JPH06294899A - 湾曲全反射ミラーカメラ - Google Patents
湾曲全反射ミラーカメラInfo
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- JPH06294899A JPH06294899A JP5083171A JP8317193A JPH06294899A JP H06294899 A JPH06294899 A JP H06294899A JP 5083171 A JP5083171 A JP 5083171A JP 8317193 A JP8317193 A JP 8317193A JP H06294899 A JPH06294899 A JP H06294899A
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- mirror
- reflection mirror
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- curved
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 焦点Ｆ2 の位置の微調整等が容易にできる操
作性のよい湾曲全反射ミラーカメラを提供すること。 【構成】 Ｘ線源の焦点Ｆ1 から出射されたＸ線１を湾
曲全反射ミラー１２，１３によってＸ線検出手段４上の
焦点Ｆ2 に集束させる湾曲全反射ミラーカメラにおい
て、使用している湾曲全反射ミラー１２，１３にはミラ
ー回転移動機構１４，１５を装備する。そして、それぞ
れのミラー回転移動機構１４，１５は、前記Ｘ線源の焦
点Ｆ1 を回転中心とし、該当の湾曲全反射ミラーの反射
面に直交する平面内で、該当の湾曲全反射ミラーを回転
移動させる構成とする。
作性のよい湾曲全反射ミラーカメラを提供すること。 【構成】 Ｘ線源の焦点Ｆ1 から出射されたＸ線１を湾
曲全反射ミラー１２，１３によってＸ線検出手段４上の
焦点Ｆ2 に集束させる湾曲全反射ミラーカメラにおい
て、使用している湾曲全反射ミラー１２，１３にはミラ
ー回転移動機構１４，１５を装備する。そして、それぞ
れのミラー回転移動機構１４，１５は、前記Ｘ線源の焦
点Ｆ1 を回転中心とし、該当の湾曲全反射ミラーの反射
面に直交する平面内で、該当の湾曲全反射ミラーを回転
移動させる構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線源の焦点Ｆ1 から
出射されたＸ線を湾曲全反射ミラーによってＸ線検出手
段上の焦点Ｆ2 に集束させる湾曲全反射ミラーカメラに
関するものである。
出射されたＸ線を湾曲全反射ミラーによってＸ線検出手
段上の焦点Ｆ2 に集束させる湾曲全反射ミラーカメラに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は、湾曲全反射ミラーカメラの概略
構成を示したものである。この湾曲全反射ミラーカメラ
は、Ｘ線源の焦点Ｆ1 から出射された発散Ｘ線１を、垂
直ミラー２と水平ミラー３との２枚の湾曲全反射ミラー
によってＸ線検出手段４上に点集束させるもので、図中
の符号５はミラー２，３によって集光されたＸ線が照射
される試料であり、Ｆ2 はＸ線検出手段４上の焦点（Ｘ
線の集束位置）である。
構成を示したものである。この湾曲全反射ミラーカメラ
は、Ｘ線源の焦点Ｆ1 から出射された発散Ｘ線１を、垂
直ミラー２と水平ミラー３との２枚の湾曲全反射ミラー
によってＸ線検出手段４上に点集束させるもので、図中
の符号５はミラー２，３によって集光されたＸ線が照射
される試料であり、Ｆ2 はＸ線検出手段４上の焦点（Ｘ
線の集束位置）である。
【０００３】前記焦点Ｆ1 は、サイズ的には、例えば、
０．３×０．３ｍｍ2 程度の微小焦点である。なお、図
示はしていないが、試料５と水平ミラー３との間には、
不要な散乱Ｘ線をカットするガードスリットが配置され
る。
０．３×０．３ｍｍ2 程度の微小焦点である。なお、図
示はしていないが、試料５と水平ミラー３との間には、
不要な散乱Ｘ線をカットするガードスリットが配置され
る。
【０００４】前記垂直ミラー２は湾曲した反射面２ａが
水平面に対して直交した状態に保持され、水平ミラー３
は湾曲した反射面３ａが鉛直面に対して直交した状態に
保持されている。即ち、垂直ミラー２と水平ミラー３と
は、互いに直交する関係に配置されている。
水平面に対して直交した状態に保持され、水平ミラー３
は湾曲した反射面３ａが鉛直面に対して直交した状態に
保持されている。即ち、垂直ミラー２と水平ミラー３と
は、互いに直交する関係に配置されている。
【０００５】前記Ｘ線検出手段４としては、Ｘ線フィル
ムや、Ｘ線を蓄積する蛍光体層を使用したイメージング
プレートや、その他の位置感応型のＸ線検出器等の利用
が考えられる。
ムや、Ｘ線を蓄積する蛍光体層を使用したイメージング
プレートや、その他の位置感応型のＸ線検出器等の利用
が考えられる。
【０００６】以上のような構成の湾曲全反射ミラーカメ
ラは、小角分解能に優れることから、小角領域での散乱
の測定に利用され、また、ウイルス，生体膜，筋肉など
の生体の超分子構造の研究や、繊維状生体高分子や合成
高分子の構造研究に広く利用されている。
ラは、小角分解能に優れることから、小角領域での散乱
の測定に利用され、また、ウイルス，生体膜，筋肉など
の生体の超分子構造の研究や、繊維状生体高分子や合成
高分子の構造研究に広く利用されている。
【０００７】このような湾曲全反射ミラーカメラでは、
焦点Ｆ2 の位置を調整するために、各垂直ミラー２およ
び水平ミラー３の湾曲状態や設置位置を微調整すること
が必要になる。そこで、従来では、垂直ミラー２および
水平ミラー３のそれぞれには、ベント機構と、ミラー回
転機構と、並進機構とを装備している。
焦点Ｆ2 の位置を調整するために、各垂直ミラー２およ
び水平ミラー３の湾曲状態や設置位置を微調整すること
が必要になる。そこで、従来では、垂直ミラー２および
水平ミラー３のそれぞれには、ベント機構と、ミラー回
転機構と、並進機構とを装備している。
【０００８】ここに、ベント機構は、図３に示すよう
に、湾曲全反射ミラー７の中央を固定支持しておくとと
もに、湾曲全反射ミラー７の４隅の支持箇所に反射面７
ａと直交する方向の力ｆをかけることによって、反射面
７ａの湾曲状態を調整する機構である。
に、湾曲全反射ミラー７の中央を固定支持しておくとと
もに、湾曲全反射ミラー７の４隅の支持箇所に反射面７
ａと直交する方向の力ｆをかけることによって、反射面
７ａの湾曲状態を調整する機構である。
【０００９】ミラー回転機構は、図４に示すように、湾
曲全反射ミラー７の反射面７ａの中央を回転中心Ｏとし
て、反射面７ａと直交する方向にミラー７を回転させる
機構である（図中の２点鎖線は回転操作前の位置、斜線
を施した実線部分は回転操作後の位置を示している）。
例えば、前述の垂直ミラー２の場合は水平方向の回転動
作を制御、水平ミラー３の場合は垂直方向の回転動作を
制御する。
曲全反射ミラー７の反射面７ａの中央を回転中心Ｏとし
て、反射面７ａと直交する方向にミラー７を回転させる
機構である（図中の２点鎖線は回転操作前の位置、斜線
を施した実線部分は回転操作後の位置を示している）。
例えば、前述の垂直ミラー２の場合は水平方向の回転動
作を制御、水平ミラー３の場合は垂直方向の回転動作を
制御する。
【００１０】前記並進機構は、図５に示すように、反射
面７ａと直交する方向に湾曲全反射ミラー７を並行移動
させるものである（図中の２点鎖線は並行移動操作前の
位置、斜線を施した実線部分は並行移動操作後の位置を
示している）。
面７ａと直交する方向に湾曲全反射ミラー７を並行移動
させるものである（図中の２点鎖線は並行移動操作前の
位置、斜線を施した実線部分は並行移動操作後の位置を
示している）。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述の湾曲
全反射ミラーカメラで測定を行う場合には、事前に焦点
Ｆ2 の位置の調整を行う。
全反射ミラーカメラで測定を行う場合には、事前に焦点
Ｆ2 の位置の調整を行う。
【００１２】この調整操作では、まず、焦点Ｆ1 から出
射された発散Ｘ線１がＸ線検出手段４上に点集束するよ
うに、前述のベント機構やミラー回転機構や並進機構を
操作して、二つのミラー２，３の位置や湾曲状態を設定
する。そして、焦点Ｆ2 がＸ線検出手段４の端に位置し
ているような場合には、ミラー２，３の位置を微調整す
ることによって、焦点Ｆ2 位置がＸ線検出手段４の中央
にくるように調整する。
射された発散Ｘ線１がＸ線検出手段４上に点集束するよ
うに、前述のベント機構やミラー回転機構や並進機構を
操作して、二つのミラー２，３の位置や湾曲状態を設定
する。そして、焦点Ｆ2 がＸ線検出手段４の端に位置し
ているような場合には、ミラー２，３の位置を微調整す
ることによって、焦点Ｆ2 位置がＸ線検出手段４の中央
にくるように調整する。
【００１３】このような調整操作では、各ミラー２，３
に対する入射角（視射角）は０．５゜以下の高精度で設
定する必要があり、各ミラー２，３の入射角の設定操作
は慎重を要し、かつ手間のかかる作業となる。
に対する入射角（視射角）は０．５゜以下の高精度で設
定する必要があり、各ミラー２，３の入射角の設定操作
は慎重を要し、かつ手間のかかる作業となる。
【００１４】ところが、前述した従来の湾曲全反射ミラ
ーカメラは、ミラー２，３の位置を並進機構による並行
移動によって調整する。この並行移動動作を行った場
合、図６に示すように、２点鎖線で示した並進前と、実
線で示した並進後とでは、入射角が変ってしまう。その
ため、従来の湾曲全反射ミラーカメラでは、一旦、Ｘ線
検出手段４上に点集束するようにミラー２，３の位置や
湾曲状態を設定しても、焦点Ｆ2 の位置の微調整等のた
めにミラー２，３を並進させた場合には、再度、ミラー
回転機構等を操作して、入射角の設定をやり直さなけれ
ばならず、焦点Ｆ2 の位置の微調整等の作業に非常に手
間がかかるという問題が生じていた。
ーカメラは、ミラー２，３の位置を並進機構による並行
移動によって調整する。この並行移動動作を行った場
合、図６に示すように、２点鎖線で示した並進前と、実
線で示した並進後とでは、入射角が変ってしまう。その
ため、従来の湾曲全反射ミラーカメラでは、一旦、Ｘ線
検出手段４上に点集束するようにミラー２，３の位置や
湾曲状態を設定しても、焦点Ｆ2 の位置の微調整等のた
めにミラー２，３を並進させた場合には、再度、ミラー
回転機構等を操作して、入射角の設定をやり直さなけれ
ばならず、焦点Ｆ2 の位置の微調整等の作業に非常に手
間がかかるという問題が生じていた。
【００１５】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、焦点Ｆ2 の位置の微調整等のために湾曲全反射ミラ
ーを移動させる場合に、その前に設定しておいた入射角
を変えずに湾曲全反射ミラーを移動させることができ、
入射角の再設定等の作業が不要で、焦点Ｆ2 の位置の微
調整等が容易にできる操作性のよい湾曲全反射ミラーカ
メラを提供することを目的とする。
で、焦点Ｆ2 の位置の微調整等のために湾曲全反射ミラ
ーを移動させる場合に、その前に設定しておいた入射角
を変えずに湾曲全反射ミラーを移動させることができ、
入射角の再設定等の作業が不要で、焦点Ｆ2 の位置の微
調整等が容易にできる操作性のよい湾曲全反射ミラーカ
メラを提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る湾曲全反射
ミラーカメラは、Ｘ線源の焦点Ｆ1 から出射されたＸ線
を湾曲全反射ミラーによってＸ線検出手段上の焦点Ｆ2
に集束させるものであるが、使用している湾曲全反射ミ
ラーにはミラー回転移動機構を装備している。そして、
前記ミラー回転移動機構は、前記Ｘ線源の焦点Ｆ1 を回
転中心とし、前記湾曲全反射ミラーの反射面に直交する
平面内で、湾曲全反射ミラーを回転移動させる構成とさ
れている。
ミラーカメラは、Ｘ線源の焦点Ｆ1 から出射されたＸ線
を湾曲全反射ミラーによってＸ線検出手段上の焦点Ｆ2
に集束させるものであるが、使用している湾曲全反射ミ
ラーにはミラー回転移動機構を装備している。そして、
前記ミラー回転移動機構は、前記Ｘ線源の焦点Ｆ1 を回
転中心とし、前記湾曲全反射ミラーの反射面に直交する
平面内で、湾曲全反射ミラーを回転移動させる構成とさ
れている。
【００１７】
【作用】本発明に係る湾曲全反射ミラーカメラでは、焦
点Ｆ2 の位置の微調整等は、ミラー回転移動機構によっ
て湾曲全反射ミラーを回転移動させることによって行う
が、このミラー回転移動機構による移動操作では、焦点
Ｆ1 を回転中心とした回転運動となるため、湾曲全反射
ミラーにおける入射角が変化しない。
点Ｆ2 の位置の微調整等は、ミラー回転移動機構によっ
て湾曲全反射ミラーを回転移動させることによって行う
が、このミラー回転移動機構による移動操作では、焦点
Ｆ1 を回転中心とした回転運動となるため、湾曲全反射
ミラーにおける入射角が変化しない。
【００１８】
【実施例】図１は、本発明に係る湾曲全反射ミラーカメ
ラの一実施例を示したものである。この一実施例の湾曲
全反射ミラーカメラは、Ｘ線源の焦点Ｆ1 から出射され
た発散Ｘ線１を、垂直ミラー１２と水平ミラー１３との
２枚の湾曲全反射ミラーによってＸ線検出手段４上に点
集束させるもので、図中の符号５はミラー１２，１３に
よって集光されたＸ線が照射される試料であり、Ｆ2 は
Ｘ線検出手段４上の焦点（Ｘ線の集束位置）である。
ラの一実施例を示したものである。この一実施例の湾曲
全反射ミラーカメラは、Ｘ線源の焦点Ｆ1 から出射され
た発散Ｘ線１を、垂直ミラー１２と水平ミラー１３との
２枚の湾曲全反射ミラーによってＸ線検出手段４上に点
集束させるもので、図中の符号５はミラー１２，１３に
よって集光されたＸ線が照射される試料であり、Ｆ2 は
Ｘ線検出手段４上の焦点（Ｘ線の集束位置）である。
【００１９】前記焦点Ｆ1 は、サイズ的には、例えば、
０．３×０．３ｍｍ2 程度の微小焦点である。なお、図
示はしていないが、試料５と水平ミラー３との間には、
不要な散乱Ｘ線をカットするガードスリットが配置され
る。
０．３×０．３ｍｍ2 程度の微小焦点である。なお、図
示はしていないが、試料５と水平ミラー３との間には、
不要な散乱Ｘ線をカットするガードスリットが配置され
る。
【００２０】前記垂直ミラー１２は湾曲した反射面１２
ａが水平面に対して直交した状態に保持され、水平ミラ
ー１３は湾曲した反射面１３ａが鉛直面に対して直交し
た状態に保持されている。即ち、垂直ミラー１２と水平
ミラー１３とは、互いに直交する関係に配置されてい
る。
ａが水平面に対して直交した状態に保持され、水平ミラ
ー１３は湾曲した反射面１３ａが鉛直面に対して直交し
た状態に保持されている。即ち、垂直ミラー１２と水平
ミラー１３とは、互いに直交する関係に配置されてい
る。
【００２１】前記Ｘ線検出手段４としては、Ｘ線フィル
ムや、Ｘ線を蓄積する蛍光体層を使用したイメージング
プレートや、その他の位置感応型のＸ線検出器等の利用
が考えられる。
ムや、Ｘ線を蓄積する蛍光体層を使用したイメージング
プレートや、その他の位置感応型のＸ線検出器等の利用
が考えられる。
【００２２】この一実施例の湾曲全反射ミラーカメラで
は、焦点Ｆ2 の位置を調整するために、垂直ミラー１２
および水平ミラー１３のそれぞれには、先に図３を用い
て説明したベント機構と図４を用いて説明したミラー回
転機構とが従来と同様に装備されているが、さらには、
従来の並進機構に代わって、ミラー回転移動機構１４，
１５が装備されている。
は、焦点Ｆ2 の位置を調整するために、垂直ミラー１２
および水平ミラー１３のそれぞれには、先に図３を用い
て説明したベント機構と図４を用いて説明したミラー回
転機構とが従来と同様に装備されているが、さらには、
従来の並進機構に代わって、ミラー回転移動機構１４，
１５が装備されている。
【００２３】前記ミラー回転移動機構１４は、前記Ｘ線
源の焦点Ｆ1 を回転中心とし、前記垂直ミラー１２の反
射面１２ａに直交する平面（即ち、水平面）内で、当該
垂直ミラー１２を回転移動させるものである。図中の符
号１４ａは焦点Ｆ1 を通る鉛直軸で、１４ｂは前記鉛直
軸１４ａを回転軸とした腕部材である。この腕部材の先
端が前記垂直ミラー１２に連結されている。腕部材１４
ｂは図示略の駆動手段により回転操作される。腕部材１
４ｂを前記鉛直軸１４ａ回りに回転させる駆動手段は、
送りねじ等を利用した進退機構など、公知の適宜機構を
利用することができる。
源の焦点Ｆ1 を回転中心とし、前記垂直ミラー１２の反
射面１２ａに直交する平面（即ち、水平面）内で、当該
垂直ミラー１２を回転移動させるものである。図中の符
号１４ａは焦点Ｆ1 を通る鉛直軸で、１４ｂは前記鉛直
軸１４ａを回転軸とした腕部材である。この腕部材の先
端が前記垂直ミラー１２に連結されている。腕部材１４
ｂは図示略の駆動手段により回転操作される。腕部材１
４ｂを前記鉛直軸１４ａ回りに回転させる駆動手段は、
送りねじ等を利用した進退機構など、公知の適宜機構を
利用することができる。
【００２４】前記ミラー回転移動機構１５は、前記Ｘ線
源の焦点Ｆ1 を回転中心とし、前記水平ミラー１３の反
射面１３ａに直交する平面（即ち、鉛直面）内で、当該
水平ミラー１３を回転移動させるものである。図中の符
号１５ａは焦点Ｆ1 を通る水平軸で、１５ｂは前記水平
軸１５ａを回転軸とした腕部材である。この腕部材１５
ｂの先端が前記水平ミラー１３に連結されている。腕部
材１５ｂは図示略の駆動手段により回転操作される。腕
部材１５ｂを前記水平軸１５ａ回りに回転させる駆動手
段は、送りねじ等を利用した進退機構など、公知の適宜
機構を利用することができる。
源の焦点Ｆ1 を回転中心とし、前記水平ミラー１３の反
射面１３ａに直交する平面（即ち、鉛直面）内で、当該
水平ミラー１３を回転移動させるものである。図中の符
号１５ａは焦点Ｆ1 を通る水平軸で、１５ｂは前記水平
軸１５ａを回転軸とした腕部材である。この腕部材１５
ｂの先端が前記水平ミラー１３に連結されている。腕部
材１５ｂは図示略の駆動手段により回転操作される。腕
部材１５ｂを前記水平軸１５ａ回りに回転させる駆動手
段は、送りねじ等を利用した進退機構など、公知の適宜
機構を利用することができる。
【００２５】以上の一実施例の湾曲全反射ミラーカメラ
では、発散Ｘ線１がＸ線検出手段４上に点集束するよう
に、垂直ミラー１２，水平ミラー１３の順に、それぞれ
のミラーに装備されたベント機構やミラー回転機構を操
作することによって、各ミラー１２，１３上への最適の
入射角を設定する。そして、最適の入射角を一旦設定し
た後に、Ｘ線検出手段４上の焦点Ｆ2 の位置を微調整す
る場合には、前記ミラー回転移動機構１４，１５の操作
によって、垂直ミラー１２および水平ミラー１３の位置
を調整する。
では、発散Ｘ線１がＸ線検出手段４上に点集束するよう
に、垂直ミラー１２，水平ミラー１３の順に、それぞれ
のミラーに装備されたベント機構やミラー回転機構を操
作することによって、各ミラー１２，１３上への最適の
入射角を設定する。そして、最適の入射角を一旦設定し
た後に、Ｘ線検出手段４上の焦点Ｆ2 の位置を微調整す
る場合には、前記ミラー回転移動機構１４，１５の操作
によって、垂直ミラー１２および水平ミラー１３の位置
を調整する。
【００２６】このミラー回転移動機構１４，１５による
回転移動は、図７に示すように、焦点Ｆ1 を回転中心と
した回転運動となるため、例えば、ミラーの位置をＭ１
からＭ２のように移動させても、ミラーに対する入射角
は変化しない。したがって、最初に正しく各ミラーへの
入射角を設定調整すれば、その後、焦点Ｆ2 の位置の微
調整等のために各ミラー１２，１３を移動させたとして
も、入射角の再設定等の作業が不要で、焦点Ｆ2 の位置
の微調整等が容易なり、焦点Ｆ2 の位置の微調整時等の
操作性が大幅に改善されることになる。
回転移動は、図７に示すように、焦点Ｆ1 を回転中心と
した回転運動となるため、例えば、ミラーの位置をＭ１
からＭ２のように移動させても、ミラーに対する入射角
は変化しない。したがって、最初に正しく各ミラーへの
入射角を設定調整すれば、その後、焦点Ｆ2 の位置の微
調整等のために各ミラー１２，１３を移動させたとして
も、入射角の再設定等の作業が不要で、焦点Ｆ2 の位置
の微調整等が容易なり、焦点Ｆ2 の位置の微調整時等の
操作性が大幅に改善されることになる。
【００２７】なお、前述の一実施例では、各ミラー１
２，１３には、本発明に係るミラー回転移動機構１４，
１５の他に、従来からのベント機構とミラー回転機構と
を装備した構成としたが、必要に応じて、従来のミラー
回転機構は省いてもよい。
２，１３には、本発明に係るミラー回転移動機構１４，
１５の他に、従来からのベント機構とミラー回転機構と
を装備した構成としたが、必要に応じて、従来のミラー
回転機構は省いてもよい。
【００２８】また、前記一実施例では、２枚の湾曲全反
射ミラーを使用する形式のカメラについて説明したが、
本発明は、一枚の湾曲全反射ミラーを使用して入射Ｘ線
を線状に集束させる場合にも、適用することができるこ
とはいうまでもない。
射ミラーを使用する形式のカメラについて説明したが、
本発明は、一枚の湾曲全反射ミラーを使用して入射Ｘ線
を線状に集束させる場合にも、適用することができるこ
とはいうまでもない。
【００２９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る湾曲全反射ミラーカメラでは、焦点Ｆ2 の位置の
微調整等は、ミラー回転移動機構によって湾曲全反射ミ
ラーを回転移動させることによって行うが、このミラー
回転移動機構による移動操作では、焦点Ｆ1 を回転中心
とした回転運動となるため、湾曲全反射ミラーにおける
入射角が変化しない。
に係る湾曲全反射ミラーカメラでは、焦点Ｆ2 の位置の
微調整等は、ミラー回転移動機構によって湾曲全反射ミ
ラーを回転移動させることによって行うが、このミラー
回転移動機構による移動操作では、焦点Ｆ1 を回転中心
とした回転運動となるため、湾曲全反射ミラーにおける
入射角が変化しない。
【００３０】したがって、最初に正しく湾曲全反射ミラ
ーへの入射角を設定調整すれば、その後、焦点Ｆ2 の位
置の微調整等のために湾曲全反射ミラーを移動させたと
しても、入射角の再設定等の作業が不要で、焦点Ｆ2 の
位置の微調整等が容易なり、焦点Ｆ2 の位置の微調整時
等の操作性が大幅に改善されることになる。
ーへの入射角を設定調整すれば、その後、焦点Ｆ2 の位
置の微調整等のために湾曲全反射ミラーを移動させたと
しても、入射角の再設定等の作業が不要で、焦点Ｆ2 の
位置の微調整等が容易なり、焦点Ｆ2 の位置の微調整時
等の操作性が大幅に改善されることになる。
【図１】本発明の一実施例の概略構成図である。
【図２】湾曲全反射ミラーカメラの概略構成図である。
【図３】従来の湾曲全反射ミラーカメラに装備されてい
るベント機構の説明図である。
るベント機構の説明図である。
【図４】従来の湾曲全反射ミラーカメラに装備されてい
るミラー回転機構の説明図である。
るミラー回転機構の説明図である。
【図５】従来の湾曲全反射ミラーカメラに装備されてい
る並進機構の説明図である。
る並進機構の説明図である。
【図６】従来の湾曲全反射ミラーカメラにおける問題の
説明図である。
説明図である。
【図７】本発明の一実施例の作用説明図である。
１ 発散Ｘ線 ４ Ｘ線検出手段 Ｆ1 ，Ｆ2 焦点 １２ 垂直ミラー（湾曲全反射ミラー） １３ 水平ミラー（湾曲全反射ミラー） １４，１５ ミラー回転移動機構
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線源の焦点Ｆ1 から出射されたＸ線を
湾曲全反射ミラーによってＸ線検出手段上の焦点Ｆ2 に
集束させる湾曲全反射ミラーカメラであって、 前記Ｘ線源の焦点Ｆ1 を回転中心とし、前記湾曲全反射
ミラーの反射面に直交する平面内で、湾曲全反射ミラー
を回転移動させるミラー回転移動機構を装備したことを
特徴とする湾曲全反射ミラーカメラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5083171A JPH06294899A (ja) | 1993-04-09 | 1993-04-09 | 湾曲全反射ミラーカメラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5083171A JPH06294899A (ja) | 1993-04-09 | 1993-04-09 | 湾曲全反射ミラーカメラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06294899A true JPH06294899A (ja) | 1994-10-21 |
Family
ID=13794836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5083171A Pending JPH06294899A (ja) | 1993-04-09 | 1993-04-09 | 湾曲全反射ミラーカメラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06294899A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6185049B1 (en) | 1998-04-13 | 2001-02-06 | Minolta Co., Ltd. | Zoom lens system |
| EP1318524A3 (de) * | 2001-12-08 | 2007-07-04 | Bruker AXS GmbH | Röntgen-optisches System und Verfahren zur Abbildung einer Quelle |
| WO2010125913A1 (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-04 | 株式会社リガク | Ｘ線散乱測定装置およびｘ線散乱測定方法 |
| JP2021128004A (ja) * | 2020-02-10 | 2021-09-02 | 国立大学法人 東京大学 | 反射型ｘ線光学素子、該反射型ｘ線光学素子を用いたｘ線集光システム、および該反射型ｘ線光学素子の製造方法 |
-
1993
- 1993-04-09 JP JP5083171A patent/JPH06294899A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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