EP2489067A1 - Halteeinrichtung für dünne flächige substrate - Google Patents

Halteeinrichtung für dünne flächige substrate

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Publication number
EP2489067A1
EP2489067A1 EP10757225A EP10757225A EP2489067A1 EP 2489067 A1 EP2489067 A1 EP 2489067A1 EP 10757225 A EP10757225 A EP 10757225A EP 10757225 A EP10757225 A EP 10757225A EP 2489067 A1 EP2489067 A1 EP 2489067A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
transport
holding frame
holding device
transport carriage
holding
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP10757225A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Bernd Link
Tobias Dettling
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Gebrueder Schmid GmbH and Co
Original Assignee
Gebrueder Schmid GmbH and Co
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Filing date
Publication date
Application filed by Gebrueder Schmid GmbH and Co filed Critical Gebrueder Schmid GmbH and Co
Publication of EP2489067A1 publication Critical patent/EP2489067A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3202—Mechanical details, e.g. rollers or belts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
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    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65G2201/022—Flat
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    • H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/01—Tools for processing; Objects used during processing
    • H05K2203/0147—Carriers and holders
    • H05K2203/0165—Holder for holding a Printed Circuit Board [PCB] during processing, e.g. during screen printing

Definitions

  • the invention relates to a holding device for thin sheet substrates, such as thin circuit boards or so-called conductor foils or solar cells, the substrates are advantageously transported to the holding device through treatment plants or continuous systems.
  • the invention has for its object to provide a holding device mentioned above, with the problems of the prior art can be avoided and in particular an advantageous possibility is created to hold the aforementioned substrates as well as transport or by treatment plants such as continuous flow systems or the like. to transport.
  • This object is achieved by a holding device having the features of claim 1.
  • Advantageous and preferred embodiments of the invention are the subject of the other claims and are explained in more detail below. The wording of the claims is incorporated herein by express reference.
  • the holding device for the substrates is overall frame-like. On two outer longitudinal sides transport carriages are arranged, by means of which the holding device is transported, in particular along a route through treatment facilities such as flow systems or the like. If the substrates, for example, thin circuit boards or substrates for solar cells, so in these treatment plants, a step such as cleaning, etching or coating, in particular electrochemical coating take place. Between the transport carriage, a holding frame of the holding device is provided for the substrates or these are directly supported or attached to the support frame. According to the invention, the holding frame is mounted vertically variable on the transport carriage.
  • the transport carriages are moved, so to speak, on a plane or height, for example on rails or rotating, above-described transport chains. Due to the possibility of changing the height of the holding frame or lowering it can be achieved that during transport of the substrates outside a treatment plant these are, so to speak, in a higher or the highest position. If the holding device with the substrates is moved into a treatment plant, for example with a dip tank for the substrates, then the holding frame together with substrates can be lowered until they at least touch a treatment medium in the dip tank or are wetted by it at the bottom. In particular, a complete lowering and immersion is possible. So it can be avoided that the entire holding device together the transport carriage, in particular a transport device such as rails or transport chains must be lowered or guided downwards, which usually involves considerable effort.
  • Thecheznver Szier can advantageously be variable, either in certain stages or particularly advantageous continuously.
  • the measure of the achievable height change can be in the range of a few cm, for example 5 cm to 15 cm, or about 10% to 30% of the width of the holding device. Too high height variability entails greatly increasing complexity for the mechanical design.
  • the height-adjustable mounting of the front frame to the transport carriage may on the one hand be designed so that a relative movement between the two can take place exclusively in one direction vertical to the plane of the holding frame or to the transport direction or transport plane. As a result, a possibly too large or harmful overloading of the substrates in the holding frame can be avoided. Such a precisely predetermined movement can be easily achieved by appropriate design of joints for connecting the support frame and the transport carriage, which will be discussed in more detail below.
  • the transport carriages can be designed such that they have rollers for moving transport, in particular on rails. It can therefore be arranged on a pass path, a left and a right rail on which a respective transport carriage moves, so a left transport carriage and a right transport carriage. They may be connected to each other, for example, frame-like, or alternatively also be independent or non-contiguous, so two separate parts.
  • the transport carriage with pins, recesses or other form-fitting connections can be connected to a circulating transport, for example, a known from the aforementioned prior art transport chain. Then no complicated drive for the holding devices is necessary.
  • the elongated transport carriages can be provided, with respect to the direction of passage, to the left and to the right of the passageway. Alternatively, they can span the pass path also across, but this is considered less advantageous.
  • the transport carriages arranged on the left and on the right it is possible for them to be provided with a substantial area, in particular completely, laterally. ben plunge pool or the like for the substrates. So they are as little as possible affected.
  • the holding frame is connected by means of several toggle lever or scissor joints with the transport carriage. These allow safe and precise guidance in both the vertical direction and in the directions along the transport plane, for example, to obtain an aforementioned angular stability or an angular adjustability.
  • two scissor hinges are provided on each longitudinal side of the holding frame, for example one near a front area and another close to a rear area. By means of these four scissor hinges then the holding frame is attached to the transport carriage.
  • a joint can advantageously be designed so that it has a hinge lever which is rotatably mounted on the holding frame by a point with one end. Its other end engages in a longitudinal slot on the transport carriage, which extends in the transport direction, and is both slidably and rotatably mounted therein, in each position, the toggle lever at an angle less than 90 ° to the support frame so that it always in a flat Angle stands.
  • a named articulated lever may have in its middle region a rotatably connected intermediate lever. Another end of the intermediate lever is mounted or fixed rotatably about a point on the transport carriage. In this case, on one side of the holding device, the two articulated levers can face each other or be inclined toward one another, starting from the holding devices, while the intermediate levers point away from it. These intermediate levers can ensure that the lowering of the holding frame with respect to the transport carriage always takes place in parallel, if this is to be ensured.
  • About differently designed articulated levers or intermediate lever can also be a prescribed, temporarily oblique lowering of the holding frame done.
  • elongated clamping means may be provided in a front region and a rear region of the support frame. It can be, for example, continuous rods that can be twisted and have a plurality of clamping lugs. With these clamping lugs then the substrate can be clamped in several places.
  • the substrates are to be treated electrochemically at the holding devices and therefore must be electrically contacted from the outside, that at least one transport slide is electrically connected to the holding frame for electrical contacting to a held in the holding frame substrate.
  • An electrical contact to the transport carriage from the outside can then be easily done, either via sliding contacts or rails or transport chains on which the transport carriages are performed.
  • An electrical contacting of the holding frame to the substrates can take place via the aforementioned clamping devices, which are then formed electrically contacting or electrically conductive. This does not have to apply to the entire clamping devices. You may, for example, have some contact heads that are movable and are formed flat at the end. You can, just like the other clamping devices, clamped against a substrate clamped in the holding frame and both hold it and contact electrically.
  • An electrical connection between the transport carriage and the holding frame can take place via a joint device located therebetween, for example an aforementioned joint or scissors joint.
  • a joint device located therebetween, for example an aforementioned joint or scissors joint.
  • alternative can be provided here a flexible and laid after a loop electrical line.
  • the holding frame is advantageously designed so that it rotates on the outside and its central region is substantially free.
  • a front and a rear frame part may be formed by extending transversely to the direction of transport parts, which also have the aforementioned clamping devices. These two parts can be connected to each other by lateral connecting parts, so that the support frame is as self-stable, so carries itself and remains dimensionally stable and not only by the holder to the transport carriage. This is necessary above all for safe transport and secure mounting of the substrates.
  • Fig. 1 is a sloping top view of a holding device according to the invention with a clamped circuit board in the raised state of a holding frame and Fig. 2, the holding device of Fig. 1 with lowered support frame.
  • a holding device according to the invention 1 1 is shown in an oblique plan view, in which a circuit board 13 is held or clamped.
  • the holding device 1 1 has a left transport carriage 15a and a right transport carriage 15b, which may be formed the same or mirror image to each other.
  • a transport carriage 15 consists in each case of a front transport part 17a and a rear transport part 17a 'or 17b and 17b'.
  • the transport parts 17 can either, as shown, downwardly facing transport projections 18a ', with which they similar to the like in the aforementioned DE 10 2007 038 1 16 A1 to circulating transport chains or the like. be hung.
  • the transport parts may have 17 rollers for transport on a rail or the like, in which case a drive of the holding devices 1 1 takes place in a manner not shown.
  • the two transport parts 17a and 17a 'and 17b and 17b' are connected to each other via connecting rods 20a and 20b and holding rods 21 a and 21 b. This ensures their connection-rigid construction.
  • a front scissors joint 23 b and a rear scissors joint 24 b are provided on the support rod 21 a, as described on the right side of the transport carriage 15 b.
  • the scissor hinges 23 and 24 are attached to a side bar 30b, which is part of a lower support frame 32.
  • the side bars 30a and 30b are attached to front holding frame heads 34a and 34a 'on the left side and 34b and 34b' on the right side, respectively.
  • the holding frame heads 34a and 34b of the left and the right side are connected via a front clamping support 36 and a rear clamping support 37 mit- connected to each other.
  • the printed circuit board 13 is held in a manner known per se to a continuous clamping rod 39 at the front or 39 'rear, which is articulated and has clamping lugs 40 and rear 40'. Also with respect to these clamping rods 39 and generally the clamping of the printed circuit board 13 is referred to the aforementioned DE 10 2007 038 1 16 A1, see there, for example, the training according to the local figure 12 or 13.
  • About clamping lever 38 in the holding frame heads 34 can be a clamp the printed circuit board 13, either manually or mechanically.
  • the scissor hinges 23 and 24 are constructed so that of the side bars 30a and 30b, a hinge lever 25a and 25a 'and 25b and 25b' rotatably supported by a single point projects upwards, each at an acute angle.
  • An upper end of the articulated lever 25 engages in longitudinal slots 26a and 26a 'and 26b and 26b' in the support rods 21 a and 21 b. They are stored there both rotatable and longitudinally movable.
  • Approximately from the center of the articulated levers 25 rotatably mounted intermediate lever 28a and 28a 'and 28b and 28b' go upwards, in an acute angle to the horizontal opposite to the direction of the respective articulated lever 25.
  • the intermediate lever 28 At the top of the intermediate lever 28 are in turn a point rotatably connected to the support rods 21.
  • the function of the scissor hinges 23 and 24, as will be readily apparent, is such as to cause the support frame 32 to be raised or lowered relative to the transport carriages 15 substantially in a vertical direction without significant lateral misalignment.
  • an uneven or oblique lowering of the holding frame 32 is possible, for example, more with the front region down or more strongly with the rear region. This is especially for the aforementioned retraction in a liquid bath or retracting advantage.
  • guide pins 42 are provided on the side bars 30, as is clear from FIG. 2 in its lowered state, for example protruding from the bearing points of the articulated levers 25 on the side poles 30 42a 'in accordance with FIG. 2 can enter or be guided in scenes along the transport path of the holding device 11.
  • the expert but easily familiar scenes or the like during transport of the holding device 1 1, the height of the holding frame 32 relative to the transport path, along which the transport carriages drive 15 a and 15 b, are set, so the clamped circuit board 13 are raised or lowered.
  • a transport carriage 15 advantageously on its outside, similar to the transport projection 18 a 'an electrical contact, a loop or the like. be provided.
  • a transport projection 18a 'in a transport chain can either be done via an electrical contact or a laterally projecting-
  • the wiper may abut a current-carrying rail, as is generally known from electrical contacts.
  • a further electrical contact to the outside can take place via the guide pins 42a and 42a 'when they run along electrically conductive guide slots.
  • this has in comparison to an electrical contact on the transport parts 17 has the disadvantage that this may be because the guide pin 42 is approximately at the height of the circuit board 13 or just above that they then close or in the liquid bath with the Treatment medium run, which is certainly negative for an electrical contact.
  • the holding frame 32 is thus formed circumferentially by the two side bars 30a and 30b, which are connected by means of the front clamp carrier 36 and the rear clamp carrier 37 and thus give a circumferential, approximately rectangular frame.
  • Clamping rods 39 and clamping lugs 40 could also be provided on the underside of the clamping beams 36 and 37, but for reasons of handling this is better around them. Above all, so the condition of the clamp attachment can be better checked.

Landscapes

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Abstract

Eine Halteeinrichtung für Leiterplatten ist rahmenartig ausgebildet mit an den außen liegenden Längsseiten angeordneten Transportschlitten zum Transport der Halteeinrichtung, wobei zwischen den Transportschlitten ein Halterahmen der Halteeinrichtung für die Substrate angeordnet ist. Der Halterahmen ist höhenveränderlich an den Transportschlitten gelagert und so kann ein darin eingespanntes Substrat abgesenkt oder angehoben werden bei der Behandlung.

Description

Beschreibung Halteeinrichtung für dünne flächige Substrate
Anwendungsgebiet und Stand der Technik
Die Erfindung betrifft eine Halteeinrichtung für dünne flächige Substrate, beispielsweise dünne Leiterplatten oder sogenannte Leiterfolien oder Solarzellen, wobei die Substrate mit der Halteeinrichtung vorteilhaft durch Behandlungsanlagen bzw. Durchlaufanlagen transportiert werden.
Es ist beispielsweise aus der DE 10 2007 0381 16 A1 bekannt, Substrate wie dünne Leiterplatten mit ihrer Vorderkante und ihrer Hinterkante an einem länglichen Bügel zu befestigen. Diese länglichen Bügel werden dann mit ihren Enden an links und rechts neben einer Durchlaufanlage verlaufenden Transportketten befestigt bzw. eingehängt und von diesen transportiert. Dabei kann vorgesehen sein, dass ein Bügel sowohl eine Hinterkante eines vorauslaufenden Substrats als auch eine Vorderkante eines nachlaufenden Substrats hält, so dass sich mittels der Bügel eine durchgehende Kette von Substraten bildet. Problematisch hierbei ist aber das Zusammenspannen der Substrate in Kettenform einerseits und die starre Ausbildung der Haltebügel andererseits.
Aufgabe und Lösung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine eingangs genannte Halteeinrichtung zu schaffen, mit der Probleme des Standes der Technik vermieden werden können und insbesondere eine vorteilhafte Möglichkeit geschaffen wird, eingangs genannte Substrate zu halten sowie zu transportieren bzw. durch Behandlungsanlagen wie Durchlaufanlagen odgl. zu transportieren. Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Halteeinrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 . Vorteilhafte sowie bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der weiteren Ansprüche und werden im Folgenden näher erläutert. Der Wortlaut der Ansprüche wird durch ausdrückliche Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht.
Es ist vorgesehen, dass die Halteeinrichtung für die Substrate insgesamt rahmenartig ausgebildet ist. An zwei außen liegenden Längsseiten sind Transportschlitten angeordnet, mittels derer die Halteeinrichtung transportiert wird, insbesondere entlang einer Strecke durch Behandlungsanlagen wie Durchlaufanlagen odgl.. Sind die Substrate beispielsweise dünne Leiterplatten oder auch Substrate für Solarzellen, so kann in diesen Behandlungsanlagen ein Schritt wie Reinigen, Ätzen oder Beschichten, insbesondere elektrochemisches Beschichten, stattfinden. Zwischen den Transportschlitten ist ein Halterahmen der Halteeinrichtung für die Substrate vorgesehen bzw. diese sind an dem Halterahmen direkt gehaltert oder befestigt. Erfindungsgemäß ist der Halterahmen höhenveränderlich an den Transportschlitten gelagert. Durch eine solche Höhenveränderlichkeit ist es möglich, dass die Transportschlitten sozusagen auf einer Ebene bzw. Höhe bewegt werden, beispielsweise an Schienen oder umlaufenden, vorbeschriebenen Transportketten. Durch die Möglichkeit, den Halterahmen in seiner Höhe zu verändern bzw. abzusenken kann erreicht werden, dass bei Transport der Substrate außerhalb einer Behandlungsanlage diese sozusagen in einer höheren oder der höchsten Position sind. Ist die Halteeinrichtung mit den Substraten in eine Behandlungsanlage eingefahren, beispielsweise mit einem Tauchbecken für die Substrate, so kann der Halterahmen samt Substraten abgesenkt werden, bis diese zumindest mit ihrer Unterseite ein Behandlungsmedium in dem Tauchbecken berühren bzw. davon benetzt werden. Insbesondere ist auch ein vollständiges Absenken und Eintauchen möglich. So kann vermieden werden, dass die gesamte Halteeinrichtung samt den Transportschlitten, insbesondere eine Transporteinrichtung wie Schienen oder Transportketten, abgesenkt bzw. nach unten geführt werden müssen, was in der Regel erheblichen Aufwand mit sich bringt.
Die Höhenveränderlichkeit kann vorteilhaft variabel sein, entweder in bestimmten Stufen oder aber besonders vorteilhaft stufenlos. Das Maß der erreichbaren Höhenveränderung kann im Bereich einiger cm liegen, beispielsweise 5cm bis 15cm, bzw. bei etwa 10% bis 30% der Breite der Halteeinrichtung. Eine allzu große Höhenveränderlichkeit bringt stark anwachsenden Aufwand für die mechanische Ausgestaltung mit sich.
Die höhenveränderliche Lagerung des Haiterahmens an den Transportschlitten kann einerseits so ausgebildet sein, dass eine Relativbewegung zwischen den beiden ausschließlich in einer Richtung vertikal zur Ebene des Halterahmens bzw. zur Transportrichtung oder Transportebene stattfinden kann. Dadurch kann eine möglicherweise zu große oder schädliche Überlastung der Substrate in dem Halterahmen vermieden werden. Eine solche genau vorgegebene Bewegung kann leicht durch entsprechende Ausbildung von Gelenken zur Verbindung des Halterahmens und der Transportschlitten erreicht werden, worauf nachfolgend noch genauer eingegangen wird.
Andererseits und vorteilhaft ist es möglich, dass bei einer Relativbewegung des Halterahmens zu dem Transportschlitten, beispielsweise von der maximal abgesenkten Position in die maximal angehobene Position bzw. die Transportposition, wobei in beiden genannten Positionen das Substrat parallel zur Transportebene liegt, es während der Bewegung zwischen diesen Positionen schräg steht, beispielsweise mit dem Hinterbereich stärker nach unten gekippt ist. Ein Winkel kann flach sein, maximal 20° bis 30° betragen. Dadurch kann möglicherweise ein Lösen des Substrats von der Oberfläche einer Behandlungsflüssigkeit in einem Tauchbecken erleichtert werden. Des weiteren kann beispielsweise bei einem vollständig eingetauchten Substrat das Abfließen von Behandlungsflüssigkeiten über einen abgekippten Bereich erleichtert werden, was vor allem die Belastung durch darauf befindliche Behandlungsflüssigkeiten bzw. deren Gewichtskraft reduziert. Eine solche vorübergehende Schrägstellung ist leicht durch entsprechende Ausbildung von Gelenkverbindungen zwischen Halterahmen und Transportschlitten, die gemeinsam die Halteeinrichtung bilden, möglich und dem Fachmann auch bekannt. Hier kann auch von außen eine Zwangsführung vorgegeben werden für die Stellung des Halterahmens samt Substrat.
Die Transportschlitten können bei einer Ausgestaltung der Erfindung so ausgebildet sein, dass sie Rollen aufweisen für einen fahrenden Transport, insbesondere auf Schienen. Es kann also an einer Durchlaufbahn eine linke und eine rechte Schiene angeordnet sein, auf der jeweils ein Transportschlitten fährt, also ein linker Transportschlitten und ein rechter Transportschlitten. Sie können miteinander verbunden sein, beispielsweise rahmenartig, oder alternativ auch unabhängig bzw. nicht zusammenhängend sein, also zwei separate Teile.
In einer alternativen Ausgestaltung der Erfindung können die Transportschlitten mit Zapfen, Ausnehmungen oder sonstigen formschlüssigen Verbindungen mit einem umlaufenden Transportmittel verbunden werden, beispielsweise einer aus dem vorgenannten Stand der Technik bekannten Transportkette. Dann ist auch keinerlei aufwendiger Antrieb für die Halteeinrichtungen notwendig.
Die länglich ausgebildeten Transportschlitten können, in Bezug auf die Durchlaufrichtung, links und rechts von der Durchlaufbahn vorgesehen sein. Alternativ können sie die Durchlaufbahn auch quer überspannen, was jedoch als weniger vorteilhaft angesehen wird. Durch die links und rechts angeordneten Transportschlitten ist es möglich, dass sich diese mit einem wesentlichen Bereich, insbesondere vollständig, seitlich ne- ben Tauchbecken odgl. für die Substrate befinden. So werden sie möglichst wenig in Mitleidenschaft gezogen.
Vorteilhaft ist der Halterahmen mittels mehrerer Gelenkhebel bzw. Scherengelenken mit den Transportschlitten verbunden. Diese ermöglichen eine sichere und präzise Führung sowohl in vertikaler Richtung als auch in den Richtungen entlang der Transportebene, beispielsweise um eine vorgenannte Winkelstabilität oder eine Winkelverstellbarkeit zu erhalten. Vorteilhaft sind auf jeder Längsseite des Halterahmens zwei Scherengelenke vorgesehen, beispielsweise eines nahe einem Vorderbereich und ein anderes nahe an einem Hinterbereich. Mittels dieser vier Scherengelenke ist dann der Halterahmen befestigt an den Transportschlitten.
Ein Gelenk kann vorteilhaft so ausgebildet sein, dass es einen Gelenkhebel aufweist, der am Halterahmen um einen Punkt drehbar befestigt ist mit einem Ende. Sein anderes Ende greift in einen Längsschlitz am Transportschlitten, der in Transportrichtung verläuft, und ist darin sowohl verschiebbar als auch drehbar gelagert, in jeder Position kann der Gelenkhebel einen Winkel kleiner als 90° zu Ebene des Halterahmens aufweisen, so dass er stets in einem flachen Winkel steht.
Ein genannter Gelenkhebel wiederum kann in seinem Mittelbereich einen drehbar damit verbundenen Zwischenhebel aufweisen. Ein anderes Ende des Zwischenhebels ist um einen Punkt drehbar an dem Transportschlitten gelagert bzw. befestigt. Dabei können auf einer Seite der Halteeinrichtung die beiden Gelenkhebel aufeinander zu weisen bzw. einander zugeneigt sein, ausgehend von den Halteeinrichtungen, während die Zwischenhebel davon weg weisen. Diese Zwischenhebel können sicher stellen, dass das Absenken des Halterahmens gegenüber den Transportschlitten stets parallel erfolgt, falls dies sicher gestellt werden soll. Über anders ausgebildete Gelenkhebel oder Zwischenhebel kann auch ein vorbeschriebenes, zwischenzeitliches schräges Absenken des Halterahmens erfolgen.
Um ein Substrat an dem Halterahmen zu befestigen, können längliche Klemmeinrichtungen vorgesehen sein in einem Vorderbereich und einem Hinterbereich des Halterahmens. Es können beispielsweise durchgehende Stangen sein, die verdreht werden können und mehrere Klemmnasen aufweisen. Mit diesen Klemmnasen kann dann das Substrat an mehreren Stellen festgeklemmt werden.
In Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, wenn die Substrate an den Halteeinrichtungen elektrochemisch behandelt werden sollen und deswegen von außen elektrisch kontaktiert werden müssen, dass mindestens ein Transportschlitten elektrisch leitend mit dem Halterahmen verbunden ist zur elektrischen Kontaktierung an ein in dem Halterahmen gehaltenes Substrat. Eine elektrische Kontaktierung an den Transportschlitten von außen kann dann leicht erfolgen, entweder über Schleifkontakte oder über Schienen oder Transportketten, an denen die Transportschlitten geführt sind. Eine elektrische Kontaktierung des Halterahmens an die Substrate kann über vorgenannte Klemmeinrichtungen erfolgen, die dann elektrisch kontaktierend bzw. elektrisch leitend ausgebildet sind. Dies muss nicht für die gesamten Klemmeinrichtungen gelten. Sie können beispielsweise einige Kontaktköpfe aufweisen, die bewegbar sind und am Ende flächig ausgebildet sind. Sie können, ebenso wie die sonstigen Klemmeinrichtungen, an einem im Halterahmen eingespannten Substrat klemmend anliegen und es sowohl halten als auch elektrisch kontaktieren.
Eine elektrische Verbindung zwischen Transportschlitten und Halterahmen kann über eine dazwischen befindliche Gelenkeinrichtung erfolgen, beispielsweise ein vorgenanntes Gelenk bzw. Scherengelenk. Alternativ kann hier eine flexible und nach einer Schleife verlegte elektrische Leitung vorgesehen sein.
Der Halterahmen ist vorteilhaft so ausgebildet, dass er außen umläuft und sein Mittelbereich im Wesentlichen frei ist. Ein vorderes und ein hinteres Rahmenteil kann von quer zur Transportrichtung verlaufenden Teilen gebildet sein, die auch die vorgenannten Klemmeinrichtungen aufweisen. Diese beiden Teile können durch seitliche Verbindungsteile miteinander verbunden sein, so dass der Halterahmen möglichst eigenstabil ist, also sich selbst trägt und formstabil bleibt und nicht erst durch die Halterung an den Transportschlitten. Dies ist vor allem für einen sicheren Transport und eine sichere Halterung der Substrate notwendig.
Diese und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei einer Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Die Unterteilung der Anmeldung in einzelne Abschnitte sowie Zwi- schen-Überschriften beschränken die unter diesen gemachten Aussagen nicht in ihrer Allgemeingültigkeit.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind den Zeichnungen schematisch dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert. In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 eine Schrägdraufsicht auf eine erfindungsgemäße Halteeinrichtung mit einer eingespannten Leiterplatte im angehobenen Zustand eines Halterahmens und Fig. 2 die Halteeinrichtung aus Fig. 1 mit abgesenktem Halterahmen.
Detaillierte Beschreibung der Ausführungsbeispiele
In Fig. 1 ist eine erfindungsgemäße Halteeinrichtung 1 1 in schräger Draufsicht dargestellt, in der eine Leiterplatte 13 gehalten bzw. eingespannt ist. Die Halteeinrichtung 1 1 weist einen linken Transportschlitten 15a und einen rechten Transportschlitten 15b auf, die gleich bzw. spiegelbildlich zueinander ausgebildet sein können. Ein Transportschlitten 15 besteht jeweils aus einem vorderen Transportteil 17a und einem hinteren Transportteil 17a' bzw. 17b und 17b'. Die Transportteile 17 können entweder, wie dargestellt, nach unten weisende Transportvorsprünge 18a' aufweisen, mit denen sie ähnlich wie bei der eingangsgenannten DE 10 2007 038 1 16 A1 an umlaufenden Transportketten odgl. eingehängt werden. Alternativ können die Transportteile 17 Rollen aufweisen zum Transport auf einer Schiene odgl., wobei dann ein Antrieb der Halteeinrichtungen 1 1 auf nicht dargestellte Art und Weise erfolgt.
Die beiden Transportteile 17a und 17a' bzw. 17b und 17b' sind jeweils über Verbindungsstangen 20a und 20b miteinander verbunden sowie Haltestangen 21 a bzw. 21 b. Dies stellt ihren verbindungssteifen Aufbau sicher.
An der Haltestange 21 a sind, wie anhand der rechten Seite am Transportschlitten 15b beschrieben wird, ein vorderes Scherengelenk 23b und ein hinteres Scherengelenk 24b vorgesehen. Die Scherengelenke 23 und 24 sind an einer Seitenstange 30b befestigt bzw. angelenkt, welche Teil eines unteren Halterahmens 32 ist. Dabei sind die Seitenstangen 30a und 30b an vorderen Halterahmenköpfen 34a und 34a' auf der linken Seite bzw. 34b und 34b' auf der rechten Seite befestigt. Die Halterahmenköpfe 34a und 34b der linken und der rechten Seite sind über einen vorderen Klemmträger 36 und einen hinteren Klemmträger 37 mit- einander verbunden. Die Leiterplatte 13 wird auf an sich bekannte Art und Weise gehalten an einer durchgehenden Klemmstange 39 vorne bzw. 39' hinten, die gelenkig gelagert ist und Klemmnasen 40 bzw. hinten 40' aufweist. Auch bzgl. dieser Klemmstangen 39 bzw. allgemein der Klemmung der Leiterplatte 13 wird auf die vorgenannte DE 10 2007 038 1 16 A1 verwiesen, siehe dort beispielsweise die Ausbildungen gemäß der dortigen Figur 12 oder 13. Über Klemmhebel 38 in den Halterahmenköpfen 34 kann eine Klemmung der Leiterplatte 13 erfolgen, entweder manuell oder aber mechanisch.
Die Scherengelenke 23 und 24 sind so aufgebaut, dass von den Seitenstangen 30a und 30b ein Gelenkhebel 25a bzw. 25a' und 25b bzw. 25b' um einen einzigen Punkt drehbar gelagert nach oben absteht und zwar jeweils in einem spitzen Winkel. Ein oberes Ende der Gelenkhebel 25 greift in Längsschlitze 26a und 26a' bzw. 26b und 26b' in den Haltestangen 21 a und 21 b ein. Sie sind dort sowohl drehbar als auch längsbewegbar gelagert. Etwa von der Mitte der Gelenkhebel 25 gehen drehbar gelagerte Zwischenhebel 28a und 28a' bzw. 28b und 28b' ab nach oben, und zwar in einem spitzen Winkel zur Horizontalen entgegengesetzt zur Richtung des jeweiligen Gelenkhebels 25. Am oberen Ende sind die Zwischenhebel 28 wiederum um einen Punkt drehbar mit den Haltestangen 21 verbunden. So ergibt sich eine Höhenveränderbarkeit des Halterahmens 23 gegenüber den Transportschlitten 15a und 15b. Dabei ist die Funktion der Scherengelenke 23 und 24, wie leicht zu ersehen ist, so, dass sie ein Anheben oder Absenken des Halterahmens 32 im Verhältnis zu den Transportschlitten 15 im Wesentlichen in vertikaler Richtung ohne großen seitlichen Versatz bewirken. Des weiteren ist zu erkennen, dass auch ein ungleichmäßiges bzw. schräges Absenken des Halterahmens 32 möglich ist, beispielsweise stärker mit dem vorderen Bereich nach unten oder stärker mit dem hinteren Bereich. Dies ist vor allem für das zuvor genannte Einfahren in ein Flüssigkeitsbad oder Herausfahren von Vorteil. Zur Höhenveränderung des Halterahmens 32 gegenüber den Transportschlitten 15 sind an den Seitenstangen 30, wie aus Fig. 2 in dessen abgesenktem Zustand deutlich wird, Führungszapfen 42 vorgesehen, beispielsweise abstehend von den Lagerpunkten der Gelenkhebel 25 an den Seitenstangen 30. Diese deutlich abstehenden Führungszapfen 42a bzw. 42a' gemäß Fig. 2 können in Kulissen entlang des Transportweges der Halteeinrichtung 1 1 einfahren oder dadurch geführt sein. So kann durch solche, hier nicht dargestellte, dem Fachmann aber leicht geläufige Kulissen odgl. während des Transports der Halteeinrichtung 1 1 die Höhe des Halterahmens 32 relativ zur Transportbahn, entlang derer die Transportschlitten 15a und 15b fahren, eingestellt werden, also die eingespannte Leiterplatte 13 angehoben oder abgesenkt werden. Durch den Verlauf einer solchen Kulisse wird dies vorteilhaft so gemacht, dass sowohl das Absenken als auch das Anheben nicht allzu abrupt erfolgt, sondern langsam und kontinuierlich. So können zum einen größere mechanische Belastungen durch Schläge, Erschütterungen odgl. sowohl auf die Halteeinrichtung 1 1 als auch auf die möglicherweise empfindliche Leiterplatte 13 vermieden werden. Des weiteren kann auch, gerade beim Anheben der Leiterplatte 13 bzw. beim Herausfahren aus einem Flüssigkeitsbad mit einem Behandlungsmedium, durch Schrägstellen der Leiterplatte ein leichtes und gutes Abfließen von darauf befindlichen Behandlungsmedium erreicht werden, ohne dass sich zuviel Gewicht samt entsprechender Gewichtsbelastung auf der Leiterplatte 13 ergibt.
Nicht dargestellt, aber anhand der Figuren leicht vorstellbar ist eine Stromzuführung bzw. elektrische Kontaktierung an die Leiterplatte 1 3. Dazu kann an einem Transportschlitten 15, vorteilhaft an seiner Außenseite, ähnlich wie der Transportvorsprung 18a' ein elektrischer Kontakt, eine Schleife odgl. vorgesehen sein. Beim Einhängen eines solchen Transportvorsprungs 18a' in eine Transportkette kann entweder darüber eine elektrische Kontaktierung erfolgen oder aber ein seitlich abstehen- der Schleifer kann an einer Stromführungsschiene anliegen, wie dies allgemein von elektrischen Kontaktierungen bekannt ist.
Dann kann von einem solchen elektrischen Kontakt beispielsweise über die Haltestangen 21 und die Scherengelenke 23 und 24 eine elektrische Kontaktierung an den Halterahmen 32 und in diesem über die Klemmstangen 39 samt Klemmnasen 40 eine elektrische Kontaktierung an die Leiterplatte 13 erfolgen. Dabei ist es grundsätzlich möglich, nur an einem einzigen Transportteil 17 eine elektrische Kontaktierung, beispielsweise über Schleifer, vorzusehen. Sicherer und besser ist eine solche jedoch zumindest an zwei Transportteilen 17 einer Seite oder an allen Transportteilen. Anstelle elektrisch leitfähiger Scherengelenke 23 und 24 kann ein flexibler Draht als elektrisch leitende Verbindung dienen, der die Relativbewegungen von Transportschlitten 15 und Halterahmen 32 mitmachen kann.
Eine weitere elektrische Kontaktierung nach außen kann über die Führungszapfen 42a bzw. 42a' erfolgen, wenn diese an elektrisch leitenden Führungskulissen entlang laufen. Dies weist aber im Vergleich zu einer elektrischen Kontaktierung über die Transportteile 17 den Nachteil auf, dass dies dann möglicherweise, da sich die Führungszapfen 42 in etwa auf Höhe der Leiterplatte 13 oder nur knapp darüber befindet, dass sie dann nahe oder in dem Flüssigkeitsbad mit dem Behandlungsmedium laufen, was sicherlich negativ ist für eine elektrische Kontaktierung.
Anstelle der hier dargestellten, sehr einfach ausgebildeten Scherengelenke könnten es auch andere sein, die unter Umständen auch als mehrfache Scherengelenke ausgebildet sind. So kann eine möglicherweise noch viel stärkere Absenkung des Halterahmens 32 zu den Transportschlitten 15 erfolgen. In den meisten Fällen wird dies aber nicht notwendig sein. Der Halterahmen 32 ist also umlaufend gebildet durch die beiden Seitenstangen 30a und 30b, die mittels des vorderen Klemmträgers 36 und des hinteren Klemmträgers 37 verbunden sind und so einen umlaufenden, in etwa rechteckigen Rahmen ergeben.
Klemmstangen 39 und Klemmnasen 40 könnten auch an der Unterseite der Klemmträger 36 und 37 vorgesehen sein, aus Handhabungsgründen ist dies so herum jedoch besser. Vor allem kann so auch der Zustand der Klemmbefestigung besser überprüft werden.

Claims

Patentansprüche
1. Halteeinrichtung für dünne flächige Substrate, wobei die Halteeinrichtung rahmenartig ausgebildet ist mit an zwei außen liegenden Längsseiten angeordneten Transportschlitten zum Transport der Halteeinrichtung durch Durchlaufanlagen odgl., wobei zwischen den Transportschlitten ein Halterahmen der Halteeinrichtung für die Substrate angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Halterahmen höhenveränderlich an den Transportschlitten gelagert ist.
2. Halteeinrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die höhenveränderliche Lagerung des Halterahmens an den Transportschlitten ausgebildet ist für eine Relativbewegung ausschließlich in einer Richtung vertikal zur Ebene des Halterahmens.
3. Halteeinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass bei einer Relativbewegung von Transportschlitten und Halterahmen zueinander mit Höhenveränderung der Halterahmen lagestabil bleibt zu den Transportschlitten, vorzugsweise parallel ausgerichtet bleibt zur Transportrichtung der Transportschlitten.
4. Halteeinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass bei einer Relativbewegung von Transportschlitten und Halterahmen zueinander mit Höhenveränderung der Halterahmen lageveränderbar ist zu den Transportschlitten mit einem maximalen Winkel zur Transportrichtung der Transportschlitten von 20°bis 30°
5. Halteeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportschlitten Rollen zum fahrenden Transport aufweisen, vorzugsweise jeweils an ihrem Anfangsbereich und Endbereich.
6. Halteeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Halterahmen mittels Scherengelenken an den Transportschlitten höhenverstellbar befestigt ist, wobei vorzugsweise auf jeder der Längsseiten des Halterahmens zwei Scherengelenke vorgesehen sind.
7. Halteeinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass ein Scherengelenk nahe an einem Vorderbereich und ein Scherengelenk nahe an einem Hinterbereich des Halterahmens vorgesehen ist.
8. Halteeinrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein Scherengelenk einen am Halterahmen um einen Punkt drehbar befestigten Gelenkhebel aufweist, der in einem Längsschlitz am Transportschlitten verschiebbar und drehbar gelagert ist, wobei vorzugsweise in jeder Position der Gelenkhebel einen Winkel kleiner als 90° zur Ebene des Halterahmens aufweist.
9. Halteeinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Gelenkhebel mit einem in seinem Mittelbereich drehbar angelenkten Zwischenhebel verbunden ist, der um einen Punkt drehbar an dem Transportschlitten gelagert ist, wobei vorzugsweise die Gelenkhebel auf einer Seite des Halterahmens von diesem ausgehend zu einem Mittelbereich des Transportschlittens hinweisen und die Zwischenhebel von den Gelenkhebeln ausgehend weg davon.
10. Halteeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Vorderbereich und einem Hinterbereich des Halterahmens längliche Klemmeinrichtungen für die Substrate vorgesehen sind, vorzugsweise mit an einer durchgehenden Stange befestigten Klemmnasen.
1 1 . Halteeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Transportschlitten elektrisch leitend mit dem Halterahmen verbunden ist zur elektrischen Kontaktierung an ein in dem Halterahmen gehaltenes Substrat.
12. Halteeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Klemmeinrichtung am Halterahmen elektrisch kontaktierend bzw. elektrisch leitend ausgebildet sind, vorzugsweise mit bewegbaren, am Ende flächig ausgebildeten Kontaktköpfen zur Anlage an einem im Halterahmen eingespannten Substrat.
13. Halteeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Scherengelenk, vorzugsweise alle, elektrisch leitfähig ausgebildet ist und elektrisch leitfähig sowohl mit dem Transportschlitten als auch mit dem Halterahmen bzw. jeweils an Transportschlitten und Halterahmen verlaufenden elektrischen Leitern verbunden ist.
14. Halteeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine elektrische Kontaktierung mittels eines Schleifers an mindestens einem der beiden Transportschlitten über mindestens eines der Scherengelenke an den Halterahmen bzw. das davon gehaltene Substrat. Halteeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Halterahmen außen umlaufend ausgebildet ist und in seinem Mittelbereich der wesentliche Teil der Fläche frei ist.
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