EP1409199B1 - Verwendung einer vorrichtung zur abrasiven bearbeitung von flächen von elementen und insbesondere von optischen elementen bzw. werkstücken - Google Patents

Verwendung einer vorrichtung zur abrasiven bearbeitung von flächen von elementen und insbesondere von optischen elementen bzw. werkstücken Download PDF

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EP1409199B1
EP1409199B1 EP02716837A EP02716837A EP1409199B1 EP 1409199 B1 EP1409199 B1 EP 1409199B1 EP 02716837 A EP02716837 A EP 02716837A EP 02716837 A EP02716837 A EP 02716837A EP 1409199 B1 EP1409199 B1 EP 1409199B1
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machining
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Fisba Optik AG
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    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B13/00—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B31/00—Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor
    • B24B31/10—Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor involving other means for tumbling of work
    • B24B31/116—Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor involving other means for tumbling of work using plastically deformable grinding compound, moved relatively to the workpiece under the influence of pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
    • B24C1/00—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
    • B24C1/08—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods for polishing surfaces, e.g. smoothing a surface by making use of liquid-borne abrasives

Definitions

  • the invention relates to the use of a device for the abrasive machining of surfaces of elements and in particular of optical elements or workpieces according to the preamble of claim 1.
  • abrasive machining of surfaces as required, for example, for the production of optical elements such as lenses, prisms, plane-parallel plates, etc., as well as molds for casting or pressing optical elements, a variety of methods and devices are known.
  • the surface to be treated with contacting tools such as disc grinders, ball grinders, etc., first a grinding process and optionally a fine grinding and then subjected to a polishing a polishing process.
  • Most machining operations, where relatively much material is removed, require at least when producing optical surfaces should be, finally a polishing of the surface.
  • the polishing takes place according to the prior art in spherical surfaces over a large area with a polishing plate.
  • the invention is based on the object to provide a use of the apparatus for abrasive machining of surfaces and in particular for grinding and / or polishing surfaces of optical elements, which allows rapid processing of the surfaces regardless of the shape of the respective machined surface.
  • the apparatus for abrasive machining of surfaces comprises a tool having a fluid inlet and a fluid outlet.
  • a supply unit conveys to the fluid inlet a liquid in which abrasive agents are dissolved.
  • This fluid flows through the tool to an outlet through which it exits the tool.
  • This tool is positioned by a positioning device relative to the surface to be machined such that the outlet from which the liquid emerges, the surface to be machined is located in particular with a small distance. It is crucial that the area of the annular gap formed by the boundary walls of the outlet and by the surface to be machined is smaller than the cross-sectional area of the inlet.
  • the liquid in which abrasive agents are dissolved at a much higher pressure than the pressure with which it flows into the inlet, through the annular gap radially to the tool.
  • the machining of the surface of the workpiece takes place.
  • the surface is processed in the region of the annular gap and thus linearly grinding or polishing.
  • the machining time is shortened by orders of magnitude compared with the known methods or devices in which there is a substantially punctiform engagement between the tool and the workpiece.
  • the ratio of the pressure with which the liquid flows into the tool, to the pressure with which the liquid exits from the annular gap, is inversely proportional to the ratio of the cross-sectional area of the inlet to the cross-sectional area of the annular gap formed.
  • the inlet side is operated with comparatively low pressures: the feed unit conveys the liquid at a pressure of less than 20 bar, preferably less than 5 bar, possibly even only with atmospheric pressure.
  • the cross-sectional area of the inlet is at least a factor of five greater than the cross-sectional area of the annular gap formed. It is further preferred if the height of the annular gap formed is less than 3 mm and in particular is about 1 mm.
  • the positioning device has a control unit which controls the positioning of the tool in accordance with the surface data of the surface to be produced. It is preferred if the positioning of the tools takes place in such a way that the height of the annular gap remains constant during the displacement along the respective paths.
  • the positioning device can, in principle, along any tracks relative to the workpiece, d. H. move to the surface to be machined.
  • the web may be a meandering path, with either the tool or the workpiece or both being moved.
  • a simultaneous displacement of the tool and the element from which a surface is to be processed take place.
  • the tool is moved along tracks which extend through the surface vertex and at the same time the workpiece or the element to be machined by a rotary unit is rotated about an axis, in particular the axis of rotation of the surface to be produced.
  • the outlet has a circular cross-section
  • the tool has a (circular) -cylindrical outer contour at least in the region of the outlet.
  • the cross-sectional area of the inlet is smaller than that of the outlet, that a processing of the surface only linear (or annular) in the region of the annular gap and not in the center of the outlet.
  • the size of the tool is adapted to the shape of the surface to be processed:
  • the outer diameter of the tool in the region of the outlet may be on the order of half the aperture of the optical element, so that a very fast processing of the surface is achieved with the greatest possible homogeneity of the machining process.
  • the outer diameter of the tool is preferably of the order of the smallest radius (smallest main radius of curvature) of the surface; This ensures that the height of the annular gap over the entire annular gap formed is practically constant.
  • the device can be used for processing any surfaces of elements or workpieces, which may consist of any materials in principle.
  • the device can be used for machining turbine blades made of steel due to the high processing speed.
  • the respective elements may in the case of lenses, prisms, plane-parallel plates, etc. -. directly manufactured optical elements - made of quartz, an optical glass or a plastic material; If molds for casting and / or pressing etc. of optical elements are to be produced, the elements can also be made of a metal, such as steel, or a ceramic material.
  • the device is used for machining aspherical surfaces.
  • Fig. 1 shows a device, of which only the tool 1 is shown, in the machining of a flat surface 21 of a workpiece 2, which is a plane-parallel plate without limiting the generality.
  • the tool 1 has an inlet 11 and an outlet 12, the cross-sectional area of which is greater than that of the inlet 11.
  • An unillustrated supply unit conveys a liquid in which abrasive agents, such as abrasives or polishing agents are dissolved, into the inlet 11 of the tool 1
  • the tool 1 is from a positioning unit, not shown positioned relative to the workpiece 2 such that between the boundary walls 13 of the outlet 12 and the surface 21, an annular gap 3 is formed whose cross-sectional area is smaller and preferably substantially smaller than the cross-sectional area of the inlet 11.
  • the pressure with which the liquid exits from the annular gap 3 is increased by the ratio of the cross-sectional areas of the inlet 11 and of the annular gap 3.
  • the effective for the machining of the workpiece surface 21 pressure is thus much greater than the delivery pressure.
  • the positioning device moves the tool 1 parallel to the surface of the workpiece 2, while a rotary unit, also not shown rotates the workpiece 2 about an axis 22, so that the linear engagement along the annular gap 3 is moved over the workpiece 2 that the entire Surface 21 evenly processed, for example, is polished.
  • the diameter of the tool 1 is in the order of magnitude of the radius of the workpiece 2.
  • Fig. 2 shows a device in the processing of a curved and in particular aspherical surface 21 'of a workpiece 2.
  • the same parts are provided with the same reference numerals, so that dispenses with a new idea.
  • the diameter of the tool 1 is of the order of magnitude of the smallest radius of the aspheric surface 21 '.
  • the positioning unit also not shown, shifts the tool 1 along tracks extending through the apex of the surface 21 '.
  • the workpiece 2 is rotated about an axis of rotation 22 extending through the vertex.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Description

    Technisches Gebiet
  • Die Erfindung bezieht sich auf die Verwendung einer Vorrichtung zur abrasiven Bearbeitung von Flächen von Elementen und insbesondere von optischen Elementen bzw. Werkstücken gemäß Oberbegriff der Anspruchs 1.
    • Stand der Technik
  • Zur abrasiven Bearbeitung von Flächen, wie sie beispielsweise für die Herstellung von optischen Elementen, wie Linsen, Prismen, planparallelen Platten etc., aber auch von Formen für das Gießen oder das Pressen optischer Elemente erforderlich ist, sind die verschiedensten Verfahren und Vorrichtungen bekannt. Bei vielen der bekannten Verfahren bzw. Vorrichtungen wird die zu bearbeitende Fläche mit kontaktierenden Werkzeugen, wie z.B. Teller-Schleifern, Kugelschleifern etc. zunächst einem Schleifvorgang sowie ggf. einem Feinschleifvorgang und anschließend mit einem Polierwerkzeug einem Poliervorgang unterzogen. An Stelle von Schleifvorgängen ist es auch bekannt, die Flächen auf einer Drehbank mit einem geeigneten Drehmeißel einem Drehvorgang zu unterziehen oder ein anderes spanabhebendes Verfahren anzuwenden. Die meisten Bearbeitungsvorgänge, bei denen vergleichsweise viel Material abgetragen wird, erfordern zumindest dann, wenn optische Flächen hergestellt werden sollen, abschließend ein Polieren der Fläche. Das Polieren erfolgt nach dem Stand der Technik bei sphärischen Flächen großflächig mit einem Polierteller.
  • Probleme ergeben sich bei den herkömmlichen Verfahren und Vorrichtungen immer dann, wenn asphärische Flächen hergestellt werden sollen. Die Herstellung asphärischer Flächen erfolgt nach dem Stand der Technik mit Werkzeugen wie Kugelschleifern, die einen mehr oder weniger punktförmigen Eingriff mit der zu bearbeitenden Fläche haben und die längs einer Bahn über die zu bearbeitende Fläche geführt werden. Je nach Ausbildung des Werkzeugs wird die Fläche dabei geschliffen oder poliert. Aus Zeit- bzw. Kostengründen werden allerdings asphärische Flächen häufig nur bahnförmig geschliffen; das Polieren erfolgt dann nicht bahnförmig, sondern großflächig. Insbesondere dann, wenn die Asphärizität vergleichsweise groß ist, wie dies beispielsweise bei progressiven Brillengläsern der Fall ist, ergibt sich durch das flächige Polieren ein mehr oder weniger großer Polierfehler, der durch entsprechende Fertigungsvorhalte bei den vorangehenden Bearbeitungsvorgängen kompensiert werden muss.
  • Weiterhin ist es bekannt, Flächen von Werkstücken und insbesondere von optischen Elementen mit Fluidstrahlen zu bearbeiten. Die hierfür vorgeschlagenen Vorrichtungen sind jedoch vergleichsweise aufwendig und erlauben auf Grund der mehr oder weniger punktförmigen Bearbeitung der Fläche dennoch keine schnelle Herstellung der Flächen.
  • In der Druckschrift US 5,700,181 ist ein Werkzeug zur abrasiven Bearbeitung von Glasoberflächen gezeigt, das einen Einlass und einen Auslass für ein abrasives Fluid aufweist, mit einer Positioniereinrichtung, die das Werkzeug über der zu bearbeitende Fläche hält. Der Fluidstrom wird von den Seitenwänden des Auslasses und der zu bearbeitenden Fläche begrenzt und das Fluid strömt somit radial aus dem Auslass und tangential zur Oberfläche. Innerhalb des Werkzeuges herrscht ein hoher Druck.
    • Darstellung der Erfindung
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine Verwendung der Vorrichtung zur abrasiven Bearbeitung von Flächen und insbesondere zum Schleifen und/oder Polieren von Flächen von optischen Elementen anzugeben, die eine schnelle Bearbeitung der Flächen unabhängig von der Form der jeweils bearbeiteten Fläche erlaubt.
  • Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist im Patentanspruch 1 angegeben. Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Ansprüche 2 bis 13.
  • Die Vorrichtung zur abrasiven Bearbeitung von Flächen und insbesondere zum Schleifen und/ oder Polieren von optischen Elementen weist ein Werkzeug auf, das einen Fluid-Einlass und einen Fluid-Auslass hat. Eine Zuführeinheit fördert zu dem Fluid-Einlass eine Flüssigkeit, in der abrasive Mittel gelöst sind. Diese Flüssigkeit strömt durch das Werkzeug zu einem Auslass, durch den sie aus dem Werkzeug austritt. Dieses Werkzeug wird durch eine Positioniereinrichtung derart relativ zu der zu bearbeitenden Fläche positioniert, dass der Auslass, aus dem die Flüssigkeit austritt, der zu bearbeitenden Fläche insbesondere mit einem geringen Abstand gegenüber liegt. Dabei ist entscheidend, dass die Fläche des durch die Begrenzungswände des Auslasses und durch die zu bearbeitende Fläche gebildeten Ringspaltes kleiner als die Querschnittsfläche des Einlasses ist. Hierdurch tritt die Flüssigkeit, in der abrasive Mittel gelöst sind, mit einem wesentlich höheren Druck als dem Druck, mit dem sie in den Einlass einströmt, durch den Ringspalt radial zum Werkzeug aus. Durch die radial ausströmende Flüssigkeit erfolgt die Bearbeitung der Fläche des Werkstücks. Je nach der Art der in der Flüssigkeit gelösten abrasiven Mittel wird die Fläche im Bereich des Ringspaltes und damit linienförmig schleifend oder polierend bearbeitet. Durch die linienförmige Bearbeitung wird die Bearbeitungszeit im Vergleich zu den bekannten Verfahren bzw. Vorrichtungen, bei denen ein im wesentlichen punktförmiger Eingriff zwischen Werkzeug und Werkstück besteht, um Größenordnungen verkürzt.
  • Das Verhältnis des Drucks, mit dem die Flüssigkeit in das Werkzeug einströmt, zu dem Druck, mit dem die Flüssigkeit aus dem Ringspalt austritt, ist dabei umgekehrt proportional zum Verhältnis der Querschnittsfläche des Einlasses zur Querschnittsfläche des gebildeten Ringspaltes. Dies bedeutet, dass der "Bearbeitungsdruck" durch die Positionierung des Werkzeugs relativ zum Werkstück - anders ausgedrückt durch die Einstellung der Höhe des Ringspaltes - eingestellt werden kann, ohne dass der Druck, mit dem die Zuführeinheit die Flüssigkeit fördert, geändert werden müsste.
  • Erfindungsgemäß wird einlassseitig mit vergleichsweise niedrigen Drücken gearbeitet : die Zuführeinheit fördert die Flüssigkeit mit einem Druck kleiner 20 bar, bevorzugt kleiner 5 bar, ggf. sogar nur mit Atmosphärendruck. Für eine für den Bearbeitungsvorgang und die Bearbeitungsgeschwindigkeit vorteilhafte Druckerhöhung ist es bevorzugt, wenn die Querschnittsfläche des Einlasses wenigstens um den Faktor fünf größer als die Querschnittsfläche des gebildeten Ringspaltes ist. Dabei ist es weiterhin bevorzugt, wenn die Höhe des gebildeten Ringspaltes kleiner als 3 mm ist und insbesondere etwa 1 mm beträgt.
  • In jedem Falle ist es von Vorteil, wenn die Positioniereinrichtung eine Steuereinheit aufweist, die die Positionierung des Werkzeuges entsprechend den Flächendaten der herzustellenden Fläche steuert. Bevorzugt ist es, wenn die Positionierung des Werkzeugen dabei so erfolgt, dass die Höhe des Ringspaltes während der Verschiebung längs der jeweiligen Bahnen konstant bleibt.
  • Die Positioniereinrichtung kann das Werkzeug prinzipiell längs beliebiger Bahnen relativ zum Werkstück, d. h. zu der zu bearbeitenden Fläche verschieben. Beispielsweise kann die Bahn eine mäanderförmige Bahn sein, wobei entweder das Werkzeug oder das Werkstück oder beide bewegt werden.
  • Ferner kann eine gleichzeitige Verschiebung des Werkzeugs und des Elements, von dem eine Fläche bearbeitet werden soll, erfolgen. Im Falle rotationssymmetrischer Flächen oder nur geringfügig von der Rotationssymmetrie abweichender Flächen ist es bevorzugt, wenn das Werkzeug längs Bahnen bewegt wird, die durch den Flächenscheitel verlaufen und gleichzeitig das Werkstück bzw. das zu bearbeitende Element von einer Dreheinheit um eine Achse gedreht wird, die insbesondere die Rotationsachse der herzustellenden Fläche ist.
  • Um eine homogene Bearbeitung der Fläche längs des Ringspaltes zu erreichen, ist es ferner bevorzugt, wenn der Auslass einen kreisförmigen Querschnitt hat, und das Werkzeug zumindest im Bereich des Auslasses eine (kreis)-zylindrische Außenkontur aufweist.
  • Bei einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung wird dadurch, dass die Querschnittsfläche des Einlasses kleiner als die des Auslasses ist, erreicht, dass eine Bearbeitung der Fläche nur linienförmig (bzw. kreisringförmig) im Bereich des Ringspaltes und nicht auch im Zentrum des Auslasses erfolgt.
  • Weiterhin ist es bevorzugt, wenn die Größe des Werkzeugs der Form der zu bearbeitenden Fläche angepasst ist:
  • Zur Bearbeitung von planen Flächen kann der Außendurchmesser des Werkzeugs im Bereich des Auslasses in der Größenordnung der halben Apertur des optischen Elements liegen, so dass eine sehr schnelle Bearbeitung der Fläche bei größtmöglicher Homogenität des Bearbeitungsvorganges erreicht wird. Bei der Bearbeitung von gekrümmten Flächen liegt bevorzugt der Außendurchmesser des Werkzeugs in der Größenordnung des kleinsten Radius (kleinster Hauptkrümmungsradius) der Fläche; hierdurch wird sichergestellt, dass die Höhe des Ringspaltes über den gesamten gebildeten Ringspalt praktisch konstant ist.
  • Die Vorrichtung kann zum Bearbeiten beliebiger Flächen von Elementen bzw. Werkstücken eingesetzt werden, die aus prinzipiell beliebigen Materialien bestehen können. Beispielsweise kann die Vorrichtung aufgrund der hohen Bearbeitungsgeschwindigkeit zur Bearbeitung von Turbinenschaufeln aus Stahl eingesetzt werden.
  • Besonders bevorzugt ist jedoch die Verwendung einer Vorrichtung zum Schleifen und/oder Polieren optischer Flächen. Die jeweiligen Elemente können dabei im Falle von Linsen, Prismen, planparallelen Platten etc. - d.h. direkt hergestellter optischer Elemente - aus Quarz, einem optischen Glas oder einem Kunststoffmaterial bestehen; sollen Formen für das Gießen und/oder Pressen etc. von optischen Elementen hergestellt werden, können die Elemente auch aus einem Metall, wie Stahl, oder einem keramischen Material bestehen.
  • Da die Art des Abtrags im wesentlichen nicht von der Ausbildung des Werkzeugs, sondern von der Art der eingesetzten Flüssigkeit bzw. des (der) in der Flüssigkeit gelösten abrasiven Mittels (Mittel) abhängt, kann ein- und dieselbe Vorrichtung nacheinander zum Schleifen, gegebenenfalls Feinschleifen und abschließend zum Polieren eines Elements bzw. Werkstücks in ein- und derselben Aufspannung eingesetzt werden. Der Wechsel zwischen den einzelnen Bearbeitungsarten bedingt dann lediglich einen Austausch bzw. Wechsel des jeweils verwendeten Bearbeitungsfluids.
  • In jedem Falle ist es jedoch besonders bevorzugt, wenn die Vorrichtung zur Bearbeitung von asphärischen Flächen eingesetzt wird.
    • Kurze Beschreibung der Zeichnung
  • Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung exemplarisch beschrieben. Es zeigen:
    • Fig. 1
    eine Vorrichtung bei der Bearbeitung einer planen Fläche,
    Fig. 2
    eine Vorrichtung bei der Bearbeitung einer gekrümmten und insbesondere asphärischen Fläche.
    Darstellung eines Ausführungsbeispiels
  • Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung, von der lediglich das Werkzeug 1 dargestellt ist, bei der Bearbeitung einer planen Fläche 21 eines Werkstücks 2, das ohne Beschränkung der Allgemeinheit eine planparallele Platte ist. Das Werkzeug 1 weist einen Einlass 11 und einen Auslass 12 auf, dessen Querschnittsfläche größer ist als die des Einlasses 11. Eine nicht dargestellte Zuführeinheit fördert eine Flüssigkeit, in der abrasive Mittel, wie Schleifmittel oder Poliermittel gelöst sind, in den Einlass 11 des Werkzeugs 1. Das Werkzeug 1 wird von einer nicht dargestellten Positioniereinheit derart relativ zum Werkstück 2 positioniert, dass zwischen den Begrenzungswänden 13 des Auslasses 12 und der Fläche 21 ein Ringspalt 3 gebildet wird, dessen Querschnittsfläche kleiner und bevorzugt wesentlich kleiner als die Querschnittsfläche des Einlasses 11 ist. Hierdurch wird der Druck, mit dem die Flüssigkeit aus dem Ringspalt 3 austritt, um das Verhältnis der Querschnittsflächen des Einlasses 11 und des Ringspaltes 3 erhöht. Der für die Bearbeitung der Werkstück-Oberfläche 21 wirksame Druck ist damit wesentlich größer als der Förderdruck.
  • Die nicht dargestellte Positioniereinrichtung verschiebt das Werkzeug 1 parallel zur Oberfläche des Werkstücks 2, während eine ebenfalls nicht dargestellte Dreheinheit das Werkstück 2 um eine Achse 22 dreht, so dass der linienförmige Eingriff längs des Ringspaltes 3 so über das Werkstück 2 verschoben wird, dass die gesamte Fläche 21 gleichmäßig bearbeitet, beispielsweise poliert wird.
  • Der Durchmesser des Werkzeugs 1 liegt in der Größenordnung des Radius des Werkstücks 2.
  • Fig. 2 zeigt eine Vorrichtung bei der Bearbeitung einer gekrümmten und insbesondere asphärischen Fläche 21' eines Werkstücks 2. Gleiche Teile sind dabei mit den selben Bezugszeichen versehen, so dass auf eine erneute Vorstellung verzichtet wird. Der Durchmesser des Werkzeugs 1 liegt in der Größenordnung des kleinsten Radius der asphärischen Fläche 21'. Die ebenfalls nicht dargestellte Positioniereinheit verschiebt das Werkzeug 1 längs Bahnen, die durch den Scheitel der Fläche 21' verlaufen. Gleichzeitig wird das Werkstück 2 um eine durch den Scheitel verlaufende Rotationsachse 22 gedreht.
  • Die Erfindung wird durch die nachfolgenden Patentansprüche definiert.

Claims (13)

  1. Verwendung einer Vorrichtung zur abrasiven Bearbeitung von Flächen von Elementen mit
    - einem Werkzeug (1), das einen Einlass (11) und einen Auslass (12) aufweist,
    - einer Zuführeinheit, die zu dem Einlass eine Flüssigkeit fördert, in der abrasive Mittel gelöst sind, und die aus dem Auslass austritt, und
    - einer Positioniereinrichtung, die das Werkzeug (1) über die zu bearbeitende Fläche (21) führt und dabei derart positioniert, dass der Auslass (12) der zu bearbeitenden Fläche (21) gegenüber liegt, wobei die Fläche (21) des durch die Begrenzungswände (13) des Auslasses (12) und die zu bearbeitende Fläche (21; 21') gebildeten Ringspaltes (3) kleiner als die Querschnittsfläche des Einlasses (11) ist,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    die Zuführeinheit die Flüssigkeit mit einem Druck kleiner 20 bar, bevorzugt kleiner 5 bar fördert.
  2. Verwendung nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    die Querschnittsfläche des Einlasses (11) wenigstens um den Faktor fünf größer als die Querschnittsfläche des gebildeten Ringspaltes (3) ist.
  3. Verwendung nach Anspruch 1 oder 2,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    die Höhe des gebildeten Ringspaltes (3) kleiner als 3 mm ist und bevorzugt etwa 1 mm beträgt.
  4. Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    eine Dreheinheit vorgesehen ist, die das zu bearbeitende Element um eine Achse (22) dreht.
  5. Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    der Auslass (12) einen kreisförmigen Querschnitt hat, und dass das Werkzeug zumindest im Bereich des Auslasses (12) eine zylindrische Außenkontur aufweist.
  6. Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    die Querschnittsfläche des Einlasses (11) kleiner als die des Auslasses (12) ist.
  7. Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    zur Bearbeitung von planen Flächen (21) der Außendurchmesser des Werkzeugs im Bereich des Auslasses (12) in der Größenordnung der halben Apertur des optischen Elements liegt.
  8. Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    bei der Bearbeitung von gekrümmten Flächen (21') der Außendurchmesser des Werkzeugs in der Größenordnung des kleinsten Radius der Fläche (21) liegt.
  9. Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    die Positioniereinrichtung eine Steuereinheit aufweist, die die Positionierung des Werkzeuges entsprechend den Flächendaten der herzustellenden Fläche (21; 21') steuert.
  10. Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 zum Schleifen optischer Flächen (21; 21').
  11. Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 zum Polieren optischer Flächen (21; 21').
  12. Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 mit einer einzigen Vorrichtung zunächst zum Schleifen und anschliessend zum Polieren einer optischen Fläche (21; 21').
  13. Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 zur Bearbeitung von asphärischen Flächen (21; 21').
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