EP4706074A1 - Combineur de puissance pour coupler des signaux rf pour un système d'alimentation de traitement au plasma et système de traitement au plasma - Google Patents

Combineur de puissance pour coupler des signaux rf pour un système d'alimentation de traitement au plasma et système de traitement au plasma

Info

Publication number
EP4706074A1
EP4706074A1 EP24724221.7A EP24724221A EP4706074A1 EP 4706074 A1 EP4706074 A1 EP 4706074A1 EP 24724221 A EP24724221 A EP 24724221A EP 4706074 A1 EP4706074 A1 EP 4706074A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
power amplifier
power
power combiner
designed
combiner
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP24724221.7A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Florian Maier
Roland Lodholz
Christian Wangler
Modashree Rangesh
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Trumpf Huettinger GmbH and Co KG
Original Assignee
Trumpf Huettinger GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Trumpf Huettinger GmbH and Co KG filed Critical Trumpf Huettinger GmbH and Co KG
Publication of EP4706074A1 publication Critical patent/EP4706074A1/fr
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
    • H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
    • H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
    • H01J37/32183—Matching circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P5/00—Coupling devices of the waveguide type
    • H01P5/12—Coupling devices having more than two ports
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03F—AMPLIFIERS
    • H03F1/00—Details of amplifiers with only discharge tubes, only semiconductor devices or only unspecified devices as amplifying elements
    • H03F1/30—Modifications of amplifiers to reduce influence of variations of temperature or supply voltage or other physical parameters
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03F—AMPLIFIERS
    • H03F3/00—Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
    • H03F3/20—Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers
    • H03F3/24—Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers of transmitter output stages
    • H03F3/245—Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers of transmitter output stages with semiconductor devices only
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03F—AMPLIFIERS
    • H03F3/00—Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
    • H03F3/60—Amplifiers in which coupling networks have distributed constants, e.g. with waveguide resonators
    • H03F3/602—Combinations of several amplifiers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Amplifiers (AREA)

Abstract

L'invention concerne un combineur de puissance (1) pour coupler des signaux RF, en particulier conçu pour un système d'alimentation en traitement au plasma et un système de traitement au plasma, le combineur de puissance (1) étant conçu pour une plage de fréquences de fonctionnement prédéfinie avec une fréquence dans la plage de 2 MHz à 200 MHz, en particulier dans la plage de 10 MHz à 50 MHz, conçu pour une puissance de sortie ≥ 2 kW, de préférence ≥ 4 kW, ledit combineur de puissance comprenant : e) une pluralité d'entrées (In1-In4) conçues pour connecter des étages d'amplificateur de puissance RF (AS1-AS4), f) une sortie principale (OUT), g) une pluralité d'éléments de couplage, en particulier sous la forme d'inducteurs (L1-L4), chaque élément de couplage connectant une entrée (In1-In4) à la sortie principale (OUT), h) un circuit d'équilibrage (B) qui connecte les entrées (In1-In4) les unes aux autres, comprenant : iii) un absorbeur d'énergie, en particulier sous la forme d'une résistance (R1-R4), et une ligne d'équilibrage (W1-W4) ayant une impédance caractéristique fixe et une longueur de n*λ/2, où n ∈ ℕ.
EP24724221.7A 2023-05-05 2024-05-03 Combineur de puissance pour coupler des signaux rf pour un système d'alimentation de traitement au plasma et système de traitement au plasma Pending EP4706074A1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102023111812.9A DE102023111812A1 (de) 2023-05-05 2023-05-05 Leistungscombiner zur Kopplung von HF-Signalen für ein Plasmaprozessversorgungssystem und ein Plasmaprozesssystem
PCT/EP2024/062329 WO2024231303A1 (fr) 2023-05-05 2024-05-03 Combineur de puissance pour coupler des signaux rf pour un système d'alimentation de traitement au plasma et système de traitement au plasma

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP4706074A1 true EP4706074A1 (fr) 2026-03-11

Family

ID=91027307

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP24724221.7A Pending EP4706074A1 (fr) 2023-05-05 2024-05-03 Combineur de puissance pour coupler des signaux rf pour un système d'alimentation de traitement au plasma et système de traitement au plasma

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20260066230A1 (fr)
EP (1) EP4706074A1 (fr)
KR (1) KR20260002863A (fr)
CN (2) CN222736127U (fr)
DE (1) DE102023111812A1 (fr)
WO (1) WO2024231303A1 (fr)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102023111824A1 (de) 2023-05-05 2024-11-07 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG HF-Leistungsverstärkereinheit zur Kopplung von HF-Signalen für ein Plasmaprozessversorgungssystem und ein Plasmaprozesssystem
DE102024114020A1 (de) 2024-05-17 2025-11-20 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Leistungsversorgungssystem zur Versorgung eines Plasma- oder Gaslaserprozesses und Verfahren zum Betrieb eines solchen Leistungsversorgungssystems

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE502005000175D1 (de) * 2005-03-10 2006-12-21 Huettinger Elektronik Gmbh Vakuumplasmagenerator
DE102009001355B4 (de) 2009-03-05 2015-01-22 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Impedanzanpassungsschaltung und Verfahren zur Impedanzanpassung
DE102011007597B4 (de) 2011-04-18 2014-07-10 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Verfahren zur Impendanzanpassung und Hochfrequenz-Leistungsversorgung
DE102011007598B4 (de) 2011-04-18 2014-06-26 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Verfahren und Vorrichtung zur Impedanzanpassung
DE102011085982B4 (de) 2011-11-09 2023-06-15 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Kühlkörpersystem für ein elektrisches Gerät
DE102013212724B3 (de) 2013-06-28 2014-12-04 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Kühlvorrichtung zur Kühlung eines Elektronikbauteils und Elektronikanordnung mit einer Kühlvorrichtung
DE102015212232B4 (de) * 2015-06-30 2020-03-05 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Leistungscombiner zur Kopplung von Hochfrequenzsignalen und Leistungscombineranordnung mit einem solchen Leistungscombiner
DE102015212233A1 (de) * 2015-06-30 2017-01-05 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Leistungscombiner mit symmetrisch angeordnetem Kühlkörper und Leistungscombineranordnung
DE102017218225A1 (de) 2017-10-12 2019-04-18 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Kühleinheit
GB2579215B (en) * 2018-11-23 2023-07-19 Comet Ag Broadband power combining arrangement
DE202020102084U1 (de) 2020-04-15 2020-05-13 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Impedanzanpassungsschaltung und Plasmaversorgungssystem
DE202020103539U1 (de) 2020-06-19 2020-06-29 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Schaltbare-Reaktanz-Einheit, veränderbare Reaktanz, Hochfrequenzgenerator und Impedanzanpassungsanordnung mit einer Schaltbare-Reaktanz- Einheit

Also Published As

Publication number Publication date
KR20260002863A (ko) 2026-01-06
DE102023111812A1 (de) 2024-11-07
US20260066230A1 (en) 2026-03-05
CN222736127U (zh) 2025-04-08
WO2024231303A1 (fr) 2024-11-14
CN121039777A (zh) 2025-11-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP4706074A1 (fr) Combineur de puissance pour coupler des signaux rf pour un système d'alimentation de traitement au plasma et système de traitement au plasma
EP3579409A1 (fr) Dispositif amplificateur haute fréquence
DE112008000511T5 (de) Leistungsaddierer
DE112017007378T5 (de) Verteiltes Feed-Forward-Hüllkurvenverfolgungssystem
CH715600A2 (de) Breitband-Leistungskombinieranordnung.
DE10019696B4 (de) Schaltung zur Verringerung von Störstrahlung in Motorspeiseschaltungsanwendungen
EP3317915A1 (fr) Coupleur de puissance pour coupler des signaux haute fréquence et ensemble coupleur de puissance comprenant ce coupleur de puissance
DE1562076A1 (de) Differenzsignalgabeanordnung
EP2545648A1 (fr) Dispositif d'alimentation de plasma équipé d'un coupleur en quadrature
DE102007055533A1 (de) Leistungsverstärker mit Leistungs-Kombinator
DE69616170T2 (de) Anpassungsgerät für akustische Oberflächenwellenanordnung
DE102010002753B4 (de) Plasmaversorgungsanordnung mit mehreren Leistungskopplungsstufen
DE2847375C3 (de) Stromversorgung für abgestimmte Rückkopplungsverstärker
DE102005016054A1 (de) Hochfrequenzkoppler oder Leistungsteiler, insbesondere schmalbandiger und/oder 3dB-Koppler oder Leistungsteiler
EP0728391B1 (fr) Circuit d'extraction de signal d'horloge
DE112020006456T5 (de) Energieversorgungsschaltung für eine zirkular polarisierte antenne
DE60304172T2 (de) Modul zur entkopplung von hochfrequenz-signalen von einer versorgungsleitung
EP4706174A1 (fr) Unité d'amplification de puissance hf pour le couplage de signaux hf pour un système d'alimentation de traitement au plasma et système de traitement au plasma
WO2023148207A1 (fr) Mélangeur électro-optique
DE3324540A1 (de) Breitbandiger mikrowellenverstaerker
DE69827593T2 (de) Vorrichtung zur verstärkung von signalen
DE102005054916B3 (de) Gleichspannungs- und/oder Niederfrequenz-Auskopplung aus einer HF-Strecke
EP4633130A1 (fr) Dispositif amplificateur destiné à être connecté à un réseau à large bande
DE102018201158B4 (de) Verfahren zum bestücken einer leiterplatte
EP2617097B1 (fr) Combineur de signaux haute fréquence

Legal Events

Date Code Title Description
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: UNKNOWN

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE INTERNATIONAL PUBLICATION HAS BEEN MADE

PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

17P Request for examination filed

Effective date: 20251204

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR