EP4621238A2 - Verfahren zur montage einer scrollvakuumpumpe - Google Patents

Verfahren zur montage einer scrollvakuumpumpe

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EP4621238A2
EP4621238A2 EP25189891.2A EP25189891A EP4621238A2 EP 4621238 A2 EP4621238 A2 EP 4621238A2 EP 25189891 A EP25189891 A EP 25189891A EP 4621238 A2 EP4621238 A2 EP 4621238A2
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EP
European Patent Office
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spiral component
housing section
angular position
component
fixed
Prior art date
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EP25189891.2A
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English (en)
French (fr)
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Wolfgang Söhngen
Jan Hofmann
Stefan Kallenborn
Andreas Hofmann
Heiko Schäfer
Mert Kan CELIKKALE
Timo Lange
Jonas Becker
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Pfeiffer Vacuum Technology AG
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum Technology AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum Technology AG filed Critical Pfeiffer Vacuum Technology AG
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Publication of EP4621238A2 publication Critical patent/EP4621238A2/de
Publication of EP4621238A3 publication Critical patent/EP4621238A3/de
Pending legal-status Critical Current

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    • F04C18/00Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/02Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
    • F04C18/0207Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form
    • F04C18/0215Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form where only one member is moving
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    • F04C2240/00Components
    • F04C2240/80Other components
    • F04C2240/805Fastening means, e.g. bolts

Definitions

  • the invention relates to a method for assembling a scroll vacuum pump and a scroll vacuum pump.
  • Scroll vacuum pumps are generally known from the prior art.
  • the pumping action of such scroll vacuum pumps is created by the interaction of a stationary scroll component and a movable scroll component.
  • the scroll components each have spiral-shaped webs formed on facing surfaces, which engage with spiral grooves formed between the webs of the respective oppositely arranged scroll components.
  • the movable scroll component is moved eccentrically along a circular path by an eccentric section of a drive shaft, a process also referred to as "orbiting.”
  • the circumferential position i.e., angular position
  • the spiral webs of the movable spiral component move in the spiral grooves of the fixed spiral component in such a way that crescent-shaped or sickle-shaped volumes enclosed between the base surfaces of the grooves and the side surfaces of the webs are spirally displaced from a radially outer position to a radially further inner position and are thereby compressed.
  • the alignment of the angular positions (ie the positions in the circumferential direction) of the two spiral components to each other is of central importance. This is also referred to as the angular alignment of the spiral components.
  • the angular alignment of the two spiral components to each other is conventionally achieved via the pump housing and a deformable sleeve, the so-called corrugated bellows.
  • the movable spiral component is aligned in the circumferential direction using positioning elements (e.g. groove via dowel pin) on the corrugated bellows and is fixed in a predetermined angular position to the pump housing via the corrugated bellows in a rotationally secure manner.
  • the corrugated bellows comprises a first fastening flange at one axial end with positioning elements which interact with corresponding positioning elements on the movable spiral component such that the movable spiral component is fixed in a predetermined angular position to the corrugated bellows.
  • the corrugated bellows comprises a second fastening flange with positioning elements which interact with corresponding positioning elements of the pump housing such that the corrugated bellows is fixed in a predetermined angular position to the pump housing. This consequently also determines the angular position of the movable spiral component with respect to the pump housing.
  • the positioning of the fixed scroll component is carried out via positioning elements which are formed on the fixed scroll component and on the pump housing and which interact so that the fixed scroll component is aligned and fixed in a predetermined angular position on the pump housing.
  • the angular alignment of the two spiral components is thus achieved via various positioning elements that must be provided on the two spiral components, on both mounting flanges of the bellows, and at various locations on the pump housing with relatively small manufacturing tolerances, which leads to a significant increase in the costs of manufacturing the respective components.
  • the two mounting flanges of the bellows which each have positioning elements and are used to align the angular position of the movable spiral component, must be aligned with each other during production. This requires, for example, welding the mounting flanges in a special device and Additional checks to ensure that the required tolerances are maintained.
  • the object is achieved according to the invention by a method for assembling a scroll vacuum pump having the features of claim 1, by a method for assembling a scroll vacuum pump having the features of claim 10 and by a scroll vacuum pump having the features of claim 11.
  • a fixation describes a state in which at least two components are connected to each other in such a way that no relative movement of a first component relative to a second component is possible. This can be achieved, for example, by clamping, screwing, or using bolts. This fixation can be permanent but can be removed, e.g., for maintenance or repair work.
  • Attachment means that the corresponding component remains movable relative to the housing section. Attachment can also include a temporary fixation that is particularly easy to remove. For example, it may be possible to rotate the component relative to the housing section. After correct alignment, the component is permanently fixed, for example, using a clamping device and/or a screw connection.
  • the method according to the invention offers the advantage that when inserting and securing the assembly in the housing section—a process that is often complex due to the typically cramped conditions—the angular position of the assembly can be freely selected. Angular alignment can be achieved solely by aligning the fixed spiral component, which is significantly simpler than ensuring a precise angular alignment of the assembly relative to the housing section. Consequently, positioning elements on the deformable sleeve are not absolutely necessary for the described method, which correspondingly shortens the tolerance chain and saves manufacturing costs.
  • the method additionally comprises fixing a mounting device having a reference feature to the movable spiral component, as well as transferring an angular position of the reference feature of the mounting device to the housing section and/or a component firmly connected to the housing section to generate a reference mark.
  • the angular position of the stationary spiral component is aligned using the reference mark.
  • feature in the present context may include a superficial, for example recorded, and/or structural marking, for example a bracket, bolt or pin.
  • the reference feature In the assembled state of the assembly device, the reference feature thus allows the transfer of an angular position of the reference feature to the housing section and/or to a component firmly connected to the housing section to create a reference mark.
  • the transfer of the reference feature can be achieved via a marking element suitable for applying a visual mark to the housing section, for example, using a marking pen and/or a self-adhesive marking or by scoring.
  • a marking element suitable for applying a visual mark to the housing section for example, using a marking pen and/or a self-adhesive marking or by scoring.
  • the mounting device comprises at least one positioning element that cooperates with at least one complementary positioning section of the movable spiral component, so that the mounting device is fixed in a predetermined angular position on the movable spiral component.
  • the positioning section or the positioning element can, for example, a recess, in particular a groove or a hole.
  • Complementary positioning elements or sections would then be, for example, corresponding elevations, e.g., ribs, or pins.
  • the mounting device can also be provided with at least one handle element.
  • the fixed scroll member has an angular position feature, and the fixed scroll member is rotated in aligning its angular position until the angular position of the angular position feature of the fixed scroll member coincides with the reference mark.
  • the limit angle position refers to the design-related maximum rotation of the fixed spiral component relative to the mounting assembly.
  • the movable spiral component is set in motion at least temporarily during the alignment of the stationary spiral component. This can be done, for example, by manually rotating the rotor.
  • starting noises can arise between the spiral components. This allows an optimal angular position to be identified, at which no or only very slight Starting noises are audible. Quantifying the starting noises can also be achieved using suitable measuring devices, such as sound sensors.
  • the second axial end of the deformable sleeve of the mounting assembly is fixed to the housing section from one side—viewed in the axial direction—of the deformable sleeve on which the movable spiral component is arranged.
  • the movable spiral component can be provided with recesses to ensure accessibility of the fixing elements used for fixing, for example, using a suitable tool.
  • the mounting assembly is angularly positioned relative to the housing section using an angular position feature of the movable scroll member and a positioning aid of the housing section.
  • This serves the particular purpose of coordinating the positions of the inlets and outlets in the pump housing with the angular position of the scroll members.
  • an arrangement is generally preferred in which the inlets and outlets in the pump housing coincide with corresponding openings in the scroll members, at least over a large area.
  • the angular position feature of the movable scroll member can, for example, be a radial groove forming a notch, which, when positioned as desired, bounds the positioning aid of the housing section, for example, a marking, on both sides, as viewed in the axial direction of the deformable shell.
  • the marking would function as a "bead” in this example.
  • a "bead-bead” arrangement With such a "bead-bead” arrangement, a rough alignment of the mounting assembly on the housing section can be easily achieved.
  • other types of angular position feature and positioning aid may also be provided.
  • a final assembly mark is created which The angular position of the aligned stationary scroll component relative to the housing section is marked. This is particularly advantageous if the stationary scroll component must be removed after assembly, for example, during repair and/or maintenance work, such as when replacing and/or servicing seals, especially tipseals. In such a case, the final assembly marking allows for easy and quick reassembly of the stationary scroll component in the correct angular alignment with the movable scroll component.
  • an angular position of the mounting assembly relative to the housing section is aligned using a reference feature associated with the movable scroll member and a mounting position feature provided on the housing section.
  • Alignment of the mounting assembly is not necessarily required when aligning the fixed scroll component.
  • the reference feature may be formed on the movable spiral component.
  • the reference feature may be formed on a mounting device that is attached to the movable scroll member.
  • the mounting device may comprise positioning elements which interact with complementary positioning sections on the movable spiral component, so that the mounting device is fixed in at least one fixedly defined angular position on the movable spiral component.
  • the mounting device can have at least one positioning element that cooperates with at least one complementary positioning section in the housing section, so that the mounting device is fixed in at least one fixedly defined angular position on the housing section. If the mounting device also has at least one positioning element that cooperates with at least one complementary positioning section of the movable spiral component, so that the mounting device is fixed in a predetermined angular position on the movable spiral component, the mounting assembly can be easily applied in a well-defined angular position and subsequently fixed.
  • the positioning section or the A positioning element can be, for example, a recess, in particular a groove or a hole. Complementary positioning elements or sections could then be, for example, corresponding elevations, e.g., ribs or pins.
  • the mounting device has both positioning elements that interact with positioning sections in the movable spiral component and positioning elements that interact with positioning sections in the housing section, a simultaneous fixing of the mounting device to both the movable spiral component and to the housing section is possible and thus leads to a fixedly defined alignment of the mounting assembly to the housing section, in particular in angular alignment relative to a fixedly defined angular position of the spiral housing.
  • the step of attaching the mounting device to the movable scroll component can occur before the step of inserting the mounting assembly or even before the assembly is formed.
  • the mounting device is removed again before the stationary scroll component is secured.
  • the attachment of the mounting device to the movable scroll component, and optionally to the housing section, is thus to be understood as a temporary attachment/fixation.
  • the invention also relates to a scroll vacuum pump with a pump housing for accommodating a pump system comprising a fixed spiral component and a movable spiral component cooperating with the latter in a pumping-effective manner, wherein the movable spiral component is connected to a housing section of the pump housing via a deformable sleeve, in particular a corrugated bellows, and a first axial end of the sleeve is fixed to the movable spiral component in a freely selectable angular position by a first fixing device.
  • a deformable sleeve in particular a corrugated bellows
  • the first fixing device can comprise, for example, a clamp connection and/or a screw connection as a fastening element.
  • the first axial end of the sleeve and/or the movable spiral component can have at least one elongated recess.
  • the angular position of the movable spiral component is not aligned via the deformable sleeve, but rather, for example, by an assembly device. Positioning elements on the deformable sleeve and/or the movable spiral component are thus not required, which reduces the manufacturing costs of the components, in particular the corrugated bellows, and improves alignment accuracy due to the elimination of assembly play.
  • the second axial end of the sleeve is fixed to the housing section by a second fixing device
  • the movable spiral component has at least one mounting recess, in particular on an outer peripheral edge of the movable spiral component, which is configured and designed so that the second fixing device can be actuated by a tool from the side of the movable spiral component.
  • the second fixing device can be designed and configured in such a way that, in addition to fixing, it also allows positioning in a pre-assembly position, in which, in particular, rotation of the deformable sleeve relative to the housing section is possible.
  • This can be achieved, for example, by a clamping device comprising fixing elements, such as screws, and clamping elements, such as washers, that engage around a flange-like edge of the sleeve.
  • the screws are lightly tightened to create a slight clamping force. The screws are then tightened for final fixing.
  • the assembly of the sleeve in the housing section is facilitated.
  • An appropriate tool such as a screwdriver, can be guided through the mounting recess to access the second fixing device.
  • the fixed spiral component is fixed to the housing section by a third fixing device depending on an angular position of the movable spiral component.
  • the angular position of the fixed spiral component is thus aligned based on the actual angular position of the previously mounted movable spiral component.
  • the resulting short tolerance chain consisting only of the spiral components, enables more cost-effective production and increases assembly accuracy.
  • the third fixing device may comprise an adjusting device for adapting the angular position of the fixed spiral component relative to the housing section.
  • the adjusting device can have an elongated hole, in particular an arcuate elongated hole.
  • the scroll vacuum pump according to the invention is suitable for being assembled by means of at least one of the described assembly methods.
  • the Fig. 1 shows a scroll vacuum pump 20 (short "scroll pump”).
  • the scroll pump 20 comprises a housing section 22 and a spiral casing 24, wherein the spiral casing 24 has a pump-active structure, namely a spiral wall 26.
  • the spiral casing 24 thus forms a fixed spiral component of the scroll pump 20.
  • the stationary scroll component is formed integrally within the scroll casing 24, which is why both terms are used synonymously below.
  • the scroll casing 24 and the stationary scroll component comprise separate, interconnected elements. Such an embodiment is to be understood as being included in the designation "scroll casing 24," with the following statements in this case referring to the stationary scroll component.
  • the spiral wall 26 of the stationary spiral component or spiral housing 24 interacts with a spiral wall 28 of a movable spiral component 30, wherein the movable spiral component 30 is moved eccentrically via an eccentric shaft 32 to generate a pumping effect.
  • a gas to be pumped is conveyed from an inlet 31, which is located in the housing section 22, to an outlet 33, which is formed in the spiral housing 24.
  • the eccentric shaft 32 is driven by a motor 34 and is supported by two roller bearings 36. It comprises an eccentric pin 38 arranged eccentrically to its rotational axis, which transmits its eccentric deflection to the movable spiral component 30 via a further roller bearing 40.
  • a Fig. 1 The left-hand end of a movable sleeve in the form of a bellows 42 is attached, the right-hand end of which is attached to the housing section 22. The left-hand end of the bellows 42 follows the deflection of the movable spiral component 30, while the right-hand end of the bellows 42 is stationary during operation of the scroll pump 20.
  • volute casing 24 and the movable scroll member 30 are aligned with each other in a well-defined manner, particularly with regard to their angular position.
  • a method according to the invention for assembling a scroll vacuum pump 20 is described below with reference to the Figures 2a to 5
  • the sequence of the process steps refers to the respective embodiment shown, but embodiments with a different sequence of process steps are also conceivable.
  • a first axial end (left in Fig. 1 ) of the bellows 42 is fixed to the movable spiral component 30, so that the bellows 42 and the spiral component 30 form a mounting assembly.
  • the mounting assembly is then inserted into the housing section 22.
  • the second axial end (right in Fig. 1 ) of the bellows 42 is now fixed to the housing section 22.
  • the axial ends of the bellows 42 typically each comprise a flange for this purpose. Since the relative angular position of the bellows 42 and the movable spiral component 30 is irrelevant, the fixation can be achieved, for example, by means of screws, each provided with a washer, which engage behind the flange when the screws are screwed into the movable spiral component 30. Other clamping means are conceivable.
  • the mounting assembly is fixed to the housing section 22 from one side - seen in axial direction A - of the bellows 42, i.e. from the left parallel to a pump axis 43.
  • the movable spiral component 30 can be provided with mounting recesses 300 (see Fig. 2c ), which ensure accessibility of the fixing elements arranged on the housing section 22 for a suitable tool.
  • the pre-assembly of the bellows 42 on the housing section 22 is carried out by means of a clamping process.
  • screws 209 and suitable clamping elements in the form of washers 211 are provided, which engage behind a flange-like end section 212 of the bellows 42. This is shown in the enlarged section in Fig. 2b
  • the screws 209 are screwed into screw holes 304 in the housing section 22 (see Fig. 4 ).
  • the mounting assembly can be fixed to the housing section 22 by tightening the screws 209.
  • a mounting device 200 (shown in Fig. 2a ) is fixed to the movable scroll member 30. This can be done before or after the assembly assembly is formed, so that the mounting device 200 can be used upon insertion into the housing section 22. However, it is also possible to attach the mounting device 200 to the movable scroll member 30 only after the assembly assembly has been attached to the housing section 22.
  • the mounting device 200 has positioning elements 202 (here in the form of pins) that interact with complementary positioning sections 203 (here in the form of holes) of the movable spiral component 30, so that the mounting device 200 is fixed in a predetermined angular position on the movable spiral component 30. It is understood that the angular position of the two components can also be ensured by other means, for example, by ribs and complementary grooves.
  • the mounting device has at least one handle element 205 for easier handling.
  • the mounting device 200 has a reference feature 201, which is shown in the Fig. 2a-d exemplified as a cantilever extending in the axial direction.
  • the angular position of the mounting device 200 can be used to apply a reference marking 206 to the housing section 22 (see Fig. 2d ).
  • the reference marking 206 can be applied to the housing section 22, for example, using a marking element, such as a marking pen or a self-adhesive marker. Other embodiments of the reference feature 201 are conceivable.
  • the mounting device 200 can be removed.
  • a final assembly mark is created that marks the angular position of the aligned volute casing 24 relative to the housing section 22.
  • multiple final assembly marks can be provided, distributed in the circumferential direction.
  • the final assembly mark facilitates, for example, the correct positioning of the volute casing 24 after maintenance work during which the volute casing 24 must be removed from the housing section 22. It can be particularly helpful in cases where the pump 20 is installed in a confined space and the reference mark 206 is obscured or difficult to read.
  • the mounting assembly is inserted into the housing section 22 and positioned there in a pre-assembly position.
  • the pre-assembly position is configured such that the mounting assembly remains freely rotatable relative to the housing section 22, but there is little or no play in the axial direction A and/or radial direction (perpendicular to A).
  • FIG. 4 A suitable embodiment of the housing section 22 is shown in Fig. 4 shown.
  • the housing section 22 has a positioning aid 302, which enables an angular alignment of the mounting assembly.
  • the housing section 22 has an assembly guide in the form of a bellows groove 303, which is designed and configured to second axial end of the bellows 42, e.g. a flange-like end or fastening section 212 (see Fig. 2b ).
  • a coarse alignment may be provided.
  • the coarse angular alignment of the movable spiral component 30 relative to the housing section 22 is carried out, for example, as shown in Fig. 5
  • the movable spiral component 30 has suitable angular position features 301, which enable alignment with the positioning aid 302. In the Fig. 5 In the embodiment shown, this is achieved using the "front sight-front sight principle," with the angular position features 301 forming the "front sight” and the positioning aid 302 forming the "front sight.”
  • the mounting recesses 300 in the movable spiral component 30 are also shown. These allow the fixing elements 209 to be reached in the axial direction A on one side of the bellows 42.
  • a mounting device 200 can be fixed to the movable spiral part 30, wherein the mounting device 200 has a reference feature 201 as shown in Fig. 2a
  • the alignment of an angular position of the mounting assembly relative to the housing section 22 is performed using the reference feature 201 of the mounting device 200 and a mounting position feature 206 attached to the housing section 22 and/or to a component firmly connected to the housing section 22.
  • the mounting position feature 206 indicates the desired angular position of the mounting assembly relative to the housing section 22.
  • This angular alignment of the movable scroll member 30 may precede the precise alignment of the scroll casing 24 described above, but is not absolutely necessary in all cases. It may serve the purpose of the correct angular alignment
  • the mounting device 200 may also comprise at least one positioning element 204 (this is dispensable for the methods described further above) which is associated with a corresponding positioning section 210 in the housing section 22, as shown in Fig. 2b is shown.
  • the positioning element 204 can, for example, be a pin, and the positioning section 210 a matching hole.
  • the mounting device 200 additionally has at least one positioning element 202, which is assigned to a corresponding positioning section 203 in the movable spiral component 30, the combination of the positioning elements 202, 204 and positioning sections 203, 210 thus enables the simultaneous fixing of the mounting device 200 to the movable spiral component 30 and the housing section 22 to result in a fixedly defined angular position of the movable spiral component 30 relative to the housing section 22, in which the movable spiral component 30 or the mounting assembly is subsequently fixed.
  • the mounting position feature 206 and the reference feature 201 are therefore not absolutely necessary.

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Abstract

Die Erfindung betrifft unter anderem ein Verfahren zur Montage einer Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpengehäuse zur Aufnahme eines Pumpsystems, das ein feststehendes Spiralbauteil und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil umfasst, und einer zwischen dem beweglichen Spiralbauteil und einem Gehäuseabschnitt des Pumpengehäuses angeordneten verformbaren Hülse, insbesondere einem Wellbalg; wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:
Fixieren eines ersten axialen Endes der verformbaren Hülse an dem beweglichen Spiralbauteil zur Bereitstellung einer Montagebaugruppe, Einführen der Montagebaugruppe in den Gehäuseabschnitt,
Fixieren des zweiten axialen Endes der verformbaren Hülse der Montagebaugruppe an dem Gehäuseabschnitt,
Ansetzen des feststehenden Spiralbauteils an den Gehäuseabschnitt in einer Vormontageposition,
Ausrichten einer Winkellage des feststehenden Spiralbauteils relativ zu der Montagebaugruppe, und
Fixieren des feststehenden Spiralbauteils in der ausgerichteten Position an dem Pumpengehäuseabschnitt.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Montage einer Scrollvakuumpumpe und eine Scrollvakuumpumpe.
  • Scrollvakuumpumpen sind grundsätzlich aus dem Stand der Technik bekannt. Die Pumpwirkung solcher Scrollvakuumpumpen entsteht durch ein Zusammenwirken von einem feststehenden Spiralbauteil und einem beweglichen Spiralbauteil. Die Spiralbauteile haben auf einander zugewandten Flächen jeweils spiralförmige Stege ausgebildet, die in zwischen den Stegen ausgebildete spiralförmige Nuten des jeweiligen gegenüberliegend angeordneten Spiralbauteils eingreifen. Das bewegliche Spiralbauteil wird durch einen Exzenterabschnitt einer Antriebswelle auf einer kreisförmigen Bahn exzentrisch bewegt, was auch als "Orbitieren" bezeichnet wird. Während dieser Bewegung bleibt eine Ausrichtung der Position in der Umfangsrichtung (d.h. eine Winkellage) der beiden Spiralbauteile zueinander unverändert. Das bedeutet, dass das bewegliche Spiralbauteil keine Rotation um die eigene Achse erfährt. Durch das Orbitieren des beweglichen Spiralbauteils bewegen sich die spiralförmigen Stege des beweglichen Spiralbauteils derart in den spiralförmigen Nuten des feststehenden Spiralbauteils, dass zwischen den Grundflächen der Nuten und den Seitenflächen der Stege eingeschlossene halbmondförmige bzw. sichelförmige Volumina von einer radial außen gelegenen Position zu einer radial weiter innen liegenden Position spiralförmig verschoben und dabei komprimiert werden.
  • Für eine effiziente Pumpwirkung von Scrollvakuumpumpen ist die Ausrichtung der Winkellagen (d.h. die Positionen in Umfangsrichtung) der beiden Spiralbauteile zueinander von zentraler Bedeutung. Man spricht hier auch von der sogenannten Winkelausrichtung der Spiralbauteile. Herkömmlicherweise erfolgt die Winkelausrichtung der beiden Spiralbauteile zueinander über das Pumpengehäuse und eine verformbare Hülse, den sogenannten Wellbalg. Das bewegliche Spiralbauteil wird anhand von Positionierungselementen (z.B. Nut über Passstift) an dem Wellbalg in Umfangsrichtung ausgerichtet und in einer vorbestimmten Winkellage über den Wellbalg an dem Pumpengehäuse verdrehsicher fixiert. Dazu umfasst der Wellbalg an einem axialen Ende einen ersten Befestigungsflansch mit Positionierungselementen, die mit entsprechenden Positionierungselementen an dem beweglichen Spiralbauteil zusammenwirken, sodass das bewegliche Spiralbauteil in einer vorbestimmten Winkellage an dem Wellbalg fixiert wird. An dem anderen axialen Ende umfasst der Wellbalg einen zweiten Befestigungsflansch mit Positionierungselementen, die mit entsprechenden Positionierungselementen des Pumpengehäuses zusammenwirken, sodass der Wellbalg in einer vorbestimmten Winkellage an dem Pumpengehäuse fixiert wird. Damit wird folglich auch die Winkellage des beweglichen Spiralbauteils bezüglich des Pumpengehäuse festgelegt. Die Positionierung des feststehenden Spiralbauteils erfolgt über Positionierungselemente, die am feststehenden Spiralbauteil und am Pumpengehäuse ausgebildet sind und zusammenwirken, sodass das feststehende Spiralbauteil in einer vorbestimmten Winkellage am Pumpengehäuse ausgerichtet und fixiert wird.
  • Eine Winkelausrichtung der beiden Spiralbauteile erfolgt somit über verschiedene Positionierungselemente, die an den beiden Spiralbauteilen, an beiden Befestigungsflanschen des Wellbalgs und an verschiedenen Stellen an dem Pumpengehäuse mit verhältnismäßig geringen Fertigungstoleranzen vorgesehen werden müssen, was zu einer erheblichen Kostensteigerung bei der Fertigung der jeweiligen Bauteile führt. Beispielsweise müssen die beiden Befestigungsflansche des Wellbalgs, die jeweils Positionierungselemente aufweisen und über die die Ausrichtung der Winkellage des beweglichen Spiralbauteils erfolgt, während der Fertigung zueinander ausgerichtet werden. Dies erfordert beispielsweise ein Anschweißen der Befestigungsflansche in einer speziellen Vorrichtung und zusätzliche Kontrollen, ob die erforderlichen Toleranzen eingehalten werden. Allerdings ist für die Durchführung der Montage ein gewisses Montagespiel notwendig, was gerade bei einer relativ langen Toleranzkette, wie beispielsweise von dem beweglichen Spiralbauteil über den Wellbalg zu dem Pumpengehäuse, zu einer Addition von Ungenauigkeiten führen und sich negativ auf eine mögliche Positionierungsgenauigkeit auswirken kann.
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Montage einer Scrollvakuumpumpe bereitzustellen, das eine einfache aber dennoch exakte Winkelausrichtung der Spiralbauteile zueinander und gleichzeitig eine kostengünstige Fertigung der Bauteile der Scrollvakuumpumpe ermöglicht.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren zur Montage einer Scrollvakuumpumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 1, durch ein Verfahren zur Montage einer Scrollvakuumpumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 10 und durch eine Scrollvakuumpumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 11 gelöst.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren betrifft die Montage einer Scrollvakuumpumpe. Sie weist ein Pumpengehäuse zur Aufnahme eines Pumpsystems, das ein feststehendes Spiralbauteil und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil umfasst, und eine zwischen dem beweglichen Spiralbauteil und einem Gehäuseabschnitt des Pumpengehäuses angeordnete verformbare Hülse auf, insbesondere einen Wellbalg. Das Verfahren umfasst folgende Schritte:
    • Fixieren eines ersten axialen Endes der verformbaren Hülse an dem beweglichen Spiralbauteil zur Bereitstellung einer Montagebaugruppe,
    • Einführen der Montagebaugruppe in den Gehäuseabschnitt,
    • Fixieren des zweiten axialen Endes der verformbaren Hülse der Montagebaugruppe an dem Gehäuseabschnitt,
    • Ansetzen des feststehenden Spiralbauteils an den Gehäuseabschnitt in einer Vormontageposition,
    • Ausrichten einer Winkellage des feststehenden Spiralbauteils relativ zu der Montagebaugruppe, und
    • Fixieren des feststehenden Spiralbauteils in der ausgerichteten Position an dem Pumpengehäuseabschnitt.
  • Eine Fixierung beschreibt in diesem Zusammenhang einen Zustand, in dem mindestens zwei Komponenten derart verbunden miteinander sind, dass keine Relativbewegung von einer ersten Komponente gegenüber einer zweiten Komponente möglich ist. Dies kann beispielsweise durch Klemmen, Schrauben oder mit Hilfe von Bolzen realisiert sein. Diese Fixierung kann dauerhaft aber - z.B. für Wartungs- oder Reparaturarbeiten - lösbar sein.
  • Unter einem "Ansetzen" ist zu verstehen, dass das entsprechende Bauteil noch relativ zu dem Gehäuseabschnitt bewegbar bleibt. Das Ansetzen kann auch eine temporäre Fixierung umfassen, die besonders leicht lösbar ist. Beispielsweise kann ein Drehen des Bauteils gegenüber dem Gehäuseabschnitt möglich sein. Nach dem korrekten Ausrichten wird das Bauteil dauerhaft fixiert, beispielsweise durch eine Klemmvorrichtung und/oder eine Schraubverbindung.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren bietet den Vorteil, dass beim Einführen und Fixieren der Montagebaugruppe in dem Gehäuseabschnitt - ein Vorgang der aufgrund der üblicherweise beengten Verhältnisse oftmals aufwendig ist - die Winkellage der Montagebaugruppe beliebig gewählt werden kann. Eine Winkelausrichtung kann ausschließlich über die Ausrichtung des feststehenden Spiralbauteils erfolgen, was deutlich einfacher ist, als für eine exakte Winkelausrichtung der Montagebaugruppe relativ zu dem Gehäuseabschnitt zu sorgen. Folglich sind insbesondere Positionierungselemente an der verformbaren Hülse für das beschriebene Verfahren nicht zwingend erforderlich, was entsprechend die Toleranzkette verkürzt und Fertigungskosten einspart.
  • Weitere Ausführungsformen sind in den Ansprüchen, der Beschreibung und den beigefügten Zeichnungen angegeben.
  • Gemäß einer Ausführungsform umfasst das Verfahren zusätzlich das Fixieren einer Montagevorrichtung, welche ein Bezugsmerkmal aufweist, an dem beweglichen Spiralbauteil, sowie die Übertragung einer Winkellage des Bezugsmerkmals der Montagevorrichtung auf den Gehäuseabschnitt und/oder eine mit dem Gehäuseabschnitt fest verbundene Komponente zur Erzeugung einer Bezugsmarkierung. Hierbei erfolgt das Ausrichten der Winkellage des feststehenden Spiralbauteils unter Verwendung der Bezugsmarkierung.
  • Der Begriff "Merkmal" kann in vorliegendem Kontext eine oberflächliche, beispielsweise aufgezeichnete, und/oder strukturelle Markierung, beispielsweise einen Ausleger, Bolzen oder Stift, umfassen.
  • In montiertem Zustand der Montagevorrichtung erlaubt das Bezugsmerkmal somit eine Übertragung einer Winkellage des Bezugsmerkmals auf den Gehäuseabschnitt und/oder auf eine mit dem Gehäuseabschnitt fest verbundene Komponente zur Erzeugung einer Bezugsmarkierung. Die Übertragung des Bezugsmerkmals kann über ein Markierungselement erfolgen, welches geeignet ist, auf dem Gehäuseabschnitt eine visuelle Markierung aufzubringen, beispielsweise mittels eines Markierstifts und/oder einer selbstklebenden Markierung oder durch Ritzen. Im Ergebnis kann somit die Winkellage der Montagebaugruppe und damit letztlich des beweglichen Spiralbauteils relativ zu dem Gehäuseabschnitt eindeutig angezeigt werden.
  • Bevorzugt weist die die Montagevorrichtung zumindest ein Positionierungselement auf, das mit zumindest einem komplementären Positionierungsabschnitt des beweglichen Spiralbauteils zusammenwirkt, sodass die Montagevorrichtung in einer vorbestimmten Winkellage an dem beweglichen Spiralbauteil fixiert wird. Der Positionierungsabschnitt oder das Positionierungselement können beispielsweise eine Ausnehmung, insbesondere eine Nut oder ein Loch sein. Komplementäre Positionierungselemente bzw. -abschnitte wären dann beispielsweise entsprechende Erhebungen, z.B. Rippen, bzw. Stifte. Zur besseren Handhabung kann die Montagevorrichtung auch mit zumindest einem Griffelement versehen sein.
  • Insbesondere weist das feststehende Spiralbauteil ein Winkellagenmerkmal auf, und das feststehende Spiralbauteil wird beim Ausrichten seiner Winkellage verdreht, bis die Winkellage des Winkellagenmerkmals des feststehenden Spiralbauteils mit der Bezugsmarkierung übereinstimmt.
  • Gemäß einer Ausführungsform umfasst das Ausrichten der Winkellage des feststehenden Spiralbauteils die folgenden Schritte:
    • Ermittlung einer ersten Grenzwinkellage des feststehenden Spiralbauteils relativ zu der Montagebaugruppe durch ein Drehen des feststehenden Spiralbauteils in einer ersten Drehrichtung,
    • Ermittlung einer zweiten Grenzwinkellage des feststehenden Spiralbauteils relativ zu der Montagebaugruppe durch ein Drehen des feststehenden Spiralbauteils in einer der ersten Drehrichtung entgegengesetzten zweiten Drehrichtung,
    • Ausrichten der Winkellage des feststehenden Spiralbauteils zwischen der ersten Grenzwinkellage und der zweiten Grenzwinkellage.
  • Die Grenzwinkellage bezeichnet hierbei die bauartbedingte maximale Rotation des feststehenden Spiralbauteils relativ zu der Montagebaugruppe.
  • Bevorzugt wird hierbei das bewegliche Spiralbauteil während dem Ausrichten des feststehenden Spiralbauteils zumindest zeitweise in Bewegung versetzt. Dies kann beispielsweise durch manuelles Drehen des Rotors erfolgen. Hierbei können, abhängig von der relativen Winkellage der Spiralbauteile zueinander, Anlaufgeräusche zwischen den Spiralbauteilen entstehen. Somit kann eine optimale Winkelposition identifiziert werden, bei welcher keine oder nur sehr geringe Anlaufgeräusche hörbar sind. Ein Quantifizieren der Anlaufgeräusche kann hierbei auch über geeignete Messvorrichtungen, beispielsweise Schallsensoren, erfolgen.
  • Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform erfolgt das Fixieren des zweiten axialen Endes der verformbaren Hülse der Montagebaugruppe an dem Gehäuseabschnitt von einer Seite - in Axialrichtung gesehen - der verformbaren Hülse, an der das bewegliche Spiralbauteil angeordnet ist. Zu diesem Zweck kann das bewegliche Spiralbauteil mit Aussparungen versehen sein, um eine Erreichbarkeit der für das Fixieren genutzten Fixierelemente, beispielsweise mittels eines geeigneten Werkzeugs, sicherzustellen.
  • Vorzugsweise erfolgt vor dem Fixieren der Montagebaugruppe an dem Gehäuseabschnitt eine Winkellagenpositionierung der Montagebaugruppe relativ zu dem Gehäuseabschnitt unter Verwendung eines Winkellagenmerkmals des beweglichen Spiralbauteils und einer Positionierungshilfe des Gehäuseabschnitts. Dies hat insbesondere den Zweck, die Positionen der Ein- und Auslässe im Pumpengehäuse mit der Winkellage der Spiralbauteile aufeinander abzustimmen. So ist in der Regel eine Anordnung bevorzugt, in welcher die Ein- und Auslässe im Pumpengehäuse mit entsprechenden Öffnungen in den Spiralbauteilen, zumindest mit einem großen Flächenanteil, übereinstimmen. Das Winkellagenmerkmal des beweglichen Spiralbauteils kann beispielsweise einen Art Kimme bildende radiale Nut sein, welche bei erwünschter Positionierung, in Axialrichtung der verformbaren Hülle gesehen, die Positionierungshilfe des Gehäuseabschnitts, beispielsweise eine Markierung, zu beiden Seiten begrenzen. Die Markierung würde in diesem Beispiel als "Korn" fungieren. Mit einer solchen "Kimme-Korn"-Anordnung kann auf einfache Weise eine Grobausrichtung der Montagebaugruppe an dem Gehäuseabschnitt vorgenommen werden. Es versteht sich aber, dass auch andere Arten eines Winkellagenmerkmals und einer Positionierungshilfe vorgesehen sein können.
  • Gemäß einer Ausführungsform wird nach dem Fixieren des feststehenden Spiralbauteils am Gehäuseabschnitt eine Endmontagemarkierung erzeugt, die die Winkellage des ausgerichteten feststehenden Spiralbauteils relativ zu dem Gehäuseabschnitt markiert. Dies ist insbesondere dann von Vorteil, wenn das feststehende Spiralbauteil nach der Montage wieder entfernt werden muss, beispielsweise im Rahmen von Reparatur- und/oder Wartungsarbeiten, beispielsweise beim Austausch und/oder der Pflege der Dichtungen, insbesondere Tipseals. In einem solchen Fall erlaubt die Endmontagemarkierung eine einfache und schnelle erneute Montage des feststehenden Spiralbauteils in korrekter Winkelausrichtung mit dem beweglichen Spiralbauteil.
  • Ein weiteres erfindungsgemäßes Verfahren zur Montage einer Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpengehäuse zur Aufnahme eines Pumpsystems, das ein feststehendes Spiralbauteil und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil umfasst, und einer zwischen dem beweglichen Spiralbauteil und einem Gehäuseabschnitt des Pumpengehäuses angeordneten verformbaren Hülse, insbesondere einem Wellbalg, umfasst die folgenden Schritte:
    • Fixieren eines ersten axialen Endes der verformbaren Hülse an dem beweglichen Spiralbauteil in einer frei wählbaren Winkellage zur Bereitstellung einer Montagebaugruppe,
    • Einführen der Montagebaugruppe in den Gehäuseabschnitt und Ansetzen der Montagebaugruppe an den Gehäuseabschnitt in einer Vormontageposition,
    • Fixieren des zweiten axialen Endes der verformbaren Hülse der Montagebaugruppe an dem Gehäuseabschnitt, wobei das Fixieren von einer Seite in Axialrichtung der verformbaren Hülse erfolgt, an der das bewegliche Spiralbauteil angeordnet ist,
    • Fixieren des feststehenden Spiralbauteils an dem Gehäuseabschnitt.
  • In diesem Zusammenhang ist darauf hinzuweisen, dass es konstruktive Merkmale geben mag, die den frei wählbaren Bereich beschränken, so dass nicht jede Winkellage zwischen 0° und 360° gewählt werden kann.
  • Gemäß einer Ausführungsform erfolgt eine Ausrichtung einer Winkellage der Montagebaugruppe relativ zu dem Gehäuseabschnitt unter Verwendung eines dem beweglichen Spiralbauteil zugeordneten Bezugsmerkmals und eines an dem Gehäuseabschnitt vorgesehenen Montagepositionsmerkmals.
  • Ein Ausrichten der Montagebaugruppe ist nicht unbedingt notwendig, wenn das feststehende Spiralbauteil ausgerichtet wird.
  • Es kann aber auch ein Grobausrichten der Montagebaugruppe und ein finales Ausrichten des feststehenden Spiralbauteil erfolgen.
  • Das Bezugsmerkmal kann an dem beweglichen Spiralbauteil ausgebildet sein.
  • Das Bezugsmerkmal kann an einer Montagevorrichtung ausgebildet sein, die an dem beweglichen Spiralbauteil befestigt wird.
  • Die Montagevorrichtung kann Positionierungselemente aufweisen, die mit komplementären Positionierungsabschnitten an dem beweglichen Spiralbauteil zusammenwirken, so dass die Montagevorrichtung in zumindest einer fest definierten Winkellage an dem beweglichen Spiralbauteil fixiert wird.
  • Die Montagevorrichtung kann zumindest ein Positionierungselement aufweisen, das mit zumindest einem komplementären Positionierungsabschnitt in dem Gehäuseabschnitt zusammenwirkt, so dass die Montagevorrichtung in zumindest einer fest definierten Winkellage an dem Gehäuseabschnitt fixiert wird. Wenn auch die Montagevorrichtung zumindest ein Positionierungselement aufweist, das mit zumindest einem komplementären Positionierungsabschnitt des beweglichen Spiralbauteils zusammenwirkt, sodass die Montagevorrichtung in einer vorbestimmten Winkellage an dem beweglichen Spiralbauteil fixiert wird, kann die Montagebaugruppe auf einfache Weise in einer wohldefinierten Winkellage angesetzt und anschließend fixiert werden. Der Positionierungsabschnitt oder das Positionierungselement können beispielsweise eine Ausnehmung, insbesondere eine Nut oder ein Loch sein. Komplementäre Positionierungselemente bzw. -abschnitte wären dann beispielsweise entsprechende Erhebungen, z.B. Rippen, bzw. Stifte.
  • Mit anderen Worten: Weist die Montagevorrichtung sowohl Positionierungselemente, die mit Positionierungsabschnitten in dem beweglichen Spiralbauteil zusammenwirken, als auch Positionierungselemente, die mit Positionierungsabschnitten in dem Gehäuseabschnitt zusammenwirken, auf, ist ein gleichzeitiges Fixieren der Montagevorrichtung an sowohl dem beweglichen Spiralbauteil, als auch an dem Gehäuseabschnitt möglich und führt somit zu einer fest definierten Ausrichtung der Montagebaugruppe zu dem Gehäuseabschnitt, insbesondere in Winkelausrichtung relativ zu einer fest definierten Winkellage des Spiralgehäuses.
  • Der Schritt der Befestigung der Montagevorrichtung an dem beweglichen Spiralbauteil kann vor dem Schritt des Einführens der Montagebaugruppe oder sogar vor der Bildung der Montagebaugruppe erfolgen. Die Montagevorrichtung wird dabei vor dem Fixieren des feststehenden Spiralbauteils wieder entfernt. Die Befestigung der Montagevorrichtung an dem beweglichen Spiralbauteil, sowie gegebenenfalls an dem Gehäuseabschnitt, ist somit als temporäre Befestigung/Fixierung zu verstehen. Diese Ausführungen gelten für beide vorstehend beschriebenen erfindungsgemäßen Verfahren zur Montage einer Scrollvakuumpumpe.
  • Die Erfindung betrifft auch eine Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpengehäuse zur Aufnahme eines Pumpsystems, das ein feststehendes Spiralbauteil und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil umfasst, wobei das bewegliche Spiralbauteil über eine verformbare Hülse, insbesondere einem Wellbalg, mit einem Gehäuseabschnitt des Pumpengehäuses verbunden ist, und ein erstes axiales Ende der Hülse durch eine erste Fixierungseinrichtung an dem beweglichen Spiralbauteil in einer frei wählbaren Winkellage fixiert ist.
  • Die erste Fixierungseinrichtung kann als Befestigungselement beispielsweise eine Klemmverbindung und/oder eine Schraubverbindung umfassen. Für die Justierung des Befestigungselements kann das erste axiale Ende der Hülse und/oder das bewegliche Spiralbauteil mindestens eine längliche Aussparung aufweisen. Die Ausrichtung der Winkellage des beweglichen Spiralbauteils erfolgt nicht über die verformbare Hülse, sondern beispielsweise durch eine Montagevorrichtung. Positionierungselemente an der verformbaren Hülse und/oder dem beweglichen Spiralbauteil sind somit nicht erforderlich, was die Fertigungskosten der Bauteile, insbesondere des Wellbalgs, verringert und, auf Grund des wegfallenden Montagespiels die Ausrichtungsgenauigkeit verbessert.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist das zweite axiale Ende der Hülse durch eine zweite Fixierungseinrichtung an dem Gehäuseabschnitt fixiert, und das bewegliche Spiralbauteil weist zumindest eine Montageaussparung, insbesondere an einem Außenumfangsrand des beweglichen Spiralbauteils, auf, die dazu eingerichtet und ausgebildet ist, dass die zweite Fixierungseinrichtung von der Seite des beweglichen Spiralbauteils aus durch ein Werkzeug betätigt werden kann.
  • Die zweite Fixierungseinrichtung kann hierbei derart ausgebildet und ausgestaltet sein, dass sie neben der Fixierung auch ein Ansetzen in Vormontageposition erlaubt, in welcher insbesondere eine Drehung der verformbaren Hülse gegenüber des Gehäuseabschnitts möglich ist. Dies kann beispielsweise durch eine Klemmvorrichtung erfolgen, die Fixierungselemente, beispielsweise Schrauben, sowie Klemmelemente, beispielsweise Unterlegschreiben, umfasst, die einen flanschartigen Rand der Hülse umgreifen. Zur Vormontage werden die Schrauben leicht angezogen, um eine leichte Klemmkraft zu erzeugen. Zur endgültigen Fixierung werden die Schrauben dann festgezogen.
  • Dadurch, dass die zumindest eine Montageaussparung eine Zugänglichkeit zur zweiten Fixierungseinrichtung von der Seite des beweglichen Spiralbauteils aus ermöglicht, wird die Montage der Hülse im Gehäuseabschnitt erleichtert. Das entsprechende Werkzeug, etwa ein Schraubendreher, kann durch die Montageaussparung geführt werden, um zu der zweiten Fixierungseinrichtung zu gelangen.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist das feststehende Spiralbauteil durch eine dritte Fixierungseinrichtung an dem Gehäuseabschnitt in Abhängigkeit einer Winkellage des beweglichen Spiralbauteils fixiert.
  • Die Ausrichtung der Winkellage des feststehenden Spiralbauteils erfolgt somit über die tatsächliche Winkellage des vorher montierten beweglichen Spiralbauteils. Die entstehende kurze Toleranzkette, bestehend aus lediglich den Spiralbauteilen, ermöglicht eine kostengünstigere Fertigung und erhöht die Genauigkeit der Montage.
  • Insbesondere kann die dritte Fixierungseinrichtung eine Justiereinrichtung zur Anpassung der Winkellage des feststehenden Spiralbauteils relativ zu dem Gehäuseabschnitt aufweisen.
  • Die Justiereinrichtung kann ein Langloch, insbesondere ein bogenförmiges Langloch, aufweisen.
  • Die erfindungsgemäße Scrollvakuumpumpe ist dafür geeignet, mittels zumindest einem der geschilderten Montageverfahren montiert zu werden.
  • Die Erfindung wird im Folgenden rein beispielhaft anhand vorteilhafter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:
  • Fig. 1
    eine Querschnittansicht einer Scrollvakuumpumpe,
    Fig. 2a
    eine Querschnittansicht einer Montagevorrichtung,
    Fig. 2b
    eine Querschnittansicht der fixierten Montagevorrichtung aus Fig. 2a während der Montage einer Scrollvakuumpumpe,
    Fig. 2c
    eine Stirnansicht von Fig. 2b,
    Fig. 2d
    eine Draufsicht von Fig. 2b,
    Fig. 3a
    eine Stirnansicht eines Spiralgehäuses,
    Fig. 3b
    eine Draufsicht auf eine Scrollvakuumpumpe mit ausgerichtetem Spiralgehäuse,
    Fig. 4
    eine axiale Sicht in ein Pumpengehäuse einer Scrollvakuumpumpe und
    Fig. 5
    eine Stirnansicht auf ein bewegliches Spiralbauteil
  • Die Fig. 1 zeigt eine Scrollvakuumpumpe 20 (kurz "Scrollpumpe"). Die Scrollpumpe 20 umfasst einen Gehäuseabschnitt 22 und ein Spiralgehäuse 24, wobei das Spiralgehäuse 24 eine pumpaktive Struktur aufweist, nämlich eine Spiralwand 26. Das Spiralgehäuse 24 bildet also ein feststehendes Spiralbauteil der Scrollpumpe 20. In der Darstellung der Fig. 1 ist das feststehende Spiralbauteil integral in dem Spiralgehäuse 24 ausgebildet, weshalb beide Begriffe nachfolgend synonym verwendet werden. Es sind jedoch auch Ausführungsformen denkbar, in denen das Spiralgehäuse 24 und das feststehende Spiralbauteil separate, miteinander verbundene Elemente umfasst. Eine solche Ausführungsform ist als in der Bezeichnung Spiralgehäuse 24 inbegriffen zu verstehen, wobei sich die nachfolgenden Ausführungen in diesem Fall auf das feststehende Spiralbauteil beziehen.
  • Die Spiralwand 26 des feststehenden Spiralbauteils bzw. Spiralgehäuses 24, wirkt mit einer Spiralwand 28 eines beweglichen Spiralbauteils 30 zusammen, wobei das bewegliche Spiralbauteil 30 zum Erzeugen einer Pumpwirkung über eine Exzenterwelle 32 exzentrisch bewegt wird. Dabei wird ein zu pumpendes Gas von einem Einlass 31, welcher in dem Gehäuseabschnitt 22 zugeordnet ist, zu einem Auslass 33 gefördert, welcher in dem Spiralgehäuse 24 ausgebildet ist.
  • Die Exzenterwelle 32 wird durch einen Motor 34 angetrieben und ist durch zwei Wälzlager 36 gelagert. Sie umfasst einen exzentrisch zu ihrer Rotationsachse angeordneten Exzenterzapfen 38, der über ein weiteres Wälzlager 40 seine exzentrische Auslenkung an das bewegliche Spiralbauteil 30 überträgt. An dem beweglichen Spiralbauteil 30 ist zwecks Abdichtung außerdem ein in Fig. 1 linksseitiges Ende einer beweglichen Hülse in Form eines Wellbalgs 42 befestigt, dessen rechtsseitiges Ende an dem Gehäuseabschnitt 22 befestigt ist. Das linksseitige Ende des Wellbalgs 42 folgt der Auslenkung des beweglichen Spiralbauteils 30, während das rechtsseitige Ende des Wellbalgs 42 bei Betrieb der Scrollpumpe 20 ortsfest ist.
  • Für den effizienten Betrieb der Scrollpumpe 20 ist es unerlässlich, dass das Spiralgehäuse 24 und das bewegliche Spiralbauteil 30 zueinander in einer wohldefinierten Weise zueinander ausgerichtet sind, insbesondere hinsichtlich ihrer Winkellage.
  • Ein erfindungsgemäßes Verfahren für die Montage einer Scrollvakuumpumpe 20 wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Figuren 2a bis 5 beschrieben. Die Reihenfolge der Verfahrensschritte bezieht sich hierbei auf die jeweils dargestellte Ausführungsform, es sind aber auch Ausführungsformen mit einer abweichenden Reihenfolge der Verfahrensschritte denkbar.
  • Zunächst wird ein erstes axiales Ende (links in Fig. 1) des Wellbalgs 42 an dem beweglichen Spiralbauteil 30 fixiert, so dass der Wellbalg 42 und das Spiralbauteil 30 eine Montagebaugruppe bilden. Anschließend wird die Montagebaugruppe in den Gehäuseabschnitt 22 eingeführt. Das zweite axiale Ende (rechts in Fig. 1) des Wellbalgs 42 wird nun an dem Gehäuseabschnitt 22 fixiert. Die axialen Enden des Wellbalgs 42 umfassen hierfür in der Regel jeweils einen Flansch. Da die relative Winkellage des Wellbalgs 42 und des beweglichen Spiralbauteils 30 unerheblich ist, kann die Fixierung beispielsweise mittels Schrauben erfolgen, die jeweils mit einer Unterlegscheibe versehen sind und die den Flansch hintergreifen, wenn die Schrauben in das bewegliche Spiralbauteil 30 eingeschraubt sind. Andere Klemmmittel sind denkbar.
  • Im vorliegenden Ausführungsbeispiel, dargestellt in Fig. 2b, erfolgt das Fixieren der Montagebaugruppe an dem Gehäuseabschnitt 22 von einer Seite - in Axialrichtung A gesehen - des Wellbalgs 42, also von links parallel zu einer Pumpenachse 43. Hierfür kann das bewegliche Spiralbauteil 30 mit Montageaussparungen 300 versehen sein (siehe Fig. 2c), die eine Erreichbarkeit der an dem Gehäuseabschnitt 22 angeordneten Fixierelemente für ein geeignetes Werkzeug sicherstellen.
  • Im vorliegenden Beispiel erfolgt die Vormontage des Wellbalgs 42 an dem Gehäuseabschnitt 22 mittels eines Klemmvorgangs. Zu diesem Zweck sind Schrauben 209 und geeigneten Klemmelemente in Form von Unterlegscheiben 211 vorgesehen, die einen flanschartigen Endabschnitt 212 des Wellbalgs 42 hintergreifen. Dies ist in dem vergrößerten Ausschnitt in Fig. 2b gezeigt. Die Schrauben 209 werden in Schraublöchern 304 in dem Gehäuseabschnitt 22 eingeschraubt (siehe Fig. 4).
  • Es versteht sich, dass eine vergleichbare Art der Fixierung für die Befestigung des Wallbalgs 42 an dem beweglichen Spiralteil 30 vorgesehen sein kann.
  • Ist die gewünschte Winkelausrichtung erreicht, kann die Montagebaugruppe durch Festziehen der Schrauben 209 an dem Gehäuseabschnitt 22 fixiert werden.
  • Um die Winkellage des beweglichen Spiralbauteils 30 zu erfassen, wird eine Montagevorrichtung 200 (dargestellt in Fig. 2a) an dem beweglichen Spiralbauteil 30 fixiert. Dies kann vor oder nach Bildung der Montagebaugruppe geschehen, so dass die Montagevorrichtung 200 beim Einführen in den Gehäuseabschnitt 22 genutzt werden kann. Es ist aber auch möglich, die Montagevorrichtung 200 erst an dem beweglichen Spiralbauteil 30 zu befestigen, nachdem die Montagebaugruppe an dem Gehäuseabschnitt 22 befestigt wurde.
  • Die Montagevorrichtung 200 weist Positionierungselemente 202 (hier in Form von Stiften) auf, welche mit komplementären Positionierungsabschnitten 203 (hier in Form von Löchern) des beweglichen Spiralbauteils 30 zusammenwirken, sodass die Montagevorrichtung 200 in einer vorbestimmten Winkellage an dem beweglichen Spiralbauteil 30 fixiert wird. Es versteht sich, dass die Winkellage der beiden Komponenten auch durch andere Mittel sichergestellt werden kann, beispielsweise durch Rippen und komplementäre Nuten. In der gezeigten Ausführungsform weist die Montagevorrichtung mindestens ein Griffelement 205 zur besseren Handhabung auf.
  • Nun wird die Winkellage des beweglichen Spiralbauteils 30, das über den Wellbalg 42 relativ zu dem Gehäuseabschnitt 22 in Drehrichtung festgelegt ist, auf den Gehäuseabschnitt 22 übertragen. Zu diesem Zweck weist die Montagevorrichtung 200 ein Bezugsmerkmal 201 auf, das in der Fig. 2a-d beispielhaft als sich in axialer Richtung erstreckender Ausleger realisiert ist. Mit Hilfe des Bezugsmerkmals 201 kann die Winkellage der Montagevorrichtung 200 genutzt werden, um eine Bezugsmarkierung 206 an dem Gehäuseabschnitt 22 anzubringen (siehe Fig. 2d). In der Ausführungsform aus Fig. 2a-d kann die Bezugsmarkierung 206 beispielsweise mit Hilfe eines Markierelements, beispielsweise eines Markierstifts oder einer selbstklebenden Markierung, auf dem Gehäuseabschnitt 22 angebracht werden. Andere Ausgestaltungsformen des Bezugsmerkmals 201 sind denkbar. Nach Anbringen der Bezugsmarkierung 206 kann die Montagevorrichtung 200 entfernt werden.
  • Als nächstes wird das Spiralgehäuse 24 in einer Vormontageposition an dem Gehäuseabschnitt 22 angesetzt. In dieser Vormontageposition ist die Bezugswinkellage des Spiralgehäuses 24 weiterhin verstellbar, es ist also drehbar gegenüber dem Gehäuseabschnitt 22. In der Ausführungsform aus Fig. 3a erfolgt dies über mindestens ein Fixierelement in Form einer Schraube 241 in Verbindung mit einem Justierelement in Form eines kurvenförmigen Langlochs 240, welches zum Ansetzen und - nach dem Ausrichten - Fixieren des Spiralgehäuses 24 an dem Gehäuseabschnitt 22 genutzt wird. Die Schraube 241 wird zunächst durch das entsprechende Langloch 240 gesteckt und in eine der in Fig. 2c gezeigten Fixiervorrichtungen 207 (hier in Form von Schraublöchern) eingeschraubt und leicht festgezogen.
  • Anschließend wird das Spiralgehäuse 24 gedreht - den nötigen Freiheitsgrad stellt die bogenförmige Erstreckung der Langlöcher 240 bereit - bis es die richtige Winkellage einnimmt. Wie in Fig. 3b gezeigt, wird hierbei wir das Spiralgehäuse 24 so lange gedreht, bis ein Winkellagenmerkmal 208 des Spiralgehäuses 24 mit der Bezugsmarkierung 206 fluchtet.
  • Die Winkellage des Spiralgehäuses 24 ist dann relativ zur Montagebaugruppe, und somit letztlich zu dem beweglichen Spiralbauteil 30 korrekt ausgerichtet und das Spiralgehäuse 24 kann in Endmontageposition fixiert werden, in vorliegendem Fall durch Anziehen der Schraube 241.
  • Gemäß einem weiteren Verfahren kann das Spiralgehäuse 24 relativ zu dem beweglichen Spiralbauteil 30 ausgerichtet werden, indem durch Verdrehen des Spiralgehäuses 24 relativ zu dem Gehäuseabschnitt 22 in zunächst eine erste Drehrichtung und anschließend in eine entgegengesetzte zweite Drehrichtung die in erster und zweiter Drehrichtung liegenden Grenzwinkellagen ermittelt werden und das Spiralgehäuse 24 in einer Winkellage zwischen den beiden Grenzwinkellagen ausgerichtet wird. Dieser Vorgang kann iterativ sein, um sich der optimalen Winkellage schrittweise anzunähern. Bevorzugt wird bei der Ermittlung der Winkellage auch das bewegliche Spiralbauteil 30 zumindest zeitweise in Bewegung versetzt, beispielsweise durch manuelles Drehen der Exzenterwelle 32. Mit der Einstellung der Winkellage des Spiralgehäuses 24 können hierbei zwischen Spiralgehäuse 24 und beweglichem Spiralbauteil 30 entstehende Anlaufgeräusche minimiert werden.
  • Vorzugsweise wird nach dem Fixieren des Spiralgehäuses 24 an dem Gehäuseabschnitt 22 eine Endmontagemarkierung erzeugt, welche die Winkellage des ausgerichteten Spiralgehäuses 24 relativ zu dem Gehäuseabschnitt 22 markiert. Z.B. können mehrere Endmontagemarkierungen vorgesehen sein, die in Umfangsrichtung verteilt sind. Die Endmontagemarkierung erleichtert beispielsweise die korrekte Positionierung des Spiralgehäuses 24 nach Wartungsarbeiten, bei denen das Spiralgehäuse 24 von dem Gehäuseabschnitt 22 abgenommen werden muss. Sie kann gerade in Fällen hilfreich sein, wenn die Pumpe 20 in einem beengten Umfeld installiert ist und Bezugsmarkierung 206 verdeckt oder schwer ablesbar ist.
  • Nachfolgend wird die Fixierung der Montagebaugruppe an dem Gehäuseabschnitt 22 eingehend erläutert.
  • Wie vorstehend bereits beschrieben wurde, wird die Montagebaugruppe in den Gehäuseabschnitt 22 eingeführt und dort in einer Vormontageposition angesetzt. Die Vormontageposition ist in vorliegendem Fall derart ausgestaltet, dass die Montagebaugruppe weiterhin frei drehbar zu dem Gehäuseabschnitt 22 ist, jedoch kein oder nur geringes Spiel in Axialrichtung A und/oder radialer Richtung (rechtwinklig zu A) besteht.
  • Eine geeignete Ausführungsform des Gehäuseabschnitts 22 ist in Fig. 4 gezeigt. Der Gehäuseabschnitt 22 weist eine Positionierungshilfe 302 auf, welche eine Winkelausrichtung der Montagebaugruppe ermöglicht. Für das Ansetzen der Montagebaugruppe in Vormontageposition weist der Gehäuseabschnitt 22 eine Montageführung in Form einer Wellbalgnut 303 auf, welche dafür ausgebildet und ausgestaltet ist, das zweite axiale Ende des Wellbalgs 42 aufzunehmen, z.B. einen flanschartigen End- oder Befestigungsabschnitt 212 (siehe Fig. 2b).
  • In einigen Fällen kann zusätzlich oder alternativ zu der vorstehend beschriebenen exakten Ausrichtung eine Grobausrichtung vorgesehen sein. Die grobe Winkelausrichtung des beweglichen Spiralbauteils 30 relativ zu dem Gehäuseabschnitt 22 erfolgt beispielsweise wie in Fig. 5 dargestellt. Das bewegliche Spiralbauteil 30 weist geeignete Winkellagenmerkmale 301 auf, welche eine Ausrichtung auf die Positionierungshilfe 302 ermöglichen. In der in Fig. 5 gezeigten Ausführungsform erfolgt dies über das "Kimme-Korn-Prinzip", wobei die Winkellagenmerkmale 301 die "Kimme" und die Positionierungshilfe 302 das "Korn" bilden. Auch gezeigt sind die Montageaussparungen 300 in dem beweglichen Spiralbauteil 30. Diese ermöglichen eine Erreichbarkeit der Fixierelemente 209 in axialer Richtung A an einer Seite des Wellbalgs 42. Mit anderen Worten ausgedrückt ist es somit möglich, ein geeignetes Werkzeug, beispielsweise einen Schraubendreher, von der Stirnseite des Gehäuseabschnitts 22 in axialer Richtung A an dem Spiralbauteil 30 und dem Wellbalg 42 vorbei zu den Fixierelementen in Form von Schrauben 209 zu führen. Es ist somit möglich, die Montagebaugruppe zu fixieren, ohne die dem Wellbalg 42 abgewandte Seite des Gehäuseabschnitts 22 erreichen zu müssen, d.h. ohne dass Fixierungsmittel von rechts durch den Gehäuseabschnitt 22 hindurchgeführt werden müssen.
  • Zum Zweck der Winkelausrichtung kann eine Montagevorrichtung 200 an dem beweglichen Spiralteil 30 fixiert werden, wobei die Montagevorrichtung 200 ein Bezugsmerkmal 201 aufweist, wie in Fig. 2a dargestellt. Die Ausrichtung einer Winkellage der Montagebaugruppe relativ zu dem Gehäuseabschnitt 22 erfolgt unter Verwendung des Bezugsmerkmals 201 der Montagevorrichtung 200 und eines an dem Gehäuseabschnitt 22 und/oder an einer mit dem Gehäuseabschnitt 22 fest verbundenen Komponente angebrachten Montagepositionsmerkmals 206. Das Montagepositionsmerkmal 206 zeigt hierbei die gewünschte Winkellage der Montagebaugruppe relativ zu dem Gehäuseabschnitt 22 an.
  • Diese Winkelausrichtung des beweglichen Spiralbauteils 30 kann der weiter vorne beschriebenen exakten Ausrichtung des Spiralgehäuses 24 vorgeschaltet sein, ist aber nicht in allen Fällen zwingend erforderlich. Sie kann den Zweck der korrekten Winkelausrichtung
  • Die Montagevorrichtung 200 kann auch mindestens ein Positionierungselement 204 (dieses ist für die weiter vorstehend beschriebenen Verfahren entbehrlich) aufweisen, welches einem entsprechenden Positionierungsabschnitt 210 in dem Gehäuseabschnitt 22 zugeordnet ist, wie in Fig. 2b dargestellt ist. Das Positionierungselement 204 kann beispielsweise ein Stift sein und der Positionierungsabschnitt 210 ein passendes Loch. Weist die Montagevorrichtung 200 zusätzlich mindestens ein Positionierungselement 202 auf, das einem entsprechenden Positionierungsabschnitt 203 in dem beweglichen Spiralbauteil 30 zugeordnet ist, ermöglicht die Kombination der Positionierungselemente 202, 204 und Positionierungsabschnitte 203, 210 somit, dass das gleichzeitige Fixieren der Montagevorrichtung 200 an dem beweglichen Spiralbauteil 30 und dem Gehäuseabschnitt 22 zu einer fest definierten Winkellage des beweglichen Spiralbauteils 30 relativ zu dem Gehäuseabschnitt 22 führt, in welcher das bewegliche Spiralbauteil 30 bzw. die Montagebaugruppe anschließend fixiert wird. In dieser Ausführungsform sind das Montagepositionsmerkmal 206 und das Bezugsmerkmal 201 somit nicht zwingend erforderlich.
  • Bezugszeichenliste
  • 20
    Scrollvakuumpumpe
    22
    Gehäuseabschnitt
    24
    Spiralgehäuse
    26
    Spiralwand
    28
    Spiralwand
    30
    bewegliches Spiralbauteil
    31
    Einlass
    32
    Exzenterwelle
    33
    Auslass
    34
    Motor
    36
    Wälzlager
    38
    Exzenterzapfen
    40
    Wälzlager
    42
    bewegliche Hülse
    43
    Pumpenachse
    200
    Montagevorrichtung
    201
    Bezugsmerkmal
    202
    Positionierungselement
    203
    Positionierungsabschnitt
    204
    Positionierungselement
    205
    Griffelement
    206
    Markierung
    207
    Fixierabschnitt
    208
    Winkellagenmerkmal
    209
    Fixierelement
    210
    Positionierungsabschnitt
    211
    Klemmelement
    212
    End- oder Befestigungsabschnitt
    240
    Langloch
    241
    Fixierelement
    300
    Montageaussparung
    301
    Winkellagenmerkmal
    302
    Positionierungshilfe
    303
    Montageführung
    304
    Fixierabschnitt
    A
    Axialrichtung

Claims (15)

  1. Verfahren zur Montage einer Scrollvakuumpumpe (20) mit einem Pumpengehäuse zur Aufnahme eines Pumpsystems, das ein feststehendes Spiralbauteil (24) und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil (30) umfasst, und einer zwischen dem beweglichen Spiralbauteil (30) und einem Gehäuseabschnitt (22) des Pumpengehäuses angeordneten verformbaren Hülse (42), insbesondere einem Wellbalg; wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:
    Fixieren eines ersten axialen Endes der verformbaren Hülse (42) an dem beweglichen Spiralbauteil (30) zur Bereitstellung einer Montagebaugruppe,
    Einführen der Montagebaugruppe in den Gehäuseabschnitt (22),
    Fixieren des zweiten axialen Endes der verformbaren Hülse (42) der Montagebaugruppe an dem Gehäuseabschnitt (22),
    Ansetzen des feststehenden Spiralbauteils (24) an den Gehäuseabschnitt (22) in einer Vormontageposition,
    Ausrichten einer Winkellage des feststehenden Spiralbauteils (24) relativ zu der Montagebaugruppe, und
    Fixieren des feststehenden Spiralbauteils (24) in der ausgerichteten Position an dem Pumpengehäuseabschnitt (22).
  2. Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei das Verfahren zusätzlich die folgenden Schritte umfasst:
    Fixieren einer Montagevorrichtung (200) an dem beweglichen Spiralbauteil (30), wobei die Montagevorrichtung (200) ein Bezugsmerkmal aufweist (201),
    Übertragung einer Winkellage des Bezugsmerkmals (201) der Montagevorrichtung (200) auf den Gehäuseabschnitt (22) und/oder auf eine mit dem Gehäuseabschnitt fest verbundene Komponente zur Erzeugung einer Bezugsmarkierung (206),
    wobei das Ausrichten der Winkellage des feststehenden Spiralbauteils (24) unter Verwendung der Bezugsmarkierung (206) erfolgt.
  3. Verfahren gemäß Anspruch 2, wobei
    die Montagevorrichtung (200) zumindest ein Positionierungselement (202) aufweist, das mit zumindest einem komplementären Positionierungsabschnitt (203) des beweglichen Spiralbauteils (30) zusammenwirkt, sodass die Montagevorrichtung (200) in einer vorbestimmten Winkellage an dem beweglichen Spiralbauteil (30) fixiert wird.
  4. Verfahren gemäß Anspruch 2 oder 3, wobei
    das feststehende Spiralbauteil (24) ein Winkellagenmerkmal (208) aufweist, und
    das feststehende Spiralbauteil (24) beim Ausrichten seiner Winkellage verdreht wird, bis die Winkellage des Winkellagenmerkmals (208) des feststehenden Spiralbauteils (24) mit der Bezugsmarkierung (206) übereinstimmt.
  5. Verfahren gemäß Anspruch 1, wobei das Ausrichten der Winkellage des feststehenden Spiralbauteils (24) die folgenden Schritte umfasst:
    Ermittlung einer ersten Grenzwinkellage des feststehenden Spiralbauteils (24) relativ zu der Montagebaugruppe durch ein Drehen des feststehenden Spiralbauteils (24) in einer ersten Drehrichtung,
    Ermittlung einer zweiten Grenzwinkellage des feststehenden Spiralbauteils (24) relativ zu der Montagebaugruppe durch ein Drehen des feststehenden Spiralbauteils (24) in einer der ersten Drehrichtung entgegengesetzten zweiten Drehrichtung,
    Ausrichten der Winkellage des feststehenden Spiralbauteils (24) zwischen der ersten Grenzwinkellage und der zweiten Grenzwinkellage.
  6. Verfahren gemäß Anspruch 5, wobei
    das bewegliche Spiralbauteil (30) während dem Ausrichten des feststehenden Spiralbauteils (24) zumindest zeitweise in Bewegung versetzt wird.
  7. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei
    das Fixieren des zweiten axialen Endes der verformbaren Hülse (42) der Montagebaugruppe an dem Gehäuseabschnitt (22) von einer Seite in Axialrichtung (A) der verformbaren Hülse (42) erfolgt, an der das bewegliche Spiralbauteil (30) angeordnet ist.
  8. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei
    vor dem Fixieren der Montagebaugruppe an dem Gehäuseabschnitt (22) eine Winkellagenpositionierung der Montagebaugruppe relativ zu dem Gehäuseabschnitt (22) unter Verwendung eines Winkellagenmerkmals (301) des beweglichen Spiralbauteils (30) und einer Positionierungshilfe (302) des Gehäuseabschnitts (22) erfolgt.
  9. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei
    nach dem Fixieren des feststehenden Spiralbauteils (24) am Gehäuseabschnitt (22) eine Endmontagemarkierung erzeugt wird, die die Winkellage des ausgerichteten feststehenden Spiralbauteils (24) relativ zu dem Gehäuseabschnitt (22) markiert.
  10. Verfahren zur Montage einer Scrollvakuumpumpe (20) mit einem Pumpengehäuse zur Aufnahme eines Pumpsystems, das ein feststehendes Spiralbauteil (24) und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil (30) umfasst, und einer zwischen dem beweglichen Spiralbauteil (30) und einem Gehäuseabschnitt (22) des Pumpengehäuses angeordneten verformbaren Hülse (42), insbesondere einem Wellbalg; wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:
    Fixieren eines ersten axialen Endes der verformbaren Hülse (42) an dem beweglichen Spiralbauteil (30) in einer frei wählbaren Winkellage zur Bereitstellung einer Montagebaugruppe,
    Einführen der Montagebaugruppe in den Gehäuseabschnitt (22) und Ansetzen der Montagebaugruppe an den Gehäuseabschnitt (22) in einer Vormontageposition,
    Fixieren des zweiten axialen Endes der verformbaren Hülse (42) der Montagebaugruppe an dem Gehäuseabschnitt (22), wobei das Fixieren von einer Seite der verformbaren Hülse (42) erfolgt, an der das bewegliche Spiralbauteil (30) angeordnet ist,
    Fixieren des feststehenden Spiralbauteils (24) an dem Gehäuseabschnitt (22).
  11. Verfahren gemäß Anspruch 10, wobei ein Ausrichten einer Winkellage der Montagebaugruppe (200) relativ zu dem Gehäuseabschnitt (22) unter Verwendung eines dem beweglichen Spiralbauteil zugeordneten Bezugsmerkmals (201, 301) und eines an dem Gehäuseabschnitt (22) vorgesehenen Montagepositionsmerkmals (206, 302) erfolgt, wobei das Bezugsmerkmal (301) an dem beweglichen Spiralbauteil (30) ausgebildet ist und/oder wobei das Bezugsmerkmal (201) an einer Montagevorrichtung (200) ausgebildet ist, die an dem beweglichen Spiralbauteil (30) befestigt wird.
  12. Scrollvakuumpumpe (20) mit
    einem Pumpengehäuse zur Aufnahme eines Pumpsystems, das ein feststehendes Spiralbauteil (24) und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil (30) umfasst,
    wobei
    das bewegliche Spiralbauteil (30) über eine verformbare Hülse (42), insbesondere einem Wellbalg, mit einem Gehäuseabschnitt (22) des Pumpengehäuses verbunden ist, und
    ein erstes axiales Ende der Hülse (42) durch eine erste Fixierungseinrichtung an dem beweglichen Spiralbauteil (30) in einer frei wählbaren Winkellage fixiert ist.
  13. Scrollvakuumpumpe (20) gemäß Anspruch 12, wobei
    das zweite axiale Ende der Hülse (42) durch eine zweite Fixierungseinrichtung an dem Gehäuseabschnitt (22) fixiert ist, und
    das bewegliche Spiralbauteil (30) zumindest eine Montageaussparung (300), insbesondere an einem Außenumfangsrand des beweglichen Spiralbauteils (30), aufweist, die dazu eingerichtet und ausgebildet ist, dass die zweite Fixierungseinrichtung von der Seite des beweglichen Spiralbauteils (30) aus durch ein Werkzeug betätigt werden kann.
  14. Scrollvakuumpumpe (20) gemäß Anspruch 12 oder 13, wobei
    das feststehende Spiralbauteil (24) durch eine dritte Fixierungseinrichtung an dem Gehäuseabschnitt (22) in Abhängigkeit einer Winkellage des beweglichen Spiralbauteils (30) fixiert ist.
  15. Scrollvakuumpumpe (20) gemäß Anspruch 14, wobei
    die dritte Fixierungseinrichtung eine Justiereinrichtung zur Anpassung der Winkellage des feststehenden Spiralbauteils (24) relativ zu dem Gehäuseabschnitt (22) aufweist, insbesondere wobei die Justiereinrichtung zumindest ein Langloch (240) aufweist.
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