EP2379927A1 - Verbindungseinrichtung für eine vakuumanlage - Google Patents

Verbindungseinrichtung für eine vakuumanlage

Info

Publication number
EP2379927A1
EP2379927A1 EP10700693A EP10700693A EP2379927A1 EP 2379927 A1 EP2379927 A1 EP 2379927A1 EP 10700693 A EP10700693 A EP 10700693A EP 10700693 A EP10700693 A EP 10700693A EP 2379927 A1 EP2379927 A1 EP 2379927A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
pipe socket
pipe
connecting device
flange
end portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP10700693A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Philipp Wagner
Gian-Reto Peter Monauni
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TEL Solar AG
Original Assignee
Oerlikon Solar IP AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Solar IP AG filed Critical Oerlikon Solar IP AG
Publication of EP2379927A1 publication Critical patent/EP2379927A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L27/00—Adjustable joints; Joints allowing movement
    • F16L27/02—Universal joints, i.e. with mechanical connection allowing angular movement or adjustment of the axes of the parts in any direction
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L27/00—Adjustable joints; Joints allowing movement
    • F16L27/02—Universal joints, i.e. with mechanical connection allowing angular movement or adjustment of the axes of the parts in any direction
    • F16L27/026—Universal and axially displaceable joints
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/08—Sealings
    • F04D29/083—Sealings especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L27/00—Adjustable joints; Joints allowing movement
    • F16L27/10—Adjustable joints; Joints allowing movement comprising a flexible connection only
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L27/00—Adjustable joints; Joints allowing movement
    • F16L27/10—Adjustable joints; Joints allowing movement comprising a flexible connection only
    • F16L27/1012—Flanged joints
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L27/00—Adjustable joints; Joints allowing movement
    • F16L27/10—Adjustable joints; Joints allowing movement comprising a flexible connection only
    • F16L27/1017—Joints with sleeve or socket
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L51/00—Expansion-compensation arrangements for pipe-lines

Definitions

  • the invention relates to a connection device for a vacuum system.
  • Such connecting devices are used in the connection of assemblies such as vacuum chambers, pumps, etc. through lines. They must be vacuum-tight, even if the connected parts have manufacturing tolerances, vibrations are exposed and subjected to different thermal expansions. In addition, they must withstand corrosive gases, such as those used above all for the cleaning of system parts.
  • a known generic connection device which is described in more detail below, comprises a bellows made of metal, e.g. corrosion-resistant spring steel, INCONEL or aluminum, which ensures the required flexibility.
  • metal e.g. corrosion-resistant spring steel, INCONEL or aluminum
  • Such connecting devices have proven themselves, but are very expensive, especially when a bellows from INCONEL is used.
  • the invention is based on the object to provide a generic connection device, which is also releasable and reliable gas-tight and offers sufficient flexibility, but can be made much cheaper.
  • This object is solved by the features in the characterizing part of claim 1.
  • the connecting device according to the invention can be easily produced and adjusted when the system is stationary, but nevertheless provides a reliable gastight seal both under operating conditions and outside the operating times. Under operating conditions, it is stable against corrosive gases. The cost savings over known generic
  • Connecting devices is considerable. It can be 50% or more.
  • FIG. 1 shows a longitudinal section through a known generic connection device
  • Fig. 2 shows a corresponding longitudinal section through an inventive connecting device, which represents only one embodiment.
  • the known generic connection device has a bellows 1 made of metal, eg corrosion-resistant spring steel, INCONEL or aluminum, one end, the opening surrounding the opening, with the flange 2 and the other end is welded to a ring 3, which also by a screw 4 is connected to the flange 2.
  • the ring 3 is also releasably connected by a screw 5 with a piece of pipe 6, but gas-tight.
  • the bellows 1 allows movement of the ring 3 relative to the flange 1 both in the longitudinal direction as well as limited across.
  • the additional mechanical connection through the screw 4 with at least one bolt, which is surrounded by a compression spring and is biased by it, is designed so that it does not affect these possibilities.
  • the connecting device 15 comprises two flanges 10, 11 each having a pipe section or pipe socket 16 arranged thereon; 18, which are arranged one inside the other, that the pipe section 16 and the pipe socket 18 are aligned on at least a partial section substantially coaxially and enclose a circumferential annular gap.
  • a main sealing ring 12 made of plastic, preferably Teflon is arranged in this annular gap (on the said section) between the outer surface of the pipe section 16 and the inner surface of the tube piece 16 surrounding raw pipe 18, a main sealing ring 12 made of plastic, preferably Teflon is arranged. It is dimensioned so that in said portion of an inner sealing surface of the same abuts against the outside of the pipe section 16 and an outer lateral surface on the inside of the pipe socket 18.
  • an auxiliary seal between the pipe section 16 and the pipe socket 18 used, for example a radial shaft seal 13.
  • the pipe piece 16 heats up to an operating temperature which, for example, is reached. 50 ° or more, above the ambient temperature.
  • Plastic, in particular Teflon, the preferred material for the main seal ring 12 is a very good thermal insulator, so that the pipe socket 18 remains substantially at ambient temperature, resulting in a temperature difference between the same and the pipe section 16.
  • the pipe section 16 expands and presses against the inner sealing surface of the main sealing ring 12, the outer surface thereof is thereby pressed against the inside of the pipe socket 18. This causes the connection pipe socket 18 -
  • Main seal ring 12 - pipe section 16 is gas-tight or vacuum-tight and the underlying radial shaft seal 13 against aggressive gases such. Fluorine is protected. The possibility of expansion in the longitudinal direction of the pipe section 16 and the pipe socket 18 is still guaranteed. Experiments even showed a higher tightness of the connecting device according to the present invention as the welded solution according to the prior art.
  • Inconel bellows can achieve cost savings of> 50%.
  • the production of turned and milled parts is less expensive than the known design of the connecting device.
  • a spring-clamped with a spring screw 17 fulfills the same function as the screw 4 in Fig. 1st

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Joints Allowing Movement (AREA)
  • Joints With Pressure Members (AREA)

Abstract

Ein von einem Flansch (11) umgebener Rohrstutzen (18) nimmt einen Endabschnitt eines Rohrstücks (16) auf. In einem zwischen denselben liegenden Ringspalt ist ein Hauptdichtungsring (12) aus Kunststoff, vorzugsweise Teflon angeordnet und gegen das Ende des Rohrstutzens (18) eine Hilfsdichtung mit z.B. einem Radialwellendichtring (13). Ausserhalb von Betriebszeiten, wenn der Rohrstutzen (18) und das Rohrstück (16) etwa die gleiche Umgebungstemperatur haben, ist das Rohrstück (16) gegenüber dem Rohrstutzen (18) beschränkt beweglich, d.h. verschiebbar und neigbar, während die Dichtfunktion vor allem von der Hilfsdichtung wahrgenommen wird. Im Betrieb nimmt das Rohrstück (16) eine höhere Betriebstemperatur an und dehnt sich aus, sodass der Hauptdichtungsring (12) gegen die Innenseite des Rohrstutzens (18) gepresst wird und die Dichtfunktion übernimmt, sodass der Radialwellendichtring (13) vor korrosiven Gasen geschützt ist. Das Rohrstück (16) ist auch dann gegenüber dem Rohrstutzen (18) verschieblich.

Description

B E S C H R E I B U N G
VERBINDUNGSEINRICHTUNG FÜR EINE VAKUUMANLAGE
Technisches Gebiet
Die Erfindung betrifft eine Verbindungseinrichtung für eine Vakuumanlage. Derartige Verbindungseinrichtungen werden bei der Verbindung von Baugruppen wie Vakuumkammern, Pumpen usw. durch Leitungen eingesetzt. Sie müssen vakuumdicht sein, auch wenn die verbundenen Teile Fertigungstoleranzen aufweisen, Schwingungen ausgesetzt und unterschiedlichen Wärmedehnungen unterworfen sind. Ausserdem müssen sie korrosiven Gasen standhalten, wie sie vor allem zur Reinigung von Anlagenteilen eingesetzt werden.
Stand der Technik
Eine bekannte gattungsgemässe Verbindungseinrichtung, welche weiter unten näher beschrieben ist, weist einen Faltenbalg aus Metall, z.B. korrosionsbeständigem Federstahl, INCONEL oder Aluminium auf, welcher die erforderliche Beweglichkeit gewährleistet . Derartige Verbindungseinrichtungen haben sich bewährt, sind jedoch sehr teuer, besonders wenn ein Faltenbalg aus INCONEL eingesetzt wird.
Darstellung der Erfindung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine gattungsgemässe Verbindungseinrichtung anzugeben, welche ebenfalls lösbar und dabei zuverlässig gasdicht ist und ausreichende Beweglichkeit bietet, aber wesentlich billiger hergestellt werden kann. Diese Aufgabe wird durch die Merkmale im Kennzeichen des Anspruchs 1 gelöst . Die erfindungsgemässe Verbindungseinrichtung ist bei stillstehender Anlage leicht herstellbar und einstellbar, bietet aber dennoch sowohl unter Betriebsbedingungen als auch ausserhalb der Betriebszeiten einen zuverlässig gasdichten Abschluss . Unter Betriebsbedingungen ist sie standfest gegenüber korrosiven Gasen. Die Kostenersparnis gegenüber bekannten gattungsgemässen
Verbindungseinrichtungen ist beträchtlich. Sie kann 50% und mehr betragen.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Figuren näher erläutert . Es zeigen
Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine bekannte gattungsgemässe Verbindungseinrichtung und
Fig. 2 einen entsprechenden Längsschnitt durch eine erfindungsgemässe Verbindungseinrichtung, welche lediglich ein Ausführungsbeispiel darstellt.
Wege zur Ausführung der Erfindung
Die bekannte gattungsgemässe Verbindungseinrichtung gemäss Fig. 1 weist einen Faltenbalg 1 aus Metall, z.B. korrosionsbeständigem Federstahl, INCONEL oder Aluminium auf, dessen eines Ende, die Oeffnung umgebend, mit dem Flansch 2 und dessen anderes Ende mit einem Ring 3 verschweisst ist, der ausserdem durch eine Schraubverbindung 4 mit dem Flansch 2 verbunden ist. Der Ring 3 ist ausserdem durch eine Verschraubung 5 mit einem Rohrstück 6 lösbar, aber gasdicht verbunden. Der Faltenbalg 1 erlaubt Bewegung des Rings 3 gegenüber dem Flansch 1 sowohl in Längsrichtung als auch beschränkt quer dazu. Die zusätzliche mechanische Verbindung durch die Schraubverbindung 4 mit mindestens einem Bolzen, welcher von einer Druckfeder umgeben und durch sie gegengespannt ist, ist so ausgebildet, dass sie diese Möglichkeiten nicht beeinträchtigt.
Die erfindungsgemässe Verbindungseinrichtung 15 gemäss Fig. 2 umfasst zwei Flansche 10, 11 mit je einem daran angeordneten Rohrstück bzw. Rohrstutzen 16; 18, die ineinander so angeordnet sind, dass das Rohrstück 16 und der Rohrstutzen 18 auf wenigstens einem Teilabschnitt im wesentlichen koaxial ausgerichtet sind und einen umlaufenden Ringspalt einschliessen. In diesem Ringspalt (auf dem besagten Teilabschnitt) zwischen der Aussenfläche des Rohrstücks 16 und der Innenfläche des das Rohrstück 16 umgebenden Rohstutzens 18 ist ein Hauptdichtungsring 12 aus Kunststoff, vorzugsweise Teflon angeordnet. Er ist so dimensioniert, dass in besagtem Teilabschnitt eine innere Dichtfläche desselben an der Aussenseite des Rohrstücks 16 anliegt und eine äussere Mantelfläche an der Innenseite des Rohrstutzens 18. Als weitere Abdichtung, die vor allem im kalten Zustand wirksam ist, wird eine Hilfsdichtung zwischen dem Rohrstück 16 und dem Rohrstutzen 18 eingesetzt, z.B. ein Radialwellendichtring 13.
Die Wahl der Materialien und der Fertigungstoleranzen des Hauptdichtungsrings 12 sowie des Rohrstücks 16 und des Rohrstutzens 18 wird nun so vorgenommen, dass im Nicht - Betriebszustand, wenn sowohl das Rohrstück 16 als auch der Rohrstutzen 18 ungefähr die gleiche Umgebungstemperatur angenommen haben, dieselben mit ihren Flanschen 10; 11 gegeneinander gut beweglich sind, was die Ausrichtbarkeit des Verbindungsstücks 15 gewährleistet seinen Einbau ermöglicht. Die Abdichtung zwischen dem Rohrstutzen 18 und dem Rohrstück 16 durch den Hauptdichtungsring 12 würde in diesem Zustand die Anforderung „vakuumdicht" jedoch nicht erfüllen. Die Hilfsdichtung mit dem Radialwellendichtring 13, evtl. zusammen mit einem als Druckstufe wirkenden metallischen Kragen 14 des Rohrstutzens 18 sorgt in diesem Zustand im wesentlichen für die Dichtheit.
Strömt nun während des Betriebs heisses Arbeitsgas durch das Verbindungsstück 15, erwärmt sich das Rohrstück 16 auf eine Betriebstemperatur, welche, z.B. um 50° oder mehr, über der Umgebungstemperatur liegt. Kunststoff, inbesondere Teflon, das bevorzugte Material für den Hauptdichtungsring 12, ist ein sehr guter Wärmeisolator, sodass der Rohrstutzen 18 im wesentlichen auf Umgebungstemperatur bleibt, woraus sich eine Temperaturdifferenz zwischen demselben und dem Rohrstück 16 ergibt. Während sich also der Durchmesser des Rohrstutzens 18 nicht wesentlich ändert, dehnt sich das Rohrstück 16 aus und drückt gegen die innere Dichtfläche des Hauptdichtungsrings 12, dessen äussere Mantelfläche dadurch gegen die Innenseite des Rohrstutzens 18 gepresst wird. Das bewirkt, dass die Verbindung Rohrstutzen 18 -
Hauptdichtungsring 12 - Rohrstück 16 gasdicht oder vakuumdicht wird und der dahinter liegende Radialwellendichtring 13 vor aggressiven Gasen wie z.B. Fluor geschützt ist. Die Möglichkeit der Ausdehnung in Längsrichtung des Rohrstücks 16 und des Rohrstutzens 18 ist nach wie vor gewährleistet . Versuche ergaben sogar eine höhere Dichtheit der Verbindungseinrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung als die geschweisste Lösung gemäss Stand der Technik.
Durch den Verzicht auf einen angeschweissten biegsamen
Faltenbalg aus Inconel lassen sich Kostenersparnisse von >50% erzielen. Die Fertigung aus Dreh- und Frästeilen ist weniger aufwändig als die bekannte Ausführung der Verbindungseinrichtung .
Um die Dichtheit zu erhöhen, zu steuern oder zu prüfen, insbesondere bevor Rohrstück 16 die Betriebstemperatur erreicht hat, kann dasselbe mit einer Heizung versehen werden, z.B. mit einer elektrischen Widerstandsheizung. Diese kann aussen auf den Flansch 10 aufgewickelt oder in Nuten eingelassen werden. Dadurch lässt sich die oben beschriebene Dichtwirkung auch in Betriebspausen aufrechterhalten. Eine mit einer Feder gegengespannte Schraubverbindung 17 erfüllt dieselbe Funktion wie die Schraubverbindung 4 in Fig. 1.
Bezugszeichenliste
1 Faltenbalg 2 Flansch
3 Ring
4 Schraubverbindung
5 Verschraubung
6 Rohrstück 10 Flansch
11 Flansch
12 Hauptdichtungsring
13 Radialwellendichtring
14 Kragen 15 Verbindungseinrichtung
16 Rohrstück
17 Schraubverbindung
18 Rohrstutzen

Claims

P A T E N T A N S P R Ü C H E
1. Verbindungseinrichtung (15) für eine Vakuumanlage, mit einem Flansch (11) , welcher eine Oeffnung umgibt sowie einem mit der besagten Oeffnung gasdicht verbundenen Rohrstück (16) , dadurch gekennzeichnet, dass der
Flansch (11) Teil eines einstückigen Verbindungsteils ist, welches ausserdem einen die Oeffnung umgebenden, an den Flansch (11) anschliessenden Rohrstutzen (18) umfasst, der einen Endabschnitt des Rohrstücks (16) mit Abstand umgibt, sodass zwischen denselben ein Ringspalt liegt und eine Hauptdichtung mit einem Hauptdichtungsring (12) aus elastischem Material vorgesehen ist, welcher zwischen dem Rohrstutzen (18) und dem besagten Endabschnitt angeordnet ist, derart, dass der
Endabschnitt gegenüber dem Hauptdichtungsring (12) Spiel hat, wenn seine Temperatur wie die des Rohrstutzens einer Umgebungstemperatur entspricht, während der Hauptdichtungsring (12) zwischen dem Endabschnitt und dem Rohrstutzen (18) geklemmt ist, derart, dass er den Ringspalt zwischen dem Rohrstutzen (18) und dem Endabschnitt gasdicht verschliesst , wenn der Endabschnitt eine über der Umgebungstemperatur liegende Betriebstemperatur aufweist, und - eine gegen das dem Flansch (11) abgewendete äussere Ende des Rohrstutzens (18) versetzte Hilfsdichtung vorgesehen ist, welche den Ringspalt zwischen dem Rohrstutzen (18) und dem Endabschnitt gasdicht verschliesst, wenn die Temperatur beider der Umgebungstemperatur entspricht.
2. Verbindungseinrichtung (15) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Endabschnitt auch dann in Längsrichtung gegenüber dem Hauptdichtungsring (12) verschiebbar ist, wenn seine Temperatur der Betriebstemperatur entspricht .
3. Verbindungseinrichtung (15) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Hauptdichtungsring
(12) eine umlaufende Mantelfläche aufweist, mit welcher er an der Innenseite des Rohrstutzens (18) anliegt und eine umlaufende Dichtfläche mit einem zylindrischen Abschnitt zur gasdichten Anlage an der Aussenseite des Endabschnitts.
4. Verbindungseinrichtung (15) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der
Hauptdichtungsring (12) aus Kunststoff, insbesondere aus Teflon besteht .
5. Verbindungseinrichtung (15) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Hilfsdichtung einen Radialwellendichtring (13) umfasst .
6. Verbindungseinrichtung (15) nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Hilfsdichtung von der Hauptdichtung durch einen einspringenden umlaufenden Kragen (14) am Rohrstutzen (18) getrennt ist.
7. Verbindungseinrichtung (15) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Endabschnitt mit einer Heizung versehen ist.
8. Verbindungseinrichtung (15) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Rohrstück (16) derart ausserhalb des Rohrstutzens (18) mit dem Flansch (11) mechanisch verbunden ist, dass eine beschränkte Aenderung seiner Lage möglich ist.
9. Verbindungseinrichtung (15) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die mechanische Verbindung zwischen dem Flansch (11) und dem Rohrstück (16) durch eine Schraubverbindung (17) hergestellt ist.
10. Verbindungseinrichtung (15) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Schraubverbindung (17) durch mindestens einen Bolzen hergestellt ist, der sowohl mit dem Flansch (11) des Verbindungsteils als auch mit einem Flansch (10) am Rohrstück (16) eingreift, derart, dass er gegenüber mindestens einem davon verschiebbar ist .
EP10700693A 2009-01-19 2010-01-14 Verbindungseinrichtung für eine vakuumanlage Withdrawn EP2379927A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14561309P 2009-01-19 2009-01-19
PCT/CH2010/000010 WO2010081246A1 (de) 2009-01-19 2010-01-14 Verbindungseinrichtung für eine vakuumanlage

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP2379927A1 true EP2379927A1 (de) 2011-10-26

Family

ID=42062302

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP10700693A Withdrawn EP2379927A1 (de) 2009-01-19 2010-01-14 Verbindungseinrichtung für eine vakuumanlage

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP2379927A1 (de)
JP (1) JP5438129B2 (de)
KR (1) KR20110107380A (de)
CN (1) CN102282405B (de)
WO (1) WO2010081246A1 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3082912B1 (fr) * 2018-06-25 2020-06-05 Safran Aircraft Engines Dispositif de raccordement fluidique pour un circuit d'air d'un moteur d'aeronef
JP7253429B2 (ja) 2019-04-08 2023-04-06 Ｔｍｔマシナリー株式会社 カップリング装置及び紡糸引取設備

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT269007B (de) * 1965-05-15 1969-03-10 Deutsche Steinzeug Muffenrohrdichtung für Steinzeugkanalisationsrohre
FR1542302A (fr) * 1967-11-06 1968-10-11 Tiroler Roehren & Metallwerk Dispositif d'assujettissement des tuyauteries sous pression contre le coulissement
JPS589589U (ja) * 1981-07-14 1983-01-21 川崎製鉄株式会社 異径管はめ合わせ接続部のシ−ル構造
JPS5844427U (ja) * 1981-09-18 1983-03-25 本田技研工業株式会社 内燃機関用排気管
US4415169A (en) * 1981-09-28 1983-11-15 Baker International Corporation Seal for concentric tubular member
JPS5919188Y2 (ja) * 1981-10-20 1984-06-02 理研工機株式会社 管継手
US4506919A (en) * 1983-01-03 1985-03-26 Amsted Industries Incorporated Restrained mechanical pipe joint
JPH0629549B2 (ja) * 1985-07-23 1994-04-20 ヤマハ発動機株式会社 エンジンの排気管連結装置
JP2745220B2 (ja) * 1988-09-12 1998-04-28 ヤマハ発動機株式会社 排気管の接続構造
JP2788994B2 (ja) * 1989-03-22 1998-08-20 雅弘 西川 密封装置
DE4028225C1 (en) * 1990-09-06 1991-10-02 Mtu Friedrichshafen Gmbh Joint for vehicle exhaust - has soft seal between two radial ring surfaces on pipes
FR2716523B1 (fr) * 1994-02-22 1996-04-12 Lorraine Carbone Soufflet de raccordement de tuyauteries ou d'appareils pour fonctionnement sous vide.
JP4379834B2 (ja) * 1999-01-12 2009-12-09 日立金属株式会社 伸縮自在継手
US6302402B1 (en) * 1999-07-07 2001-10-16 Air Products And Chemicals, Inc. Compliant high temperature seals for dissimilar materials
JP4266775B2 (ja) * 2003-10-30 2009-05-20 株式会社栗本鐵工所 伸縮式ダクト
JP2006009614A (ja) * 2004-06-23 2006-01-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd スクロール圧縮機
CN100343572C (zh) * 2006-08-11 2007-10-17 宋章根 管道用耐高压旋转补偿器
DE102006039958A1 (de) * 2006-08-25 2008-02-28 Busch Produktions Gmbh Drehschieber-Vakuumpumpe bzw.-Verdichter in Blockbauweise mit fliegend gelagertem Scheibenläufer-Synchronmotor
EP1992849B1 (de) * 2007-05-15 2016-12-21 Carl Freudenberg KG Dichtungsanordnung
DE102007061188A1 (de) * 2007-12-17 2009-06-18 Vat Holding Ag Flanscheinrichtung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2010081246A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
JP5438129B2 (ja) 2014-03-12
CN102282405A (zh) 2011-12-14
WO2010081246A8 (de) 2010-10-14
JP2012515306A (ja) 2012-07-05
CN102282405B (zh) 2013-06-19
KR20110107380A (ko) 2011-09-30
WO2010081246A1 (de) 2010-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3173675B1 (de) Schlauchanschluss
DE3317061A1 (de) Flanschverbindungsanordnung
EP3420255A1 (de) Anschlussstutzen und wärmemanagementmodul mit einem solchen
EP0175169A1 (de) Muffenverbindung
DE69002026T2 (de) Biegsame nichtmetallische Verbindung.
EP4115107A1 (de) Rohrverbindung
EP1855043A1 (de) Schraubfitting für ein Kunststoffrohr
WO2010081246A1 (de) Verbindungseinrichtung für eine vakuumanlage
EP0428120A2 (de) Trennbares Verbindungsstück für Rohrleitungen
EP0285753B1 (de) Lösbare Rohrverbindung
EP0515930A1 (de) Kupplungsvorrichtung zur Herstellung einer nichtlösbaren Rohrverbindung
EP3397889B1 (de) Anschlussvorrichtung
EP3683481B1 (de) Pass- und ausbaustück für rohrleitungen
EP1099892A1 (de) Abdichtung zwischen zueinander koaxialen axialsymmetrischen Querschnitten von Bauteilen
DE102007061188A1 (de) Flanscheinrichtung
DE3134205A1 (de) Elektrische trennstelle
EP0879377B1 (de) Lösbare rohrverbindung für kunststoffrohre
DE3540514A1 (de) Rohrarmatur, insbesondere absperrorgan
EP3669111A1 (de) Verschlussvorrichtung
EP0180656B1 (de) Rohrleitungskupplung für die Verbindung von Rohren aus spröden Werkstoffen
DE102022103931A1 (de) Wanddurchführungseinrichtung
WO2017102124A1 (de) Rohrverbinder
EP1967780A1 (de) Endanschlussmittel für ein Wellrohr
DE102004034791B4 (de) Rohrleitungssystem und Hochdruck-Rohreinheit
DE102019213948A1 (de) Zweiteilige Einzelrohrabdichtung für einen Rohrbündelwärmeübertrager

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20110715

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: OERLIKON SOLAR AG, TRUEBBACH

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

RIC1 Information provided on ipc code assigned before grant

Ipc: F16L 27/10 20060101ALI20130307BHEP

Ipc: F04D 19/04 20060101ALI20130307BHEP

Ipc: F16L 51/00 20060101ALI20130307BHEP

Ipc: F16L 27/02 20060101AFI20130307BHEP

Ipc: F04D 29/60 20060101ALI20130307BHEP

INTG Intention to grant announced

Effective date: 20130405

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: TEL SOLAR AG

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20130817