EP4459131A3 - Turbomolekularvakuumpumpe mit optimierter sperrgaszufuhr - Google Patents

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EP4459131A3
EP4459131A3 EP24200029.7A EP24200029A EP4459131A3 EP 4459131 A3 EP4459131 A3 EP 4459131A3 EP 24200029 A EP24200029 A EP 24200029A EP 4459131 A3 EP4459131 A3 EP 4459131A3
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EP
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pumping mechanism
housing
pumping
partition wall
electric motor
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Pending
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EP24200029.7A
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English (en)
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Maximilian Birkenfeld
Martin Lohse
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Pfeiffer Vacuum Technology AG
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Pfeiffer Vacuum Technology AG
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Publication date
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/08—Sealings
    • F04D29/083—Sealings especially adapted for elastic fluid pumps

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Turbomolekularvakuumpumpe mit einem Gehäuse mit einem Pumpeneinlass und einem Pumpenauslass, einem ersten Pumpmechanismus mit zumindest einer turbomolekularen Pumpstufe in dem Gehäuse, einem stromabwärts des ersten Pumpmechanismus befindlichen zweiten Pumpmechanismus mit zumindest einer Holweck-Pumpstufe in dem Gehäuse und einem eine Rotorwelle umfassenden Rotor für sowohl den ersten Pumpmechanismus als auch den zweiten Pumpmechanismus, und einem Elektromotor zum Antrieb der Rotorwelle. Der Elektromotor ist innerhalb des zweiten Pumpmechanismus in einem Motorraum angeordnet, der von einer zylindrischen Trennwand umgeben und auf der dem ersten Pumpmechanismus zugewandten Seite durch eine sich radial erstreckende Trennwand begrenzt ist, die den Rotor unter Bildung eines Ringspalts umgibt. Die Rotorwelle erstreckt sich ausgehend von dem ersten Pumpmechanismus durch den zweiten Pumpmechanismus sowie durch den Motorraum bis zu einem Ende, das mittels eines Wälzlagers in dem Gehäuse gelagert ist. Das Gehäuse weist zumindest einen Sperrgasanschluss zur Einleitung eines Sperrgases zum Schutz des Elektromotors auf. In der zylindrischen Trennwand ist ein Zuströmkanal ausgebildet ist, der einerseits mit dem Sperrgasanschluss und andererseits über einen Strömungswegs mit dem Ringraum in Fluidverbindung steht.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202006017846U1 (de) * 2006-11-23 2008-03-27 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Hochvakuumpumpe
EP4108931A1 (de) * 2022-09-01 2022-12-28 Pfeiffer Vacuum Technology AG Molekularvakuumpumpe mit verbessertem saugvermögen sowie verfahren zum betreiben einer molekularvakuumpumpe zur erzielung eines verbesserten saugvermögens

Patent Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202006017846U1 (de) * 2006-11-23 2008-03-27 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Hochvakuumpumpe
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