EP1998885A1 - Modul für ein modulares mikrofluidiksystem - Google Patents

Modul für ein modulares mikrofluidiksystem

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EP1998885A1
EP1998885A1 EP07727427A EP07727427A EP1998885A1 EP 1998885 A1 EP1998885 A1 EP 1998885A1 EP 07727427 A EP07727427 A EP 07727427A EP 07727427 A EP07727427 A EP 07727427A EP 1998885 A1 EP1998885 A1 EP 1998885A1
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EP
European Patent Office
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microfluidic
fluid
module
module according
insulating container
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP07727427A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Reinhold Schneeberger
Astrid Lohf
Robert Sendner
Johann Sippl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
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Filing date
Publication date
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    • F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
    • F28D21/00—Heat-exchange apparatus not covered by any of the groups F28D1/00 - F28D20/00
    • F28D2021/0019—Other heat exchangers for particular applications; Heat exchange systems not otherwise provided for
    • F28D2021/0077—Other heat exchangers for particular applications; Heat exchange systems not otherwise provided for for tempering, e.g. with cooling or heating circuits for temperature control of elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F2260/00—Heat exchangers or heat exchange elements having special size, e.g. microstructures
    • F28F2260/02—Heat exchangers or heat exchange elements having special size, e.g. microstructures having microchannels

Definitions

  • the invention relates to a module for a modular microfluidic diksystem in which in a row juxtaposed modules by connecting channels containing connecting parts are fluidly connected to each other.
  • Modular microfluidic systems as are known in the same way from WO 01/36085 A1, WO 01/73823 A2, WO 02/065221 A2 and WO 2005/107937 A1, consist of several modules, each of which has a microfluidic part and an associated electrical Steuerein ⁇ contain unit and are mounted on their backs on a mounting rail in series next to each other.
  • the control units of the different modules are connected to one another via an electrical line bus and the microfluidic parts via a fluid bus.
  • the fluid bus can be formed by the microfluidic parts of respective adjoining modules ent via connecting channels ⁇ fitting and the respective modules bridging Verbin ⁇ applied parts are joined together.
  • module-specific functions are exercised in the context of fluid treatment in the microfluidic system, wherein the treatment of fluids in particular their analysis and / or synthesis including the necessary ancillary functions such.
  • the fluids may be liquids, gases, or solids carried by carrier fluids.
  • the microfluidic parts such as.
  • As microreactors, mixers, Verweiler, etc., more micro- or macrofluidic units such as pumps, mass flow meters, etc. may be connected, which can not be readily implemented in the Mikrofluidik puzzle.
  • non-systemic Fluidikkom- components such.
  • B. non-system (micro) reactors, mixers, Verweiler, Vorerffler etc. in existing microfluidic systems to integrate.
  • external fluid connections for connecting the non-system fluidic components via hoses or capillaries can be provided at the connecting parts between the modules.
  • fluids are introduced from the microfluidic system into the system-external fluidic component and returned to the microfluidic system.
  • the tempering of such system foreign fluidic components the user is dependent on conventional thermostats, wherein the connecting lines between the fluidic component and the thermostat are relatively long and also not tempered.
  • the consequences are loss of temperature, pressure losses and dead ⁇ volumes.
  • the untempered interconnections prove very disruptive.
  • the invention is therefore the object of the Einbin ⁇ training system foreign fluidics in a microfluidics system with short connection paths and good Temperier tone allow.
  • the object is achieved by a module for a modular microfluidic system, in which in a row juxtaposed modules by connecting channels ent ⁇ holding connecting parts are fluidly connected to each other, wherein the module has the following features: - the module has a plate-shaped microfluidic part, which contains a fluid channel system and has on its upper side in edge regions to the potentially adjacent modules of the microfluidic fluid connections, wherein by means of the adjoining in edge regions at the top connecting parts, the fluidic connection to adjacent
  • microfluidic part Below the microfluidic part is one with a tempering fluid fillable and can be flowed through by this Insulating container arranged, which is closed at the top by serving as a cover microfluidic part,
  • the microfluidic part has on its underside on ⁇ closing means for fluidly connecting a housable in the insulating container fluidic component with the fluid channel system of the microfluidic part, and
  • the microfluidic part and / or the insulating container have fastening means for holding the fluidic component.
  • a separate module is provided which, like all other modules, is arranged in the microfluidic system.
  • the non-system Fluidikkom ⁇ component is connected via short tubes or capillaries with the microfluidic part of the relevant module and so involved in the microfluidic system.
  • Both the fluidic component and the hoses or capillaries for connection to the microfluidic part and the microfluidic part itself with the fluid channel system contained therein are tempered, ie heated or cooled, by the tempering fluid in the interior of the insulating container.
  • the Temperiertluid is preferably performed in a Temperiertluid- circuit so that the insulating container of the Temperiertluid is continuously flowing through it and the tem- can be regulated as Example ⁇ temperature of Temperiertluids outside the module by means of a thermostat.
  • the temperature control fluid is preferably mixed by means of a controllable mixing device comprising a hot fluid inlet and a cold fluid inlet.
  • the insulating container has an inlet for the tempering fluid in its lower region and an outlet on the underside of the plate-shaped microfluidic part, which outlet into a separate tempering fluid channel of the fluid channel system empties.
  • the temperature of the microfluidic directly in its interior, so that there is no temperature ⁇ turgradient the top of the insulating container and the fluidic component is can be placed in order to achieve a short connection paths very close to the microfluidic part.
  • the fluids can continue to be tempered after leaving the fluidic component.
  • the separate Temperiertluidkanal within the microfluidic part is preferably in thermal contact with predetermined fluid channels of the fluid channel system.
  • connection parts or the connection channels contained therein provision can be made for the separate temperature-control fluid channel to open into at least one separate fluid connection on the upper side of the plate-shaped microfluidic part.
  • the connecting part in question contains an additional Temperiertluidkanal for connection to the separate Temperiertluidkanal of the microfluidic part, said additional Temperiertluidkanal binding part preferably extends within the comparison in thermal contact with specified differently surrounded connecting channels.
  • the separate Temperiertluidkanal in the microfluidic leads, optionally via the additional Temperiertluid- channel in the connecting part, preferably to an outlet port, from which the Temperiertluid can be continued in the temperature control fluid circuit.
  • the outlet port via a Temperiertluid- conduction through the insulating container passes to the lower region of the insulating container with the local inlet ge ⁇ is and leave the insulated container there.
  • FIG. 1 shows an exemplary embodiment of a modular microfluidic system
  • FIG. 2 shows the upper part of one of the modules with a microfluidic part and connecting parts
  • FIG. 3 shows an example of the plate-shaped microfluidic part
  • Figure 5 shows the upper part of a module in a section along the row of modules
  • Figure 6 shows an embodiment of the module according to the invention.
  • FIG. 1 shows a microfluidic system with modules 1 to 7, which are arranged in a row next to each other and the back of a support frame 9 are held.
  • the modules 1 and 7 form the end modules, ie the start and end modules of the microfluidic system.
  • Each module 1 to 7 contains a microfluidic part and an associated electrical control unit.
  • the control units of the different modules are connected to one another via an electrical line bus and the microfluidic parts via a fluid bus.
  • the electrical line bus runs in the carrier frame 9, the modules 1 to 7 being releasably connected to the line bus via rear connectors.
  • the fluid bus is formed by connecting ⁇ channels containing compound parts micro- fluidic parts of adjacent modules 1 to 7 fluidly interconnected.
  • microfluidic parts are arranged in the module upper side and covered in normal operation of the microfluidic system by releasably maintained on the modules 1 to 7 ge ⁇ bubble 10th
  • the microfluidic parts each adjacent modules 1 to 7 connecting connecting ⁇ parts are covered by additional covers 11.
  • the call having 6 ⁇ 2 3 4 serves te and twice the width of the remaining modules 1,, 5 and 7 having module for receiving and tempering of a non-system fluidic component. This module 6 will be explained later with reference to FIG 6.
  • Figure 2 shows the upper part of one of the modules, for. B. 2, with removed covers 10, 11, so that the microfluidic part 12 and the connecting parts 13 and 14 to the neigh ⁇ ten modules 1 and 3 are visible.
  • the plate-shaped microfluidic part 12 lies with its underside in a ört ⁇ Lich limited area of the plate center on a bearing area of the module 2 and is pressed by means of a releasable fastening Be ⁇ elements 15 in the form of a screw against this overall.
  • the microfluidic part 12 contains a fluid channel system with fluid connections, which are arranged on the upper side 16 of the microfluidic part 12 in the edge regions to the microfluidic parts of the adjacent modules 1 and 3.
  • Rim areas rests.
  • a clamping member 17 which is in the area between the two microfluidic parts via another releasable fastening element 18, also in the form of a screw, connected to the connecting part 13 and this against the upper ⁇ sides of the two microfluidic parts pressed.
  • Figure 3 shows an example of the plate-shaped Mikroflui- dikteil 12, which may be formed as a single plate or in the form of a plate ⁇ composite of steel, glass, silicon or other suitable material.
  • the fluid ports 21 include recesses for receiving elastic sealing means 24 in the form of sealing rings.
  • positioning means in the form of bores 26 and 26 'are provided for receiving pilot pins 27 and 27', that for aligning the microfluidic part 12 with respect to the receiving module or to the Reg ⁇ tion of the connecting parts with respect to the microfluidic part 12 serve.
  • the positioning means 26, 26 ', 27, 27' is preferably arranged according to a predetermined coding forms or out ⁇ which only predetermined combinations of microfluidic part and module or connecting part and microfluidic part are permitted.
  • Figure 4 shows a module fastened to the top Adap ⁇ terplatte 28, the bearing surface 29 is formed for the microfluidic part 12 in the center thereof.
  • the support surface 29 contains an internal thread, into which the screw 15 can be screwed, so that the microfluidic part 12 is pressed against the support surface 29 by means of the screw 15 in the region of the middle of the plate.
  • the hole-and-pin combination 26 ', 27' provide DA for, on the one hand only a Siges for that module zuläs ⁇ microfluidic part 12 is mounted on the adapter plate 28 and on the other hand the microfluidic part is correctly aligned in its position 12th Terplatte on the underside of Adap ⁇ 28 is at least one further microfluidic and / or macrofluidic unit 31 mounted.
  • the microfluidic part 12 contains on its underside 25 additional fluid connections which serve to connect at least one further micro- or macro-fluidic unit 31.
  • micro- or macrofluidic Einhei- th 31 there may be pumps, valves, measurement or analysis devices, etc., which are not integrated into the microfluidic devices because of their size or sons ⁇ term reasons, but otherwise essential components of the modules are.
  • the further micro- or macrofluidic units 31 are accommodated within the module in a space below the adapter plate 28 and connected via fluid connection adapters 32 to the additional fluid connections on the underside 25 of the microfluidic part 12.
  • the fluid connection adapters 32 are arranged so as to be easily interchangeable with the adapter plate 28 and have the fluid connections 33 of the further micro- or macrofluidic units 31 on their upper sides, which protrude as far as the underside 25 of the microfluidic part 12, to the microfluidic part 12.
  • different adapter plates 28 may be provided.
  • Figure 4 also shows again the fluidic connection of the microfluidic parts 12 and 12 'of two adjacent modules by means of the connecting part 13, the two microfluidic parts 12 and 12' bridged while the part on the upper ⁇ 16 and 16 'in which the fluid ports 21, 21 'enthal ⁇ border and adjacent edge areas rests.
  • the clamping ⁇ part 17 which is connected in the region between the two microfluidic parts 12, 12 'via the further screw 18 with the connecting part 13 and this presses against the tops 16 and 16 'of the two microfluidic parts 12 and 12'.
  • the clamping part 17 has, in the area between the two microfluidic parts 12 and 12 ', a further support surface 34 for the connection part 13, which lies at least approximately in the plane of the tops 16 and 16' of the microfluidic parts 12 and 12 ', so that the connection part 13 in the assembled state rests against this further support surface 34 and can not bend or break under the pressure exerted by the screw 18 pressure.
  • FIG. 5 shows the upper part of the end module 1 and partly the module 2 in a section along the module row.
  • the adapter plate 28 mon ⁇ advantage that on its upper side a fluid connection adapter 32 for another micro- or macrofluidic unit 31 carries.
  • the unit 31 is mounted in the housing 35 and fluidly connected from below to the fluid connection adapter 32.
  • the further fluid connections 36 of the unit 31 are formed for connection to the microfluidic part 12.
  • the microfluidic part 12 lies with its underside 25 in the region of the middle of the plate on the support plate 29 formed on the adapter plate 28, which contains the internal thread 30 for screwing the screw 15, so that the microfluidic part 12 by means of the screw 15 in the middle of the plate against the Support surface 29 is pressed.
  • the adapter plate 20 further comprises an auxiliary ⁇ support surface 39 for the microfluidic part 12, which is in Be ⁇ train to the plate symmetrically to the center Fluidan gleich- adapter 32 disposed on.
  • the microfluidic part 12 contains in its interior fluid channels 40 which, depending on the function of the module 1, form, for example, a reactor, a mixer or a residence zone for fluids or several such functional units and parallel to the top and bottom 16 or 25 of the planar microfluidic component 12 are lost.
  • Those fluid channels 40 which are for connection to fluid channels in the microfluidic parts of potentially adjacent modules, here z.
  • As the module 2, are provided, open in the fluid ports 21, which are included on the top 16 of the microfluidic part 12 in the edge regions 22 and 23 to the potential neighboring modules. Additional fluid connections 37 on the underside 25 of the microfluidic part 12 serve to connect the further micro- or macrofluidic unit 31.
  • the fluid connections 21, 21 'of the adjacent microfluidic parts 12 and 12' are connected to one another by the connection channels 41 in the connection part 14, which bridges the two microfluidic parts and rests on their upper sides in the edge regions 23, 22 '.
  • edge regions 23, 22 ' is located on the undersides 25, 25' of the two microfluidic parts 12 and 12 'to the clamping part 17, which in Region between the two microfluidic parts 12 and 12 'via the further screw 18 with the connecting part 14 is ver ⁇ connected and this against the upper sides of the two micro fluidic parts 12 and 12' presses.
  • the connecting part 14 is also formed as a plate or plate combination and preferably of the same material as the microfluidic parts 12, 12 ' ⁇ out, so that the formation of electrical local elements is prevented.
  • a fluid connection part 42 for connection of external fluid lines 43 is provided for the end module 1 in order to be able to supply or discharge fluids to the end module 1 of the microfluidic system.
  • the fluid connection part 42 is fastened on the underside of the connection part 13 instead of a clamping part 17 by means of the further screw 18, thereby connecting the connection channels 41 in the connection part 13 to the external fluid lines 43.
  • Figure 6 shows the module 6 (see Figure 1), which for receiving a non-systemic Fluidikkomponente 44, z. B of a reactor.
  • the fluidic component 44 is by means of Be ⁇ fastening means 45 on the underside of the microfluidic part kept at a distance from this 12 and hoses 46, 47 connected with connecting means 48, 49 on the underside of the microfluidic part 12 over which it with predetermined fluid channels 40 is fluidly connected in the microfluidic part 12.
  • the fluid channels 40 are in turn dung channels over the Verbin ⁇ 41 in the connection parts 13, 14 fluidically connected with the neighboring modules 5 and 6.
  • the fluidic component 44 is located in an insulating container 50 which is top-closed by the microfluidic part 12 and is completely filled with a tempering fluid 51 and flows through it.
  • the insulating container 50 may be formed as a Dewar vessel and is here provided with an outer ⁇ insulation 52.
  • the microfluidic part 12 carries on its upper side a thermal insulation 65.
  • the tempering fluid 51 is guided in a Temperierfluid Vietnameselauf and enters the insulating container 50 via an inlet 53 in the lower region of the container 50.
  • the tempering fluid 51 leaves the container 50 via an outlet 54 at the bottom of the microfluidic part 12, the Mün ⁇ det in a separate Temperierfluid- channel 55 of the fluid channel system of the microfluidic 12.
  • the separate Temperierfluidkanal 55 runs within the microfluidic part 12 in thermal contact with the fluid channel 40, which leads the educt coming from the reactor 44, and opens into a separate fluid port 56 on the upper ⁇ side of the microfluidic part 12. From there is the tempering - Fluid 51 in an additional Temperierfluidkanal 57 of the connecting part 14 in thermal contact with the local connection channels 41 and finally back into the microfluidic part 12 again.
  • the tempering fluid 51 leaves the microfluidic part 12 on the underside of a training drain port 58 and from there via a Temperierfluid- Conducted 59 through the insulating container 50 passes to the lower portion of the container 50, where it makes this ver ⁇ .
  • the tubular tempering fluid line 59 can be removed, for. B. scattered ⁇ screwed, be.
  • the module 6 further includes a controllable by a control device 60 mixing device 61 for mixing the temperature control fluid 51 from a hot fluid inlet 62 and a cold fluid inlet 63.
  • a temperature sensor 64 is ⁇ built on the microfluidic part which can be connected to the controller 60.
  • 50 deflectors not shown here can be arranged in the insulating container.

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Abstract

Um in ein modulares Mikrofluidiksystem mit nebeneinander angeordneten und durch Verbindungskanäle enthaltende Verbindungsteile miteinander fluidisch verbindbaren Modulen systemfremde Fluidikkomponenten mit kurzen Verbindungswegen und guter Temperierbarkeit einbinden zu können, ist ein Modul (6) mit folgenden Merkmalen vorgesehen: das Modul (6) weist ein plattenförmiges Mikrofluidikteil (12) auf, das ein Fluidkanalsystem (40) enthält und auf seiner Oberseite in Randbereichen zu den potentiell benachbarten Modulen (5, 7) des Mikrofluidiksystems Fluidanschlüsse (21) aufweist, wobei mittels der in Randbereichen an der Oberseite anliegenden Verbindungsteile (13, 14) die fluidische Verbindung zu benachbarten Modulen (5, 7) herstellbar ist, unterhalb des Mikrofluidikteils (12) ist ein mit einem Temperierfluid (51) füllbarer und von diesem durchströmbarer Isolier-Behälter (50) angeordnet, der nach oben durch das als Deckel dienende Mikrofluidikteil (12) abgeschlossen ist, das Mikrofluidikteil (12) weist auf seiner Unterseite Anschlussmittel (48, 49) zum fluidischen Verbinden einer in dem Isolier-Behälter (50) unterbringbaren Fluidikkomponente (44) mit dem Fluidkanalsystem des Mikrofluidikteils (12) auf, das Mikrofluidikteil (12) und/oder der Isolier-Behälter (50) weisen Befestigungsmittel (45) zum Halten der Fluidikkomponente (44) auf.

Description

Modul für ein modulares Mikrofluidiksystem
Die Erfindung betrifft ein Modul für ein modulares Mikroflui- diksystem, in dem in einer Reihe nebeneinander angeordnete Module durch Verbindungskanäle enthaltende Verbindungsteile miteinander fluidisch verbindbar sind. Modulare Mikrofluidik- systeme, wie sie gleichermaßen aus der WO 01/36085 Al, WO 01/73823 A2 , WO 02/065221 A2 und der WO 2005/107937 Al bekannt sind, bestehen aus mehreren Modulen, die jeweils ein Mikrofluidikteil und eine zugehörige elektrische Steuerein¬ heit enthalten und an ihren Rückseiten an einer Tragschiene in Reihe nebeneinander montierbar sind. Die Steuereinheiten der unterschiedlichen Module sind über einen elektrischen Leitungsbus und die Mikrofluidikteile über einen Fluidbus miteinander verbunden. Wie die WO 02/065221 A2 zeigt, kann der Fluidbus dadurch gebildet werden, dass die Mikrofluidikteile jeweils benachbarter Module über Verbindungskanäle ent¬ haltende und die betreffenden Module überbrückende Verbin¬ dungsteile miteinander verbunden werden.
In den einzelnen Mikrofluidikteilen werden modulspezifische Funktionen im Rahmen der Fluidbehandlung in dem Mikrofluidiksystem ausgeübt, wobei unter Behandlung von Fluiden insbesondere deren Analyse und/oder Synthese einschließlich der dazu erforderlichen Nebenfunktionen, wie z. B. Pumpen, Temperieren, Filtern usw., zu verstehen ist; bei den Fluiden kann es sich um Flüssigkeiten, Gase oder von Trägerfluiden transportierte Feststoffe handeln. An den Mikrofluidikteilen, wie z. B. Mikroreaktoren, Mischer, Verweiler, usw., können weitere mikro- oder makrofluidische Einheiten wie Pumpen, Massendurchflussmesser usw. angeschlossen sein, die nicht ohne Weiteres in den Mikrofluidikteilen realisiert werden können .
Es besteht nun das Erfordernis auch systemfremde Fluidikkom- ponenten wie z. B. systemfremde (Mikro) reaktoren, Mischer, Verweiler, Vorerwärmer usw. in bestehende Mikrofluidiksysteme einbinden zu können. Dazu können beispielsweise an den Verbindungsteilen zwischen den Modulen externe Fluidanschlüsse zum Anschluss der systemfremden Fluidikkomponenten über Schläuche oder Kapillaren vorgesehen werden. Auf diese Weise werden Fluide aus dem Mikrofluidiksystem heraus in die systemfremde Fluidikkomponente hineingeschleust und diesen wieder in das Mikrofluidiksystem zurückgeleitet. Für die Temperierung solcher systemfremder Fluidikkomponenten ist der Benutzer auf herkömmliche Thermostate angewiesen, wobei die Verbindungsleitungen zwischen der Fluidikkomponente und dem Thermostat relativ lang und zudem nicht temperiert sind. Die Folge davon sind Temperaturverluste, Druckverluste und Tot¬ volumina. Insbesondere, wenn mehrere Reaktionsstufen auf unterschiedlichen Temperaturniveaus durchgeführt werden sol¬ len und dementsprechend mehrere Thermostaten verwendet wer¬ den, erweisen sich die untemperierten Verbindungsleitungen als sehr störend.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Einbin¬ dung systemfremder Fluidikkomponenten in ein Mikrofluidiksystem mit kurzen Verbindungswegen und guter Temperierbarkeit zu ermöglichen.
Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe durch ein Modul für ein modulares Mikrofluidiksystem gelöst, in dem in einer Reihe nebeneinander angeordnete Module durch Verbindungskanäle ent¬ haltende Verbindungsteile miteinander fluidisch verbunden sind, wobei das Modul folgende Merkmalen aufweist: - das Modul weist ein plattenförmiges Mikrofluidikteil auf, das ein Fluidkanalsystem enthält und auf seiner Oberseite in Randbereichen zu den potentiell benachbarten Modulen des Mikrofluidiksystems Fluidanschlüsse aufweist, wobei mittels der in Randbereichen an der Oberseite anliegenden Verbindungsteile die fluidische Verbindung zu benachbarten
Modulen herstellbar ist,
- unterhalb des Mikrofluidikteils ist ein mit einem Tem- perierfluid füllbarer und von diesem durchströmbarer Isolier-Behälter angeordnet, der nach oben durch das als Deckel dienende Mikrofluidikteil abgeschlossen ist,
- das Mikrofluidikteil weist auf seiner Unterseite An¬ schlussmittel zum fluidischen Verbinden einer in dem Isolier-Behälter unterbringbaren Fluidikkomponente mit dem Fluidkanalsystem des Mikrofluidikteils auf, und
- das Mikrofluidikteil und/oder der Isolier-Behälter weisen Befestigungsmittel zum Halten der Fluidikkomponente auf.
Für die systemfremde Fluidikkomponente ist also ein eigenes Modul vorgesehen, dass wie alle anderen Module in dem Mikro- fluidiksystem angeordnet wird. Die systemfremde Fluidikkom¬ ponente wird dabei über kurze Schläuche oder Kapillaren mit dem Mikrofluidikteil des betreffenden Moduls verbunden und so in das Mikrofluidiksystem eingebunden. Sowohl die Fluidikkomponente als auch die Schläuche bzw. Kapillaren zur Verbindung mit dem Mikrofluidikteil und das Mikrofluidikteil selbst mit dem darin enthaltenen Fluidkanalsystem werden durch das Temperiertluid im Inneren des Isolier-Behälters temperiert, d. h. erwärmt oder gekühlt.
Das Temperiertluid ist vorzugsweise in einem Temperiertluid- kreislauf geführt ist, so dass der Isolier-Behälter von dem Temperiertluid kontinuierlich durchflössen wird und die Tem- peratur des Temperiertluids außerhalb des Moduls beispiels¬ weise mittels eines Thermostaten geregelt werden kann.
Um die Temperierung der Fluidikkomponente beispielsweise bei exothermen Reaktionen oder zum Beenden von Reaktionen schnell regeln oder ändern zu können, wird das Temperiertluid vorzugsweise mittels einer steuerbaren Mischeinrichtung aus einem Warmfluidzulauf und einem Kaltfluidzulauf gemischt.
Bei einer vorteilhaften Weiterbildung des erfindungsgemäßen Moduls weist der Isolier-Behälter in seinem unteren Bereich einen Einlass für das Temperiertluid und an der Unterseite des plattenförmigen Mikrofluidikteils einen Auslass auf, der in einen separaten Temperiertluidkanal des Fluidkanalsystems mündet. Damit ist es möglich, das Mikrofluidikteil in seinem Inneren direkt zu temperieren, so dass es zu keinem Tempera¬ turgradient im oberen Bereich des Isolier-Behälters kommt und die Fluidikkomponente zwecks Erzielung kurzer Verbindungswege sehr nahe an dem Mikrofluidikteil angeordnet werden kann. Außerdem können dadurch die Fluide nach dem Verlassen der Fluidikkomponente weiterhin temperiert werden. Zu diesem Zweck verläuft der separate Temperiertluidkanal innerhalb des Mikrofluidikteils vorzugsweise in thermischem Kontakt zu vorgegebenen Fluidkanälen des Fluidkanalsystems .
Um auch die Verbindungsteile bzw. die darin enthaltenen Verbindungskanäle temperieren zu können, kann vorgesehen werden, dass der separate Temperiertluidkanal in mindestens einen separaten Fluidanschluss auf der Oberseite des plattenförmi- gen Mikrofluidikteils mündet. Das betreffende Verbindungsteil enthält einen zusätzlichen Temperiertluidkanal zur Verbindung mit dem separaten Temperiertluidkanal des Mikrofluidikteils, wobei der zusätzliche Temperiertluidkanal innerhalb des Ver- bindungsteils vorzugsweise in thermischem Kontakt zu vorgege¬ benen Verbindungskanälen verläuft.
Der separate Temperiertluidkanal in dem Mikrofluidikteil führt, gegebenenfalls über den zusätzlichen Temperiertluid- kanal in dem Verbindungsteil, vorzugsweise zu einem Auslass- anschluss, von dem aus das Temperiertluid in dem Temperier- fluidkreislauf weitergeführt werden kann. Um in dem Tempe- rierfluidkreislauf untemperierte, nichtisolierte oder nach¬ träglich zu isolierende Verbindungsleitungen möglichst kurz zu halten, der Auslassanschluss über eine Temperiertluid- leitung durch den Isolier-Behälter hindurch zu dem unteren Bereich des Isolier-Behälters mit dem dortigen Einlass ge¬ führt wird und dort den Isolier-Behälter verlässt.
Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird im Folgenden auf die Figuren der Zeichnung Bezug genommen; im Einzelnen zeigen : Figur 1 ein Ausführungsbeispiel eines modularen Mikroflui- diksystems,
Figur 2 den oberen Teil eines der Module mit einem Mikro- fluidikteil und Verbindungsteilen,
Figur 3 ein Beispiel für das plattenförmige Mikrofluidik- teil,
Figur 4 ein Beispiel für Montage der Mikrofluidikteile in den Modulen und die fluidische Verbindung der Mikro- fluidikteile zweier benachbarter Module mittels des Verbindungsteils,
Figur 5 den oberen Teil eines Moduls in einem Schnitt längs der Modulreihe, und
Figur 6 ein Ausführungsbeispiel für das erfindungsgemäße Modul .
Figur 1 zeigt ein Mikrofluidiksystem mit Modulen 1 bis 7, die in einer Reihe nebeneinander angeordnet und rückseitig an einem Trägerrahmen 9 gehalten sind. Dabei bilden die Module 1 und 7 die Endmodule, d. h. das Anfangs- und Endmodul, des Mikrofluidiksystems . Jedes Modul 1 bis 7 enthält ein Mikro- fluidikteil und eine zugehörige elektrische Steuereinheit. Die Steuereinheiten der unterschiedlichen Module sind über einen elektrischen Leitungsbus und die Mikrofluidikteile über einen Fluidbus miteinander verbunden. Der elektrische Lei- tungsbus verläuft in dem Trägerrahmen 9, wobei die Module 1 bis 7 über rückseitige Steckverbinder mit dem Leitungsbus lösbar verbunden sind. Der Fluidbus wird durch Verbindungs¬ kanäle enthaltende Verbindungsteile gebildet, die die Mikro- fluidikteile jeweils benachbarter Module 1 bis 7 fluidisch miteinander verbinden. Die Mikrofluidikteile sind im Bereich der Moduloberseiten angeordnet und im normalen Betrieb des Mikrofluidiksystems durch lösbar an den Modulen 1 bis 7 ge¬ haltene Abdeckhauben 10 abgedeckt. Die die Mikrofluidikteile jeweils benachbarter Module 1 bis 7 verbindenden Verbindungs¬ teile sind durch weitere Abdeckhauben 11 abgedeckt. Bei dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel dient das mit 6 bezeichne¬ te und die doppelte Breite der übrigen Module 1, 2, 3, 4, 5 und 7 aufweisende Modul zur Aufnahme und Temperierung einer systemfremden Fluidikkomponente . Dieses Modul 6 wird später anhand von Figur 6 näher erläutert.
Figur 2 zeigt den oberen Teil eines der Module, z. B. 2, bei abgenommenen Abdeckhauben 10, 11, so dass das Mikrofluidik- teil 12 und die Verbindungsteile 13 und 14 zu den benachbar¬ ten Modulen 1 und 3 hin sichtbar sind. Das plattenförmige Mikrofluidikteil 12 liegt mit seiner Unterseite in einem ört¬ lich begrenzten Bereich der Plattenmitte auf einer Auflage- fläche des Moduls 2 auf und wird mittels eines lösbaren Be¬ festigungselements 15 in Form einer Schraube gegen diese ge- presst. Das Mikrofluidikteil 12 enthält ein Fluidkanalsystem mit Fluidanschlüssen, die auf der Oberseite 16 des Mikroflui- dikteils 12 in den Randbereichen zu den Mikrofluidikteilen der benachbarten Module 1 und 3 hin angeordnet sind. Die Fluidanschlüsse jeweils zweier benachbarter Mikrofluidik- teile, z. B. 12 und das entsprechende Mikrofluidikteil des Moduls 1, sind durch die Verbindungskanäle in dem Verbin¬ dungsteil, z. B. 13, miteinander verbunden, das die beiden Mikrofluidikteile überbrückend auf deren Oberseiten in den
Randbereichen aufliegt. In den gegenüberliegenden Randbereichen an den Unterseiten der beiden benachbarten Mikrofluidikteile liegt ein Klemmteil 17 an, das im Bereich zwischen den beiden Mikrofluidikteilen über ein weiteres lösbares Befesti- gungselement 18, ebenfalls in Form einer Schraube, mit dem Verbindungsteil 13 verbunden ist und dieses gegen die Ober¬ seiten der beiden Mikrofluidikteile presst.
Figur 3 zeigt ein Beispiel für das plattenförmige Mikroflui- dikteil 12, das als Einzelplatte oder in Form eines Platten¬ verbunds aus Stahl, Glas, Silizium oder einem anderen geeigneten Material ausgebildet sein kann. Innerhalb der Platte bzw. Platten verlaufen Fluidkanäle eines Fluidkanalsystems im Wesentlichen parallel zu den beiden großflächigen Platten- hauptseiten und sind senkrecht dazu mit den Fluidanschlüssen 21 in den Randbereichen 22 und 23 der Oberseite 16 des Mikro- fluidikteils 12 verbunden. Die Fluidanschlüsse 21 enthalten Vertiefungen zur Aufnahme von elastischen Dichtungsmitteln 24 in Form von Dichtungsringen. Auf der Oberseite 16 und der Unterseite 25 des Mikrofluidikteils 12 sind Positioniermittel in Form von Bohrungen 26 und 26' zur Aufnahme von Fangstiften 27 und 27' vorgesehen, die zur Ausrichtung des Mikrofluidik- teils 12 in Bezug auf das aufnehmende Modul bzw. zur Ausrich¬ tung der Verbindungsteile in Bezug auf das Mikrofluidikteil 12 dienen. Dabei sind die Positioniermittel 26, 26', 27. 27' vorzugsweise entsprechend einer vorgegebenen Codierung ausge¬ bildet oder angeordnet, die nur vorgegebene Kombinationen von Mikrofluidikteil und Modul bzw. Verbindungsteil und Mikro- fluidikteil zulässt.
Figur 4 zeigt eine an der Moduloberseite befestigbare Adap¬ terplatte 28, in deren Mitte die Auflagefläche 29 für das Mikrofluidikteil 12 ausgebildet ist. Die Auflagefläche 29 enthält ein Innengewinde, in das die Schraube 15 eindrehbar ist, so dass das Mikrofluidikteil 12 mittels der Schraube 15 im Bereich der Plattenmitte gegen die Auflagefläche 29 ge- presst wird. Die Loch-Stift-Kombinationen 26', 27' sorgen da- für, dass einerseits nur ein für das betreffende Modul zuläs¬ siges Mikrofluidikteil 12 auf der Adapterplatte 28 montierbar ist und dass andererseits das Mikrofluidikteil 12 in seiner Lage korrekt ausgerichtet wird. An der Unterseite der Adap¬ terplatte 28 ist mindestens eine weitere mikro- und/oder makrofluidische Einheit 31 montierbar. Bei dem hier gezeigten Beispiel enthält das Mikrofluidikteil 12 an seiner Unterseite 25 zusätzliche Fluidanschlüsse, die zum Anschluss mindestens einer weiteren mikro- oder makrofluidischen Einheit 31 dienen. Bei diesen weiteren mikro- oder makrofluidischen Einhei- ten 31 kann es sich um Pumpen, Ventile, Mess- oder Analysengeräte usw. handeln, die aufgrund ihrer Größe oder aus sons¬ tigen Gründen nicht in die Mikrofluidikeinheiten integriert sind, aber ansonsten wesentliche Bestandteile der Module sind. Die weiteren mikro- oder makrofluidischen Einheiten 31 sind innerhalb des Moduls in einem Raum unter der Adapterplatte 28 untergebracht und über Fluidanschlussadapter 32 mit den zusätzlichen Fluidanschlüssen an der Unterseite 25 des Mikrofluidikteils 12 verbunden. Die Fluidanschlussadapter 32 sind leicht austauschbar an der Adapterplatte 28 angeordnet und weisen an ihren Oberseiten, die bis an die Unterseite 25 des Mikrofluidikteils 12 ragen, die Fluidanschlüsse 33 der weiteren mikro- oder makrofluidischen Einheiten 31 zum An- Schluss an das Mikrofluidikteil 12 auf. Für unterschiedliche weitere mikro- und/oder makrofluidische Einheiten 31 können unterschiedliche Adapterplatten 28 vorgesehen werden.
Figur 4 zeigt weiterhin nochmals die fluidische Verbindung der Mikrofluidikteile 12 und 12' zweier benachbarter Module mittels des Verbindungsteils 13, welches die beiden Mikro- fluidikteile 12 und 12 ' überbrückt und dabei auf deren Ober¬ seiten 16 und 16' in den die Fluidanschlüsse 21, 21' enthal¬ tenden und einander benachbarten Randbereichen aufliegt. In den gegenüberliegenden Randbereichen an den Unterseiten 25 und 25' der beiden Mikrofluidikteile 12, 12' liegt das Klemm¬ teil 17 an, das im Bereich zwischen den beiden Mikrofluidik- teilen 12, 12' über die weitere Schraube 18 mit dem Verbindungsteil 13 verbunden ist und dieses gegen die Oberseiten 16 und 16' der beiden Mikrofluidikteile 12 und 12' presst. Das Klemmteil 17 weist im Bereich zwischen den beiden Mikroflui- dikteilen 12 und 12 ' eine weitere Auflagefläche 34 für das Verbindungsteil 13 auf, die zumindest annähernd in der Ebene der Oberseiten 16 und 16' der Mikrofluidikteile 12 und 12' liegt, so dass das Verbindungsteil 13 im montierten Zustand an dieser weiteren Auflagefläche 34 anliegt und sich unter dem von der Schraube 18 ausgeübten Druck nicht weiter durchbiegen oder brechen kann.
Figur 5 zeigt den oberen Teil des Endmoduls 1 und teilweise das Modul 2 in einem Schnitt längs zur Modulreihe. Im oberen Bereich des Modulgehäuses 35 ist die Adapterplatte 28 mon¬ tiert, die auf ihrer Oberseite einen Fluidanschlussadapter 32 für eine weitere mikro- oder makrofluidische Einheit 31 trägt. Die Einheit 31 ist in dem Gehäuse 35 montiert und von unten mit dem Fluidanschlussadapter 32 fluidisch verbunden. An der Oberseite des Fluidanschlussadapters 32 sind die wei- teren Fluidanschlüsse 36 der Einheit 31 zum Anschluss an das Mikrofluidikteil 12 ausgeformt. Das Mikrofluidikteil 12 liegt mit seiner Unterseite 25 im Bereich der Plattenmitte auf der dafür an der Adapterplatte 28 ausgebildeten Auflagefläche 29 auf, die das Innengewinde 30 zum Eindrehen der Schraube 15 enthält, so dass das Mikrofluidikteil 12 mittels der Schraube 15 im Bereich der Plattenmitte gegen die Auflagefläche 29 ge- presst wird. Die Adapterplatte 20 weist weiterhin eine Hilfs¬ auflagefläche 39 für das Mikrofluidikteil 12 auf, die in Be¬ zug auf die Plattenmitte symmetrisch zu dem Fluidanschluss- adapter 32 angeordnet ist.
Das Mikrofluidikteil 12 enthält in seinem Inneren Fluidkanäle 40, die je nach Funktion des Moduls 1 beispielsweise einen Reaktor, einen Mischer oder eine Verweilstrecke für Fluide oder mehrere solche Funktionseinheiten bilden und parallel zu der Ober- und Unterseite 16 bzw. 25 des planaren Mikroflui- dikteils 12 verlaufen. Diejenigen Fluidkanäle 40, die zur Verbindung mit Fluidkanälen in den Mikrofluidikteilen potentiell benachbarter Module, hier z. B. das Modul 2, vorgesehen sind, münden in den Fluidanschlüssen 21, die auf der Oberseite 16 des Mikrofluidikteils 12 in den Randbereichen 22 und 23 zu den potentiellen Nachbarmodulen enthalten sind. Zusätzliche Fluidanschlüsse 37 auf der Unterseite 25 des Mikroflui- dikteils 12 dienen zum Anschluss der weiteren mikro- oder makrofluidischen Einheit 31.
Die Fluidanschlüsse 21, 21' der benachbarten Mikrofluidik- teile 12 und 12' sind durch die Verbindungskanäle 41 in dem Verbindungsteil 14 miteinander verbunden, das die beiden Mikrofluidikteile überbrückt und dabei auf deren Oberseiten in den Randbereichen 23, 22' aufliegt. In denselben Randbereichen 23, 22' liegt an den Unterseiten 25, 25' der beiden Mikrofluidikteile 12 und 12' das Klemmteil 17 an, das im Bereich zwischen den beiden Mikrofluidikteilen 12 und 12 ' über die weitere Schraube 18 mit dem Verbindungsteil 14 ver¬ bunden ist und dieses gegen die Oberseiten der beiden Mikro- fluidikteile 12 und 12' presst. Das Verbindungsteil 14 ist ebenfalls als Platte oder Plattenverbund und vorzugsweise aus demselben Material wie die Mikrofluidikteile 12, 12' ausge¬ bildet, so dass die Bildung von elektrischen Lokalelementen verhindert wird.
Die im Bereich der Fluidanschlüsse 21, 21' in Vertiefungen angeordneten elastischen Dichtungsringe 24 werden durch den Anpressdruck des Verbindungsteils 14 zusammengepresst und dichten die Fluidverbindungen nach außen ab. Dabei lassen die Dichtungsringe 24 in einem gewissen Maß in vertikaler Rich- tung unterschiedliche Dickentoleranzen oder Lagetoleranzen
(Höhenversatz) der jeweils benachbarten Mikrofluidikteile 12, 12' zu, ohne die Dichtigkeit des Systems zu gefährden.
Wie Figur 5 weiterhin zeigt, ist für das Endmodul 1 ein Fluidanschlussteil 42 zum Anschluss von externen Fluidlei- tungen 43 vorgesehen, um an dem Endmodul 1 des Mikrofluidik- systems Fluide zu- bzw. ableiten zu können. Das Fluidanschlussteil 42 ist anstelle eines Klemmteils 17 mittels der weiteren Schraube 18 an der Unterseite des Verbindungsteils 13 befestigt und verbindet dabei die Verbindungskanäle 41 in dem Verbindungsteil 13 mit den externen Fluidleitungen 43.
Figur 6 zeigt das Modul 6 (vgl. Figur 1), welches zur Aufnahme einer systemfremden Fluidikkomponente 44, z. B eines Reak- tors, dient. Die Fluidikkomponente 44 ist mit Hilfe von Be¬ festigungsmitteln 45 an der Unterseite des Mikrofluidikteils 12 in einem Abstand zu diesem gehalten und über Schläuche 46, 47 mit Anschlussmitteln 48, 49 an der Unterseite des Mikro- fluidikteils 12 angeschlossen, über die es mit vorgegebenen Fluidkanälen 40 in dem Mikrofluidikteil 12 fluidisch verbunden ist. Die Fluidkanäle 40 sind wiederum über die Verbin¬ dungskanäle 41 in den Verbindungsteilen 13, 14 mit den Nachbarmodulen 5 und 6 fluidisch verbunden. Die Fluidikkomponente 44 befindet sich in einem Isolier-Behälter 50, der oben durch das Mikrofluidikteil 12 deckelartig abgeschlossen ist und vollständig mit einem Temperierfluid 51 gefüllt ist und von diesem durchströmt wird. Der Isolier-Behälter 50 kann als Dewar-Gefäß ausgebildet sein und ist hier mit einer Außen¬ isolierung 52 versehen. Das Mikrofluidikteil 12 trägt auf seiner Oberseite eine Wärmeisolierung 65. Das Temperierfluid 51 ist in einem Temperierfluidkreislauf geführt und gelangt in den Isolier-Behälter 50 über einen Einlass 53 im unteren Bereich des Behälters 50. Das Temperierfluid 51 verlässt den Behälter 50 über einen Auslass 54 an der Unterseite des Mikrofluidikteils 12, der in einen separaten Temperierfluid- kanal 55 des Fluidkanalsystems des Mikrofluidikteils 12 mün¬ det. Der separate Temperierfluidkanal 55 verläuft innerhalb des Mikrofluidikteils 12 in thermischem Kontakt zu dem Fluid- kanal 40, der das aus dem Reaktor 44 kommende Edukt führt, und mündet in einen separaten Fluidanschluss 56 auf der Ober¬ seite des Mikrofluidikteils 12. Von dort wird das Temperier- fluid 51 in einem zusätzlichen Temperierfluidkanal 57 des Verbindungsteils 14 in thermischem Kontakt zu den dortigen Verbindungskanälen 41 und schließlich wieder zurück in das Mikrofluidikteil 12 geführt. Das Temperierfluid 51 verlässt das Mikrofluidikteil 12 an dessen Unterseite über einen Aus- lassanschluss 58 und wird von dort über eine Temperierfluid- leitung 59 durch den Isolier-Behälter 50 hindurch zu dem unteren Bereich des Behälters 50 geführt, wo es diesen ver¬ lässt. Zum Entleeren des Isolier-Behälters 50 kann die rohr- förmige Temperierfluidleitung 59 entfernt, z. B. herausge¬ schraubt, werden.
Das Modul 6 enthält ferner eine durch eine Steuereinrichtung 60 steuerbare Mischeinrichtung 61 zum Mischen des Temperier- fluids 51 aus einem Warmfluidzulauf 62 und einem Kaltfluid- zulauf 63. Im oberen Bereich des Isolier-Behälters 50 ist über das Mikrofluidikteil 12 ein Temperatursensor 64 einge¬ baut, der an der Steuereinrichtung 60 angeschlossen werden kann. Um den Wärmeübergang an der Fluidikkomponente zu ver- bessern, können in dem Isolier-Behälter 50 hier nicht gezeigte Umlenkbleche angeordnet werden.

Claims

Patentansprüche
1. Modul für ein modulares Mikrofluidiksystem, in dem in einer Reihe nebeneinander angeordnete Module (1 bis 7) durch Verbindungskanäle (41) enthaltende Verbindungsteile (13, 14) miteinander fluidisch verbindbar sind, mit folgenden Merkmalen :
- das Modul (6) weist ein plattenförmiges Mikrofluidikteil
(12) auf, das ein Fluidkanalsystem (40) enthält und auf seiner Oberseite in Randbereichen zu den potentiell be¬ nachbarten Modulen (5, 7) des Mikrofluidiksystems Fluid- anschlüsse (21) aufweist, wobei mittels der in Randberei¬ chen an der Oberseite anliegenden Verbindungsteile (13, 14) die fluidische Verbindung zu benachbarten Modulen (5, 7) herstellbar ist,
- unterhalb des Mikrofluidikteils (12) ist ein mit einem Temperiertluid (51) füllbarer und von diesem durchströmbarer Isolier-Behälter (50) angeordnet, der nach oben durch das als Deckel dienende Mikrofluidikteil (12) abge- schlössen ist,
- das Mikrofluidikteil (12) weist auf seiner Unterseite An¬ schlussmittel (48, 49) zum fluidischen Verbinden einer in dem Isolier-Behälter (50) unterbringbaren Fluidikkompo- nente (44) mit dem Fluidkanalsystem des Mikrofluidikteils (12) auf,
- das Mikrofluidikteil (12) und/oder der Isolier-Behälter
(50) weisen Befestigungsmittel (45) zum Halten der Flui- dikkomponente (44) auf.
2. Modul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das
Temperiertluid (51) in einem Temperiertluidkreislauf geführt ist .
3. Modul nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine steuer- bare Mischeinrichtung (61) zum Mischen des Temperiertluids aus einem Warmfluidzulauf (62) und einem Kaltfluidzulauf (63) .
4. Modul nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Isolier-Behälter (50) in seinem unteren Bereich einen Einlass (53) für das Temperierfluid (51) aufweist und an der Unterseite des plattenförmigen Mikrofluidikteils (12) einen Auslass (54) aufweist, der in einen separaten Temperierfluid- kanal (55) des Fluidkanalsystems mündet.
5. Modul nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der separate Temperierfluidkanal (55) innerhalb des Mikrofluidik- teils in thermischem Kontakt zu vorgegebenen Fluidkanälen (40) des Fluidkanalsystems verläuft.
6. Modul nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass der separate Temperierfluidkanal (55) in mindestens einen se- paraten Fluidanschluss (56) auf der Oberseite des plattenför¬ migen Mikrofluidikteils (12) mündet.
7. Modul nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass min¬ destens eines der Verbindungsteile (12, 13) einen zusätzli- chen Temperierfluidkanal (57) zur Verbindung mit dem separa¬ ten Temperierfluidkanal (55) des Mikrofluidikteils (12) ent¬ hält.
8. Modul nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der zusätzliche Temperierfluidkanal (57) innerhalb des Verbin¬ dungsteils (13) in thermischem Kontakt zu vorgegebenen Verbindungskanälen (41) verläuft.
9. Modul nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekenn- zeichnet, dass der separate Temperierfluidkanal (55) , ge¬ gebenenfalls über den zusätzlichen Temperierfluidkanal (57), zu einem Auslassanschluss (58) in dem Mikrofluidikteil (12) führt, von dem aus das Temperierfluid (51) in dem Temperier- fluidkreislauf weitergeführt werden kann.
10. Modul nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Auslassanschluss (58) über eine Temperierfluidleitung (59) durch den Isolier-Behälter (50) hindurch zu dem unteren Bereich des Isolier-Behälters (50) mit dem dortigen Einlass (53) geführt wird und dort den Isolier-Behälter (50) ver- lässt .
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