EP2228186A3 - Drahtsäge-Vorrichtung - Google Patents

Drahtsäge-Vorrichtung Download PDF

Info

Publication number
EP2228186A3
EP2228186A3 EP10156251A EP10156251A EP2228186A3 EP 2228186 A3 EP2228186 A3 EP 2228186A3 EP 10156251 A EP10156251 A EP 10156251A EP 10156251 A EP10156251 A EP 10156251A EP 2228186 A3 EP2228186 A3 EP 2228186A3
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
wire
cutting
saw apparatus
cutting wire
change
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP10156251A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP2228186A2 (de
Inventor
Albrecht Odenstein
Jochen Taubert
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Schott Solar AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Schott Solar AG filed Critical Schott Solar AG
Publication of EP2228186A2 publication Critical patent/EP2228186A2/de
Publication of EP2228186A3 publication Critical patent/EP2228186A3/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/02Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
    • B28D1/08Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing with saw-blades of endless cutter-type, e.g. chain saws, i.e. saw chains, strap saws
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/02Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
    • B28D1/10Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing with provision for measuring

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mining & Mineral Resources (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

Vorgeschlagen wird eine Drahtsäge-Vorrichtung zum Zerteilen eines kristallinen Barrens bzw. Ingots oder dergleichen. Die Drahtsäge-Vorrichtung kann z.B. als Squarer (100) ausgebildet sein, und weist einen über Drahtführungselemente (110) geführten und unter Zugspannung longitudinal bewegten Schneidedraht (140) auf, wobei die Drahtsäge-Vorrichtung (100) außerdem mindestens einen Sensor (135) aufweist, der in einem Umgebungsbereich (A) einer der Drahtführungselemente (110) angeordnet ist und der eine Änderung der aktuellen Position des Schneidedrahtes (140) bezogen auf eine als optimale Position vorgegebene Position (P0) quer zur longitudinalen Achse des Schneiddrahtes (140) erkennt. Damit kann z.B. das Auftreten eines Drahtsprungs des jeweiligen Schneidedrahtes (140) aus einer Rille heraus erkannt werden. Auch können andere Zustandsänderungen am Schneidedraht und/oder den Drahtführungselementen, wie z.B. Verschleiß, Änderung der Zugspannung usw. zuverlässig erkannt werden.
EP10156251A 2009-03-13 2010-03-11 Drahtsäge-Vorrichtung Withdrawn EP2228186A3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200910012679 DE102009012679A1 (de) 2009-03-13 2009-03-13 Drahtsäge-Vorrichtung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP2228186A2 EP2228186A2 (de) 2010-09-15
EP2228186A3 true EP2228186A3 (de) 2011-03-16

Family

ID=42284056

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP10156251A Withdrawn EP2228186A3 (de) 2009-03-13 2010-03-11 Drahtsäge-Vorrichtung

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP2228186A3 (de)
DE (1) DE102009012679A1 (de)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011004341B4 (de) * 2011-02-17 2014-05-28 Deutsche Solar Gmbh Säge-Vorrichtung
DE102011054107A1 (de) 2011-09-30 2013-04-04 Schott Solar Ag Vorrichtung zur Behebung eines Drahtrisses und damit ausgestattete Multi-Wire-Säge
DE102011055006B4 (de) 2011-11-02 2013-06-20 Schott Solar Ag Verfahren und Vorrichtung zum Führen eines Sägedrahtes
DE102012101251A1 (de) 2012-02-16 2013-08-22 Schott Solar Ag Verfahren und Drahtsäge zum Abtrennen einer Mehrzahl von Halbleiterscheiben von einem Halbleitermaterial-Rohblock
US9902000B2 (en) * 2015-04-20 2018-02-27 HE&M Inc. Band saw blade sensor and control system
DE102016220523B4 (de) * 2016-10-19 2019-02-14 Solarworld Industries Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Analyse optisch erfassbarer Inhomogenitäten auf der Oberfläche von Wafern
CN108407116B (zh) * 2018-03-30 2024-08-02 青岛高测科技股份有限公司 并线检测装置、方法及包括该并线检测装置的金刚线切片机
CN115870571A (zh) * 2022-12-05 2023-03-31 北京天科合达半导体股份有限公司 一种切割装置控制方法、系统、设备及介质
CN119347978B (zh) * 2024-10-18 2025-08-22 中原关键金属实验室 一种单晶线材的制备装置、方法及其应用

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0349863A (ja) * 1989-07-17 1991-03-04 Sumitomo Metal Ind Ltd 高脆性材料の切断方法及びその装置
JPH0724724A (ja) * 1993-03-23 1995-01-27 Nippei Toyama Corp ワイヤ位置の非接触検出方法
JPH0871911A (ja) * 1994-09-01 1996-03-19 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤーソーのトラバース装置
US5809986A (en) * 1995-09-08 1998-09-22 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Wire derailment detecting apparatus for wire saw
DE10220640A1 (de) * 2002-05-08 2002-12-19 Wacker Siltronic Halbleitermat Verfahren und Vorrichtung zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück
EP1738886A1 (de) * 2005-06-27 2007-01-03 HCT Shaping Systems S.A. Verfahren zur Erkennung einer Störung einer Drahtsägevorrichtung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE10003240B4 (de) * 1999-01-28 2008-08-21 Super Silicon Crystal Research Institute Corp. Verfahren zum Steuern einer Drahtsäge und Drahtsäge

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4049900B2 (ja) 1998-08-20 2008-02-20 株式会社スーパーシリコン研究所 ワイヤソー切断装置
EP1310316B1 (de) 2001-11-13 2008-10-22 sia Abrasives Industries AG Sägegarn
DE102007019566B4 (de) 2007-04-25 2012-11-29 Siltronic Ag Drahtführungsrolle für Drahtsäge

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0349863A (ja) * 1989-07-17 1991-03-04 Sumitomo Metal Ind Ltd 高脆性材料の切断方法及びその装置
JPH0724724A (ja) * 1993-03-23 1995-01-27 Nippei Toyama Corp ワイヤ位置の非接触検出方法
JPH0871911A (ja) * 1994-09-01 1996-03-19 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤーソーのトラバース装置
US5809986A (en) * 1995-09-08 1998-09-22 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Wire derailment detecting apparatus for wire saw
DE10003240B4 (de) * 1999-01-28 2008-08-21 Super Silicon Crystal Research Institute Corp. Verfahren zum Steuern einer Drahtsäge und Drahtsäge
DE10220640A1 (de) * 2002-05-08 2002-12-19 Wacker Siltronic Halbleitermat Verfahren und Vorrichtung zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück
EP1738886A1 (de) * 2005-06-27 2007-01-03 HCT Shaping Systems S.A. Verfahren zur Erkennung einer Störung einer Drahtsägevorrichtung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Also Published As

Publication number Publication date
DE102009012679A1 (de) 2010-09-16
EP2228186A2 (de) 2010-09-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2228186A3 (de) Drahtsäge-Vorrichtung
EP2679336B1 (de) Spannvorrichtung zum Dehnen eines Gewindebolzens
EP1695934A3 (de) Vorrichtung zum Zuführen von Faserbändern zu einer Wirkmaschine
EP2191907A3 (de) Metallbearbeitungsmaschine mit Zuführvorrichtung für stabförmige Werkstücke
EP2886264A3 (de) Vorrichtung zum Bearbeiten einer Struktur sowie Raumflugkörper
EP2805791A3 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Erkennen eines Schnittabrisses
EP3012196A1 (de) Einrichtung zur anordnung eines kantenschutzmittels und vorrichtung zum umreifen von packstücken mit vorgenannter einrichtung
DE202007015008U1 (de) Vorrichtung zum Sammeln eines Schleppkabels
DE202008002576U1 (de) Drehbar und/oder höhenverstellbar gelagerte Antriebseinheit
EP2181839A3 (de) Stempel für eine Rundläuferpresse
DE706560C (de) Mit Schneidzaehnen aus hochwertigem Werkstoff besetzte Saegekette
EP2865258A3 (de) Landwirtschaftliches Arbeitsgerät
EP2357310A3 (de) Rollladensystem
DE102007044589A1 (de) Maschine zum Bearbeiten von Holzteilen oder ähnlichem
EP1138426A3 (de) Rohrschneidemaschine
EP2764963A3 (de) Vorrichtung zum dreiseitigen Beschnitt von Produkten
DE202014106240U1 (de) Drahtzugnadel
EP2329777A3 (de) Vorrichtung zur Entfernung von Zecken aus einem menschlichen oder tierischen Körper
EP2404694B1 (de) Einrichtung zur Überwachung einer Öffnungsweite
EP3069837B1 (de) Bearbeitungsvorrichtung
EP2502860A3 (de) Vorrichtung zum Aufwickeln einer Materialbahn
EP1669232A3 (de) Verdunkelungsvorrichtung mit aufrollbarem Rollo
EP2876061A3 (de) Führung für ein Transportband in einer Druckmaschine
AT514186A1 (de) Vorrichtung zum Führen von langgestrecktem metallischem Gut zwischen einer Gutablaufeinrichtung und einem Verbraucher
CN205764497U (zh) 用于锯条焊接机的锯条导向机构

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL BA ME RS

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL BA ME RS

17P Request for examination filed

Effective date: 20110407

17Q First examination report despatched

Effective date: 20130527

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWAN

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20151001