 1 is a cross section through an X-ray mirror A is schematic shown on the radiation from an acceptance range ⁇ x in the focus of the Mirror A hits, which comes from a X-ray source, which is usually is also arranged in this focus.
  • the acceptance angle for the Useful radiation, taking into account the Bragg condition from the X-ray mirror A is reflected is denoted by ⁇ in the drawing.
  • Fig. 2a is an embodiment of a very schematically Arrangement according to the invention shown, in which two X-ray mirrors A, B tilted at an angle other than 90 ° are arranged.
  • the two X-ray mirrors A, B shown are intended in shown embodiment each a parabolic or elliptical Have surface, the radius of curvature of the long or short Dashed line a (for mirror A) or b (for mirror B) follows.
  • the focus of the first X-ray mirror A is x
  • the focus of the second X-ray mirror B is denoted by y.
  • FIG. 2b shows an enlarged section from FIG. 2a, with ⁇ x den Acceptance range of the x-ray source seen from x-ray mirror A. and ⁇ y the acceptance range of the X-ray source from the X-ray mirror B designate seen from.
  • the area F is the intersection of both Acceptance ranges ⁇ x and ⁇ y.
  • the dashed, white ellipse S is intended in shown example a commonly occurring form of an X-ray source represent.
  • FIG. 3 schematically shows the division of the effective area F as the intersection of the two acceptance ranges ⁇ x and ⁇ y of the two X-ray mirrors A, B at the location of the X-ray source.
  • the resulting parallelogram has a side length b, a long diagonal d 1 and a short diagonal d 2 .
  • the drawing shows the angle of deviation ⁇ with respect to a tilt of the two X-ray mirrors A, B by 90 °.
  • Fig. 4 finally represents the area F shown in Fig. 3 as a function of increasing angle deviation ⁇ from the angle 90 ° provided that the two acceptance ranges ⁇ x and ⁇ y with each other are equal and standardized to 1.

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Abstract

Ein Röntgen-optisches System mit zwei Röntgen-Spiegeln (A, B) zum Abbilden einer Röntgen-Quelle (S) auf einen Zielbereich, ist dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgen-Spiegel (A, B) abweichend von 90° derart gegeneinander verkippt angeordnet sind, dass der kombinierte Akzeptanzbereich der Röntgen-Spiegel (A, B) an die Form der Röntgen-Quelle (S) und/oder des Zielbereichs angepasst ist. Dadurch wird mit geringen und technischen einfachen Modifikationen problemlos eine Erhöhung der Intensität der fokussierten Röntgen-Strahlung auf der Probe bei gleichbleibender Emissionsleistung der Röntgen-Quelle (S) ermöglicht. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft ein Röntgen-optisches System mit zwei Röntgen-Spiegeln zum Abbilden einer Röntgen-Quelle auf einen Zielbereich.
Ein solches System bzw. Verfahren ist bekannt aus Paul Kirkpatrick and A.V.Baez, J. Opt. Soc. Am. 38, 9 (1948).
Die prinzipielle Funktionsweise einer gattungsgemäßen Anordnung ist darin ausführlich beschrieben. Sie umfasst zwei hintereinander angeordnete konkave Röntgenspiegel, die so aufgestellt sind, dass die Reflexionsebene des ersten Spiegels senkrecht zur Reflexionsebene des zweiten Spiegels steht. Die in sehr flachem Winkel auf den ersten Spiegel einfallende Röntgenstrahlung wird in einer Koordinatenrichtung fokussiert und fällt dann ebenfalls unter einen flachen Winkel auf den zweiten Spiegel, wo sie in der zweiten, dazu senkrechten Koordinatenrichtung fokussiert wird. Auf diese Weise erhält man einen in zwei Koordinatenrichtungen fokussierten Röntgen-Strahl, so dass Strahldivergenzen zumindest teilweise rückgängig gemacht werden können.
Die beiden konkaven Röntgenspiegel können zylindrische, elliptische oder parabolische Krümmungsflächen aufweisen. Bei Verwendung von Parabolspiegeln ist insbesondere auch eine Parallelisierung der einfallenden Röntgenstrahlung möglich.
Nachteilig bei dieser altbekannten Kirkpatrick-Baez-Anordnung ist der erheblich begrenzte Akzeptanzbereich der beiden Spiegel. Aufgrund der Notwendigkeit der Erfüllung der Bragg-Bedingung für beide Spiegel wird nur eine wesentlich kleinere Fläche (ca. 1/100) im Verhältnis zur sichtbaren, strahlenden Gesamtfläche der Röntgen-Quelle abgebildet.
Als Verbesserung zur Kirkpatrick-Baez-Anordnung ist in der US-A 6,041,099 ein einstückiger Spiegel mit zwei unter 90° gegeneinander angeordneten reflektierenden Oberflächen vorgeschlagen, der als "Side-by-Side"-Anordnung bezeichnet wird. Hierdurch soll die reflektierte Intensität der einfallenden Röntgen-Strahlung ungefähr verdoppelt werden, wobei die Anordnung kompakter ist als die klassische Kirkpatrick-Baez-Anordnung mit zwei hintereinander geschalteten Spiegeln.
Die Verwendung von Multilayer-Spiegeln im Zusammenhang mit einer Kirkpatrick-Baez-Anordnung ist in einem Aufsatz von J. Underwood in der Zeitschrift Applied Optics, Vol. 25, No. 11 (1986) beschrieben.
Um einen Eindruck der Größenordnungen bei den problembehafteten Größen zu vermitteln, sei erwähnt, dass der Akzeptanzwinkel von typischen Multilayer-Spiegeln im Bereich von 1 mrad und die üblichen Brennweiten im Bereich einiger Zentimeter liegen. Der Elektronenfokus der Röntgen-Quelle variiert in einem linearen Bereich von 10 µm bis einige Millimeter. Der Akzeptanzbereich eines Spiegels hat eine kleinste Lineardimension in einem Bereich um einige 10 µm und ist typischerweise streifenförmig. Die üblichen Röntgen-Proben andererseits haben lineare Ausdehnungen im Bereich von 100 µm bis einige Millimeter, typischerweise mehrere zehntel Millimeter.
Ein Hauptproblem bei den gattungsgemäßen Röntgen-optischen Systemen liegt daher in der relativ niedrigen von der Spiegel-Anordnung aufgrund der Bragg-Bedingungen reflektierten Intensität der fokussierten Röntgen-Strahlung im Verhältnis einerseits zur theoretisch möglichen Ausbeute aufgrund der Größe der strahlenden Fläche der Röntgen-Quelle und andererseits des "Bedarfs" an Röntgenstrahlung aufgrund der flächenmäßigen Größe der zu untersuchenden Probe.
Aufgabe der Erfindung ist es demgegenüber, ein Röntgen-optisches System mit den eingangs genannten Merkmalen vorzustellen, das mit möglichst geringen und technischen einfachen Modifikationen problemlos eine Erhöhung der Intensität der fokussierten Röntgen-Strahlung auf der Probe bei gleichbleibender Emissionsleistung der Röntgen-Quelle ermöglicht.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe auf ebenso überraschend einfache wie wirkungsvolle Art und Weise dadurch gelöst, dass die Röntgen-Spiegel abweichend von 90° derart gegeneinander verkippt angeordnet sind, dass der kombinierte Akzeptanzbereich der Röntgen-Spiegel an die Form der Röntgen-Quelle und/oder des Zielbereichs angepasst ist.
Dadurch wird der kombinierte Akzeptanzbereich der beiden Spiegel optimal an die geometrische Form des Elektronen-Fokus und/oder der Probe angepasst, so dass die Ausbeute an nutzbarer Röntgen-Strahlung auf de Probe deutlich erhöht wird. Dies ist dann besonders vorteilhaft, wenn die beiden Bereiche in der gleichen Größenordnung liegen.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird die obige Aufgabe auch dadurch gelöst, dass die Röntgen-Spiegel abweichend von 90° mit einer Abweichung des Verkippungswinkels von 90° betragsmäßig um mindestens 20°, vorzugsweise zwischen 30° und 85° gegeneinander verkippt angeordnet sind. Hierdurch kann der kombinierte Akzeptanzbereich der beiden Spiegel ebenfalls an die geometrische Form des Elektronen-Fokus und/oder der Probe angepasst werden.
Auch für den Fall, daß der kombinierte Akzeptanzbereich der Röntgen-Spiegel erheblich kleiner ist als der Elektronenfokus und/oder die Probe, ergibt die erfindungsgemäße Verkippung der Röntgen-Spiegel einen erheblichen Intensitätsgewinn, weil sich der kombinierte Akzeptanzbereich gegenüber dem aus dem Stand der Technik bekannten Fall der 90°-Anordnung erheblich Vergrößern läßt (wie aus der unten gezeigten Zeichnung deutlich wird). Es muss allerdings dabei beachtet werden, dass der Akzeptanzbereich nicht aus dem Elektronenfokus der Quelle oder dem Zielfokus der Probe herauswandert.
An dieser Stelle sei erwähnt, dass die Erfindung ihre Vorteile nicht nur auf dem Gebiet der Röntgen-Optik entfaltet, sondern auch im Bereich der Neutronenoptik und mit Synchrotronstrahlung als Quelle anwendbar ist.
Die verwendeten Spiegel können eben, zylindrisch, kugelschalenförmig, elliptisch, parabolisch oder hyperbolisch ausgestaltet sein. Es können Gradientenspiegel (graded mirrors) verwendet werden, bei denen der Schichtabstand lateral und/oder in der Tiefe variiert. Ebenso können aber auch Einkristalle oder andere Röntgen- oder Neutronen-optische Elemente als Spiegel eingesetzt werden.
Besonders bevorzugt ist eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Röntgen-optischen Systems, bei der mindestens ein Röntgen-Spiegel eine Multilayer-Struktur aufweist. Damit lässt sich eine besonders hohe Intensität der reflektierten Strahlung erreichen.
Bei einfachen Ausführungsformen der Erfindung ist der Verkippungswinkel der beiden Röntgen-Spiegel fest gewählt. Damit lässt sich eine vorab eingestellte optische Anpassung an eine ganz bestimmte Geometrie fest "einfrieren".
Bei alternativen Ausführungsformen kann aber auch der Verkippungswinkel variierbar sein. Damit lassen sich dann mehrere verschiedene Geometrien der Gesamtanordnung einstellen.
Bei einer Weiterbildung dieser Ausführungsform sind die Röntgen-Spiegel beim Verkippen gegeneinander in verschiedenen Stellungen einrastbar. Auf diese Weise lässt sich eine Auswahl von fest vorgegebenen Problemanpassungen vorab treffen, wobei bei der jeweiligen individuellen Einstellung aufgrund der Rasterung kein großer Justageaufwand getrieben werden muss.
Alternativ können die Röntgen-Spiegel aber auch kontinuierlich gegeneinander verkippbar ausgestaltet sein. Damit lässt sich eine völlig freie On-line-Optimierung zugeschnitten auf die speziellen Bedürfnisse ganz unterschiedlicher Untersuchungsanordnungen verwirklichen.
Generell gilt bei der erfindungsgemäßen Anordnung, dass die abgebildete Quellenfläche umso größer ist, je größer die Verkippung der beiden Röntgen-Spiegel gegeneinander ist. Bei vorteilhaften Ausführungsformen der Erfindung beträgt die Abweichung des Verkippungswinkels von 90° betragsmäßig mindestens 3°, vorzugsweise mindestens 10°, besonders bevorzugt zwischen 30° und 85°.
Bei einer besonders einfachen Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anordnung sind genau zwei Röntgen-Spiegel (bzw. Neutronen-Spiegel) vorgesehen.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung bilden die Röntgen-Spiegel eine gegeneinander verkippte Kirkpatrick-Baez Anordnung, wie sie unverkippt seit vielen Jahrzehnten üblich ist.
In einer Weiterbildung dieser Ausführungsform können die Röntgen-Spiegel eine gegeneinander verkippte side-by-side Anordnung bilden, wie sie unverkippt in der oben zitierten US-A 6,041,099 beschrieben ist.
Bei alternativen Ausführungsformen der Erfindung können die Röntgen-Spiegel eine gegeneinander verkippte Multiple-corner Anordnung bilden. Eine unverkippte Multiple-corner Anordnung ist beispielsweise aus der US-A 6,014,423 an sich bekannt. Die Bedingung für die Abweichung des Verkippungswinkels von 90° gemäß dem oben diskutierten weiteren Aspekt der Erfindung gilt dann jeweils für Paare benachbarter Röntgen-Spiegel.
In den Rahmen der vorliegenden Erfindung fällt auch ein Röntgen-Spektrometer oder ein Röntgen-Diffraktometer oder ein Röntgen-Mikroskop, jeweils mit einem Röntgen-optischen System der oben beschriebenen erfindungsgemäßen Art.
Weiterhin fällt in den Rahmen der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zum Abbilden einer Strahlungsquelle für Röntgen- oder Neutronen-Strahlung auf einen Zielbereich, wobei die von der Quelle emittierte Strahlung an einem ersten Röntgen- bzw. Neutronen-Spiegel und anschließend an einem zweiten Spiegel reflektiert wird, welches sich dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel zwischen der Ebene der ersten Reflexion und der Ebene der zweiten Reflexion derart abweichend von 90° verkippt eingestellt wird, dass der kombinierte Akzeptanzbereich der ersten und zweiten Reflexion an die Form der Strahlungs-Quelle und/oder des Zielbereichs angepasst ist.
Damit wird ebenfalls die oben genannte Erfindungsaufgabe gelöst.
Besonders bevorzugt ist eine Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens, bei der der Verkippungswinkel zwischen der Ebene der ersten Reflexion und der Ebene der zweiten Reflexion während einer Datenaufnahmefolge (=Scan) erneut mindestens ein weiteres Mal angepasst wird. Dadurch wird beispielsweise bei einem Scan mit Beleuchtung der Probe unter verschiedenen Winkeln eine optimale Anpassung an die Gegebenheiten bei jeder einzelnen Aufnahme des Scans durch entsprechendes Nachfahren der Winkeleinstellung ermöglicht.
Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung und der Zeichnung. Ebenso können die vorstehend genannten und die noch weiter aufgeführten Merkmale erfindungsgemäß jeweils einzeln für sich oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen Verwendung finden. Die gezeigten und beschriebenen Ausführungsformen sind nicht als abschließende Aufzählung zu verstehen, sondern haben vielmehr beispielhaften Charakter für die Schilderung der Erfindung.
Die Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.
Im Einzelnen zeigen die Abbildungen Folgendes:
Fig. 1
ein Prinzipschema für den Akzeptanzbereich von Nutzstrahlung aus einer Röntgenquelle im Fokus eines Röntgen-Spiegels;
Fig. 2a
den schematischen Aufbau einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Röntgen-optischen Systems;
Fig. 2b
einen vergrößerten Ausschnitt der Strahlungsverhältnisse im Fokus von Fig. 2a;
Fig. 3
die wirksame Fläche als Schnittmenge der Akzeptanzbereiche der beiden Spiegel gemäß Fig. 2b; und
Fig. 4
die wirksame Fläche F als Funktion des von 90° abweichenden Verkippungswinkels β.
In Fig. 1 ist schematisch ein Querschnitt durch einen Röntgen-Spiegel A dargestellt, auf den Strahlung aus einem Akzeptanzbereich Δx im Fokus des Spiegels A trifft, die von einer Röngten-Quelle stammt, welche üblicherweise ebenfalls in diesem Fokus angeordnet ist. Der Akzeptanzwinkel für die Nutzstrahlung, die unter Beachtung der Bragg-Bedingung vom Röntgen-Spiegel A reflektiert wird, ist in der Zeichnung mit α bezeichnet.
In Fig. 2a ist sehr schematisch eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Anordnung dargestellt, bei der zwei Röntgen-Spiegel A, B um einen von 90° abweichenden Winkel gegeneinander verkippt angeordnet sind. Die beiden dargestellten Röntgen-Spiegel A, B sollen im gezeigten Ausführungsbeispiel jeweils eine parabolische oder elliptische Oberfläche aufweisen, deren Krümmungsradius jeweils der lang bzw. kurz gestrichelten Linie a (für Spiegel A) bzw. b (für Spiegel B) folgt. Der Fokus des ersten Röntgen-Spiegels A ist mit x, der Fokus des zweiten Röntgen-Spiegels B ist mit y bezeichnet.
Fig. 2b zeigt einen vergrößerten Ausschnitt aus Fig. 2a, wobei Δx den Akzeptanzbereich der Röntgen-Quelle vom Röntgen-Spiegel A aus gesehen und Δy den Akzeptanzbereich der Röntgen-Quelle vom Röntgen-Spiegel B aus gesehen bezeichnen. Die Fläche F ist die Schnittmenge beider Akzeptanzbereiche Δx und Δy. Die gestrichelte, weiße Ellipse S soll im gezeigten Beispiel eine üblicherweise auftretende Form einer Röntgen-Quelle darstellen.
Fig. 3 zeigt schematisch die Aufteilung der wirksamen Fläche F als Schnittmenge der beiden Akzeptanzbereiche Δx und Δy der beiden Röntgen-Spiegel A, B am Ort der Röntgen-Quelle. Das sich ergebende Parallelogramm weist eine Seitenlänge b, eine lange Diagonale d1 sowie eine kurze Diagonale d2 auf. Außerdem ist in der Zeichnung der Abweichungswinkel β gegenüber einer Verkippung der beiden Röntgen-Spiegel A, B um 90° zu erkennen.
Zwischen den in Fig. 3 gezeigten Größen gelten folgende geometrische Beziehungen:
  • Δx = Δy = a (bei identisch gewählten Röntgen-Spiegeln A,B)
  • b = Δx / cos β = a / cos β
  • F = Δx b = a2 / cos β
  • d1 = a ((1 + sin β)2 / cos2 β +1 )1/2
  • c = a tan β
    • Fig. 4 schließlich stellt die in Fig. 3 gezeigte Fläche F als Funktion der zunehmenden Winkelabweichung β vom Winkel 90° dar. Dabei wird vorausgesetzt, dass die beiden Akzeptanzbereiche Δx und Δy untereinander gleich und auf 1 normiert sind.

    Claims (10)

    1. Röntgen-optisches System mit zwei Röntgen-Spiegeln (A, B) zum Abbilden einer Röntgen-Quelle (S) auf einen Zielbereich,
      dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgen-Spiegel (A, B) abweichend von 90° derart gegeneinander verkippt angeordnet sind, dass der kombinierte Akzeptanzbereich der Röntgen-Spiegel (A, B) an die Form der Röntgen-Quelle (S) und/oder des Zielbereichs angepasst ist.
    2. Röntgen-optisches System mit zwei Röntgen-Spiegeln (A, B) zum Abbilden einer Röntgen-Quelle (S) auf einen Zielbereich,
      dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgen-Spiegel (A, B) abweichend von 90° mit einer Abweichung β des Verkippungswinkels von 90° betragsmäßig um mindestens 20°, vorzugsweise zwischen 30° und 85° gegeneinander verkippt angeordnet sind.
    3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Röntgen-Spiegel (A, B) eine Multilayer-Struktur aufweist.
    4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abweichung β des Verkippungswinkels von 90° betragsmäßig mindestens 3°, vorzugsweise mindestens 10°, besonders bevorzugt zwischen 30° und 85° beträgt.
    5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgen-Spiegel (A, B) eine gegeneinander verkippte Kirkpatrick-Baez Anordnung bilden.
    6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgen-Spiegel (A, B) eine gegeneinander verkippte side-by-side Anordnung bilden.
    7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgen-Spiegel (A, B) eine gegeneinander verkippte Multiple-corner Anordnung bilden.
    8. Röntgen-Diffraktometer mit einem Röntgen-optischen System nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
    9. Verfahren zum Abbilden einer Strahlungsquelle (S) für Röntgen- oder Neutronen-Strahlung auf einen Zielbereich, wobei die von der Quelle (S) emittierte Strahlung an einem ersten Röntgen- bzw. Neutronen-Spiegel (A) und anschließend an einem zweiten Spiegel (B) reflektiert wird,
      dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel zwischen der Ebene der ersten Reflexion und der Ebene der zweiten Reflexion derart abweichend von 90° verkippt eingestellt wird, dass der kombinierte Akzeptanzbereich F der ersten (Δx) und zweiten (Δy) Reflexion an die Form der Strahlungs-Quelle (S) und/oder des Zielbereichs angepasst ist.
    10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Verkippungswinkel zwischen der Ebene der ersten Reflexion und der Ebene der zweiten Reflexion während einer Datenaufnahmefolge (=Scan) erneut mindestens ein weiteres Mal angepasst wird.
    EP02026625A 2001-12-08 2002-11-29 Röntgen-optisches System und Verfahren zur Abbildung einer Quelle Expired - Lifetime EP1318524B1 (de)

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    DE10160472 2001-12-08

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    EP1318524A3 EP1318524A3 (de) 2007-07-04
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